CN110808001A - 一种oled面板显示缺陷检测设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种OLED面板显示缺陷检测设备,包括工作台、暗箱罩、载物台、光源组件、摄像组件和图像分析装置,所述暗箱罩罩设在所述工作台的上方,并围合形成一个不透光的腔室,且所述暗箱罩上设有可打开或关闭的门,所述载物台、光源组件和摄像组件均置于所述腔室内,所述图像分析装置设置在所述腔室内或腔室外,且所述摄像组件与所述图像分析装置电连接,所述载物台用以水平放置待检测的OLED面板,所述光源组件用以照射待检测的OLED面板上端面,所述摄像组件用以拍摄待检测的OLED面板上端面的图像信息,所述图像分析装置用以将所述摄像组件拍摄的图像信息输送至图像分析装置进行数据分析。其结构简单,提高检测效率,降低人工劳动强度和人工误检率。
Description
技术领域
本发明涉及一种检测设备,尤其涉及一种OLED面板显示缺陷检测设备。
背景技术
OLED显示屏比LCD更轻薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高、柔性好、发光效率高,能满足消费者对显示技术的新需求。全球越来越多的显示器厂家纷纷投入研发,大大的推动了OLED的产业化进程。OLED显示器是现在市场占有率正不断扩大的电子显示设备,产品在生产出厂时都会进行显示缺陷的检测。现有技术中,这种检测方法一般是人眼测试,即让OLED显示不同的颜色,然后通过人眼观察是否存在缺陷以及判断缺陷的类型和尺寸是否达到品质要求,由于太依赖于人眼本身,长期测试之后人员眼睛容易疲劳,容易出现漏检测或者错检测的情况,另外由于人员的主观性和视力的差距,人眼检测无法给出统一的判断标准,即相同的缺陷不同的人会得到不同的判定结果。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明的目的在于提供一种结构简单,能准确检测的OLED显示缺陷的检测设备,且其替代产线检验作业人员,提升产品不良缺陷的检出率。
为了实现上述目的,本发明技术方案如下:一种OLED面板显示缺陷检测设备,包括工作台、暗箱罩、载物台、光源组件、摄像组件和图像分析装置,所述暗箱罩罩设在所述工作台的上方,并围合形成一个不透光的腔室,且所述暗箱罩上设有可打开或关闭的门,所述载物台、光源组件和摄像组件均置于所述腔室内,所述图像分析装置设置在所述腔室内或腔室外,且所述摄像组件与所述图像分析装置电连接,所述载物台用以水平放置待检测的OLED面板,所述光源组件用以照射待检测的OLED面板上端面,所述摄像组件用以拍摄待检测的OLED面板上端面的图像信息,所述图像分析装置用以将所述摄像组件拍摄的图像信息输送至图像分析装置进行数据分析。
上述技术方案的有益效果在于,其结构简单,设置暗箱罩并由暗箱罩与工作台共同围合形成额腔室作为暗室,在将待检测的OLED面板置于暗室中的载物台上,然后OLED产品点亮后进行检测画面的切换,再由摄像组件对待检测的OLED面板上端面切换的画面图像进行拍摄,再由图像分析装置对所摄得的图像进行分析,通过图像所拍摄待检测的OLED面板上端面检测画面缺陷的对比度差异可判断出待检测的OLED面板是否存在缺陷,如此可替代人工操作,提高检测效率,降低人工劳动强度和人工误检率。
上述技术方案中所述载物台置于所述工作台的上端中部,所述光源组件设置在所述工作台上端并位于所述载物台附近,其照射方向朝向所述载物台上端,所述摄像组件悬设在所述载物台的上方,其拍射方向朝向所述载物台的上端。
上述技术方案的有益效果在于,其结构简单,且使得置于载物台上待检测的OLED面板的上端面将光源组件反射出的光线经其反射至摄像组件,摄像组件对待检测的OLED面板上端面表面灰尘图像进行拍摄,再由图像分析装置对所摄得的图像进行分析记录用以进行表面异物干扰的滤除,从而降低待检测的OLED面板的因表面异物的干扰而导致的误判情况。
上述技术方案中所述载物台为二维移动平台,待检测的OLED面板水平放置在所述二维移动平台上,所述二维移动平台用以带动置于其上的OLED面板在水平面内作二维移动。
上述技术方案的有益效果在于,便于从多角度照射和多角度拍摄待检测的OLED面板来检测其缺陷情况。
上述技术方案中所述光源组件包括两个光照单元,两个所述光照单元分别设置在所述工作台的上端,并位于所述载物台的左右两侧,且两个所述光照单元的光照方向均朝所述载物台上端。
上述技术方案的有益效果在于,其结构简单,使得载物台上端待检测的OLED面板的光线分布更加均匀。
上述技术方案中所述光照单元包括滑座和灯头,两个所述滑座滑动安装在所述工作台上端,并位于所述载物台的两侧,其在所述工作台上沿左右方向滑动至靠近或远离所述载物台,所述灯头安装在对应所述滑座上。
上述技术方案的有益效果在于,其结构简单,如此进一步的使得每个灯头照射到载物台上的角度可调。
上述技术方案中所述灯头通过铰座安装在所述滑座上,且所述铰座与所述滑座滑动连接,所述铰座在所述滑座上沿上下方向滑动,且所述铰座上设有定位件,所述定位件用以将所述铰座固定在其滑动轨迹的任意位置,所述灯头竖向转动安装在所述铰座上,以调整其照射所述载物台上方的角度。
上述技术方案的有益效果在于,使得灯头照射到载物台上的光线角度进一步的可调。
上述技术方案中所述摄像组件包括上摄像单元和下摄像单元,所述上摄像单元设置在所述暗箱罩内壁上或安装在所述工作台上,所述下摄像单元安装在所述工作台上,且所述上摄像单元和下摄像单元的摄像头均朝向所述载物台上端,所述上摄像单元和下摄像单元均与所述图像分析装置电连接。
上述技术方案的有益效果在于,其结构简单,如此使得上摄像单元、下摄像单元以及两个光照单元可从多个角度照射并从多个角度拍摄来对待检测的OLED面板的进行检测。
上述技术方案中所述上摄像单元设有两个,每个所述上摄像单元包括升降机构和第一面阵相机,所述升降机构安装在所述暗箱罩的内壁上,所述第一面阵相机安装在对应所述升降机构的升降端上,且每个所述第一面阵相机摄像头朝向所述载物台上端,两个所述第一面阵相机分别与所述图像分析装置电连接。
上述技术方案的有益效果在于,通过升降机构调整对应第一面阵相机的水平高度,以便于调整对应第一面阵相机拍摄所述载物台上端的角度。
上述技术方案中所述下摄像单元设有两个,每个所述下摄像单元分别包括球面移动机构和第二面阵相机,两个所述球面移动机构分别安装在所述工作台上,并位于所述载物台的左右两侧,两个所述球面移动机构的驱动端的移动范围为一球面且均在同一圆球面内,所述载物台位于所述球面移动机构的驱动端的移动范围的球心处,两个所述第二面阵相机分别安装在对应所述球面移动机构的驱动端,且其摄像头朝向所述载物台的上端。
上述技术方案的有益效果在于,其结构简单,设置球面移动机构使得对应的第二面阵相机拍摄载物台上的角度可调。
上述技术方案中所述球面移动机构包括支撑杆、第一圆弧形滑轨、第二圆弧形滑轨和滑块,所述第一圆弧形滑轨水平设置并通过竖直设置的支撑杆悬设于同一侧所述光照单元的上方,且其弧口朝向所述载物台,所述第二圆弧形滑轨竖向滑动安装在对应所述第一圆弧形滑轨上,其可沿所述第一圆弧形滑轨长度方向滑动,且所述第二圆弧形滑轨的弧心与对应所述第一圆弧形滑轨的弧心重合,所述滑块滑动安装在对应所述第二圆弧形滑轨上,所述第二面阵相机安装在对应所述滑块上,且其摄像头朝向所述载物台的上端。
上述技术方案的有益效果在于,其结构简单,使得整个滑块可在球面内移动。
附图说明
图1为本发明实施例所述OLED面板显示缺陷检测设备的结构简图;
图2为本发明实施例所述载物台、光照组件和摄像组件的配合图;
图3为本发明实施例所述载物台、光照组件和下摄像单元的配合图;
图4为本发明实施例所述载物台与光照组件的分布图;
图5为本发明实施例所述载物台的俯视图。
图中:1工作台、2暗箱罩、3载物台、31第一底板、32 X向滑板、33 X向丝杆、34 Y向滑板、35 Y向丝杆、4光源组件、41光照单元、411滑座、412灯头、413铰座、414定位件、5摄像组件、51上摄像单元、511升降机构、512第一面阵相机、52下摄像单元、521球面移动机构、5211支撑杆、5212第一圆弧形滑轨、5213第二圆弧形滑轨、5214滑块、522第二面阵相机。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
本实施例提供了一种OLED面板显示缺陷检测设备,包括工作台1、暗箱罩2、载物台3、光源组件4、摄像组件5和图像分析装置,所述暗箱罩2罩设在所述工作台的上方,并围合形成一个不透光的腔室,且所述暗箱罩2上设有可打开或关闭的门,所述载物台3、光源组件4和摄像组件5均置于所述腔室内,所述图像分析装置设置在所述腔室内或腔室外,且所述摄像组件5与所述图像分析装置电连接,所述载物台3用以水平放置待检测的OLED面板,所述光源组件4用以照射待检测的OLED面板上端面,所述摄像组件5用以拍摄待检测的OLED面板上端面的图像信息,所述图像分析装置用以将所述摄像组件5拍摄的图像信息输送至图像分析装置进行数据分析。其结构简单,设置暗箱罩并由暗箱罩与工作台共同围合形成额腔室作为暗室,在将待检测的OLED面板置于暗室中的载物台上,再由光源组件为待检测的OLED面板上端提供光源,然后由摄像组件对待检测的OLED面板上端面拍摄,再由图像分析装置对所摄得的图像进行分析,通过图像所拍摄待检测的OLED面板上端面光线的明暗均匀度可判断出待检测的OLED面板是否存在缺陷,如此可替代人工操作,提高检测效率,降低人工劳动强度和人工误检率。
上述技术方案中所述载物台3置于所述工作台1的上端中部,所述光源组件4设置在所述工作台1上端并位于所述载物台3附近,其照射方向朝向所述载物台3上端,所述摄像组件5悬设在所述载物台3的上方,其拍射方向朝向所述载物台3的上端,其结构简单,且使得置于载物台上待检测的OLED面板的上端面将光源组件反射出的光线经其反射至摄像组件,从而使得待检测的OLED面板的缺陷处的光反射异常而导致成像时在缺陷处光亮度明暗不均。
上述技术方案中所述载物台3为二维移动平台,待检测的OLED面板水平放置在所述二维移动平台上,所述二维移动平台用以带动置于其上的OLED面板在水平面内作二维移动,便于从多角度照射和多角度拍摄待检测的OLED面板来检测其缺陷情况。其中,所述二维移动平台3包括第一底板31、X向滑板32、X向丝杆33、Y向滑板34和Y向丝杆35,其中,所述第一底板水平固定安装在所述工作台上端中部(第一底板或与工作台一体成型),所述X向滑板滑动安装在所述第一底板上端,并在所述第一底板上可沿前后方向滑动,所述X向丝杆沿前后方向水平设置在所述第一底板的上方,并贯穿所述X向滑板且与其螺纹连接,所述X向丝杆的两端分别通过轴承座与第一底板前后端转动连接,而所述Y向滑板滑动安装在所述X向滑板上,并在所述X向滑板上可沿左右方向滑动,所述Y向丝杆沿左右方向水平设置在所述X向滑板的上方,并贯穿所述Y向滑板且与其螺纹连接,所述Y向丝杆的两端分别通过轴承座与所述X向滑板的左右两端转动连接,所述X向丝杆和Y向丝杆的任意一端均同轴固定安装有手轮。
上述技术方案中所述光源组件4包括两个光照单元41,两个所述光照单元41分别设置在所述工作台1的上端,并位于所述载物台3的左右两侧,且两个所述光照单元41的光照方向均朝所述载物台3上端,其结构简单,使得载物台上端待检测的OLED面板的光线分布更加均匀。
上述技术方案中所述光照单元41包括滑座411和灯头412,所述滑座411滑动安装在所述工作台1上端,并位于所述载物台3的对应侧,其在所述工作台1上沿左右方向滑动至靠近或远离所述载物台3,所述灯头412安装在对应所述滑座411上,其结构简单,如此进一步的使得每个灯头照射到载物台上的角度可调。
上述技术方案中所述灯头412通过铰座413安装在所述滑座411上,且所述铰座413与所述滑座411滑动连接,其在所述滑座411上了上下滑动,且所述铰座413上设有定位件414,优选的,所述定位件414为第一锁紧螺栓,所述铰座上设有与第一锁紧螺栓相配合的螺孔,且螺孔的一端靠近滑座,拧紧所述第一锁紧螺栓以使得所述铰座413固定在其滑动轨迹的任意位置,所述灯头412通过螺栓和螺帽转动安装在所述铰座413上,所述灯头412沿所述铰座413竖向转动,且拧紧所述螺栓和螺帽使得所述灯头412固定在其转动角度范围内的任意角度(铰座的两侧壁均具有一定的弹性形变量,拧紧螺栓使得铰座的两侧形变并夹紧灯头,而拧松螺栓则铰座将灯头松开),使得灯头照射到载物台上的光线角度进一步的可调。
上述技术方案中所述摄像组件5包括上摄像单元51和下摄像单元52,所述上摄像单元51设置在所述暗箱罩2内壁上或安装在所述工作台1上,所述下摄像单元52安装在所述工作台1上,且所述上摄像单元51和下摄像单元52的摄像头均朝向所述载物台3上端,所述上摄像单元51和下摄像单元52均与所述图像分析装置电连接,其结构简单,如此使得上摄像单元、下摄像单元以及两个光照单元可从多个角度照射并从多个角度拍摄来对待检测的OLED面板的进行检测。
上述技术方案中所述上摄像单元51设有两个,每个所述上摄像单元51包括升降机构511和第一面阵相机512,所述升降机构511安装在所述暗箱罩2的内壁上,所述第一面阵相机512安装在对应所述升降机构511的升降端上,且每个所述第一面阵相机512摄像头朝向所述载物台3上端,两个所述第一面阵相机512分别与所述图像分析装置电连接,通过升降机构调整对应第一面阵相机的水平高度,以便于调整对应第一面阵相机拍摄所述载物台上端的角度。其中,所述升降机构可为丝杆升降机构,其包括第二底板、Z向滑块和Z向丝杆,所述第二底板竖直设置,所述Z向滑块滑动安装在所述第二底板上,其在所述第二底板上可沿上下方向滑动,所述Z向丝杆竖向设置并贯穿所述Z向滑块且与其螺纹连接,而所述Z向丝杆的两端通过轴承座转动安装在所述第二底板的上下两端,所述Z向丝杆的下端同轴固定安装有手轮(其原理同二维移动平台),其中Z向滑块构成所述升降机构的升降端,其中两个所述第二底板分别竖直安装在所述暗箱罩前后两侧的内侧壁上,且两个Z向滑块相互靠近,而所述第一面阵相机通过转接头安装在所述升降机构的升降端,所述转接头为U形,其转动安装(转动方向为沿水平面转动)在所述升降机构的驱动端的下端,且其开口朝下,而第一面阵相机置于所述转接头的U形槽内,所述第一面阵相机上设有连接块,所述连接块位于所述转接头的U形槽内,并通过螺母和一根水平的螺栓与所述转接头的两侧侧壁连接,拧紧该螺栓则使得转接头将连接块夹紧,使其角度固定,而拧松该螺栓,则使得连接块可在转接头内转动以调节第一面阵相机的倾斜方向。
上述技术方案中所述下摄像单元52设有两个,每个所述下摄像单元52分别包括球面移动机构521和第二面阵相机522,两个所述球面移动机构521分别安装在所述工作台1上,并位于所述载物台3的左右两侧,两个所述球面移动机构521的驱动端的移动范围为一球面且均在同一圆球面内,所述载物台3位于所述球面移动机构521的驱动端的移动范围的球心处,两个所述第二面阵相机522分别安装在对应所述球面移动机构521的驱动端,且其摄像头朝向所述载物台3的上端,其结构简单,设置球面移动机构使得对应的第二面阵相机拍摄载物台上的角度可调。
上述技术方案中所述球面移动机构521包括支撑杆5211、第一圆弧形滑轨5212、第二圆弧形滑轨5213和滑块5214,所述第一圆弧形滑轨5212水平设置并通过竖直设置的支撑杆5211悬设于同一侧所述光照单元41的上方,且其弧口朝向所述载物台3,所述第二圆弧形滑轨5213竖向滑动安装在对应所述第一圆弧形滑轨5212上,其可沿所述第一圆弧形滑轨5212长度方向滑动,且所述第二圆弧形滑轨5213的弧心与对应所述第一圆弧形滑轨5212的弧心重合,所述滑块5214滑动安装在对应所述第二圆弧形滑轨5213上,所述第二面阵相机522安装在对应所述滑块5214上,且其摄像头朝向所述载物台3的上端,其结构简单,使得整个滑块可在球面内移动。其中,所述第二圆弧形滑轨下端在所述第一圆弧形滑轨上的滑动轨迹为圆弧形,且其滑动轨迹与所述第一圆弧形滑轨同轴分布,所述滑块上安装有第二锁紧螺栓,拧紧所述第二锁紧螺栓使得所述滑轨固定在其滑动轨迹的任意位置,其中,第一锁紧螺栓和第二锁紧螺栓的原理均类似于游标卡尺上的锁紧螺栓,在此不作赘述。
其中,两个第一面阵相机和两个第二面阵相机中包括三个彩色相机和一个黑白相机,具体的,一个第一面阵相机为黑白分辨率为47M的黑白面阵相机,其主要检测OLED面板上亮、暗点,亮、暗线,面状不良等缺陷,而余下的第一面阵相机为彩色分辨率为20M的彩色面阵相机,该相机主要负责大角度上可见的颜色类缺陷,如:色彩污渍,面状色彩不良,混色等;其中升降机构可调整两个第一面阵相机至待检测的OLED面板上端的距离,已实现调整相机的FOV大小的目的,使其能够满足测试不同尺寸产品的检测要求,而两个第二面阵相机均为彩色分辨率为3.2M的彩色面阵相机,主要是负责检测需侧视能看到的缺陷或侧视时缺陷比较明显的不良以及曲面产品的圆弧面上的不良缺陷,两个第二面阵相机通过球面移动机构调节其拍摄角度,而载物台两侧的光照单元是为了照亮产品表面的灰尘等异物,以在检测时做滤除表面异物干扰。
在OLED面板进行检测时将其平置于载物台上,调节载物台使得OLED面板移动至检测区域,通过调整升降机构使得两个第一面阵相机的水平高度,同时使得待检测的OLED面板位于两个所述第一面阵相机的视野中心位置,然后再调整两个第二面阵相机的拍摄角度,其拍摄角度优选的为与水平面夹角为30°,该角度下可观测到带检测OLED面板表面的大部分不良率,再调整两个光照单元使得两个灯头能够照亮产品表面的异物,可以被两个第一面阵相机和两个第二面阵相机拍到表面状况,以做后期表面滤除使用,产品检验时首先进行点灯画面的图片拍摄然后进行表面异物状况的图片拍摄,最后经图像分析装置得出产品检验结果。
其中,所述图像分析装置为工控机或电脑,且其与摄像组件均通过数据线电连接。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,包括工作台(1)、暗箱罩(2)、载物台(3)、光源组件(4)、摄像组件(5)和图像分析装置,所述暗箱罩(2)罩设在所述工作台的上方,并围合形成一个不透光的腔室,且所述暗箱罩(2)上设有可打开或关闭的门,所述载物台(3)、光源组件(4)和摄像组件(5)均置于所述腔室内,所述图像分析装置设置在所述腔室内或腔室外,且所述摄像组件(5)与所述图像分析装置电连接,所述载物台(3)用以水平放置待检测的OLED面板,所述光源组件(4)用以照射待检测的OLED面板上端面,所述摄像组件(5)用以拍摄待检测的OLED面板上端面的图像信息,所述图像分析装置用以将所述摄像组件(5)拍摄的图像信息输送至图像分析装置进行数据分析。
2.根据权利要求1所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述载物台(3)置于所述工作台(1)的上端中部,所述光源组件(4)设置在所述工作台(1)上端并位于所述载物台(3)附近,其照射方向朝向所述载物台(3)上端,所述摄像组件(5)悬设在所述载物台(3)的上方,其拍射方向朝向所述载物台(3)的上端。
3.根据权利要求2所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述载物台(3)为二维移动平台,待检测的OLED面板水平放置在所述二维移动平台上,所述二维移动平台用以带动置于其上的OLED面板在水平面内作二维移动。
4.根据权利要求3所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述光源组件(4)包括两个光照单元(41),两个所述光照单元(41)分别设置在所述工作台(1)的上端,并位于所述载物台(3)的左右两侧,且两个所述光照单元(41)的光照方向均朝向所述载物台(3)上端。
5.根据权利要求4所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述光照单元(41)包括滑座(411)和灯头(412),两个所述滑座(411)滑动安装在所述工作台(1)上端,并位于所述载物台(3)的两侧,其可在所述工作台(1)上沿左右方向滑动至靠近或远离所述载物台(3),所述灯头(412)安装在对应的所述滑座(411)上。
6.根据权利要求5所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述灯头(412)通过铰座(413)安装在所述滑座(411)上,且所述铰座(413)与所述滑座(411)滑动连接,所述铰座在所述滑座(411)上沿上下方向滑动,且所述铰座(413)上设有定位件(414),所述定位件(414)用以将所述铰座(413)固定在其滑动轨迹的任意位置,所述灯头(412)竖向转动安装在所述铰座(413)上,以调整其照射所述载物台上方的角度。
7.根据权利要求4-6任一项所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述摄像组件(5)包括上摄像单元(51)和下摄像单元(52),所述上摄像单元(51)设置在所述暗箱罩(2)内壁上或安装在所述工作台(1)上,所述下摄像单元(52)安装在所述工作台(1)上,且所述上摄像单元(51)和下摄像单元(52)的摄像头均朝向所述载物台(3)上端,所述上摄像单元(51)和下摄像单元(52)均与所述图像分析装置电连接。
8.根据权利要求7所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述上摄像单元(51)设有两个,每个所述上摄像单元(51)包括升降机构(511)和第一面阵相机(512),所述升降机构(511)安装在所述暗箱罩(2)的内壁上,所述第一面阵相机(512)安装在对应所述升降机构(511)的升降端上,且每个所述第一面阵相机(512)摄像头朝向所述载物台(3)上端,两个所述第一面阵相机(512)分别与所述图像分析装置电连接。
9.根据权利要求8所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述下摄像单元(52)设有两个,每个所述下摄像单元(52)分别包括球面移动机构(521)和第二面阵相机(522),两个所述球面移动机构(521)分别安装在所述工作台(1)上,并位于所述载物台(3)的左右两侧,两个所述球面移动机构(521)的驱动端的移动范围为一球面且均在同一圆球面内,所述载物台(3)位于所述球面移动机构(521)的驱动端的移动范围的球心处,两个所述第二面阵相机(522)分别安装在对应所述球面移动机构(521)的驱动端,且其摄像头朝向所述载物台(3)的上端。
10.根据权利要求9所述的OLED面板显示缺陷检测设备,其特征在于,所述球面移动机构(521)包括支撑杆(5211)、第一圆弧形滑轨(5212)、第二圆弧形滑轨(5213)和滑块(5214),所述第一圆弧形滑轨(5212)水平设置并通过竖直设置的支撑杆(5211)悬设于同一侧所述光照单元(41)的上方,且其弧口朝向所述载物台(3),所述第二圆弧形滑轨(5213)竖向滑动安装在对应所述第一圆弧形滑轨(5212)上,其可沿所述第一圆弧形滑轨(5212)长度方向滑动,且所述第二圆弧形滑轨(5213)的弧心与对应所述第一圆弧形滑轨(5212)的弧心重合,所述滑块(5214)滑动安装在对应所述第二圆弧形滑轨(5213)上,所述第二面阵相机(522)安装在对应所述滑块(5214)上,且其摄像头朝向所述载物台(3)的上端。
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