CN114486901A - 承载组件及检测设备 - Google Patents

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CN114486901A CN202011273208.2A CN202011273208A CN114486901A CN 114486901 A CN114486901 A CN 114486901A CN 202011273208 A CN202011273208 A CN 202011273208A CN 114486901 A CN114486901 A CN 114486901A
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范铎
刘健鹏
张鹏斌
张嵩
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Abstract

本申请公开了一种承载组件及检测设备。本申请实施方式的承载组件包括盖板、第一支架、多个第一支撑件、第二支架及多个第二支撑件。第一支架设置在盖板的第一侧。第一支撑件设置在第一支架，多个第一支撑件共同限定第一限位空间，第一限位空间用于放置并限定具有第一尺寸的第一待检测件。第二支架设置在第一支架远离盖板的一侧。第二支撑件设置在第二支架，多个第二支撑件共同限定第二限位空间，第二限位空间用于放置并限定具有第二尺寸的第二待检测件。本申请通过设置第一支撑件及第二支撑件来承载并限定不同尺寸的待检测件，能够提高承载组件的利用率。此外，由于承载组件仅与待检测件的边缘接触，能够减小检测过程中对待检测件的污染。

Description

承载组件及检测设备
技术领域
本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种承载组件及检测设备。
背景技术
现有的半导体检测设备的支撑台只能适用于一种尺寸的半导体待检测件，如果检测另外尺寸的半导体待检测件，要么需要更换半导体检测设备，要么更换半导体检测设备中的支撑台，这样就会导致生产效率的降低，不满足工业化生产需要。
发明内容
本申请实施方式提供一种承载组件及检测设备。
本申请实施方式的承载组件包括盖板、第一支架、多个第一支撑件、第二支架及多个第二支撑件。第一支架设置在盖板的第一侧。所述第一支撑件设置在所述第一支架，多个所述第一支撑件共同限定第一限位空间，所述第一限位空间用于放置并限定具有第一尺寸的第一待检测件。所述第二支架设置在所述第一支架远离所述盖板的一侧。所述第二支撑件设置在所述第二支架，多个所述第二支撑件共同限定第二限位空间，所述第二限位空间用于放置并限定具有第二尺寸的第二待检测件，所述第二尺寸大于所述第一尺寸。
在一些实施例中，所述第一支架与所述盖板为一体成型结构。
在一些实施例中，所述第一支架与所述盖板为分体成型结构，所述第一支架能够拆卸地安装在所述盖板的第一侧。
在一些实施例中，所述第一支架与所述盖板为分体成型结构，所述第一支架能固定安装在所述盖板的第一侧。
在一些实施例中，所述第一支架与所述第二支架为一体成型结构。
在一些实施例中，所述第一支架与所述第二支架为分体成型结构，所述第一支架能够拆卸地安装在所述第二支架的第一侧。
在一些实施例中，所述第一支架与所述第二支架为分体成型结构，所述第一支架能固定安装在所述第二支架的第一侧。
在一些实施例中，第一支架包括第一本体和延伸臂。所述第一本体设置有第一腔，所述延伸臂位于所述第一腔内，所述延伸臂自所述第一本体的内侧面朝所述第一腔的中心延伸，所述延伸臂位于所述第一本体的远离所述盖板的一侧并与所述第一本体形成阶梯，若干所述第一支撑件设置在所述第一本体，若干所述第一支撑件设置在所述延伸臂。
在一些实施例中，所述第一本体设置有第二腔，所述第一腔与所述第二腔连通，所述第二腔相较于所述第一腔更靠近所述盖板。
在一些实施例中，所述第一支撑件包括第一安装部及第一延伸部，所述第一安装部安装在所述第一支架，所述第一延伸部自所述第一安装部向所述第一限位空间的中心延伸，所述第一延伸部用于承载所述第一待检测件并限定所述第一待检测件于所述第一限位空间内。
在一些实施例中，所述第二支撑件包括第二安装部及第二延伸部，所述第二安装部安装在所述第二支架，所述第二延伸部自所述第二安装部向所述第二限位空间的中心延伸，所述第二延伸部用于承载所述第二待检测件并限定所述第二待检测件于所述第二限位空间内。
在一些实施例中，所述第一延伸部包括第一限位面，所述第一限位面为弧面或斜面。
在一些实施例中，所述第二延伸部包括第二限位面，所述第二限位面为弧面或斜面。
在一些实施例中，所述第一支撑件的第一安装部安装在所述第一支架的远离所述盖板的一侧。
在一些实施例中，所述第二支撑件的第二安装部安装在所述第二支架的靠近所述盖板的一侧。
在一些实施例中，所述第一支撑件还包括第一凸起部，所述第一凸起部自所述第一安装部朝所述盖板延伸以与所述第一安装部形成第一定位空间，所述第一支架伸入所述第一定位空间并与所述第一凸起部抵触。
在一些实施例中，所述第二支撑件还包括第二凸起部，所述第二凸起部自所述第二安装部朝远离所述盖板的一侧延伸以与所述第二安装部形成第二定位空间，所述第二支架伸入所述第二定位空间并与所述第二凸起部抵触。
在一些实施例中，多个所述第一支撑件绕所述第一限位空间的中心均匀分布
在一些实施例中，多个所述第二支撑件绕所述第二限位空间的中心均匀分布。
在一些实施例中，所述承载组件还包括调整单元。所述调整单元设置在所述第一支架并用于调整所述第一待检测件在所述第一限位空间内的位置，和/或所述调整单元设置在所述第二支架并用于调整所述第二待检测件在所述第二限位空间内的位置。
在一些实施例中，调整单元包括抵触件及驱动件。所述抵触件能够与待检测件抵触，所述驱动件与所述抵触件连接，并用于驱动所述抵触件移动以调整待检测件在限位空间内的位置。
在一些实施例中，所述盖板远离所述第一支架的一侧设置有转动轴，所述转动轴能够带动所述承载组件转动。
在一些实施例中，检测设备包括光源组件、信息采集组件及上述任意一项实施例所述的承载组件。其中所述光源组件及所述信息采集组件设置在所述第二支架远离所述盖板的一侧，所述光源组件用于投射光线至所述第一待检测件或所述第二待检测件，所述信息采集组件用于获取所述第一待检测件或所述第二待检测件在所述光线照射下的图像。
在一些实施例中，所述光源组件包括第一光源单元，所述第一光源单元设置在所述承载组件与所述信息采集组件之间。所述第一光源单元包括第一光源，所述第一光源能够投射第一光线至所述第一待检测件或所述第二待检测件，所述信息采集组件能够获取经所述第一待检测件或所述第二待检测件反射的第一光线以成像。
在一些实施例中，所述光源组件包括第二光源单元，所述第二光源单元设置在所述承载组件与所述信息采集组件之间。所述第二光源单元包括第二光源及光路改变子单元，所述第二光源用于投射第二光线；所述光路改变子单元用于反射部分所述第二光线至所述第一待检测件或所述第二待检测件、及用于透射经所述第一待检测件或所述第二待检测件反射回的所述第二光线，所述信息采集组件能够获取透射的所述第二光线以成像。
在一些实施例中，所述检测设备还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述光路改变子单元相对所述第二光源移动。
在一些实施例中，所述信息采集组件还包括第一采集单元及第二采集单元。所述第二待检测件与两个采集单元共同形成的视场相交于一个垂直于光轴的投影面，所述投影面的长度大于或等于所述第二待检测件的半径。
本申请实施例中的承载组件及检测设备，通过在承载组件上设置第一支撑件及第二支撑件来承载不同尺寸的待检测件，一方面由于承载组件能够承载两种不同尺寸的待检测件，无需更换支撑组件便能实现两种不同尺寸的检测，能够提高承载组件的利用率及生产效率，另一方面由于承载组件仅与待检测件的边缘接触，能够减小检测过程中对待检测件的污染及造成缺陷的几率。
本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。
附图说明
本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本申请某些实施方式的承载组件的立体结构示意图；
图2是本申请某些实施方式的承载组件的立体分解示意图；
图3是本申请某些实施方式的承载组件中第一支撑件的结构示意图；
图4是本申请某些实施方式的承载组件中第二支撑件的结构示意图；
图5是图1中的承载组件V处的放大示意图；
图6是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；
图7是本申请某些实施方式的检测设备另一角度的结构示意图；
图8是本申请某些实施方式的检测设备再一角度的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
市面上对于待检测件的检测要求越来越高，不仅需要检测待检测件正面的缺陷，还需要检测待检测件背面的缺陷。然而现有的待检测的承载装置大多数是平面，并且是直接将待检测件放置在该平面上，这样势必会导致待检测件的一面与平面物理接触，进而导致待检测件与平面的接触面产生污染和缺陷。
为了解决上述问题，请参阅图1及图2，本申请提供一种承载组件10。承载组件10包括盖板11、第一支架12、多个第一支撑件13、第二支架15及多个第二支撑件16。第一支架12设置在盖板11的第一侧111。第一支撑件13设置在第一支架12上，多个第一支撑件13共同限定第一限位空间14，第一限位空间14用于放置并限定具有第一尺寸的第一待检测件200。第二支架15设置在第一支架12远离盖板11的一侧。第二支撑件16设置在第二支架15上，多个第二支撑件16共同限定第二限位空间17，第二限定空间17用于承载并限定具有第二尺寸的第二待检测件300，第二尺寸大于第一尺寸。
本申请实施例中的承载组件10通过设置第一支撑件13及第二支撑件16来承载不同尺寸的待检测件，一方面由于承载组件10能够承载两种不同尺寸的待检测件，无需更换支撑组件便能实现两种不同尺寸的检测，能够提高承载组件10的利用率及生产效率，另一方面由于承载组件10仅与待检测件的边缘接触，能够减小检测过程中对待检测件的污染及造成缺陷的几率。
下面结合附图进行详细说明。
请参阅图1及图2，承载组件10包括盖板11、第一支架12、多个第一支撑件13、第二支架15及多个第二支撑件16。第一支架12设置在盖板11的第一侧111，第二支架15设置在第一支架12上，多个第一支撑件13设置在第一支架12上，多个第二支撑件16设置在第二支架15上。
具体地，盖板11包括相背设置的第一侧111及第二侧112，第一侧111相较于第二侧112更靠近第一支架12。在一些实施例中，盖板11的第二侧112上设置有转动轴113，外接设备可以通过驱动转动轴113转动，以带动整个承载组件10转动。如此可以实现对放置在承载组件10上的待检测件进行旋转检测。需要说明的是，待检测件包括但不限于晶圆、芯片、显示屏及光学元件中的至少一种。
第一支架12设置在盖板11的第一侧111。在一些实施例中，第一支架12与盖板11为一体成型的结构；或者，第一支架12与盖板11为分体成型的结构，并且第一支架12能固定安装在盖板11的第一侧111。如此，第一支架12能够与盖板11能够稳固连接，从而避免第一支架12从盖板11上脱落。当然，在一些实施例中，第一支架12与盖板11为分体结构，且第一支架12能够拆卸地安装在盖板11的第一侧111。具体地，在一个例子中，盖板11设置有第一安装孔114；第一支架12设置有第二安装孔121，第二安装孔121与第一安装孔114对应设置，紧固件(图未示)穿过第一安装孔114后锁紧在第二安装孔121内，以将第一支架12与盖板11能够拆卸地连接，如此，有利于对第一支架12、盖体11其承载组件10内的器件进行维修或替换。
请参阅图2，第一支架12包括相背设置的第一侧122及第二侧123，第一支架12的第二侧123相较于第一侧122更靠近盖板11。第一支架12还包括第一本体124及延伸臂125。第一本体124设置有第一腔1241，延伸臂125设置在第一本体124上，并且延伸臂125自第一本体124的内侧面朝第一腔1241的中心延伸。
在一些实施例中，请参阅图2，第一本体124还设置有第二腔1242，第二腔1242与第一腔1241连通，并且第二腔1242相较于第一腔1241更靠近盖板11，第二腔1242的开口尺寸大于第一腔1241的开口尺寸。如此，一方面能够为放置第一待检测件200提供避让空间；另一方面能够减小第一支架12的重量，从而减小承载组件10的重量。
请参阅图1及图2，多个第一支撑件13设置在第一支架12远离盖板11的一侧，即多个支撑件13设置在第一支架12的第一侧122，并且多个第一支撑件13共同限定第一限位空间14，以放置具有第一尺寸的第一待检测件200。由于第一支撑件13设置在第一支架12远离盖板11的一侧，相较于设置在第一支架12靠近盖板11的一侧，能够增加盖板11到第一限位空间14的距离，如此在将第一待检测件200放置进第一限位空间14内不容易损坏将第一待检测件200。承载组件10中的第一支撑件13的数量可以是两个、三个、四个、五个或者更多，在此不作限制。在一些实施例中，多个第一支撑件13绕第一限位空间14的中心均匀分布。例如，承载组件10包括四个第一支撑件13，四个支撑件14绕第一限位空间14的中心均匀分布。如此，一方面，能够将第一待检测件200稳定地限定在第一限位空间14内，避免第一待检测件200从第一限位空间14内脱落；另一方面，均匀分布的多个第一支撑件13能够使得限定第一待检测件200的力量更为均匀，对第一待检测件200提供保护。
需要说明的是，在一些实施例中，第一支架12的延伸臂125设置在第一本体124远离盖板11的一侧，即延伸臂125位于第一本体124的第一侧122，并与第一本体124形成阶梯126。若干第一支撑件13设置在第一本体124远离盖体11的一侧，若干第一支撑件13设置在延伸臂125远离盖体11的一侧。例如，承载组件10包括四个第一支撑件13，其中两个第一支撑件13设置在远离盖体11的一侧，另外两个第一支撑件13设置在延伸臂125远离盖体11的一侧。由于延伸臂125与第一本体124之间形成阶梯126，且部分第一支撑件13设置在延伸臂125上，如此能够进一步增加盖板11到延伸臂125之间的距离，为放置第一待检测件200提供避让空间，从而降低放置第一待检测件200的放置难度。
具体地，请参阅图1至图3及图5，第一支撑件13可包括第一安装部131及第一延伸部132，第一安装部131设置在第一支架12远离盖板11的一侧，即第一安装部131安装在第一支架12的第一侧122。在一些实施例中，第一安装部131可以通过紧固件与第一支架12可拆卸连接，如此有利于调节第一支撑件13的设置位置及替换损坏或不同尺寸的第一支撑件13。
在一些实施例中，第一安装部131还可包括第一凸起部1311，第一凸起部1311自第一安装部131朝盖板11延伸以与第一安装部131形成第一定位空间1312，第一支架12伸入第一定位空间1312内并与第一凸起部1311抵触。一方面，由于第一凸起部1311与第一安装部131形成第一定位空间1312，能够为在第一支架12上安装第一支撑件13时起到定位作用，以降低第一支撑件13的安装难度，从而降低承载组件10的组装难度；另一方面，由于第一凸起部1311与第一支架12抵触，能够避免在承载组件10转动过程中，第一支撑件13从第一支架12上脱落，从而避免待第一检测件200从承载组件10上脱落。
第一延伸部132自第一安装部131向第一限位空间14的中心延伸，第一延伸部132用于承载第一待检测件200并限定第一待检测件200于第一限位空间14内。如此第一待检测件200仅与承载组件10中第一支撑件13的第一延伸部132接触，能够减少第一待检测件200与承载件10的接触面积，从而减少对第一待检测件200的污染。
在一些实施例中，第一延伸部132可包括第一限位面1321，第一限位面1321可以为弧面或斜面中的任意一种，只需要和第一待检测件200的侧面对应即可。例如，当第一待检测件200的侧面为圆周面时，第一限位面1321可以为弧面；当第一待检测件200的侧面具有斜面时，第一限位面1321可以为斜面。由于第一限位面1321与第一待检测件200的侧面相对应，一方面能够在放置第一待检测件200时提供引导，方便将第一待检测件200放置在第一限位空间14内；另一方面能够防止承载组件10转动时第一支撑件13的应力集中的问题。
请参阅图2，第二支架15设置在第一支架12远离盖板11的一侧，即第二支架12设置在第一支架12的第一侧122。在一些实施例中，第一支架12与第二支架15为一体成型的结构；或者，第二支架15与第一支架12为分体成型的结构，并且第二支架15能固定安装在第一支架12的第一侧122。如此，第二支架15能够与第一支架12能够稳固连接，从而避免第二支架15从第一支架12上脱落。当然，在一些实施例中，第二支架15与第一支架12为分体成型的结构，并且第二支架15能够拆卸地安装在第一支架12的第一侧122。特别地，在一些实施例中，第一支架12能够可拆卸地安装在盖板11的第一侧111，并且第二支架15能够拆卸地安装在第一支架12的第一侧122，即盖板11、第一支架12及第二支架15之间均是可拆卸连接。具体地，盖板11设置有第一安装孔114；第一支架12设置有第二安装孔121；第二支架15设置有第三安装孔151，并且第一安装孔114、第二安装孔121及第三安装孔151均对应设置，紧固件(图未示)依次穿过第一安装孔114及第二安装孔121后锁紧在第三安装孔151内，以将盖板11、第一支架12及第二支架15依次能够拆卸地连接。如此有利于对盖体11、第一支架12、第二支架15及承载组件10内的器件进行维修或替换。
请参阅图1及图2，第二支架15包括相背设置的第一侧152及第二侧153，第二支架15的第二侧153相较于第一侧152更靠近第一支架12。多个第二支撑件16设置在第二支架15靠近盖板11的一侧，即多个第二支撑件16设置在第二支架15的第二侧153，多个第二支撑件16共同限定第二限位空间17，以放置具有第二尺寸的第二待检测件300。由于第二支撑件16设置在第二支架15的第二侧153，相较于设置在第二支架15的第一侧152，能够减小承载组件10的纵向尺寸。承载组件10中的第二支撑件16的数量可以是两个、三个、四个、五个或者更多，在此不作限制。在一些实施例中，多个第二支撑件16绕第二限位空间17的中心均匀分布。例如，承载组件10包括四个第二支撑件16，四个第二支撑件16绕第二限位空间17的中心均匀分布。如此，一方面，能够将第二待检测件300稳定地限定在第二限位空间17内，避免第二待检测件300从第二限位空间17内脱落；另一方面，均匀分布的多个第二支撑件16能够使得限定第二待检测件300的力量更为均匀，对第二待检测件300提供保护。
需要说明的是，第一限位空间14内放置的第一待检测件200具有第一尺寸，第二限位空间17内放置的第二待检测件300具有第二尺寸，并且第二尺寸大于第一尺寸。也即是说，本申请实施例中的承载组件10能够用于承载两种不同尺寸的待检测件，从而提高了承载组件10的利用率。
具体地，请参阅图2、图4及图5，第二支撑件16可包括第二安装部161及第二延伸部162，第二安装部161设置在第二支架15靠近第一支架12的一侧，即第二安装部161安装在第二支架15的第二侧153。在一些实施例中，第二安装部161可以通过紧固件与第二支架15可拆卸连接，如此有利于调节第二支撑件16的设置位置及替换损坏或不同尺寸的第二支撑件16。
在一些实施例中，第二安装部161还可包括第二凸起部1611，第二凸起部1611自第二安装部161朝远离盖板11的一侧延伸以与第二安装部161形成第二定位空间1612，第二支架15伸入第二定位空间1612内并与第二凸起部1611抵触。一方面，由于第二凸起部1611与第二安装部161形成第二定位空间1612，能够为在第二支架15上安装第二支撑件16时起到定位作用，以降低第二支撑件16的安装难度，从而降低承载组件10的组装难度；另一方面，由于第二凸起部1611与第二支架15抵触，能够避免在承载组件10转动过程中，第二支撑件16从第二支架15上脱落，从而避免第二待检测件300从承载组件10上脱落。
第二延伸部162自第二安装部161向第二限位空间17的中心延伸，第二延伸部162用于承载第二待检测件300并限定第二待检测件300于第二限位空间17内。如此第二待检测件300仅与承载组件10中第二支撑件16的第二延伸部162接触，能够减少第二待检测件300与承载件10的接触面积，从而减少对待第二检测件300的污染。
在一些实施例中，第二延伸部162可包括第二限位面1621，第二限位面1621可以为弧面或斜面中的任意一种，只需要和第二待检测件300的侧面对应即可。例如，当第二待检测件300的侧面为圆周面时，第二限位面1621可以为弧面；当第二待检测件300的侧面具有斜面时，第二限位面1621可以为斜面。由于第二限位面1621与第二待检测件300的侧面相对应，一方面能够在放置第二待检测件300时提供引导，方便将第二待检测件300放置在第二限位空间17内；另一方面能够防止承载组件10转动时第二支撑件16的应力集中的问题。
请参阅图1及图2，在一些实施例中，承载组件10还可包括调整单元18。调整单元18可以设置在第一支架12上远离盖板11的一侧，即调整单元18设置在第一支架12的第一侧122，并用于调整第一待检测件200在第一限位空间14内的位置；调整单元18还可以设置在第二支架15靠近第一支架12的一侧，即调整单元18设置在第二支架15的第二侧153，并用于调整第二待检测件300在第二限位空间17内的位置。以下以调整单元18设置在第一支架12以调整第一待检测件200在第一限位空间14内的位置为例进行说明。具体地，调整单元18可包括抵触件181及驱动件182，抵触件181能够与第一待检测件200抵触，驱动件182与抵触件181连接。当需要移动放置在第一限位空间14内的第一待检测件200时，驱动件181驱动抵触件181移动并带动第一待检测件200移动，以调整第一待检测件200在第一限位空间14内的位置。当调整完第一待检测件200的位置后，抵触件181可以保持与第一待检测件200抵触，如此能够限制第一待检测件200在第一限位空间14内运动，从而避免第一待检测件200从第一限位空间14内脱落。当然，在一些实施例中，当调整完第一待检测件200的位置后，驱动件182能够驱动抵触件181回到调整前的位置，在此不作限制。调整单元18设置在第二支架15以调整第二待检测件300在第二限位空间17内的位置的具体实施方式相同，在此不再赘述。
需要说明的是，第一支架12上可以设置多个调整单元18，如此可以从多个方向调整第一待检测件200在第一限位空间14内的位置。同样地第二支架15上也可以设置多个调整单元18，如此可以从多个方向调整第二待检测件300在第二限位空间17内的位置。多个调整单元18对第一待检测件200的位置进行调整或多个调整单元18对第二待检测件300的位置进行调整，使得调整更为灵活，便捷。
请参阅图1及图6，本申请还提供一种检测设备100。检测设备100包括光源组件20、信息采集组件30及上述任意一实施例所述的承载组件10。光源组件20及信息采集组件30设置在第二支架15远离盖板11的一侧，光源组件20用于投射光线至第一待检测件200或第二待检测件300，信息采集组件30用于获取第一待检测件200或第二待检测件300在光线照射下的图像。
本申请实施例中检测设备100，通过在承载组件10上设置第一支撑件13及第二支撑件16来承载不同尺寸的待检测件，一方面由于承载组件10能够承载两种不同尺寸的待检测件，能够提高承载组件的利用率，另一方面由于承载组件10仅与待检测件的边缘接触，能够减小检测过程中对待检测件的污染及造成缺陷的几率。
具体地，请参阅图6，光源组件20设置在第二支架15远离盖板11的一侧，光源组件20用于投射光线至第一待检测件200或第二待检测件300。光源组件20包括第一光源单元21，第一光源单元21设置在承载组件10与信息采集组件30之间。第一光源单元21包括第一光源211。第一光源211能够投射第一光线至第一待检测件200或第二检测件300后反射到信息采集组件30中以成像。
需要说明的是，本实施例中的第一光源211是同轴光源，提供明场照明，明场光源发出的光经第一待检测件200或第二待测件300反射后能够入射到信息采集组件30中，有利于观察者观察大颗粒的污染物、芯片错位等缺陷。第一光源211包括但不限于发光二极管(LED)。
在半导体检测领域，一些划痕、凹坑等缺陷，如果通过明场照明光路来进行检测，由于光线对比度较差，检测效果不明显，有时可能造成误检，不能达到精确检测的目的。鉴于此，本检测设备还包括暗场照明光路，请参阅图6，在一些实施例中，照射组件20还可包括第二光源单元22，第二光源单元22可包括第二光源221，第二光源221可以是线性光源，设置在承载组件10与信息采集组件30之间。第二光源221提供暗场照明，通过该暗场照明光路，能够清晰的检测出待检测件中的划痕、凹坑等缺陷。
由于本检测设备10中的承载装置100可以承载两种尺寸的待检测件，因此拥有该承载装置10的检测设备100可以检测两种尺寸的待检测件。又由于检测设备100只在承载装置10的本体11所在的平面内做旋转运动，信息采集组件30只做竖直运动，这样就导致成像光路是固定不动的。但是检测设备100在检测两种不同尺寸的待检测件的时候，由于两种不同尺寸的待检测件处在不同的高度，必须要不断地改变第二光源221的位置，从而改变照明光路，使不同高度的待检测件反射的光线都被信息采集组件30接收。但是这样效率势必降低，不满足工业化生产检测的需要。
为了解决该技术问题，本专利提案同时设计了光路改变子单元222，光路改变子单元222能够将第二光线反射至第一待检测件200或第二待检测件300，光路改变子单元222同时能够移动，改变其与第二光源221之间的距离，因此能够改变照射到不同高度的待检测件的位置，这样就能够使成像组件30采集到不同高度处的待检测件的缺陷信息。
在本实施例中的光路改变子单元222包括一个半反半透镜，第二光源221向光路改变子单元222投射第二光线，光路改变子单元222用于将第二光线反射至第一待检测件200或第二待检测件300，还用于透射经过第一待检测件200或第二待检测件300反射回的第二光线，以使经过第一待检测件200或第二待检测件300的第二光线入射到信息采集组件30中以成像。
在一些实施例中，检测设备100还可包括驱动组件(图未示)，驱动组件用于驱动光路改变子单元222相对第二光源221移动，以使第二光源221发射的第二光线能够照射到第一待检测件200或第二待检测件300中。
在一些实施例中，检测设备100中可以同时设置有第一光源单元21及第二光源单元22，即检测设备100中可以同时设置有明场光源及暗场光源。在检测过程中，可以根据需要在第一光源单元21与第二光源单元22中切换使用，即根据需要可以在明场光源和暗场光源之间进行切换，以便于观察者观测各类缺陷。而且检测设备100的承载装置10具有能够承载至少两种尺寸的待检测件，能够对至少两种尺寸的待检测件进行精确检测。
另外，检测设备100采用旋转扫描方式，在检测过程中保持光源组件20和信息采集组件30不动，通过使承载装置10旋转，这样能够较少信号采集过程中的震动，使采集的信号更加准确。更重要的是，检测设备100旋转扫描方式，不用使用XY移动平台，从而很大程度上减少了机台的面积。
请参阅图6及图7，信息采集组件30设置在光源单元20远离承载组件10的一侧，信息采集组件30能够获取第一待检测件200或第二待检测件300在第一光线或第二光学照射下的图像。具体地，信息采集组件30包括第一采集单元31及第二采集单元32，此时第一光源单元21可以包括两个通孔212，每一个通孔212分别与一个采集单元对应设置，以使每个采集单元均能获取第一待检测件200或第二待检测件300在第一光线或第二光学照射下的图像。
在一些实施例中，第二待检测件300与两个采集单元(第一采集单元31及第二采集单元32)共同形成的视场相交于一个垂直于光轴的投影面，并且投影面的长度大于或等于第二待检测件300的半径。示例地，请参阅图7及图8，第二待检测件300与第一采集单元31的视场相交于一个垂直于光轴的第一投影面41，第二待检测件300与第二采集单元32的视场相交于一个垂直于光轴的第二投影面42。当第一投影面41与第二投影面42没有重合部分时(如图8所示)，第二待检测件300与两个采集单元(第一采集单元31及第二采集单元32)共同形成的视场相交于一个垂直于光轴的投影面的长度为第一投影面41的长度加第二投影面42的长度；当第一投影面41与第二投影面42部分重合部分时，第二待检测件300与两个采集单元(第一采集单元31及第二采集单元32)共同形成的视场相交于一个垂直于光轴的投影面的长度为第一投影面41的长度加第二投影面42的长度减去重合部分的长度。
由于第二待检测件300与两个采集单元(第一采集单元31及第二采集单元32)共同形成的视场相交于一个垂直于光轴的投影面的长度大于或等于第二待检测件300的半径，承载组件10只需要旋转一圈，信息采集组件30即可获得第二待检测件300整个表面的信息，从而实现承载组件10需要旋转一圈即可完成对第二待检测件300的扫描拍摄。另外，由于第二待检测件300的尺寸大于第一待检测件200的尺寸，当第二待检测件300与两个采集单元(第一采集单元31及第二采集单元32)共同形成的视场相交于一个垂直于光轴的投影面的长度大于或等于第二待检测件300的半径时，该投影面的长度必然大于第一待检测件200的半径，如此承载组件10只需要旋转一圈，信息采集组件30即可获得第一待检测件200整个表面的信息，从而实现承载组件10需要旋转一圈即可完成对第一待检测件200的扫描拍摄。
需要说明的是，第一待检测件200与第二待检测件300可分时检测。例如，当需要检测第一待检测件200时，将第一待检测件200放置在承载组件10的第一限位空间14内进行检测；当需要检测第二待检测件300时，将第二待检测件300放置在承载组件10的第二限位空间16内进行检测。
在一些实施例中，信息采集组件30可根据待检测件放置位置来调整成像光路。示例地，当检测第二待检测件300时，由于第二待检测件300承载在第二限位空间17，相较于承载在第一限位空间14的第一待检测件200更靠近信息采集组件30，信息采集组件30的成像光路下移以聚焦；当检测第一待检测件200时，由于第一待检测件200承载在第一限位空间14，相较于承载在第二限位空间17的第二待检测件300更远离信息采集组件30，信息采集组件30的成像光路上移以聚焦。如此能对第一待检测件200或第二待检测件300表面清晰成像。
在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。
尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (18)

1.一种承载组件，其特征在于，所述承载组件包括：
盖板；
第一支架，所述第一支架设置在所述盖板的第一侧；
多个第一支撑件，所述第一支撑件设置在所述第一支架，多个所述第一支撑件共同限定第一限位空间，所述第一限位空间用于放置并限定具有第一尺寸的第一待检测件；
第二支架，所述第二支架设置在所述第一支架远离所述盖板的一侧；及
多个第二支撑件，所述第二支撑件设置在所述第二支架，多个所述第二支撑件共同限定第二限位空间，所述第二限位空间用于放置并限定具有第二尺寸的第二待检测件，所述第二尺寸大于所述第一尺寸。
2.根据权利要求1所述的承载组件，其特征在于，
所述第一支架与所述盖板为一体成型结构；或
所述第一支架与所述盖板为分体成型结构，所述第一支架能够拆卸地安装在所述盖板的第一侧；或
所述第一支架与所述盖板为分体成型结构，所述第一支架能固定安装在所述盖板的第一侧。
3.根据权利要求1所述的承载组件，其特征在于，
所述第一支架与所述第二支架为一体成型结构；或
所述第一支架与所述第二支架为分体成型结构，所述第一支架能够拆卸地安装在所述第二支架的第一侧；或
所述第一支架与所述第二支架为分体成型结构，所述第一支架能固定安装在所述第二支架的第一侧。
4.根据权利要求1所述的承载组件，其特征在于，所述第一支架包括：
第一本体，所述第一本体设置有第一腔；及
位于所述第一腔内的延伸臂，所述延伸臂自所述第一本体的内侧面朝所述第一腔的中心延伸，所述延伸臂位于所述第一本体的远离所述盖板的一侧并与所述第一本体形成阶梯，若干所述第一支撑件设置在所述第一本体，若干所述第一支撑件设置在所述延伸臂。
5.根据权利要求4所述的承载组件，其特征在于，所述第一本体设置有第二腔，所述第一腔与所述第二腔连通，所述第二腔相较于所述第一腔更靠近所述盖板。
6.根据权利要求1所述的承载组件，其特征在于，所述第一支撑件包括第一安装部及第一延伸部，所述第一安装部安装在所述第一支架，所述第一延伸部自所述第一安装部向所述第一限位空间的中心延伸，所述第一延伸部用于承载所述第一待检测件并限定所述第一待检测件于所述第一限位空间内；和/或
所述第二支撑件包括第二安装部及第二延伸部，所述第二安装部安装在所述第二支架，所述第二延伸部自所述第二安装部向所述第二限位空间的中心延伸，所述第二延伸部用于承载所述第二待检测件并限定所述第二待检测件于所述第二限位空间内。
7.根据权利要求6所述的承载件，其特征在于，所述第一延伸部包括第一限位面，所述第一限位面为弧面或斜面；和/或
所述第二延伸部包括第二限位面，所述第二限位面为弧面或斜面。
8.根据权利要求6所述的承载件，其特征在于，所述第一支撑件的第一安装部安装在所述第一支架的远离所述盖板的一侧；和/或
所述第二支撑件的第二安装部安装在所述第二支架的靠近所述盖板的一侧。
9.根据权利要求8所述的承载件，其特征在于，所述第一支撑件还包括第一凸起部，所述第一凸起部自所述第一安装部朝所述盖板延伸以与所述第一安装部形成第一定位空间，所述第一支架伸入所述第一定位空间并与所述第一凸起部抵触；和/或。
所述第二支撑件还包括第二凸起部，所述第二凸起部自所述第二安装部朝远离所述盖板的一侧延伸以与所述第二安装部形成第二定位空间，所述第二支架伸入所述第二定位空间并与所述第二凸起部抵触。
10.根据权利要求1所述的承载件，其特征在于，多个所述第一支撑件绕所述第一限位空间的中心均匀分布；和/或
多个所述第二支撑件绕所述第二限位空间的中心均匀分布。
11.根据权利要求1-10任意一项所述的承载件，其特征在于，所述承载组件还包括：
调整单元，所述调整单元设置在所述第一支架并用于调整所述第一待检测件在所述第一限位空间内的位置，和/或所述调整单元设置在所述第二支架并用于调整所述第二待检测件在所述第二限位空间内的位置。
12.根据权利要求11所述的承载件，其特征在于，所述调整单元包括：
抵触件，所述抵触件能够与待检测件抵触；及
驱动件，所述驱动件与所述抵触件连接，并用于驱动所述抵触件移动以调整待检测件在限位空间内的位置。
13.根据权利要求1-10任意一项所述的承载组件，其特征在于，所述盖板远离所述第一支架的一侧设置有转动轴，所述转动轴能够带动所述承载组件转动。
14.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括：
光源组件；
信息采集组件；及
权利要求1至13任意一项所述的承载组件，其中：
所述光源组件及所述信息采集组件设置在所述第二支架远离所述盖板的一侧，所述光源组件用于投射光线至所述第一待检测件或所述第二待检测件，所述信息采集组件用于获取所述第一待检测件或所述第二待检测件在所述光线照射下的图像。
15.根据权利要求14所述的检测设备，其特征在于，所述光源组件包括第一光源单元，所述第一光源单元设置在所述承载组件与所述信息采集组件之间；
所述第一光源单元包括第一光源，所述第一光源能够投射第一光线至所述第一待检测件或所述第二待检测件，所述信息采集组件能够获取经所述第一待检测件或所述第二待检测件反射的第一光线以成像。
16.根据权利要求14或15所述的检测设备，其特征在于，所述光源组件包括第二光源单元，所述第二光源单元设置在所述承载组件与所述信息采集组件之间；
所述第二光源单元包括第二光源及光路改变子单元，所述第二光源用于投射第二光线；所述光路改变子单元用于反射所述第二光线至所述第一待检测件或所述第二待检测件、及用于透射经所述第一待检测件或所述第二待检测件反射回的所述第二光线，所述信息采集组件能够获取透射的所述第二光线以成像。
17.根据权利要求16所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括：
驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述光路改变子单元相对所述第二光源移动。
18.根据权利要求14所述的检测设备，其特征在于，所述信息采集组件还包括：
第一采集单元，及
第二采集单元，所述第二待检测件与所述第一采集单元及所述第二采集单元共同形成的视场相交于一个垂直于光轴的投影面，所述投影面的长度大于或等于所述第二待检测件的半径。
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