CN114384084B - 调平检测平台的方法和检测系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种调平检测平台的方法和检测系统。该方法包括：在检测平台上放置板状件，板状件的边缘伸出到检测平台之外；测量的步骤：使测距装置在边缘的下方或上方沿边缘水平移动，并在移动过程中在多个预定测量位置测量到边缘的垂直距离；确定最低位置的步骤：根据垂直距离确定检测平台的最低位置；计算高度差的步骤：计算检测平台的最低位置与检测平台所在的基准面之间的高度差；以及垫高的步骤：根据高度差将靠近最低位置的区域垫高，以使检测平台水平。利用调平后的检测平台进行视觉检测时，可以避免视觉检测机构沿着检测平台的边缘进行扫描时在不同位置处到显示面板的距离不等，从而避免对视觉检测的结果产生影响。

Description

调平检测平台的方法和检测系统

技术领域

本发明涉及显示面板检测技术领域，具体地，涉及一种调平检测平台的方法以及用于执行该方法的检测系统。

背景技术

面板检测装置可以通过其上的视觉检测模块对显示面板的基板和/或集成电路(IC)的外观进行检测，还可以检测导电粒子压痕。导电粒子压痕检测用于检测显示面板的连接(bonding)段在玻璃上芯片(chip on glass， COG)和玻璃上薄膜(film on glass，FOG)后各向异性导电膜(Anisotropic Conductive Film，ACF)的导电粒子的压痕情况或者玻璃上 IC(IC on film，COF)产品ACF导电粒子的压痕情况。

在检测过程中，机械手将显示面板放置在检测平台上，检测平台将显示面板运送给视觉检测模块进行线扫。视觉检测模块中的各个相机在水平面内沿着检测平台的边缘行走，以对显示面板及bonding段进行检测。尤其是其中负责导电粒子压痕检测的DIC相机，其精度较高，因此需要保证检测平台是水平的，以减少对测量精度的影响。

发明内容

为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本发明的一个方面，提供一种调平检测平台的方法，该方法包括：在检测平台上放置板状件，板状件的边缘伸出到检测平台之外；测量的步骤：使测距装置在边缘的下方或上方沿边缘水平移动，并在移动过程中在多个预定测量位置测量到边缘的垂直距离；确定最低位置的步骤：根据垂直距离确定检测平台的最低位置；计算高度差的步骤：计算检测平台的最低位置与检测平台所在的基准面之间的高度差；以及垫高的步骤：根据高度差将靠近最低位置的区域垫高，以使检测平台水平。

示例性地，确定最低位置的步骤包括：绘制垂直距离相对于多个预定测量位置的水平位置的关系曲线；以及根据关系曲线确定检测平台的最低位置。

示例性地，在垫高的步骤之后，方法还包括：沿着远离测距装置的方向移动检测平台；旋转检测平台；朝向测距装置移回检测平台，以使板状件的下一边缘位于测距装置的下方或上方；以及重复执行测量的步骤、确定最低位置的步骤、计算高度差的步骤和垫高的步骤。

示例性地，垫高的步骤包括：将检测平台的连接点作为支点，检测平台与检测平台下方的支撑装置在连接点处通过紧固件连接；根据h＝H·d/D 确定用于垫高检测平台的垫高物的高度，其中，h是垫高物的高度，H是高度差，D是最低位置到支点的距离，d是垫高物到支点的距离，垫高物位于支点和最低位置之间的预定垫高位置上；以及将垫高物放置在检测平台和支撑装置之间且位于预定垫高位置上。

示例性地，预定垫高位置为支撑装置的位于支点和最低位置之间的角部处。

示例性地，在放置垫高物的步骤之前，方法还包括松开支点周围的紧固件；以及在放置垫高物的步骤之后，方法还包括紧固支点周围的紧固件。

示例性地，相邻的预定测量位置之间的间隔S＝v·t，其中，v是测距装置的移动速度，t是测距装置的采样间隔。

示例性地，测距装置是在直线电机的驱动下水平移动的。

根据本发明的另一个方面，还提供一种检测系统，用于执行如上的任一种方法。该检测系统包括检测平台、测距装置、驱动装置和控制装置。检测平台用于支撑板状件，板状件的边缘伸出到检测平台之外；驱动装置用于在控制装置的控制下驱动测距装置在边缘的下方或上方沿边缘水平移动，测距装置用于在移动过程中在多个预定测量位置测量到边缘的垂直距离；且控制装置用于根据垂直距离确定检测平台的最低位置，并且计算检测平台的最低位置与检测平台所在的基准面之间的高度差。

示例性地，检测系统为用于面板检测装置的检测系统。

本发明提供的方法首先在检测平台上放置板状件并且使板状件的边缘伸出到检测平台之外，通过测量板状件的边缘的水平度来间接地反映检测平台的水平度，从而避免直接测量检测平台的水平度，然后根据测量结果调平检测平台。这样会大大地降低调平检测平台的难度。利用调平后的检测平台进行视觉检测时，可以避免视觉检测机构沿着检测平台的边缘进行扫描时在不同位置处到显示面板的距离不等，从而避免对视觉检测的结果产生影响。而且，由于视觉检测机构在不同位置处到显示面板的距离都能够大体上相等，这样也可以避免视觉检测机构移动过程中会碰撞到显示面板或者检测平台，进而保护视觉检测机构免受损坏。

在发明内容中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

以下结合附图，详细说明本发明的优点和特征。

附图说明

本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施方式及其描述，用来解释本发明的原理。在附图中，

图1为根据本发明的一个示例性实施例的检测平台和支撑装置组装在一起的示意图；

图2为图1中的检测平台与支撑装置分解的示意图；

图3为根据本发明的一个示例性实施例的调平检测平台的方法流程图；

图4为根据本发明的一个示例性实施例的检测系统部分结构的示意图；

图5A为根据本发明的一个示例性实施例的检测系统的测距装置在移动过程中的示意图；

图5B为根据本发明的一个示例性实施例的垂直距离相对于多个预定测量位置的水平位置的关系曲线；

图6为根据本发明的一个示例性实施例的确定最低位置步骤的方法流程图；

图7为根据本发明的一个示例性实施例的调平检测平台的方法流程图；

图8为根据本发明的一个示例性实施例的垫高步骤的方法流程图；

图9为根据本发明的另一个示例性实施例的垫高步骤的方法流程图；以及

图10示出了检测平台调平前后的示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

100、检测平台；101、第一上安装孔；102、第二上安装孔；103、第三上安装孔；104、第四上安装孔；105、第五上安装孔；106、第六上安装孔；200、支撑装置；201、第一下安装孔；202、第二下安装孔；203、第三下安装孔；204、第四下安装孔；205、第五下安装孔；206、第六下安装孔；210、转台；2101、2102、2103、2104、角部；220、基座；230、转动组件；300、轨道；400、板状件；410、边缘；500、500’、测距装置。

具体实施方式

在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本发明。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅涉及本发明的较佳实施例，本发明可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

面板检测装置可以通过视觉检测模块对放置在检测平台上的显示面板进行检测，具体地可以检测显示面板上的绑定效果和/或显示面板上集成电路(IC)的外观等，还可以检测显示面板上的导电粒子压痕。检测过程中，视觉检测模块包括的多个相机分别在显示面板的上下两侧沿着显示面板的边缘进行扫描。上下侧的相机之间的工作距离大约在10mm左右，而检测平台厚度通常做成约8mm，显示面板还有0.5mm左右的厚度，因此相机到检测平台的距离大约为1.5mm。如果检测平台或者显示面板有弯曲，相机到检测平台的距离可能会进一步减小，一般1mm左右。

相机通常为精密部件，造价较高且易损坏，尤其是DIC相机。发明人发现，检测平台的水平度不够的话，除了会对后续的视觉检测产生影响之外，正常工作中可能会存在各种原因使得相机朝向检测平台和显示面板移动。这种移动的加速度非常大(大约为10m/s²)，很容易因为各种异常向上多走1mm，而各种光电传感器要么反应太慢，要么安装位置不好把握，导致相机的镜头被损坏。

而且由于DIC相机是10倍物镜，景深只有15μm左右。发明人发现：为了清晰成像,需要保证偏差在5μm以下。如果检测平台不平整会增加自动聚焦的难度，特别是波浪形或者剧烈起伏会导致不能聚焦，导致拍照模糊，检测失败。自动聚焦只能完成对缓变距离的实时自动聚焦。因此，调平检测平台是十分必要的。

图1-2示出了根据本发明一个示例性实施例的检测平台100及其支撑装置200的示意图。如图所示，支撑装置200可以与轨道300滑动连接。支撑装置200可以在驱动装置的驱动下沿着轨道300滑动。移动驱动装置可以采用链轨、直线电机等常见装置，驱动装置的详细结构，在此不多赘述。此外，支撑装置200可以包括位于顶部的转台210、位于底部的基座220和连接在转台210和基座220之间的转动组件230。转台210通过转动组件230可转动地连接到基座220。基座220内可以设置有转动驱动装置，转动驱动装置可以包括旋转电机等的各种常见机构，用于驱动转动组件 230带动转台210绕竖直方向旋转。检测平台100可以通过紧固件(未示出)固定到转台210上。当然，在未示出的其他实施例中，转台210也可以与基座220固定连接。这样，检测平台100无法旋转。可选地，基座220 也可以不连接至轨道300。也就是说，无论何种形式的检测平台100都可以采用本发明提供的方法来调平。

图3示出了根据本发明的一个示例性实施例的调平检测平台的方法流程图。图4示出了根据本发明的一个示例性实施例的检测系统。下面将结合图3-4来描述一种调平检测平台的方法，该方法包括以下步骤：

步骤S1：在检测平台100上放置板状件400，如图4所示。板状件400 的边缘410伸出到检测平台100之外。

示例性地，板状件400可以包括玻璃板。通常认为，玻璃板具有足够的平整度，不会因玻璃板自身表面的凸凹而对调平结果产生影响。板状件 400还可以包括待检测面板。板状件400的边缘410伸出到检测平台100 之外，后续的测量步骤可以直接针对板状件400的伸出的边缘410进行，以通过板状件400的水平度来间接地反映检测平台100的水平度，而不是直接检测检测平台100的水平度。其原因在于，如图1-2所示，检测平台 100的顶部可能会设置有凸台和吸附孔，而检测平台100的底部可能会设置真空阀和气路等，因此无法直接检测检测平台100的水平度。需要说明的是，无需板状件400的所有边缘都伸出到检测平台100之外，板状件400 伸出到检测平台100的需要调平的边缘之外即可。本领域的技术人员可以理解，如果需要对检测平台100的所有边缘进行调平，则需要板状件的所有边缘都伸出到检测平台100之外。

步骤S2：使测距装置在板状件400的伸出的边缘410的下方或上方沿该边缘410水平移动，并在移动过程中在多个预定测量位置测量到边缘410 的垂直距离。该步骤S2为测量步骤。

如图4所示，为根据本发明的一个示例性实施例的检测系统部分结构的示意图；图5A为根据本发明的一个示例性实施例的检测系统的测距装置在移动过程中的示意图；具体地，图5A也可以认为是图4的右视图。板状件400的边缘410可以沿着垂直于纸面的方向延伸(在水平面内，该方向垂直于图5A中的直线L所在的水平方向)，可以利用测距装置500在边缘410下方沿着垂直于纸面的方向移动。或者也可以利用测距装置500’在边缘410上方沿着垂直于纸面的方向移动。以设置在边缘410下方的测距装置500为例，如图5A所示，测距装置500可以沿着直线L水平地移动，并且在移动过程中可以在多个预定测量位置测量该测距装置500到边缘410的垂直距离H。示例性地，多个预定测量位置可以包括1#位置、2# 位置、3#位置、4#位置、5#位置、6#位置、7#位置、8#位置、9#位置、10# 位置、11#位置、12#位置、13#位置和14#位置。这14个位置可以以相等的间隔排布。每个预定测量位置都可以获得一个垂直距离H。因此，对应于上述14个预定测量位置，可以获得14个垂直距离H1、H2、H3、H4、 H5、H6、H7、H8、H9、H10、H11、H12、H13和H14。再未示出的其他实施例中，可以设置更多或更少的预定测量位置。

示例性地，测距装置500可以包括现有的或未来可能出现的各种类型的测距传感器。在一个实施例中，测距传感器可以包括红外测距传感器。示例性地，测距装置500可以以移动速度v沿着水平直线L移动。而且，测距装置500可以以固定的采样间隔t(时间间隔)进行采样。也就是说，每隔采样间隔t，测距装置500测量一次到边缘410的距离。由此，相邻的预定测量位置之间的沿水平方向的间隔S＝v·t。这样，可以控制任意两个相邻的预定测量位置之间的间隔是相等的。测距传感器的精度可以达到 0.25μm精度，量程为±1mm。如果采用人工测距，则测距传感器的运动速度可以控制在2mm/s以下。自动记录的话，测距传感器的运动速度可以达到10-15mm/s。测距装置500的测距频率是固定的，最大可以高达40μs刷新一次。测距装置500可以每隔0.5ms发送一次测距数据。因此两个预定测量位置的运动距离20μm以内。

示例性地，测距装置500可以是在直线电机的驱动下水平移动的。直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置。直线电机不需要经过中间转换机构而直接产生直线运动，使结构大大简化，运动惯量减少，动态响应性能和定位精度大大提高；同时也提高了可靠性，节约了成本，使制造和维护更加简便。当然，测距装置500还可以在转动电机(需配合旋转转平移的传动组件)、气动推杆或液压推杆等的驱动下水平移动。本领域技术人员可以根据实际使用情况进行合理地选择。

需要说明的是，虽然上文以相等采样间距为例说明了本发明的原理，但是在未示出的其他实施例中，采样间距也可以是不等的。例如，可以在容易导致检测平台100的水平度较低的位置处更密集地测距，即设置更多的预定测量位置。

步骤S3：根据上述垂直距离确定检测平台100的最低位置。步骤S3 为确定最低位置的步骤。

示例性地，可以将所测得的多个垂直距离H中的最小值所对应的预定测量位置作为检测平台100的最低位置。更确切地说，是检测平台100的与板状件400的边缘410对应的边缘处的最低位置。本领域的技术人员可以理解的是，如果采用测距装置500’在多个预定测量位置处测量到板状件 400的边缘410的上表面的距离的话，那么获得的多个垂直距离中的最大值所对应的预定测量位置将作为检测平台100的最低位置。

步骤S4：计算检测平台100的最低位置与检测平台100所在的基准面之间的高度差。步骤S4为计算高度差的步骤。

示例性地，基准面可以通过多个垂直距离来确定，例如可以将多个垂直距离的平均值作为基准面的高度。示例性地，也可以利用测距装置在整个检测平台100上方的多个位置处测量到板状件400的上表面的垂直距离，然后求平均来获得板状件140的上表面的基准高度。将该基准高度减去板状件400的厚度，可以获得检测平台100所在的基准面的高度。本领域的技术人员可以理解的是，若采用测距装置500’在多个预定测量位置处测量到板状件400的边缘410的上表面的距离的话，那么可以将板状件400的上表面的平均高度作为基准面的高度。

步骤S5：根据上述高度差将靠近最低位置的区域垫高，以使检测平台 100水平。步骤S5为垫高的步骤。

由于根据上述步骤确定的最低位置位于板状件400的伸出的边缘410 上，因此无法在最低位置处垫高。而且，如图1-2所示的，支撑装置200 通常在检测平台100的中间区域支撑检测平台100。检测平台100的边缘都位于支撑装置200之外。因此，在检测平台100的边缘处也没有支点可以放入垫高件。垫高件可以包括垫片等的较小的片状件。因此，所述的“靠近最低位置的区域”将与检测平台100和支撑装置200的结构有关。本领域的技术人员可以理解，“靠近最低位置的区域”可以是检测平台100和支撑装置200之间、距离最低位置最近的位置处；或者是检测平台100和支撑装置200之间靠近最低位置且可以插入垫高件的位置处。

由于垫高处与最低位置之间具有一定间距，因此可能不会选择与“检测平台100的最低位置与检测平台100所在的基准面之间的高度差”等高的垫高物。通常情况下，垫高物的高度要比所述的高度差小一些。本领域的技术人员可以根据所述的高度差和垫高的位置来选择合适高度的垫高物。

本发明提供的方法首先在检测平台100上放置板状件400并且使板状件400的边缘410伸出到检测平台100之外，通过测量板状件400的边缘 410的水平度来间接地反映检测平台100的水平度，从而避免直接测量检测平台100的水平度，然后根据测量结果调平检测平台100。这样会大大地降低调平检测平台100的难度。利用调平后的检测平台100进行视觉检测时，可以避免视觉检测机构沿着检测平台100的边缘进行扫描时，在不同位置处到放置在检测平台100上的显示面板(未示出)的距离不等，从而避免对视觉检测的结果产生影响。而且，由于视觉检测机构在不同位置处到显示面板的距离都能够大体上相等，这样也可以避免视觉检测机构移动过程中会碰撞到显示面板或者检测平台100，进而保护视觉检测机构免受损坏。

在一些实施例中，如图6所示，确定最低位置的步骤S3可以包括：

步骤S31：绘制所述垂直距离相对于多个预定测量位置的水平位置的关系曲线。

如图5B所示，可以以X轴坐标表示多个预定测量位置的水平位置，以Y轴坐标表示多个预定测量位置处测量的多个垂直距离H。绘制Y相对于X的关系曲线。示例性地，如图5A所示，可以将1#位置所在的水平位置作为X轴坐标的原点。对多个点进行拟合后可以获得的关系曲线C。当然，在未示出的其他实施例中，也可以选择图5A中的直线L上的其他水平位置作为X轴的原点。

步骤S32：根据所述关系曲线确定所述检测平台的最低位置。

根据该关系曲线C能够快速且准确地确定最低位置P，从而获得P点的水平位置X_p和垂直距离H_p。图中直线Q表示检测平台所在的基准面。基准面Q对应的垂直距离为H₀。H₀-H_p为检测平台的最低位置P与检测平台所在的基准面Q之间的高度差△H。

通过绘制垂直距离相对于多个预定测量位置的水平位置的关系曲线，可以能够快速且准确地确定最低位置P。由此，可以更准确地调平检测平台100。

示例性地，在垫高的步骤S5之后，如图7所示，调平检测平台100 的方法还包括：

步骤S6：沿着远离测距装置的方向移动检测平台100。

返回参见图1-2，示例性地，可以沿着轨道300移动检测平台100，其上的板状件将跟随检测平台100一起移动。由此，可以使检测平台100及其上的板状件一起远离测距装置。远离测距装置移动检测平台100及其上的板状件，可以为后续步骤中旋转检测平台100及其上的板状件提供足够的操作空间。

步骤S7：旋转检测平台100。

示例性地，可以将检测平台100旋转90度，以对相邻的另一个边缘进行调平。可选地，也可以旋转其他角度，例如180度等。

步骤S8：朝向测距装置移回检测平台100，以使板状件的其他边缘位于测距装置的下方或上方。

示例性地，移回检测平台100的操作可以反向于步骤S6中的操作。由此，移回检测平台100后，测距装置相对于板状件的将要继续检测的边缘可以具有同样的位置关系。

步骤S9：重复执行测量的步骤S2、确定最低位置的步骤S3、计算高度差的步骤S4和垫高的步骤S5。

由此，可以针对检测平台100的多个边缘执行调平操作，多次操作后能够进一步提高检测平台100的水平度。

需要说明的是，在针对检测平台100的四个边缘完成调平操作之后，可以继续针对第一个边缘再次执行调平操作，因为在调平其他边缘后，第二个边缘的水平度可能会受到影响。因此重复地对所有边缘执行调平操作，可以进一步提高检测平台100的水平度。

示例性地，如图8所示，垫高的步骤S5可以包括：

步骤S51：将检测平台100的连接点作为支点。返回参见图2，检测平台100与检测平台100下方的支撑装置200在连接点处通过紧固件连接。

示例性地，检测平台100上设置有第一上安装孔101、第二上安装孔 102、第三上安装孔103、第四上安装孔104、第五上安装孔105和第六上安装孔106。支撑装置200的转台210上设置有第一下安装孔201、第二下安装孔202、第三下安装孔203、第四下安装孔204、第五下安装孔205和第六下安装孔206。第一上安装孔101和第一下安装孔201通过第一紧固件连接，形成第一连接点。第二上安装孔102和第二下安装孔202通过第二紧固件连接，形成第二连接点。第三上安装孔103和第三下安装孔203 通过第三紧固件连接，形成第三连接点。第四上安装孔104和第四下安装孔204通过第四紧固件连接，形成第四连接点。第五上安装孔105和第五下安装孔205通过第五紧固件连接，形成第五连接点。第六上安装孔106 和第六下安装孔206通过第六紧固件连接，形成第六连接点。

当针对检测平台100的边缘E1进行调平时，可以将第四连接点、第五连接点和第六连接点中的一个作为支点。如果最低位置处更偏向边缘E1 的左侧，可以将第六连接点作为支点。如果最低位置处更偏向边缘E1的中部，可以将第五连接点作为支点。如果最低位置处更偏向边缘E1的右侧，可以将第四连接点作为支点。

步骤S52：根据h＝H·d/D确定用于垫高检测平台100的垫高物的高度，其中，h是垫高物的高度，△H是高度差，D是最低位置到支点的距离，d 是垫高物到支点的距离，垫高物位于支点和最低位置之间的预定垫高位置上。

如图10所示，实线示出了调平之前的检测平台100，虚线示出了调平之前的检测平台100’。a点可以为根据前述方法选定的支点。b点为位于检测平台100和支撑装置200之间的预定垫高位置。基于此，可以确定最低位置c到支点a的距离D、以及预定垫高位置b到支点a的距离d。高度差△H通过上文的任意实施例可以确定。由此，根据h＝H·d/D可以确定垫高物的高度h。

步骤S53：将垫高物放置在检测平台100和支撑装置200之间且位于所述预定垫高位置上。

在预定垫高位置上塞入垫高物后，可以将检测平台100’垫平到检测平台100的位置，使得检测平台100呈水平状。

需要说明的是，虽然上文利用全等三角形确定了垫高物的高度h，但是在实际操作中，△acc’与△abb’可以不全等。也就是说，a、b、c可以不在一条直线上。在实际中，检测平台100本身是加工过的，因此只存在缓慢的不平整的问题。那些较大的不平整属于不合格检测平台100，需要返工。这种较大的不平整不属于本申请要解决的问题。也就是说，△H是很小的，因此，即使a、b、c不在一条直线上，也可以近似地认为△acc’与△abb’是全等的，仍然可以利用h＝H·d/D确定垫高物的高度h。

示例性地，预定垫高位置可以为支撑装置的位于支点a和最低位置c之间的角部处。

参见图2，支撑装置的角部2101、2102、2103和2104可以是图中虚线所圈出的位置。当针对检测平台100的边缘E1进行调平时，可以将第四连接点、第五连接点和第六连接点中的一个作为支点。如果最低位置处更偏向边缘E1的左侧，可以将角部2104作为预定垫高位置。如果最低位置处更偏向边缘E1的右侧，可以将角部2101作为预定垫高位置。

在检测平台100和支撑装置200之间通过紧固件连接的实施例中，如图9所示，示例性地，该方法在放入垫高物的步骤S53之前还包括步骤S54：松开支点周围的紧固件。例如当以第四连接点作为支点时，可以松开第二上安装孔102和第二下安装孔202之间的第二紧固件、第三上安装孔103 和第三下安装孔203之间的第三紧固件、以及第五上安装孔105和第五下安装孔205之间的第五紧固件。这样，可以在角部2101处，检测平台100 可以相对于支撑装置200略微抬起，以便插入垫高件。

当放入垫高物的步骤S53步骤完成后，可以紧固支点周围的紧固件。以便使检测平台100和支撑装置200牢固连接，并且固定检测平台100的高度。

对于图9所包括的其他步骤，已经在上文中被详细描述，因此本文为了简洁将不再进一步详述。

根据本发明的另一个方面，还提供一种检测系统，该检测系统用于执行如上所述的任一种方法。检测系统可以为用于面板检测装置的检测系统。如图4所述，检测系统可以包括检测平台100、测距装置500、驱动装置(未示出)和控制装置(未示出)。

检测平台100用于支撑板状件400，板状件400的边缘410伸出到检测平台100之外。驱动装置用于在控制装置的控制下驱动测距装置500或者500’在边缘的下方或上方沿边缘水平移动。测距装置500或者500’用于在移动过程中在多个预定测量位置测量到边缘410的垂直距离H。控制装置用于根据垂直距离H确定检测平台100的最低位置，并且计算检测平台100的最低位置与检测平台100所在的基准面之间的高度差。

下面以一个具体的实施例对调平检测平台的工作流程进行描述。

首先，在检测平台100上放置板状件400。板状件400的边缘410伸出到检测平台100之外。

接着，使测距装置在板状件400的伸出的边缘410的下方沿该边缘410 水平移动，并在移动过程中在多个预定测量位置测量到边缘410的垂直距离。绘制所述垂直距离相对于多个预定测量位置的水平位置的关系曲线。根据所述关系曲线确定所述检测平台的最低位置。计算检测平台100的最低位置与检测平台100所在的基准面之间的高度差。根据h＝H·d/D确定用于垫高检测平台100的垫高物的高度。其中，h是垫高物的高度，△H是高度差，D是最低位置到支点的距离，d是垫高物到支点的距离，垫高物位于支点和最低位置之间的预定垫高位置上。松开支点周围的紧固件。将垫高物放置在检测平台100和支撑装置200之间且位于所述预定垫高位置上。紧固支点周围的紧固件。由此完成一个边缘的调平。

然后，沿着远离测距装置的方向移动检测平台100。将检测平台100 旋转90度。朝向测距装置移回检测平台100，以使板状件的第二个边缘位于测距装置的下方。朝向测距装置移回检测平台100，以使板状件的其他边缘位于测距装置的下方。重复执行测量的步骤、确定最低位置的步骤、计算高度差的步骤和垫高的步骤。

最后，将检测平台100远离测距装置平移并旋转，以使板状件的第三个边缘位于测距装置的下方，并对该第三个边缘所对应的检测平台100的边缘调平。…在检测平台100的所有边缘都调平之后，可以继续对检测平台100的第一个边缘调平，以使检测平台100具有良好的水平度。

在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“横向”、“竖向”、“垂直”、“水平”和“顶”、“底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内”、“外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用区域相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述图中所示的一个或多个部件或特征与其他部件或特征的区域位置关系。应当理解的是，区域相对术语不但包含部件在图中所描述的方位，还包括使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的部件被整体倒置，则部件“在其他部件或特征上方”或“在其他部件或特征之上”的将包括部件“在其他部件或构造下方”或“在其他部件或构造之下”的情况。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。此外，这些部件或特征也可以其他不同角度来定位(例如旋转90度或其他角度)，本文意在包含所有这些情况。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、部件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

本发明已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本发明并不局限于上述实施例，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。本发明的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。

Claims (9)

1.一种调平检测平台的方法，其特征在于，所述方法包括：

在所述检测平台上放置板状件以通过所述板状件的水平度来间接地反映检测平台的水平度，所述板状件的边缘伸出到所述检测平台之外；

测量的步骤：使测距装置在所述板状件的边缘的下方或上方沿所述板状件的边缘水平移动，并在移动过程中在多个预定测量位置测量到所述板状件的边缘的垂直距离；

确定最低位置的步骤：根据所述垂直距离确定所述检测平台的最低位置；

计算高度差的步骤：计算所述检测平台的最低位置与所述检测平台所在的基准面之间的高度差；

垫高的步骤：根据所述高度差将靠近所述最低位置的区域垫高，以使所述检测平台水平；

在所述垫高的步骤之后，沿着远离所述测距装置的方向移动所述检测平台；

旋转所述检测平台；

朝向所述测距装置移回所述检测平台，以使所述板状件的下一边缘位于所述测距装置的下方或上方；以及

重复执行所述测量的步骤、所述确定最低位置的步骤、所述计算高度差的步骤和所述垫高的步骤。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定最低位置的步骤包括：

绘制所述垂直距离相对于多个所述预定测量位置的水平位置的关系曲线；以及

根据所述关系曲线确定所述检测平台的最低位置。

3.如权利要求1-2中任一项所述的方法，其特征在于，所述垫高的步骤包括：

将所述检测平台的连接点作为支点，所述检测平台与所述检测平台下方的支撑装置在所述连接点处通过紧固件连接；

根据h=H·d/D确定用于垫高所述检测平台的垫高物的高度，其中，h是所述垫高物的高度，H是所述高度差，D是所述最低位置到所述支点的距离，d是所述垫高物到所述支点的距离，所述垫高物位于所述支点和所述最低位置之间的预定垫高位置上；以及

将所述垫高物放置在所述检测平台和所述支撑装置之间且位于所述预定垫高位置上。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述预定垫高位置为所述支撑装置的位于所述支点和所述最低位置之间的角部处。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，

在所述放置所述垫高物的步骤之前，所述方法还包括松开所述支点周围的紧固件；以及

在所述放置所述垫高物的步骤之后，所述方法还包括紧固所述支点周围的紧固件。

6.如权利要求1-2中任一项所述的方法，其特征在于，相邻的所述预定测量位置之间的间隔S=v·t，其中，v是所述测距装置的移动速度，t是所述测距装置的采样间隔。

7.如权利要求1-2中任一项所述的方法，其特征在于，所述测距装置是在直线电机的驱动下水平移动的。

8.一种检测系统，其特征在于，用于执行如权利要求1-7中任一项所述的方法，所述检测系统包括检测平台、测距装置、驱动装置和控制装置，其中

所述检测平台用于支撑板状件，所述板状件的边缘伸出到所述检测平台之外；

所述驱动装置用于在所述控制装置的控制下驱动所述测距装置在所述板状件的边缘的下方或上方沿所述板状件的边缘水平移动，所述测距装置用于在移动过程中在多个预定测量位置测量到所述板状件的边缘的垂直距离；且

所述控制装置用于根据所述垂直距离确定所述检测平台的最低位置，并且计算所述检测平台的最低位置与所述检测平台所在的基准面之间的高度差。

9.如权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统为面板检测系统。