CN114485389A - 畸变像差校正处理装置、畸变像差校正方法及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种畸变像差校正处理装置，其即使在摄像装置的光轴相对于测定对象物的表面倾斜的状态下也能够高精度地进行畸变像差校正。在存储部中存储有摄像装置的像面上的被从基准点放射状延伸的多个边界线划分的多个区段各自的表示用于校正像面上的坐标的坐标校正率与距基准点的距离之间的关系的畸变像差校正信息。处理部根据校正对象部位在像面内的坐标从多个区段中选择至少一个区段，并根据所选择的区段的畸变像差校正信息及从基准点至校正对象部位为止的距离来确定坐标校正率，并且根据所确定的坐标校正率来对校正对象部位的坐标进行校正。

Description

畸变像差校正处理装置、畸变像差校正方法及存储介质

本申请主张基于2020年10月26日申请的日本专利申请第2020-178944号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考而援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种畸变像差校正处理装置、畸变像差校正方法及存储介质。

背景技术

在使油墨从喷墨头滴落于对象物上从而进行描绘的喷墨装置、使激光束入射到对象物上从而进行钻孔加工的激光加工装置及使激光束入射到作为对象物的半导体基板上从而进行退火的激光退火装置等中，检测设置于对象物上的对准标记来进行对象物的定位。此时，通过对拍摄有对准标记的图像进行图像处理来检测对准标记的位置。

为了高精度地检测对准标记的位置，优选对透镜的畸变像差进行校正(例如，下述专利文献1)。在专利文献1中公开的畸变像差校正方法中，设定五维的多项校正式作为将从像面的原点至畸变后的像为止的距离(像高)调整为畸变前的距离的函数。使用该多项校正式，将畸变后的距离校正为畸变前的距离。

专利文献1：日本特开2001-133223号公报

若摄像装置的光轴相对于测定对象物的表面倾斜，则根据以像面的原点为中心的周向上的位置，应校正畸变的量会发生变化。然而，在专利文献1中公开的校正方法中，仅通过距像面的原点的距离来进行畸变的校正，因此无法在摄像装置的光轴倾斜的状态下高精度地进行畸变像差的校正。

发明内容

本发明的目的在于提供一种即使在摄像装置的光轴相对于测定对象物的表面倾斜的状态下也能够高精度地进行畸变像差校正的畸变像差校正处理装置、畸变像差校正方法及存储介质。

根据本发明的一观点，提供一种畸变像差校正处理装置，其具备：

存储部，存储有摄像装置的像面上的被从基准点放射状延伸的多个边界线划分的多个区段各自的畸变像差校正信息，所述畸变像差校正信息表示用于校正所述像面上的坐标的坐标校正率与距所述基准点的距离之间的关系；及

处理部，根据校正对象部位在所述像面内的坐标从所述多个区段中选择至少一个区段，并根据所选择的区段的所述畸变像差校正信息及从所述基准点至所述校正对象部位为止的距离来确定坐标校正率，并且根据所确定的坐标校正率来校正所述校正对象部位的坐标。

根据本发明的另一观点，提供一种畸变像差校正方法，其具备如下步骤：

使用摄像装置来拍摄测定对象物，其中，所述摄像装置的像面内的被从基准点放射状延伸的多个边界线划分的多个区段各自的畸变像差校正信息已知，所述畸变像差校正信息表示用于校正图像内的坐标的坐标校正率与距所述基准点的距离之间的关系，

确定所述像面内的要进行坐标校正的校正对象部位，

根据所述校正对象部位在所述像面内的位置从所述多个区段中选择至少一个区段，

根据所选择的区段的所述畸变像差校正信息及从所述基准点至所述校正对象部位为止的距离来确定坐标校正率，

根据所确定的坐标校正率来校正所述校正对象部位的坐标。

根据本发明的又一观点，提供一种存储介质，其存储有程序，所述程序被计算机执行以执行如下步骤：

获取使用摄像装置来拍摄的测定对象物的图像，其中，所述摄像装置的像面内的被从基准点放射状延伸的多个边界线划分的多个区段各自的畸变像差校正信息已知，所述畸变像差校正信息表示用于校正图像内的坐标的坐标校正率与距所述基准点的距离之间的关系；

从使用所述摄像装置拍摄的图像中确定要进行校正的校正对象部位；

根据所述校正对象部位在所述像面内的坐标从所述多个区段中选择至少一个区段；

根据所选择的区段的所述畸变像差校正信息及从所述基准点至所述校正对象部位为止的距离来确定坐标校正率；及

根据所确定的坐标校正率来校正所述校正对象部位的坐标。

通过将像面划分为多个区段并使用针对各个区段设定的畸变像差校正信息来进行畸变的校正，即使在摄像装置的光轴相对于测定对象物的表面倾斜的状态下也能够高精度地进行畸变像差校正。

附图说明

图1是基于实施例的畸变像差校正处理装置的框图。

图2是表示畸变像差校正信息的内容的图。

图3是用于说明对校正对象部位在像面内的坐标进行校正的方法的图表。

图4是表示对校正对象部位在像面内的坐标进行校正的步骤的流程图。

图5中(A)是表示使用远心透镜拍摄矩阵状排列的多个标记而获得的像的分布的图，图5中(B)是表示使用本实施例的方法从标记的像的坐标计算出的标记的校正后的坐标的图。

图6中(A)及(B)分别是表示摄像装置的光轴相对于测定对象物的表面垂直的情况下的假设没有畸变像差时及假设有畸变像差时的像面内的标记的像的图，图6中(C)是标绘了针对像面的对角线方向的x方向上的坐标校正率D_x与距像面的中心点的距离r之间的关系的图表。

图7中(A)及(B)分别是表示摄像装置的光轴相对于测定对象物的表面倾斜的情况下的假设没有畸变像差时及假设有畸变像差时的像面内的标记的像的图，图7中(C)是在不区分像面的四个对角线方向的情况下标绘了针对像面的对角线方向的x方向上的坐标校正率D_x与距像面的中心点的距离r之间的关系的图表，图7中(D)是区分区段Q1～Q4而标绘了针对像面的对角线方向的x方向上的坐标校正率D_x与距像面的中心点的距离r之间的关系的图表。

图8中(A)是基于另一实施例的喷墨描绘装置的概略主视图，图8中(B)是表示可动工作台、油墨吐出单元及摄像装置的俯视观察时的位置关系的图。

图9是表示使用喷墨描绘装置进行描绘的步骤的流程图。

图中：10-畸变像差校正处理装置，11-输入/输出接口部，12-处理部，13-存储部，14-程序，15-畸变像差校正信息，20-喷墨描绘装置，22-基座，23-支承部件，24-移动机构，24X-X方向移动机构，24Y-Y方向移动机构，25-可动工作台，30-油墨吐出单元，32-喷嘴，40-摄像装置，41-摄像装置的像面，50-控制装置，80-基板，81-对准标记。

具体实施方式

参考图1～图9对基于一实施例的畸变像差校正处理装置进行说明。

图1是基于一实施例的畸变像差校正处理装置10的框图。基于本实施例的畸变像差校正处理装置10具备输入/输出接口部11、处理部12及存储部13。处理部12例如可以使用计算机。存储部13中存储有供计算机执行的程序14。存储部13中还存储有畸变像差校正信息15。关于畸变像差校正信息15的内容，将在后面参考图2进行说明。作为存储部13，例如可以使用硬盘驱动器(HDD)、固态硬盘(SSD)等辅助存储器。

处理部12经由输入/输出接口部11从摄像装置40获取图像数据。处理部12进行图像分析，从而检测出图像内的对准标记的像的坐标。该像的坐标受到透镜的畸变像差的影响而从表示实际对准标记的位置的实际坐标偏离。处理部12使用存储于存储部13中的畸变像差校正信息15来校正像的坐标，从而减小与对准标记的实际坐标之间的误差。之后，将校正后的坐标经由输入/输出接口部11传递至控制装置50。控制装置50根据对准标记的校正后的坐标进行各种处理。处理部12和控制装置50也可以由共同的计算机来实现。此时，处理部12无需经由输入/输出接口部11即可将对准标记的校正后的坐标传递至控制装置50。

图2是表示畸变像差校正信息15的内容的图。在摄像装置40(图1)的像面41上定义有以基准点O为原点的xy正交坐标系统。摄像装置40的视场角范围内的物点被转印到像面41上。像面41例如为正方形或长方形，基准点O为正方形或长方形的中心。x轴及y轴被定义为与像面41的某一边平行。

像面41被从基准点O放射状延伸的多个边界线BL划分为多个区段Q1～Q4。在本实施例中，采用连接基准点O与像面41的各边的中点的线段作为边界线BL。四个边界线BL对应于x轴的正的部分及负的部分、y轴的正的部分及负的部分，区段Q1～Q4分别对应于xy坐标系统的第1象限～第4象限。

受到透镜的畸变像差等的影响，与某个观测点相对应的像点P₁的位置从假设透镜没有像差时的像点P₀的位置偏离。畸变像差校正信息15为用于校正像点P₁的坐标而获得无像差时的像点P₀的坐标的信息，其包含x方向上的坐标校正率D_x及y方向上的坐标校正率D_y。

接着，对区段Q1的畸变像差校正信息15的求法进行说明。使用摄像装置40(图1)拍摄形成有位置已知的多个标记的观测对象物而获取图像。多个标记例如为格子图案的格点。移动观测对象物直至成为观测对象物的基准点的标记的像与像面41的基准点O一致。例如，可以分析拍摄了标记的图像来检测标记的像的位置，并根据检测结果使观测对象物移动，以使成为基准点的标记的像与像面41的基准点O一致。为了提高使两者一致的精度，可以重复进行多次该步骤。

通过分析所获得的图像，从多个标记的像点抽取位于以基准点O为一端的区段Q1的对角线上的多个像点。将所抽取的多个像点中的一个像点标记为P₁。将与像点P₁相对应的无像差时的像点标记为P₀。通过进行图像分析来求出像点P₁的坐标。将与像点P₁相对应的无像差时的像点P₀的坐标标记为(x₀，y₀)，将像点P₁的坐标标记为(x₁，y₁)。由以下式定义x方向上的坐标校正率D_x及y方向上的坐标校正率D_y。

[数式1]

x方向上的坐标校正率D_x为从无像差时的像点P₀至实际像点P₁为止的x方向上的位移量x₁-x₀与从基准点O至无像差时的像点P₀为止的x方向上的长度x₀之比。y方向上的坐标校正率D_y为从无像差时的像点P₀至实际像点P₁为止的y方向上的位移量y₁-y₀与从基准点O至无像差时的像点P₀为止的y方向上的长度y₀之比。通常，透镜的畸变像差在像面的中心较小而在周边部较大。因此，坐标校正率D_x、D_y依赖于距基准点O的距离r。

在将从基准点O至实际像点P₁为止的距离r作为横轴且将x方向上的坐标校正率D_x作为纵轴的图表上标绘针对对角线上的多个像点P₁的测定结果。确定使所标绘的多个点的分布近似的近似曲线。由此，如图2所示，针对区段Q1，x方向上的坐标校正率D_x被定义为距离r的函数。相同地，y方向上的坐标校正率D_y也被定义为距离r的函数。由此，针对区段Q1，求出畸变像差校正信息15。在图2所示的区段Q1的畸变像差校正信息15的图表中，分别由粗实线及细实线来表示x方向上的坐标校正率D_x及y方向上的坐标校正率D_y的一例。

针对其他区段Q2～Q4，也可以利用相同方法求出畸变像差校正信息15。所求出的畸变像差校正信息15存储于存储部13(图1)中。在畸变像差不依赖于以基准点O为中心的放射方向的情况下，坐标校正率D_x、D_y在区段Q1～Q4之间大致相同。然而，实际上，基于各种原因，坐标校正率D_x、D_y在区段Q1～Q4之间存在偏差。作为出现偏差的原因，例如可以举出摄像装置40的光轴相对于观测对象物的表面倾斜等。

接着，参考图3及图4对将像面41内的某个部位(以下，称为校正对象部位)的坐标校正为无像差时的坐标的方法进行说明。

图3是用于说明对校正对象部位Pt在像面41内的坐标进行校正的方法的图表。图4是表示对校正对象部位Pt在像面41内的坐标进行校正的步骤的流程图。

首先，确定像面41内的校正对象部位Pt。校正对象部位Pt例如相当于对准标记的像的中心点。根据校正对象部位Pt的位置从四个区段Q1～Q4中选择两个区段(步骤S1)。例如，选择划分四个区段Q1～Q4的边界线BL中的与从基准点O朝向校正对象部位Pt的方向所呈角度最小的边界线BL两侧的两个区段。在图3中，y轴的正的部分相当于满足该条件的边界线BL。选择y轴的正的部分的两侧的两个区段Q1及Q2。

接着，根据所选择的两个区段Q1、Q2各自的畸变像差校正信息15(图1及图2)对与从基准点O至校正对象部位Pt为止的距离r相对应的区段Q1、Q2的坐标校正率D_x、D_y进行加权平均，从而求出校正对象部位Pt的位置上的坐标校正率D_xt(r)、D_yt(r)(步骤S2)。例如，根据从基准点O朝向所选择的两个区段Q1、Q2的几何中心的方向(相当于区段Q1、Q2的对角线方向)与从基准点O朝向校正对象部位Pt的方向所呈角度来进行加权平均。

在将从基准点O朝向所选择的两个区段Q1、Q2的几何中心的方向与从基准点O朝向校正对象部位Pt的方向所呈角度分别标记为θ₁、θ₂时，校正对象部位Pt上的坐标校正率D_xt(r)、D_yt(r)由以下式表示。

[数式2]

其中，D_x1(r)、D_y1(r)分别为针对区段Q1所求出的x方向及y方向上的坐标校正率，D_x2(r)、D_y2(r)分别为针对区段Q2所求出的x方向及y方向上的坐标校正率。

接着，根据校正对象部位Pt上的加权平均后的坐标校正率D_xt、D_yt来对校正对象部位Pt在像面内的坐标进行校正(步骤S3)。例如，在将校正对象部位Pt的坐标标记为(x₁，y₁)且将校正后的坐标标记为(x₀，y₀)时，使用以下式计算出校正后的坐标。

[数式3]

接着，参考图5中(A)及(B)对本实施例的优异效果进行说明。

图5中(A)是表示使用远心透镜拍摄矩阵状排列的多个标记而获得的像的分布的图。另外，在图5中(A)中，将从无像差时的标记的像至实际的像为止的偏移量放大100倍而示出。由图5中(A)可知，产生了桶形的畸变像差。

图5中(B)是表示使用本实施例的方法从标记的实际的像的坐标计算出的标记的像的校正后的坐标的图。在图5中(B)中，也将从无像差时的标记的像至坐标校正后的像为止的偏移量放大100倍而示出。由图5中(B)可知，畸变像差得到了校正，从而得到了接近于原始的矩阵状配置的分布。

如此，通过使用上述实施例的方法，能够校正透镜的畸变像差以使标记的像的坐标接近于无像差时的坐标。

接着，参考图6及图7对摄像装置40(图1)的光轴相对于测定对象物的表面倾斜的状态下也能够高精度地校正畸变像差的理由进行说明。

图6中(A)及(B)分别是表示摄像装置40的光轴相对于测定对象物的表面垂直的情况下假设没有畸变像差时及假设有畸变像差时的像面41内的标记的像的图。图6中(A)及(B)的横轴及纵轴分别表示x方向及y方向上的位置。在格子图案的格点上配置有多个标记。在图6中(A)及(B)中，用涂成黑色的圆形标记来表示标记的像。

在假设没有畸变像差的情况下，如图6中(A)所示，多个标记的像的位置与正方格子的格点一致。在假设有畸变像差的情况下，如图6中(B)所示，标记的像的位置从格点偏离。在图6中(B)中，假设产生了明显大于通常的透镜的畸变像差的桶形的畸变像差。

图6中(C)是在不区分四个对角线方向的情况下标绘了针对像面的对角线方向的x方向上的坐标校正率D_x与距像面的中心点的距离r之间的关系的图表。由于畸变像差对以像面的中心点为旋转中心的旋转方向的依赖性较低，因此针对四个对角线方向所标绘的多个测定点可以用一个近似曲线精确地近似。

图7中(A)及(B)分别是表示摄像装置40的光轴相对于测定对象物的表面倾斜的情况下的假设没有畸变像差时及假设有畸变像差时的像面41内的标记的像的图。图7中(A)及(B)的横轴及纵轴分别表示x方向及y方向上的位置。在格子图案的格点上配置有多个标记。在图7中(A)及(B)中，用涂成黑色的圆形标记来表示标记的像。

由于摄像装置40的光轴倾斜，因此如图7中(A)所示，即使在假设没有畸变像差的情况下，标记的像的位置也从格点偏离。由于没有畸变像差，因此测定对象物上的直线的像在像面内也成为直线。例如，在多个标记的分布区域的外周线为正方形的情况下，在像面41内，标记的像的分布区域的外周线成为梯形。

若假设图7中(A)所示的标记的像的分布产生与图6中(B)所示的畸变像差相同的像差，则如图7中(B)所示，假设有畸变像差时的标记的像的分布区域成为合成了梯形和桶形的形状。

图7中(C)是在不区分像面41的四个对角线方向的情况下标绘了针对像面41的对角线方向的x方向上的坐标校正率D_x与距像面41的中心点的距离r之间的关系的图表。畸变像差的大小及朝向在对角线方向之间彼此不同，因此与图6中(C)所示的情况相比，所标绘的测定点在纵轴方向上分布在更宽的范围内。即使针对该分布设定一个近似曲线，从近似曲线求出的坐标校正率与各测定点上的坐标校正率之间的误差也大。

图7中(D)是区分区段Q1～Q4而标绘了针对像面41的对角线方向的x方向上的坐标校正率D_x与距像面的中心点的距离r之间的关系的图表。图表中的方形标记、三角形标记及圆形标记分别标绘了位于区段Q2、Q3、Q4的对角线上的测定点。另外，针对区段Q1的多个测定点也计算出了坐标校正率，但是在图7中(D)中并未示出测定点。

图7中(D)的图表中的细虚线、细实线、粗虚线及粗实线分别为使区段Q1～Q4的x方向上的坐标校正率的测定点的分布近似的近似曲线。若着眼于一个区段，则从近似曲线求出的坐标校正率与多个测定点上的坐标校正率之间的误差小。

在摄像装置40的光轴相对于测定对象物的表面倾斜的情况下，若根据图7中(C)所示的一个近似曲线来进行校正对象部位的坐标的校正，则根据校正对象部位的位置，校正后的坐标与无像差时的坐标之间的误差会变大。相对于此，在本实施例中，在步骤S1(图4)中，选择图7中(D)所示的四个近似曲线中的更准确地反映了校正对象部位上的坐标校正率的两个近似曲线。

而且，在步骤S2(图4)中，根据反映了校正对象部位上的坐标校正率的程度对从两个近似曲线求出的坐标校正率进行加权平均。因此，即使在摄像装置40的光轴相对于测定对象物的表面倾斜的情况下，也能够使用接近于校正对象部位上的实际坐标校正率的坐标校正率来进行坐标的校正。因此，能够提高坐标的校正精度。

接着，对上述实施例的变形例进行说明。

在上述实施例中，将像面41(图2)划分为四个区段Q1～Q4，但是，区段的个数并不只限于四个。区段的个数只要为两个以上即可。例如，在图7中(D)所示的例子中，区段Q1与区段Q4的近似曲线彼此近似，区段Q2与区段Q3的近似曲线彼此近似。因此，即使将区段Q1和区段Q4归纳为一个区段且将区段Q2和区段Q3归纳为一个区段，也能够在一定程度上维持较高的坐标校正精度。

并且，在上述实施例中，针对四个区段Q1～Q4的各个对角线上的多个像点P₁(图2)求出了坐标校正率，并且根据该坐标校正率来设定了一个近似曲线。作为成为用于设定近似曲线的依据的多个像点P₁，并不只限于对角线上，也可以考虑区段内的其他像点P₁上的坐标校正率来设定一个近似曲线。

例如，针对夹在从基准点O朝向一个区段内的两个放射方向之间的区域内的多个像点P₁求出坐标校正率也可。此时，为了设定强烈反映了区段内的多个像点P₁上的坐标校正率的一个近似曲线，优选以使夹在两个放射方向之间的区域包含区段的几何中心的方式设定两个放射方向。

并且，在上述实施例中，在步骤S1(图4)中选择两个区段时，选择四个边界线BL中的与从基准点O朝向校正对象部位Pt的方向所呈角度最小的边界线BL两侧的两个区段。除此之外，也可以选择校正对象部位Pt上的坐标校正率高精度地近似的两个区段。

例如，在图7中(D)所示的例子中，区段Q1的近似曲线与区段Q4的近似曲线相对于距离r的变化呈现出相同的倾向。这意味着校正对象部位Pt位于区段Q1或区段Q4内时校正对象部位Pt上的坐标校正率在区段Q1及区段Q4中高精度地近似。因此，在校正对象部位Pt位于区段Q1或区段Q4的情况下，在步骤S1(图4)中，优选选择区段Q1及区段Q4作为两个区段。基于相同的理由，在校正对象部位Pt位于区段Q2或区段Q3的情况下，在步骤S1(图4)中，优选选择区段Q2及区段Q3作为两个区段。

并且，在上述实施例中，在步骤S1(图4)中选择了两个区段，但是也可以选择一个区段。例如，在角度θ₁(图3)为0°或足够小的情况下，可以仅选择区段Q1。只要根据角度θ₁的大小确定选择一个区段还是选择两个区段即可。

接着，参考图8及图9对基于另一实施例的喷墨描绘装置进行说明。基于本实施例的喷墨描绘装置搭载有基于图1～图4所示的实施例的畸变像差校正装置。

图8中(A)是喷墨描绘装置20的概略主视图。在基座22上，经由移动机构24支承有可动工作台25。定义x轴及y轴朝向水平方向且z轴朝向铅垂方向下方的xyz正交坐标系统。控制装置50控制移动机构24以使可动工作台25沿x方向及y方向这两个方向移动。作为移动机构24，例如可以使用包括X方向移动机构24X及Y方向移动机构24Y的XY载台。

在可动工作台25的上表面上保持有作为描绘对象的基板80。基板80例如通过真空卡盘而固定于可动工作台25上。在可动工作台25的上方，例如通过门型的支承部件23支承有油墨吐出单元30及摄像装置40。

摄像装置40拍摄基板80的上表面。更具体而言，摄像装置40拍摄基板80的上表面中的摄像装置40的视场角范围内的区域。由摄像装置40获取的图像被输入至畸变像差校正处理装置10。

控制装置50从畸变像差校正处理装置10接收基板80的位置信息。控制装置50根据该位置信息来控制移动机构24及油墨吐出单元30，从而使油墨滴落于基板80表面上的规定位置上。由此，在基板80的表面上形成规定形状的油墨的膜。

图8中(B)是表示可动工作台25、油墨吐出单元30及摄像装置40的俯视观察时的位置关系的图。在可动工作台25的上表面上保持有基板80。在基板80的上方，支承有油墨吐出单元30及摄像装置40。在油墨吐出单元30的与基板80相向的表面上设置有多个喷嘴32。控制装置50控制移动机构24以使可动工作台25沿x方向及y方向移动，并且，控制装置50控制从油墨吐出单元30的各喷嘴32的油墨的吐出。

在基板80的四个角上分别形成有对准标记81。控制装置50使移动机构24动作以使各个对准标记81配置于摄像装置40的视场角范围内，从而能够由摄像装置40拍摄对准标记81。

图9是表示使用喷墨描绘装置进行描绘的步骤的流程图。首先，控制装置50使移动机构24动作以使一个对准标记81移动到摄像装置40的视场角范围内(步骤S11)。之后，摄像装置40拍摄对准标记81(步骤S12)。所拍摄的图像数据输入至畸变像差校正处理装置10。畸变像差校正处理装置10分析对准标记81的图像，从而检测出对准标记81的像在像面内的坐标(步骤S13)。对准标记81的像的坐标的检测可以使用公知的算法(例如，图案匹配等)。

畸变像差校正处理装置10通过执行基于图4所示的实施例的步骤来校正对准标记81的像的坐标(步骤S14)。反复进行步骤S11至步骤S14的处理，直至对所有对准标记81进行坐标的校正(步骤S15)。

若对所有对准标记81完成坐标的校正，则畸变像差校正处理装置10向控制装置50(图8中(A)及(B))传递对准标记81的像的校正后的坐标(步骤S16)。控制装置50根据对准标记81的像的校正后的坐标来执行描绘处理(步骤S17)。

接着，对本实施例的优异效果进行说明。

由于基于本实施例的喷墨描绘装置搭载有图1～图4所示的畸变像差校正处理装置10，因此能够高精度地测量对准标记81的位置。尤其，即使在摄像装置40的光轴相对于基板80的表面倾斜的情况下，也能够抑制对准标记81的位置的测量精度下降。

接着，对图8及图9所示的实施例的变形例进行说明。在图8及图9所示的实施例中，将基于图1～图4所示的实施例的畸变像差校正处理装置10搭载于喷墨描绘装置上，但是，基于图1～图4所示的实施例的畸变像差校正处理装置10也可以搭载于其他装置上。例如，也可以搭载于将激光束照射到对象物上来进行钻孔加工的激光加工装置、对作为对象物的半导体基板照射激光束来进行退火的激光退火装置等上。

上述各实施例为示例，理所当然，在不同的实施例中示出的结构的一部分可以进行置换或组合。关于多个实施例中的基于相同结构的相同的作用效果，并不在每个实施例中逐一提及。而且，本发明并不只限于上述实施例。例如，可以进行各种变更、改进、组合等，这对本领域的技术人员来说是显而易见的。

Claims (5)

1.一种畸变像差校正处理装置，其特征在于，具备：

存储部，存储有摄像装置的像面上的被从基准点放射状延伸的多个边界线划分的多个区段各自的畸变像差校正信息，所述畸变像差校正信息表示用于校正所述像面上的坐标的坐标校正率与距所述基准点的距离之间的关系；及

处理部，根据校正对象部位在所述像面内的坐标从所述多个区段中选择至少一个区段，并根据所选择的区段的所述畸变像差校正信息及从所述基准点至所述校正对象部位为止的距离来确定坐标校正率，并且根据所确定的坐标校正率来校正所述校正对象部位的坐标。

2.根据权利要求1所述的畸变像差校正处理装置，其特征在于，

所述像面的形状为正方形或长方形，

所述基准点位于所述像面的中心，

所述多个边界线为连接所述像面的中心与四个边的中点的四个线段。

3.根据权利要求1或2所述的畸变像差校正处理装置，其特征在于，

所述处理部在校正所述校正对象部位的坐标的处理中，

选择所述多个边界线中的与从所述基准点朝向所述校正对象部位的方向所呈角度最小的边界线两侧的两个区段，

根据从所述基准点朝向所选择的两个区段各自的几何中心的方向与从所述基准点朝向所述校正对象部位的方向所呈角度，对所选择的两个区段的所述畸变像差校正信息的坐标校正率进行加权平均，并且根据加权平均的坐标校正率来校正所述校正对象部位的坐标。

4.一种畸变像差校正方法，其特征在于，具备如下步骤：

使用摄像装置来拍摄测定对象物，其中，所述摄像装置的像面内的被从基准点放射状延伸的多个边界线划分的多个区段各自的畸变像差校正信息已知，所述畸变像差校正信息表示用于校正图像内的坐标的坐标校正率与距所述基准点的距离之间的关系，

确定所述像面内的要进行坐标校正的校正对象部位，

根据所述校正对象部位在所述像面内的位置从所述多个区段中选择至少一个区段，

根据所选择的区段的所述畸变像差校正信息及从所述基准点至所述校正对象部位为止的距离来确定坐标校正率，

根据所确定的坐标校正率来校正所述校正对象部位的坐标。

5.一种存储介质，其存储有程序，其特征在于，

所述程序被计算机执行以执行如下步骤：

获取使用摄像装置来拍摄的测定对象物的图像，其中，所述摄像装置的像面内的被从基准点放射状延伸的多个边界线划分的多个区段各自的畸变像差校正信息已知，所述畸变像差校正信息表示用于校正图像内的坐标的坐标校正率与距所述基准点的距离之间的关系；

从使用所述摄像装置拍摄的图像中确定要进行校正的校正对象部位；

根据所述校正对象部位在所述像面内的坐标从所述多个区段中选择至少一个区段；

根据所选择的区段的所述畸变像差校正信息及从所述基准点至所述校正对象部位为止的距离来确定坐标校正率；及

根据所确定的坐标校正率来校正所述校正对象部位的坐标。

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