CN114471159A - 一种剥离废液流动式初步过滤装置及过滤方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种剥离废液流动式初步过滤装置及过滤方法，涉及剥离液分离回收技术领域。本发明中：过滤膜带两侧固定配置有边侧导条，过滤装置内部设有用于传感检测导入腔液体高度的液位探测器。过滤装置的两侧壁面固定设有位于边侧导条内围的壁面固定挡条，壁面固定挡条下端转角位置开设有转角槽，壁面固定挡条的转角槽位置处弹性支撑安装有转向导轮；过滤装置内配置有用于夹持定位边侧导条的下架杆、侧夹杆，下架杆、侧夹杆位于边侧导条外围；位于过滤装置外部的过滤膜带布置路径上依次配置有第一张紧装置、第一传动装置、热处理回收系统、第二传动装置和第二张紧装置。本发明实现了过滤膜的过滤自动监测、自动更换、自动回收处理。

Description

一种剥离废液流动式初步过滤装置及过滤方法

技术领域

本发明涉及剥离液分离回收技术领域，尤其涉及一种剥离废液流动式初步过滤装置及过滤方法。

背景技术

在PR剥离工艺[处理光刻胶]时，可以用剥离液除去光刻胶，剥离液兼具溶解和剥离的功能，有的成分使PR彭润，有的成为可以浸透入PR与膜之间的界面，PR彭润分解，溶解于剥离液中。

而剥离液、光刻胶的混合液体进行分离时，常规的过滤装置中，过滤膜在使用一定时间后，其过滤性能下降，需要取下换上新的过滤膜。这样就存在一些问题：何时更换过滤膜，手动更换需要专门派遣技术人员看管，更换后的过滤膜是扔掉还是回收利用。

综上，在对剥离液、光刻胶的混合液体进行分离作业时，如何实现过滤膜的过滤自动监测、自动更换、自动回收处理，成为需要解决的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种剥离废液流动式初步过滤装置及过滤方法，从而实现过滤膜的过滤自动监测、自动更换、自动回收处理。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明涉及一种剥离废液流动式初步过滤装置，包括过滤装置和迂回活动穿过过滤装置内部的过滤膜带，过滤膜带两侧固定配置有边侧导条，过滤装置内部包括位于过滤膜带内围的导入腔和位于过滤膜带外围的导出腔，过滤装置内部设有用于传感检测导入腔液体高度的液位探测器。过滤装置的两侧壁面固定设有位于边侧导条内围的壁面固定挡条，壁面固定挡条下端转角位置开设有转角槽，壁面固定挡条的转角槽位置处弹性支撑安装有转向导轮；过滤装置内配置有用于夹持定位边侧导条的下架杆、侧夹杆，下架杆、侧夹杆位于边侧导条外围；位于过滤装置外部的过滤膜带布置路径上依次配置有第一张紧装置、第一传动装置、热处理回收系统、第二传动装置和第二张紧装置。

作为本发明中过滤装置的一种优选技术方案：过滤装置上侧设有与导入腔连通的导入管，过滤装置底侧设有与导出腔连通的导出管。

作为本发明中过滤装置的一种优选技术方案：壁面固定挡条的转角槽位置处固定安装有支撑安装机构，支撑安装机构内部设置有与转向导轮连接的弹性连接件；第一张紧装置、第二张紧装置的张紧力度与弹性连接件对转向导轮的弹性支撑力度相配合；侧夹杆下端位置设有转向结构，转向结构的位置与转向导轮的位置相配合，转向结构侧端位置与下夹杆侧端位置相配合。

作为本发明中过滤装置的一种优选技术方案：壁面固定挡条与过滤膜带相邻的一侧面开设有卡条槽，转向导轮环侧开设有导轮槽，导轮槽与卡条槽的位置相对应。过滤膜带两侧的边侧导条外侧面开设有与导轮槽、卡条槽相配合的卡合凸条。

作为本发明中过滤装置的一种优选技术方案：过滤装置下侧固定安装有用于驱动下夹杆竖直运动的纵向伸缩装置，过滤装置两侧都固定安装有用于驱动侧夹杆横向运动的横向伸缩装置，同侧方位的下夹杆、侧夹杆与过滤装置侧壁面的壁面固定挡条对应配合。

作为本发明中过滤装置的一种优选技术方案：第一传动装置、第二传动装置都配置有伺服动力装置，伺服动力装置配置有用于传感检测过滤膜带移动距离的编码检测模块。

作为本发明中过滤装置的一种优选技术方案：热处理回收系统内配置有用于加热过滤膜带的加热机构、用于清洗过滤膜带的清洗机构、用于回收液体的回收机构、用于干燥过滤膜带的干燥机构。

作为本发明中过滤装置的一种优选技术方案：位于过滤装置出口与热处理回收系统上游进入口之间的过滤膜带布置路径设有回收槽管。

本发明涉及一种剥离废液流动式初步过滤装置的过滤方法，包括以下内容：

(一)剥离液、光刻胶混液按一定流速从导入管导入过滤装置的导入腔中，液位探测器对导入腔中的液体进行液位传感监测，剥离液、光刻胶混液经过滤膜带过滤，剥离液进入导出腔并从导出管流出，光刻胶附着在过滤膜带上。

(二)当液位探测器监测到导入腔内的液位高度高于警戒液位并持续上升时，导入管停止导入液体，等待导入腔内的液体完全分离，导入腔内无液体、导出腔内无液体，横向伸缩装置驱动侧夹杆与过滤膜带的边侧导条分离，纵向伸缩装置驱动下夹杆与过滤膜带的边侧导条分离。

(三)第一张紧装置、第二张紧装置同步释放一定张紧力，转角槽内的转向导轮露出并支撑过滤膜带两侧的边侧导条。

(四)第一传动装置、第二传动装置同步动作，将过滤装置内附着有光刻胶的过滤膜带从过滤装置中导出，同时新一段的过滤膜带进入过滤装置内。

(五)第一张紧装置、第二张紧装置同步收缩一定张紧力，过滤膜带两侧的边侧导条将转向导轮压回转角槽内，同时，纵向伸缩装置驱动驱动侧夹杆、横向伸缩装置驱动侧夹杆将过滤膜带的边侧导条压合在壁面固定挡条上。

(六)过滤装置的导入管再次继续导入剥离液、光刻胶混液，新一段的过滤膜带对导入的剥离液、光刻胶混液进行过滤。

(七)经过连续多次的新一段过滤膜带投入过滤装置，首次从过滤装置中导出的附着有光刻胶的过滤膜带进入热处理回收系统，经热处理回收系统对附着在过滤膜带上的光刻胶进行热流动、加压喷淋清洗处理，并对过滤膜带进行干燥处理，原先附着有光刻胶的过滤膜带成为新一段的过滤膜带。

与现有的技术相比，本发明的有益效果是：

本发明利用剥离废液动态化注入和传感探测，判断过滤膜的实时过滤性能；通过在过滤装置内设置，固定挡条、下夹杆和侧夹杆，能够对过滤膜带进行紧贴、传动配合；并通过张紧装置、传动装置对过滤装置内的过滤膜带进行传动、替换，同时通过热处理回收系统对过滤膜带进行过滤性能清洁处理，实现了剥离液过滤膜的过滤自动监测、自动更换、自动回收处理。

附图说明

图1为本发明中剥离废液流动式初步过滤装置的结构示意图；

图2为图1中A局部放大的结构示意图；

图3为本发明中过滤装置导出过滤膜带时的结构示意图；

图4为本发明中过滤膜带的结构示意图；

图5为本发明中壁面固定挡条的(侧方位)示意图；

图6为本发明中第一传动装置、第二传动装置的控制逻辑示意图；

图7为本发明中热处理回收系统的系统组成逻辑示意图；

其中：1-过滤装置，101-导入管，102-导出管，103-导入腔，104-导出腔；2-壁面固定挡条，201-转角槽，202-支撑安装机构，203-弹性连接件，204-转向导轮，205-卡条槽，206-导轮槽；3-下夹杆；4-侧夹杆，401-转向结构；5-过滤膜带，501-边侧导条，502-卡合凸条；6-液位探测器；7-纵向伸缩装置；8-横向伸缩装置；9-第一张紧装置；10-第一传动装置；11-热处理回收系统；12-第二传动装置；13-第二张紧装置；14-回收槽管。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例一

请参阅图1，剥离液、光刻胶的混合废液从导入管101进入过滤装置1的导入腔103，液体导入的速率可以设置的较慢，给与剥离液、光刻胶的混合废液充分的过滤时间。液位探测器6可采用光电测距或超声波测距等能够测距的传感器，对进入导入腔103的液体实时高度量进行测量，剥离液、光刻胶的混合废液经过过滤膜带5的过滤，剥离液进入过滤装置1的导出腔104，剥离液从过滤装置1下方的导出管102排出。

实施例二

请参阅图1，图2、图3、图4、图5，过滤膜带5的过滤效果开始下降后，导入腔103中的混合液体实时累积量就开始增加，液位探测器6传感监测到导入腔103内的液位高度上升后，导入管101停止向导入腔103中导入混合液体，导入管101连接的管路上可以安装相应的液体管控阀门。过滤装置1的导入腔103中混合液体逐渐过滤完成，过滤装置1的导入腔103、导出腔104内都将液体排完后，横向伸缩装置8带动侧夹杆4后退一定距离，纵向伸缩装置7带动下夹杆3向下运动一定距离，第一张紧装置9、第二张紧装置13释放一定张紧力度，转向导轮204从转角槽201中伸出一部分，转向导轮204对过滤膜带5两侧的边侧导条501进行支撑。然后第一传动装置10、第二传动装置12开始运作，假设过滤装置1内的过滤膜带5的长度为D，则第一传动装置10、第二传动装置12将整个过滤膜带5顺时针向前运动距离D，将过滤装置1内过滤效果变差的一段过滤膜带5拉出来，新一段的过滤膜带5替代原先在过滤装置1中过滤效果变差的一段过滤膜带5。

然后，第一张紧装置9、第二张紧装置13缩紧一定张力[与上述释放的张力力度相反]，转向导轮204被挤压进入转角槽201，纵向伸缩装置7将下夹杆3上推，横向伸缩装置8将侧夹杆4前推，与壁面固定挡条2将过滤膜带5的边侧导条501夹紧，完成过滤装置1内新一段过滤膜带5的固定安装。

实施例三

基于实施例二，每次从过滤装置1中拉出的过滤膜带5长度为D，假设经过N次的拉出后，附着有光刻胶的首段过滤膜带5进入热处理回收系统11[在此之前，过滤膜带5未使用过，因此不用进行处理]，热处理回收系统11对过滤膜带5上的光刻胶进行处理回收。

光刻胶有一个玻璃态转化温度Tg，超过这一温度，光刻胶就会呈熔融状态，通过光刻胶的热流动性，再加上采用加压式喷淋冲洗等方式，迅速的将附着在过滤膜带5上的光刻胶从过滤膜带5上清除，并对清除后的过滤膜带5进行干燥处理。

整个过滤膜带5的长度设为L，过滤装置1内的过滤膜带5长度为D，则优选的对应关系为:L＝KD，K为大于5的整数。

实施例四

如图1、图3所示，过滤膜带5从过滤装置1出来后，通过导向轴辊等结构，沿着水平方向进行运动，第一张紧装置9、第二传动装置12都以横向水平方位进行布置，过滤膜带5上附带的一些残留液自然滴落，路径上的回收槽管14进行收集，再重新导回剥离液过滤系统中。

实施例五

在本发明中，第一传动装置10、第二传动装置12分布在热处理回收系统11的上下游位置，在对过滤膜带5进行传动时，第一传动装置10、第二传动装置12同步动作，实现整个过滤膜带5传动的协调性。第一传动装置10、第二传动装置12都配置伺服动力装置，同时配置编码检测模块，对伺服动力装置带动过滤膜带5运动的距离进行监测。

在本发明中，热处理回收系统11包括：加热机构、清洗机构、回收机构和干燥机构。加热机构：用来加热过滤膜带5，使光刻胶呈热流动性。清洗机构：采用高压清洗方式，对热流动的光刻胶进行清理。回收机构：对光刻胶进行回收。干燥机构：对洁净后的过滤膜带5进行干燥处理。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种剥离废液流动式初步过滤装置，其特征在于：

包括过滤装置(1)和迂回活动穿过过滤装置(1)内部的过滤膜带(5)，所述过滤膜带(5)两侧固定配置有边侧导条(501)，所述过滤装置(1)内部包括位于过滤膜带(5)内围的导入腔(103)和位于过滤膜带(5)外围的导出腔(104)，所述过滤装置(1)内部设有用于传感检测导入腔(103)液体高度的液位探测器(6)；

所述过滤装置(1)的两侧壁面固定设有位于边侧导条(501)内围的壁面固定挡条(2)，所述壁面固定挡条(2)下端转角位置开设有转角槽(201)，所述壁面固定挡条(2)的转角槽(201)位置处弹性支撑安装有转向导轮(204)；

所述过滤装置(1)内配置有用于夹持定位边侧导条(501)的下架杆(3)、侧夹杆(4)，所述下架杆(3)、侧夹杆(4)位于边侧导条(501)外围；

位于过滤装置(1)外部的过滤膜带(5)布置路径上依次配置有第一张紧装置(9)、第一传动装置(10)、热处理回收系统(11)、第二传动装置(12)和第二张紧装置(13)。

2.根据权利要求1所述的一种剥离废液流动式初步过滤装置，其特征在于：

所述过滤装置(1)上侧设有与导入腔(103)连通的导入管(101)，所述过滤装置(1)底侧设有与导出腔(104)连通的导出管(102)。

3.根据权利要求1所述的一种剥离废液流动式初步过滤装置，其特征在于：

所述壁面固定挡条(2)的转角槽(201)位置处固定安装有支撑安装机构(202)，所述支撑安装机构(202)内部设置有与转向导轮(204)连接的弹性连接件(203)；

所述第一张紧装置(9)、第二张紧装置(13)的张紧力度与弹性连接件(203)对转向导轮(204)的弹性支撑力度相配合；

所述侧夹杆(4)下端位置设有转向结构(401)，所述转向结构(401)的位置与转向导轮(204)的位置相配合，所述转向结构(401)侧端位置与下夹杆(3)侧端位置相配合。

4.根据权利要求1所述的一种剥离废液流动式初步过滤装置，其特征在于：

所述壁面固定挡条(2)与过滤膜带(5)相邻的一侧面开设有卡条槽(205)，所述转向导轮(204)环侧开设有导轮槽(206)，所述导轮槽(206)与卡条槽(205)的位置相对应；

所述过滤膜带(5)两侧的边侧导条(501)外侧面开设有与导轮槽(206)、卡条槽(205)相配合的卡合凸条(502)。

5.根据权利要求1所述的一种剥离废液流动式初步过滤装置，其特征在于：

所述过滤装置(1)下侧固定安装有用于驱动下夹杆(3)竖直运动的纵向伸缩装置(7)，所述过滤装置(1)两侧都固定安装有用于驱动侧夹杆(4)横向运动的横向伸缩装置(8)，同侧方位的下夹杆(3)、侧夹杆(4)与过滤装置(1)侧壁面的壁面固定挡条(2)对应配合。

6.根据权利要求1所述的一种剥离废液流动式初步过滤装置，其特征在于：

所述第一传动装置(10)、第二传动装置(12)都配置有伺服动力装置，所述伺服动力装置配置有用于传感检测过滤膜带(5)移动距离的编码检测模块。

7.根据权利要求1所述的一种剥离废液流动式初步过滤装置，其特征在于：

所述热处理回收系统(11)内配置有用于加热过滤膜带(5)的加热机构、用于清洗过滤膜带(5)的清洗机构、用于回收液体的回收机构、用于干燥过滤膜带(5)的干燥机构。

8.根据权利要求1所述的一种剥离废液流动式初步过滤装置，其特征在于：

位于过滤装置(1)出口与热处理回收系统(11)上游进入口之间的过滤膜带(5)布置路径设有回收槽管(14)。

9.一种剥离废液流动式初步过滤装置的过滤方法，其特征在于，采用权利要求1至8中任一项所述的一种剥离废液流动式初步过滤装置，包括以下内容：

(一)剥离液、光刻胶混液按一定流速从导入管(101)导入过滤装置(1)的导入腔(103)中，液位探测器(6)对导入腔(103)中的液体进行液位传感监测，剥离液、光刻胶混液经过滤膜带(5)过滤，剥离液进入导出腔(104)并从导出管(102)流出，光刻胶附着在过滤膜带(5)上；

(二)当液位探测器(6)监测到导入腔(103)内的液位高度高于警戒液位并持续上升时，导入管(101)停止导入液体，等待导入腔(103)内的液体完全分离，导入腔(103)内无液体、导出腔(104)内无液体，横向伸缩装置(8)驱动侧夹杆(4)与过滤膜带(5)的边侧导条(501)分离，纵向伸缩装置(7)驱动下夹杆(3)与过滤膜带(5)的边侧导条(501)分离；

(三)第一张紧装置(9)、第二张紧装置(13)同步释放一定张紧力，转角槽(201)内的转向导轮(204)露出并支撑过滤膜带(5)两侧的边侧导条(501)；

(四)第一传动装置(10)、第二传动装置(12)同步动作，将过滤装置(1)内附着有光刻胶的过滤膜带(5)从过滤装置(1)中导出，同时新一段的过滤膜带(5)进入过滤装置(1)内；

(五)第一张紧装置(9)、第二张紧装置(13)同步收缩一定张紧力，过滤膜带(5)两侧的边侧导条(501)将转向导轮(204)压回转角槽(201)内，同时，纵向伸缩装置(7)驱动驱动侧夹杆(4)、横向伸缩装置(8)驱动侧夹杆(4)将过滤膜带(5)的边侧导条(501)压合在壁面固定挡条(2)上；

(六)过滤装置(1)的导入管(101)再次继续导入剥离液、光刻胶混液，新一段的过滤膜带(5)对导入的剥离液、光刻胶混液进行过滤；

(七)经过连续多次的新一段过滤膜带(5)投入过滤装置(1)，首次从过滤装置(1)中导出的附着有光刻胶的过滤膜带(5)进入热处理回收系统(11)，经热处理回收系统(11)对附着在过滤膜带(5)上的光刻胶进行热流动、加压喷淋清洗处理，并对过滤膜带(5)进行干燥处理，原先附着有光刻胶的过滤膜带(5)成为新一段的过滤膜带(5)。

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