CN114388262A - 多层电容器、用于安装多层电容器的板及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
提供一种多层电容器、用于安装多层电容器的板及其制造方法。所述多层电容器包括：电容器主体，包括多个介电层和多个内电极；以及一对外电极，分别包括设置在所述电容器主体的相对端上的导电层、覆盖所述导电层的导电树脂层、以及设置在所述导电层和所述导电树脂层之间的还原氧化石墨烯(RGO)层。
Description
本申请要求于2020年10月21日在韩国知识产权局提交的第10-2020-0136814号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。
技术领域
本公开涉及一种多层电容器和用于安装多层电容器的板及其制造方法。
背景技术
多层电容器(或多层陶瓷电容器(MLCC))是紧凑的，确保高电容，并且易于安装。
近年来，随着对车载电气组件以及信息技术(IT)领域的需求增加，需要开发具有稳定机械性能和高可靠性的多层电容器。
这里，为了确保多层电容器的稳定机械性能和可靠性，使用了包括导电树脂的次级外电极，但在作为初级外电极的主要成分的金属的表面和由导电树脂形成的次级外电极的界面之间可能发生抬起现象(lifting phenomenon)的问题可能存在。
发明内容
示例性实施例提供一种多层电容器和用于安装该多层电容器的板，能够防止在外电极的导电层和导电树脂层之间的界面处发生抬起现象。
根据示例性实施例，一种多层电容器包括：电容器主体，包括多个介电层和多个内电极；以及一对外电极，分别包括设置在所述电容器主体的相对端上的导电层、覆盖所述导电层的导电树脂层、以及设置在所述导电层和所述导电树脂层之间的还原氧化石墨烯(RGO)层。
所述RGO层可连续地设置在所述导电层上。
所述RGO层可在所述导电层上具有岛形。
所述电容器主体可包括彼此相对的第一表面和第二表面以及连接到所述第一表面和所述第二表面并且彼此相对的第三表面和第四表面，所述内电极可包括第一内电极和第二内电极，所述第一内电极的一端和所述第二内电极的一端通过所述电容器主体的所述第三表面和所述第四表面交替地暴露，并且分别连接到设置在所述电容器主体的所述第三表面上的外电极和所述第四表面上的外电极，并且介电层可介于所述第一内电极和所述第二内电极之间。
所述一对外电极还可分别包括覆盖所述导电树脂层的镀层。
所述镀层可包括覆盖所述导电树脂层的镍镀层和覆盖所述镍镀层的锡镀层。
所述还原氧化石墨烯(RGO)层的厚度可以是大于或等于1nm且小于或等于50nm。
根据示例性实施例，一种用于安装多层电容器的板包括：基板，在所述基板的一个表面上具有设置为彼此间隔开的一对电极焊盘；以及多层电容器，安装在所述基板上，其中，所述多层电容器包括：电容器主体，包括多个介电层和多个内电极；以及一对外电极，分别包括设置在所述电容器主体的相对端上的导电层、覆盖所述导电层的导电树脂层、以及设置在所述导电层和所述导电树脂层之间的还原氧化石墨烯(RGO)层并且分别连接到所述一对电极焊盘。
根据示例性实施例，一种制造多层电容器的方法包括：形成包括多个介电层以及第一内电极和第二内电极的电容器主体；在所述电容器主体上形成包括金属的导电层以连接到所述第一内电极和第二内电极中的一个；在所述第一导电层上形成包含氧化石墨烯的涂覆层；形成覆盖所述包含氧化石墨烯的涂覆层的导电树脂层；以及对所述包含氧化石墨烯的涂覆层和所述导电树脂层进行热处理。
可通过所述热处理利用所述包含氧化石墨烯的涂覆层形成还原氧化石墨烯(RGO)层。
所述包含氧化石墨烯的涂覆层可通过喷涂氧化石墨烯溶液形成。
附图说明
通过结合附图和以下具体实施方式，本发明构思的上述和其它方面、特征和优点将更清楚地理解，在附图中：
图1是根据本公开中的示例性实施例的多层电容器的示意性立体图；
图2A至图2B是分别示出应用于图1的多层电容器的第一内电极和第二内电极的立体图；
图3是沿图1的线I-I’截取的截面图；
图4是示出根据本公开中的另一示例性实施例的还原氧化石墨烯(RGO)层的截面图；
图5是图4的部分A的放大截面图；
图6是示出图3中进一步设置的镀层的截面图；
图7是示出导电层、导电树脂层和RGO层的结合结构的示意图；以及
图8是示出图4的多层电容器安装在基板上的状态的示意性截面图。
具体实施方式
现在将参照附图详细描述本公开的示例性实施例。
提供以下具体实施方式以帮助读者获得对在此描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在此描述的方法、设备和/或系统的各种修改、变型和等同方案对于本领域普通技术人员将是显而易见的。在此描述的操作的顺序仅仅是示例，并且不限于在此阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出对于本领域技术人员将显而易见的改变。此外，为了更清楚和简洁，可省略对于本领域普通技术人员已知的功能和结构的描述。
在此描述的特征可以以不同的形式实施，并且将不被解释为局限于在此描述的示例。更确切地说，已经提供在此描述的示例使得本公开将是透彻和完整的，并且将向本领域普通技术人员充分传达本公开的范围。
在此，应注意关于示例或实施例的术语“可”的使用，例如，关于示例或实施例可包括或实现什么，意味着存在包括或实现这样的特征的至少一个示例或实施例，而所有示例和实施例不限于此。
在整个说明书中，当诸如层、区域或基板的要素被描述为“在”另一要素“上”、“连接到”另一要素或“结合到”另一要素时，该要素可直接“在”另一要素“上”、直接“连接到”另一要素或直接“结合到”另一要素，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其它要素。相比之下，当要素被描述为“直接在”另一要素“上”、“直接连接到”另一要素或“直接结合到”另一要素时，不存在介于它们之间的其它要素。
如此使用的，术语“和/或”包括相关所列项中的任意一个或任意两个或更多个的任意组合。
尽管可在此使用诸如“第一”、“第二”和“第三”的术语来描述各种构件、组件、区域、层或部分，但这些构件、组件、区域、层或部分不受这些术语限制。更确切地说，这些术语仅用来将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离示例的教导的情况下，在此描述的示例中所称的第一构件、第一组件、第一区域、第一层或第一部分也可被称作第二构件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。
为了易于描述，在此可使用诸如“上方”、“上面”、“下方”和“下面”的空间相对术语来描述如附图中所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间相对术语意在除了包含附图中描绘的方位之外还包含装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为相对于另一元件在“上方”或“上面”的元件于是将相对于所述另一元件在“下方”或“下面”。因此，术语“上方”根据装置的空间方位包括“上方”和“下方”两种方位。装置还可以以其它方式(例如，旋转90度或者处于其它方位)定位，并且将相应地解释在此使用的空间相对术语。
在此使用的术语仅用于描述各个示例，并且不用于限制本公开。除非上下文另外清楚指出，否则单数形式也意图包括复数形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或增加一个或更多个其它特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。
由于制造技术和/或公差，可能发生附图中所示的形状的变化。因此，在此描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间发生的形状变化。
在此描述的示例的特征可以以在理解本申请的公开内容之后将显而易见的各种方式进行组合。此外，虽然在此描述的示例具有多种构造，但在理解本申请的公开内容之后将显而易见的其它构造是可行的。
附图可不按比例绘制，并且为了清楚、说明和方便，可夸大附图中的元件的相对尺寸、比例和描绘。
在下文中，为了阐明本公开中的示例性实施例，附图中所示的电容器主体110的方向定义如下：X方向、Y方向和Z方向分别表示电容器主体110的长度方向、宽度方向和厚度方向。此外，在本示例性实施例中，Z方向可用于具有与堆叠介电层的堆叠方向相同的概念。
图1是根据本公开的示例性实施例的多层电容器的示意性立体图，图2A至图2B是分别示出应用于图1的多层电容器的第一内电极和第二内电极的立体图，并且图3是沿着图1的线I-I’截取的截面图。
参照图1至图3，根据本示例性实施例的多层电容器100包括电容器主体110以及第一外电极130和第二外电极140。
电容器主体110通过在Z方向上堆叠多个介电层111然后烧结堆叠的多个介电层111来获得，并且电容器主体110的相邻介电层111可一体化，使得在不使用扫描电子显微镜(SEM)的情况下它们之间的边界不容易区分。
这里，电容器主体110可具有基本上六面体的形状，但本公开不限于此。此外，电容器主体110的形状和尺寸以及堆叠的介电层111的数量不限于本示例性实施例的附图中所示的那些。
在此示例性实施例中，为便于描述，电容器主体110的在Z方向上彼此相对的两个表面被定义为第一表面1和第二表面2，连接到第一表面1和第二表面2并且在X方向上彼此相对的两个表面被定义为第三表面3和第四表面4，并且连接到第一表面1和第二表面2且连接到第三表面3和第四表面4且在Y方向上彼此相对的两个表面被定义为第五表面5和第六表面6。
另外，在本示例性实施例中，多层电容器100的安装表面可以是电容器主体110的第一表面1。
介电层111可包括具有高介电常数的陶瓷材料，并且可包括例如钛酸钡(BaTiO3)基陶瓷粉末或钛酸锶(SrTiO3)基陶瓷粉末等，但本公开不限于此，只要可获得足够的电容即可。
此外，陶瓷添加剂、有机溶剂、增塑剂、粘合剂和分散剂可与陶瓷粉末一起进一步添加到介电层111。
作为陶瓷添加剂，例如可使用过渡金属氧化物或过渡金属碳化物、稀土元素、镁(Mg)或铝(Al)。
电容器主体110可包括有效区域以及上盖112和下盖113，有效区域作为有助于形成电容器的电容的部分，上盖112和下盖113分别在Z方向上形成为有效区域的上表面的上边缘和下表面的下边缘。
上盖112和下盖113除了它们不包括内电极以外可具有与介电层111的材料和构造相同的材料和构造。
这些上盖112和下盖113可通过在Z方向上分别在有效区域的上表面和下表面上堆叠单个介电层或两个或更多个介电层来形成，并且基本上用于防止由于物理或化学应力导致第一内电极121和第二内电极122的损坏。
第一内电极121和第二内电极122是施加有不同极性的电极。第一内电极121和第二内电极122沿着Z方向交替地设置，介电层111介于在第一内电极121和第二内电极122之间，并且第一内电极121的一端和第二内电极122的一端可分别通过电容器主体110的第三表面3和第四表面4暴露。
在这种情况下，第一内电极121和第二内电极122可通过设置在其间的介电层111彼此电绝缘。
以这种方式，通过电容器主体110的第三表面3和第四表面4交替暴露的第一内电极121和第二内电极122的端部可分别电连接到设置在电容器主体110的第三表面3和第四表面4上的第一外电极130和第二外电极140的第一导电层131和第二导电层141(将稍后描述)。
根据上述构造，当预定电压施加到第一外电极130和第二外电极140时，电荷在第一内电极121和第二内电极122之间积聚。
这里，多层电容器100的电容与有效区域中沿Z方向彼此重叠的第一内电极121和第二内电极122的重叠面积成比例。
另外，用于形成第一内电极121和第二内电极122的材料没有特别限制，并且可使用包括贵金属材料(诸如铂(Pt)、钯(Pd)、钯-银(Pd-Ag)合金等)、镍(Ni)和铜(Cu)中的至少一种的导电膏来形成。
这里，作为导电膏的印刷方法，可使用丝网印刷法或凹版印刷法，但本公开不限于此。
第一外电极130及第二外电极140可被提供有不同极性的电压，可在X方向上设置在电容器主体110的两端处，并且可电连接到第一内电极121和第二内电极122的暴露部分。
这里，第一外电极130包括形成在电容器主体110的表面上并连接到第一内电极121的第一导电层131和形成为覆盖第一导电层131的第一导电树脂层132；第二外电极140包括形成在电容器主体110的表面上并连接到第二内电极122的第二导电层141和形成为覆盖第二导电层141的第二导电树脂层142。
第一导电层131可包括第一内连接部131a和第一内带部131b。
第一内连接部131a是形成在电容器主体110的第三表面3上且连接到第一内电极121的部分，并且第一内带部131b是从第一内连接部131a延伸到电容器主体110的第一表面1的一部分的部分。
这里，第一内带部131b可进一步延伸到电容器主体110的第五表面5和第六表面6的一部分以及第二表面2的一部分，以改善粘附强度等。
第二导电层141可包括第二内连接部141a和第二内带部141b。
第二内连接部141a是形成在电容器主体110的第四表面4上且连接到第二内电极122的部分，并且第二内带部141b是从第二内连接部141a延伸到电容器主体110的第一表面1的一部分的部分。
这里，第二内带部141b可进一步延伸到电容器主体110的第五表面5的一部分和第六表面6的一部分以及第二表面2的一部分，以改善粘附强度等。
在这种情况下，第一导电层131和第二导电层141可包括镍(Ni)、铜(Cu)和银(Ag)中的至少一种，并且还可包括玻璃。
第一导电树脂层132可包括第一外连接部132a和第一外带部132b。
第一外连接部132a是覆盖第一内连接部131a的部分，并且第一外带部132b是覆盖第一内带部131b且延伸到电容器主体110的第一表面1的一部分的部分。
这里，根据第一内带部131b的结构，第一外带部132b可进一步延伸到电容器主体110的第五表面5的一部分和第六表面6的一部分以及第二表面2的一部分。
也就是说，第一导电层131中的第一内带部131b的长度可短于第一导电树脂层132中的第一外带部132b的长度。
第二导电树脂层142可包括第二外连接部142a和第二外带部142b。
第二外连接部142a是覆盖第二内连接部141a的部分，并且第二外带部142b是覆盖第二内带部141b且延伸到电容器主体110的第一表面1的一部分的部分。
这里，根据第二内带部141b的结构，第二外带部142b可进一步延伸到电容器主体110的第五表面5一部分和第六表面6的一部分以及第二表面2的一部分。
也就是说，第二导电层141中的第二内带部141b的长度可短于第二导电树脂层142中的第二外带部142b的长度。
这些第一导电树脂层132和第二导电树脂层142提供应力吸收效果，并且可包括导电金属颗粒和作为基体树脂的热固性树脂。
在这种情况下，导电金属可以是铜(Cu)、镍(Ni)、锌(Zn)和铁(Fe)中的至少一种，但本公开不限于此。
另外，热固性树脂可以是例如环氧树脂，但本公开不限于此。
另外，当在第一导电树脂层132和第二导电树脂层142的表面上另外形成镀层时，镀层可用于防止电镀液渗透到第一导电层131和第二导电层141以及电容器主体110中，并且防止第一外电极130和第二外电极140或电容器主体110由于外部冲击而开裂。
另外，第一外电极130可包括设置在第一导电层131和第一导电树脂层132之间的第一还原氧化石墨烯(RGO)层133’。
在这种情况下，第一RGO层133’可在第一导电层131上连续地形成为单体。
作为另一示例，如图4和图5中所示，多个第一RGO层133可以以岛形形成在第一导电层131上并且彼此间隔开。
第一RGO层133’可通过将氧化石墨烯涂覆到第一导电层131的表面来形成。
这里，也可使用喷涂法以均匀地涂覆氧化石墨烯。
将通过喷涂法薄薄地涂覆在第一导电层131上的氧化石墨烯在240℃(第一导电树脂层132的固化温度)下热处理24小时以形成第一RGO层133’。
第一RGO层133’的优选厚度可以是50nm或更小。
如果第一RGO层133’的厚度超过50nm，则第一RGO层133’可能无法适当地形成并且可能意外地与第一导电层131分离。
这里，第一RGO层133’的厚度可以是1nm或更大。
这里，第一RGO层133’的最佳厚度可通过调节喷涂注射量、喷涂氧化石墨烯溶液的浓度和喷涂涂覆层的数量来获得。第一RGO层133’、第二RGO层143’(将稍后描述)等的厚度可例如在X-Z平面中切割电容器主体110在Y方向上的中央部分(或者在X-Y平面中切割电容器主体110在Z方向上的中央部分)的截面中通过透射电子显微镜(TEM)进行测量。即使未在本公开中描述，本领域普通技术人员理解的其它方法和/或工具也可被使用。在一个示例中，RGO层的厚度可以是平均厚度、最大厚度和在测量区域中测量的厚度中的一个。在一个示例中，RGO层的厚度可通过以相等的间隔(或可选地，非相等的间隔)从元件的参考中心点向左限定预定数量(例如，5)的点和向右限定预定数量(例如，5)的点，测量处于相等的间隔(或可选地，非相等的间隔)每个点的厚度，并从其获得平均值来确定。可选地，厚度可以是多次测量中的最大厚度。可选地，厚度可以是测量区域中的参考中心点处的厚度。
第二外电极140可包括设置在第二导电层141和第二导电树脂层142之间的第二RGO层143’。
这里，第二RGO层143’可在第二导电层141上连续地形成为单体。
作为另一示例，如图4和图5中所示，多个第二RGO层143可以以岛形形成在第二导电层141上并且彼此间隔开。
第二RGO层143’可通过在第二导电层141的表面上涂覆RGO来形成。
这里，可优选使用喷涂法来均匀地涂覆RGO。
将通过喷涂法薄薄地涂覆在第二导电层141上的氧化石墨烯在240℃(第二导电树脂层142的固化温度)下热处理24小时以形成第二RGO层143’。
第二RGO层143’的优选厚度可以是50nm或更小。
如果第二RGO层143’的厚度超过50nm，则第二RGO层143’可能无法适当地形成并且可能意外地与第二导电层141分离。
这里，第二RGO层143’的厚度可以是1nm或更大。
这里，第二RGO层143’的最佳厚度可通过调节喷涂注射量、喷涂氧化石墨烯溶液的浓度和喷涂涂覆层的数量来获得。
另一方面，如图6中所示，第一外电极130’和第二外电极140’还可包括形成为覆盖第一导电树脂层132和第二导电树脂层142的镀层。
镀层可包括分别覆盖第一导电树脂层132和第二导电树脂层142的第一镍(Ni)镀层134和第二镍(Ni)镀层144，以及分别覆盖第一镍镀层134和第二镍镀层144的第一锡(Sn)镀层135和第二锡(Sn)镀层145。
在外电极包括导电层和导电树脂层的现有技术的多层电容器中，导电层和导电树脂层仅通过具有10kJ/mol至40kJ/mol的键能的相对弱的键合强度的氢键彼此键合。
因此，在坯片回流工艺中从导电树脂层内部的固化剂产生的二氧化碳气体不能释放到外部并停留以引起导电层和导电树脂层之间的抬起缺陷。
在此示例性实施例中，当环氧树脂与过渡金属Zn、Cu和Fe在导电层的表面上形成粘附时，电荷从过渡金属的d轨道转移到环氧基团中氧的p轨道和苯的π轨道以形成键合层。
这里，如图7中所示，具有包括氧的各种官能团并具有优异导电性的RGO层133可设置在第一导电层131和第一导电树脂层132之间，以在第一导电层131和第一导电树脂层132之间的界面处提供额外的氢键(由圆圈表示)和π-π键(由菱形表示)。
此外，RGO层允许施加到外电极的应力稳定地传递到导电层与导电树脂层之间的界面，从而降低噪声并改善导电树脂层的机械性能。
通过这些作用，RGO层可使导电树脂层从导电层抬起的现象最小化。
因此，根据本示例性实施例的多层电容器可有利地用于需要降低声学噪声、强弯曲强度、高耐湿性和高电容的应用中。
图8是示意性地示出图4的多层电容器安装在基板上的状态的截面图。
参照图8，根据本示例性实施例的安装板包括基板210以及设置为在基板210的上表面上彼此间隔开的第一电极焊盘221和第二电极焊盘222。
这里，多层电容器100安装在基板210上，使得第一外电极130和第二外电极140定位成分别与第一电极焊盘221和第二电极焊盘222接触。
这里，第一外电极130可结合到焊料231以电连接且物理连接到第一电极焊盘221，并且第二外电极140可结合到焊料232以电连接且物理连接到第二电极焊盘222。
如上所述，根据示例性实施例，可改善多层电容器的外电极中的导电树脂层从导电层抬起的现象。
虽然以上示出和描述了示例性实施例已经在，但对于本领域技术人员易于理解的是，在不脱离由所附权利要求限定的本公开的范围的情况下可进行修改和变型。
Claims (20)
1.一种多层电容器，包括：
电容器主体，包括多个介电层和多个内电极；以及
一对外电极，分别包括设置在所述电容器主体的相对端上的导电层、覆盖所述导电层的导电树脂层、以及设置在所述导电层和所述导电树脂层之间的还原氧化石墨烯层。
2.根据权利要求1所述的多层电容器，其中，所述还原氧化石墨烯层连续地设置在所述导电层上。
3.根据权利要求1所述的多层电容器，其中，所述还原氧化石墨烯层在所述导电层上具有岛形。
4.根据权利要求1所述的多层电容器，其中，所述电容器主体包括彼此相对的第一表面和第二表面以及连接到所述第一表面和所述第二表面并且彼此相对的第三表面和第四表面，
所述内电极包括第一内电极和第二内电极，所述第一内电极的一端和所述第二内电极的一端通过所述电容器主体的所述第三表面和所述第四表面交替地暴露并且分别连接到设置在所述电容器主体的所述第三表面上的外电极和所述第四表面上的外电极，并且
介电层介于所述第一内电极和所述第二内电极之间。
5.根据权利要求1所述的多层电容器，其中，所述一对外电极还分别包括覆盖所述导电树脂层的镀层。
6.根据权利要求5所述的多层电容器，其中，所述镀层包括覆盖所述导电树脂层的镍镀层和覆盖所述镍镀层的锡镀层。
7.根据权利要求1所述的多层电容器，其中，所述还原氧化石墨烯层的厚度为大于或等于1nm且小于或等于50nm。
8.一种安装多层电容器的板，所述板包括：
基板，在所述基板的一个表面上具有设置为彼此间隔开的一对电极焊盘；以及
多层电容器，安装在所述基板上，
其中，所述多层电容器包括：
电容器主体，包括多个介电层和多个内电极；以及
一对外电极，分别包括设置在所述电容器主体的相对端上的导电层、覆盖所述导电层的导电树脂层、以及设置在所述导电层和所述导电树脂层之间的还原氧化石墨烯层，并且所述一对外电极分别连接到所述一对电极焊盘。
9.根据权利要求8所述的板，其中，所述还原氧化石墨烯层连续地设置在所述导电层上。
10.根据权利要求8所述的板，其中，所述还原氧化石墨烯层在所述导电层上具有岛形。
11.根据权利要求8所述的板，其中，所述电容器主体包括彼此相对的第一表面和第二表面以及连接到所述第一表面和所述第二表面并且彼此相对的第三表面和第四表面，
所述内电极包括第一内电极和第二内电极，所述第一内电极的一端和所述第二内电极的一端通过所述电容器主体的所述第三表面和所述第四表面交替地暴露并且分别连接到设置在所述电容器主体的所述第三表面上的外电极和所述第四表面上的外电极，并且
介电层介于所述第一内电极和所述第二内电极之间。
12.根据权利要求8所述的板，其中，所述一对外电极还分别包括覆盖所述导电树脂层的镀层。
13.根据权利要求12所述的板，其中，所述镀层包括覆盖所述导电树脂层的镍镀层和覆盖所述镍镀层的锡镀层。
14.根据权利要求8所述的板，其中，所述还原氧化石墨烯层的厚度为大于或等于1nm且小于或等于50nm。
15.一种制造多层电容器的方法，所述方法包括：
形成包括多个介电层以及第一内电极和第二内电极的电容器主体；
在所述电容器主体上形成包括金属的导电层以连接到所述第一内电极和第二内电极中的一个；
在所述导电层上形成包含氧化石墨烯的涂覆层；
形成覆盖所述包含氧化石墨烯的涂覆层的导电树脂层；以及
对所述包含氧化石墨烯的涂覆层和所述导电树脂层进行热处理。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，通过所述热处理利用所述包含氧化石墨烯的涂覆层形成还原氧化石墨烯层。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述还原氧化石墨烯层连续地设置在所述导电层上。
18.根据权利要求16所述的方法，其中，所述还原氧化石墨烯层在所述导电层上具有岛形。
19.根据权利要求16所述的方法，其中，所述还原氧化石墨烯层的厚度为大于或等于1nm且小于或等于50nm。
20.根据权利要求15所述的方法，其中，通过喷涂氧化石墨烯溶液形成所述包含氧化石墨烯的涂覆层。
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