CN114377459B - 化学制剂过滤器更换装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，该化学制剂过滤器更换装置在将相互不同种类的多个滤芯运送到过滤器固定部之前可进行存放。为了实现该目的的化学制剂更换装置将投放于滤芯存放部的新滤芯通过滤芯运送部运送到过滤器固定部来结合于过滤器组件，其中在所述滤芯存放部具有相互分开的多个存放空间，以投放多种滤芯，所述滤芯运送部将所述多种滤芯分别运送到过滤器固定部。

Description

化学制剂过滤器更换装置

技术领域

本发明涉及可更换用于过滤化学制剂中所含的杂质的过滤器组件的滤芯的化学制剂过滤器更换装置。

背景技术

通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。

这种化学制剂会经过化学制剂过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。

所述化学制剂过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学制剂的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。

以往，工作人员为了将从化学制剂带来的伤害最小化而穿戴化学防护服和防毒面具等的安全防护装备，并且一直以来亲自手动更换化学过滤器。然而，在工作人员手动更换化学制剂过滤器的情况下，在化学制剂过滤器更换工作时，化学制剂及烟雾(FUME)可能泄漏到外部，造成制造设备包括在内的周边环境的污染和损坏、破坏，不仅如此包括工作人员在内的周边人群也可能暴露在危险之中。

另外，在工作人员的阀门操作失误的情况下，可发生过滤器内部中的各种有毒化学物质泄漏到外部的事故。

另外，由于是手动更换化学制剂过滤器，因此存在更换过滤器所需的工时增加的问题。

作为用于解决这种手动更换化学制剂过滤器的问题的现有技术，公开了韩国授权专利第10-1921600号。

所述现有技术涉及可自动更换化学制剂过滤器的化学制剂过滤器自动更换装置，具有存放待使用于化学制剂过滤的新滤芯的存放部。在所述存放部只存放一种滤芯。

为了供应半导体等的制造工艺中要求的化学制剂，化学制剂储存于化学制剂储罐。在具有用于过滤进入所述化学制剂储罐的化学制剂的前置过滤器(Pre filter)和用于在从化学制剂储罐排出来供应于制造工艺之前过滤化学制剂的最终过滤器(Finalfilter)的情况下，所述化学制剂过滤器的孔径可能不同。即，可构成为前置过滤器的孔径大，而最终过滤器的孔径小。

如此，用于自动更换孔径尺寸相互不同的多种过滤器的滤芯的化学制剂过滤器更换装置的必要性正在突显。

发明内容

技术问题

本发明是为了解决上述整体问题而提出的，目的在于提供一种在将相互不同种类的多个滤芯运送到过滤器固定部之前可进行存放的化学制剂过滤器更换装置。

技术方案

用于达到上述目的的化学制剂过滤器更换装置将投放于滤芯存放部的新滤芯通过滤芯运送部运送到过滤器固定部来结合于过滤器组件，其中，在所述滤芯存放部具有相互分开的多个存放空间，以分别投放多种滤芯，所述滤芯运送部将所述多种滤芯分别运送到过滤器固定部。

技术效果

根据本发明，具有可存放多种滤芯的存放部，进而可自动更换能够满足制造工艺要求的过滤性能的滤芯，因此在更换滤芯时可防止工作人员暴露在危险之中，并且可将更换滤芯所需的工时最小化。

另外，确认多种滤芯的滤芯信息之后开放存放部的门，进而可防止混入用途不同的滤芯。

另外，将通过滤芯运送部运送滤芯的动作最小化，进而可有效执行化学制剂过滤器更换装置的控制。

另外，使安装滤芯的滤芯安装架向高度不同的位置移动或者循环，进而在小尺寸的存放空间可存放大量的滤芯。

附图说明

图1是示出本发明的化学制剂过滤器更换装置的立体图。

图2是示出去除门以便看到在图1示出化学制剂过滤器更换装置的存放部内部的立体图。

图3是示出以便看到在图1示出化学制剂过滤器更换装置的整个内部的立体图。

图4是示出在图3示出的化学制剂过滤器更换装置的平剖面图。

图5是示出结合配置在第一存放空间的滤芯安装部、安装部外壳及门的状态的立体图。

图6是示出在第一滤芯安装部安装第一滤芯的状态的立体图。

图7是示出结合配置在第二存放空间的滤芯安装部和安装部外壳、门的状态的立体图。

图8是示出在第二滤芯安装部安装第二滤芯的状态的立体图。

图9是示出在图8示出的第二滤芯安装部安装第二滤芯的状态下驱动第二安装架运送驱动部的动作状态的侧视图。

图10是示出第一滤芯安装部的另一实施例的平面图。

图11是示出第二滤芯安装部的另一实施例的平面图。

(附图标记说明)

1：化学制剂过滤器更换装置 2：外部外壳

10：前置过滤器 11：第一滤芯

12、22：过滤器外壳 13、23：过滤器头

20：最终过滤器 21：第二滤芯

100：滤芯存放部 110：第一存放空间

111：第一门 112：第一安装部外壳

113：隔壁 120：第二存放空间

121：第二门 122：第二安装部外壳

130：第一滤芯安装部 131a、131b：第一滤芯安装架

131e：安装槽 132：第一安装架支撑部件

133：第一安装架运送驱动部 140：第二滤芯安装部

141a、141b、141c、141d：第二滤芯安装架

141e：安装槽 142：第二安装架支撑部件

143：第二安装架运送驱动部 150：第一锁定部

160：第二锁定部 170：第一后方门

180：第二后方门 200：滤芯运送部

210：运送轨道 220：第一夹持部

230：第二夹持部 300：过滤器固定部

300-1：第一过滤器固定部 300-2：第二过滤器固定部

300-3：第三过滤器固定部 400：滤芯回收部

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的实施例。

参照图1至图4，本发明的一实施例的化学制剂过滤器更换装置1包括：滤芯存放部100、滤芯运送部200、过滤器固定部300、滤芯回收部400。

所述化学制剂过滤器更换装置1包括包围装置的整个外侧的外部外壳2，并且具有用于控制整个化学制剂过滤器更换装置1的控制部(未示出)。

在所述滤芯存放部100投放并安装待更换的新滤芯，而已安装的新滤芯在通过滤芯运送部200运送到过滤器固定部300之前被暂时存放。

在所述过滤器固定部300固定过滤器组件10、20。所述过滤器组件10、20可由前置过滤器(Pre filter)10和最终过滤器(Final filter)20构成，所述前置过滤器10用于过滤流进化学制剂储罐(未示出)的化学制剂，所述最终过滤器20用于在从化学制剂储罐排出供应于制造工艺之前过滤化学制剂。

所述过滤器固定部300可由固定所述前置过滤器10的第一过滤器固定部300-1、固定所述最终过滤器20的第二过滤器固定部300-2和第三过滤器固定部300-3构成。所述第一至第三过滤器固定部300-1、300-2、300-3以图4为基准从左侧至右侧间隔配置。

所述前置过滤器10可由第一滤芯11、过滤器外壳12及过滤器头13构成，所述第一滤芯11用于过滤化学制剂中所含的异物，所述过滤器外壳12在内部容纳所述第一滤芯11，所述过滤器头13结合于所述过滤器外壳12的开放的一侧。

所述最终过滤器20可由第二滤芯21、过滤器外壳22及过滤器头23构成，所述第二滤芯21用于过滤化学制剂中所含的异物，所述过滤器外壳22在内部容纳所述第二滤芯21，所述过滤器头23结合于所述过滤器外壳22的开放的一侧。

举一示例，所述第一过滤器固定部300-1的前置过滤器10配置有2个，所述第二过滤器固定部300-2和第三过滤器固定部300-3的最终过滤器20可配置有4个。但是，所述前置过滤器10和最终过滤器20的个数不限于此，也可各配置3个来同数构成，根据装置的结构可构成各种数量。流进化学制剂储罐的化学制剂通过并联连接的一对前置过滤器10，而储存于所述化学制剂储罐的化学制剂通过并联连接的4个最终过滤器20之后供应于制造工艺。

分别配置多个的所述前置过滤器10和最终过滤器20，在更换配置在某一过滤器内部的滤芯的情况下，不中断化学制剂的供应，而是可通过其他过滤器继续供应化学制剂。

在所述第一至第三过滤器固定部300-1、300-2、300-3分别配置有过滤器外壳拆装模块310-1、310-2、310-3，所述过滤器外壳拆装模块310-1、310-2、310-3可抓住所述过滤器外壳12、22的外周面来进行上下升降。

在通过前置过滤器10和最终过滤器20供应化学制剂的情况下，所述过滤器外壳12、22在内部配置滤芯11、21的状态下结合于过滤器头13、23来构成过滤器组件10、20。在用新滤芯更换滤芯11、21的情况下，如图1至图3所示，若过滤器外壳拆装模块310-1、310-2、310-3抓住过滤器外壳12、22上升，则所述过滤器外壳12、22从过滤器头13、23分开向上移动。之后，将曾安装在所述过滤器头13、23的废滤芯运送到滤芯回收部400，将存放在滤芯存放部100的新滤芯安装在过滤器头13、23。在将新滤芯安装在过滤器头13、23的状态下抓住过滤器外壳12、22的过滤器外壳拆装模块310-1、310-2、310-3下降，在过滤器头13、23结合过滤器外壳12、22，进而完成滤芯的更换。

所述滤芯运送部200是用于将固定在过滤器固定部300的废滤芯运送到滤芯回收部400来进行回收，并且将存放于滤芯存放部100的新滤芯移动至去除废滤芯的过滤器固定部300。

所述滤芯运送部200配置成在夹持新滤芯或者废滤芯之后可沿着左右方向(滤芯运送部的运送方向)直线运送。为此，所述滤芯运送部200包括沿着左右方向延长形成的直线形状的运送轨道210。

所述滤芯运送部200包括：第一夹持部220，夹持新滤芯，以将存放于滤芯存放部100的新滤芯运送到过滤器固定部300；第二夹持部230，夹持废滤芯，以将所述过滤器固定部300的废滤芯运送到滤芯回收部400。

对于所述滤芯存放部100的结构进行详细说明。

在所述滤芯存放部100配置有相互分开的多个存放空间110、120，以分别投放多种滤芯。

所述多种滤芯可由孔径尺寸相互不同的多种滤芯11、21构成。所述多种滤芯11、21可由孔径尺寸大的第一滤芯11、孔径尺寸小于所述第一滤芯11的第二滤芯21构成。另外，所述多种滤芯11、21也可构成为具有相互相同的孔径。另外，所述多种滤芯也可由直径或者高度相互不同进而尺寸相互不同的滤芯、外形相互不同的滤芯构成。

在本实施例中，所述多个存放空间110、120可由用于存放所述第一滤芯11的第一存放空间110、用于存放所述第二滤芯21的第二存放空间120构成。

所述第一存放空间110和第二存放空间120之间通过隔壁113分开。

在所述第一存放空间110的前方入口侧配置有开关第一存放空间110的第一门111，在所述第二存放空间120的前方入口侧配置有开关第二存放空间120的第二门121。

在所述第一存放空间110的后方出口侧配置有开关第一存放空间110的第一后门170，在所述第二存放空间120的后方出口侧配置有开关第二存放空间120的第二后门180。所述第一后门170在滤芯运送部200运送第一存放空间110的第一滤芯11的情况下开放，所述第二后门180在滤芯运送部200运送第二存放空间120的第二滤芯21的情况下开放。

配置有用于开关所述第一门111的第一锁定部150和用于开关所述第二门121的第二锁定部160。

所述第一锁定部150和第二锁定部160处于锁定状态，在将第一滤芯11投放于第一存放空间110或者将第二滤芯21投放于第二存放空间120的情况下处于锁定解除状态，进而可开放第一门111或者第二门121。

在该情况下，为了防止在第一存放空间110投放第二滤芯21或者在第二存放空间120投放第一滤芯11来混放滤芯，优选为，确认滤芯信息，使已确认的滤芯待投放的存放空间的锁定部处于锁定解除状态，而其余锁定部则保持锁定状态。

所述滤芯信息可显示于在所述滤芯的各个外侧面标记的识别部(未示出)。所述识别部可由条形码(Bar Code)、RFID或二维码(QR Code)构成。所述滤芯信息可包括滤芯种类的信息。用扫描仪(未示出)扫描所述识别部，控制部从所述扫描到的信息中可判断滤芯信息。另外，对于所述滤芯信息和识别部也可利用视觉摄像头识别刻在滤芯侧面或者上部等的标记，除了这种示例以外也可通过各种方法构成滤芯信息和识别部。

所述多个存放空间110、120在与作为所述滤芯运送部200的运送方向的直线方向并列的直线上配置在彼此相邻的位置。即，如图4所示，可相邻地配置在与运送轨道210并列的直线上。

在所述第一存放空间110内部配置有第一滤芯安装部130，以便可安装第一滤芯11；在所述第二存放空间120内部配置有第二滤芯安装部140，以便可安装第二滤芯21。

参照图5至图9，对于第一滤芯安装部130和第二滤芯安装部140进行详细说明。

如图5和图6所示，所述第一滤芯安装部130包括：第一滤芯安装架131a、131b、第一安装架支撑部件132、第一安装架运送驱动部133。

所述第一滤芯安装架131a、131b大致构成为方盒形状，在中心部开放上部，并且形成有安装槽131e，以上下方向插入第一滤芯11a、11b。

所述第一滤芯安装架131a、131b和第一滤芯11a、11b分别构成有多个，在第一滤芯安装架131a、131b的上部可分别安装第一滤芯11a、11b。所述多个第一滤芯安装架131a、131b沿着与所述滤芯运送部200的运送方向垂直的方向相互间隔配置。即，如图4所示，多个第一滤芯安装架131a、131b可沿着垂直于运送轨道210的方向排成一列。在本实施例中，示例了所述第一滤芯11a、11b和第一滤芯安装架131a、131b各配置有2个。

所述第一安装架支撑部件132构成为平板形状，以固定所述第一滤芯安装架131a、131b的下部。

所述第一安装架运送驱动部133支撑所述第一安装架支撑部件132的下部，而且可使安装所述第一滤芯11a、11b的第一滤芯安装架131a、131b及所述第一安装架支撑部件132一体地以所述滤芯运送部200所在的方向(即，与滤芯运送部200的运送方向垂直的方向)直线移动地驱动。

所述第一安装架运送驱动部133可由用于直线移动的直线运送导件(LM导件)和由气缸或者液压缸构成的驱动源构成。当然，也可由马达代替所述缸体来构成。

所述第一安装部外壳112构成为上部开放的方盒形状，在所述第一安装部外壳112可一体地结合所述第一滤芯安装部130。

在所述第一安装部外壳112的前方一体地结合第一门111，整体可构成为抽屉形状。在解除所述第一锁定部150的锁定的状态下，可从所述第一存放空间110一体地抽出所述第一门111和第一安装部外壳112、第一滤芯安装部130。

在所述多个第一滤芯11a、11b中，若在最接近所述滤芯运送部200的位置(第一位置)的第一滤芯安装架131a安装的第一滤芯11a通过所述滤芯运送部200被运送到所述过滤器固定部300，则驱动所述第一安装架运送驱动部133，位于下一位置(第二位置)的第一滤芯安装架131b与第一滤芯11b一同向第一位置移动。向所述第一位置移动的第一滤芯11b在更换下一个滤芯时通过所述滤芯运送部200被运送到过滤器固定部300。

如图7至图9所示，所述第二滤芯安装部140包括：第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d、第二安装架支撑部件142、第二安装架运送驱动部143。

所述第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d作为与第一滤芯安装架131a、131b相同的形状，大致构成为方盒形状，在中心部开放上部，并且形成有安装槽141e，以上下方向插入第二滤芯21a、21b、21c、21d。

所述第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d和第二滤芯21a、21b、21c、21d分别构成有多个，在第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d的上部可分别安装第二滤芯21a、21b、21c、21d。所述多个第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d沿着与所述滤芯运送部200的运送方向垂直的方向相互间隔地排成一列。在本实施例中，示例了所述第二滤芯21a、21b、21c、21d和第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d各配置有4个。

在所述第二安装架支撑部件142中，支撑第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d底面的部分可构成为平板形状，并且固定所述第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d的下部。

在所述第二安装架支撑部件142的一侧配置有第二安装架运送驱动部143。

所述第二安装架运送驱动部143可使在上部安装所述第二滤芯21a、21b、21c、21d的第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d及所述第二安装架支撑部件142一体地沿着所述滤芯运送部200所在的方向(即，与滤芯运送部200的运送方向垂直的方向)直线移动地驱动。

在该情况下，所述第二安装架支撑部件142可由传送带构成，所述第二安装架运送驱动部143可由用于旋转所述传送带的马达构成。

所述第二安装部外壳122构成与第一安装部外壳112相同的形状，构成为开放上部的方盒形状，在所述第二安装部外壳122一体地结合所述第二滤芯安装部140。

在所述第二安装部外壳122的前方一体地结合第二门121，进而整体构成为抽屉形状。在解除所述第二锁定部160的锁定的状态下可从所述第二存放空间120一体地抽出所述第二门121和第二安装部外壳122、第二滤芯安装部140。

在所述多个第二滤芯21a、21b、21c、21d中，若在最接近所述滤芯运送部200的位置(第一位置)的第二滤芯安装架141a安装的第二滤芯21a通过所述滤芯运送部200被运送至所述过滤器固定部300，则驱动所述所述第二安装架运送驱动部143，向第一位置一同移动位于下一位置(第二位置)的第二滤芯安装架141b与第二滤芯21b。向所述第一位置移动的第二滤芯21b在更换下一个滤芯时通过所述滤芯运送部200被运送至过滤器固定部300。

如图9所示，若驱动第二安装架运送驱动部143，则由传送带构成的第二安装架支撑部件142以逆时针进行旋转。在该情况下，所述多个第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d也以逆时针方向移动，然而在水平区间则直线移动。

在该情况下，位于第一位置的第二滤芯安装架141a在最接近所述滤芯运送部200的位置转换运送方向，进而向第二安装架支撑部件142的下部移动。即，若在第一位置继续移动第二滤芯安装架141a，则以垂直方向移动至其他高度。

另外，若继续移动向所述第二安装架支撑部件142下部移动的第二滤芯安装架141a，则移动至第二安装架支撑部件142的另一侧下部之后重新向上部移动可返回到原来的位置，进而可构成循环结构。

在本实施例中示例了在循环的结构中将第二滤芯安装架141a以垂直方向移动至其他高度的情况，但是不循环也可将第二滤芯安装架141a以垂直方向移动至其他高度的结构。

如上所述，构成为将滤芯安装架移动至与第一位置不同高度的位置或者循环的结构，进而在小尺寸的存放空间可存放大量的滤芯。

参照图10和图11，对于第一滤芯安装部和第二滤芯安装部的另一实施例进行说明。

在图10示出了旋转式构成的第一滤芯安装部130-1和安装在所述第一滤芯安装部130-1上的第一滤芯11a、11b。

所述第一滤芯安装部130-1可包括在图5说明的第一滤芯安装架131a、131b，第一滤芯11a、11b可安装在所述第一滤芯安装架131a、131b上。另外，具有支撑所述第一滤芯安装架131a、131b下部的第一安装架支撑部件，并且还可具有一体地旋转所述第一安装架支撑部件和第一滤芯安装架131a、131b的第一安装架运送驱动部。

在所述第一滤芯11a、11b中，若位于最接近所述滤芯运送部200的位置(第一位置)的第一滤芯11a通过滤芯运送部200被运送至过滤器固定部300，则通过所述第一安装架运送驱动部的驱动向第一位置移动位于下一位置(第二位置)的第一滤芯11b。向所述第一位置移动的第一滤芯11b在更换下一个滤芯时通过所述滤芯运送部200被运送至过滤器固定部300。

在图11示出了以旋转式构成的第二滤芯安装部140-1和安装在所述第二滤芯安装部140-1上的第二滤芯21a、21b、21c、21d。所述第二滤芯安装部140-1也具有安装第二滤芯21a、21b、21c、21d的第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d及支撑所述第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d下部的第二安装架支撑部件，并且还可具有一体地旋转所述第二安装架支撑部件和第二滤芯安装架141a、141b、141c、141d的第二安装架运送驱动部。

在所述第二滤芯21a、21b、21c、21d中，若位于最接近所述滤芯运送部200的位置(第一位置)的第二滤芯21a通过滤芯运送部200被运送至过滤器固定部300，则依次向第一位置移动位于下一位置(第二位置)的第二滤芯21b、21c、21d，进而在更换下一个滤芯时通过所述滤芯运送部200运送至过滤器固定部300。

另一方面，在图4示出了第一夹持位置P1、第二夹持位置P2、第一固定位置P3、第二固定位置P4，其中，所述第一夹持位置P1为通过滤芯运送部200夹持第一滤芯11a的位置，所述第二夹持位置P2为通过滤芯运送部200夹持第二滤芯21a的位置，所述第一固定位置P3为通过滤芯运送部200运送的第一滤芯11a安装在第一过滤器固定部300-1的位置，所述第二固定位置P4为通过滤芯运送部200运送的第二滤芯21a安装在第二过滤器固定部300-2的位置。

所述第一夹持位置P1为上述的第一滤芯11a的第一位置，所述第二夹持位置P2为上述的第二滤芯21a的第一位置。

所述滤芯运送部200在夹持所述滤芯存放部100的第一滤芯11a、11b或者第二滤芯21a、21b、21c、21d之后沿着运送轨道210直线移动，之后移动至第一过滤器固定部300-1的第一固定位置P3或者第二过滤器固定部300-2的第二固定位置P4。

所述第一夹持位置P1和第二夹持位置P2、第一固定位置P3、第二固定位置P4位于与通过所述滤芯运送部200移动滤芯的直线并列的直线L上。

所述滤芯运送部200为了在第一夹持位置P1或者第二夹持位置P2夹持第一滤芯11a或者第二滤芯21a，所述第一夹持部220应该从沿着运送轨道210进行运送的直线上的位置至第一夹持位置P1或者第二夹持位置P2以图4为基准以垂直向下方向移动。

另外，所述滤芯运送部200的第一夹持部220为了在第一夹持位置P1或者第二夹持位置P2夹持第一滤芯11a或者第二滤芯21a之后沿着运送轨道210直线运送之后将第一滤芯11a或者第二滤芯21a安装在第一固定位置P3或者第二固定位置P4，所述第一夹持部220应该从沿着运送轨道210进行运送的直线上的位置至第一固定位置P3或者第二固定位置P4以图4为基准以垂直向下方向移动。

通过如上所述的方法进行控制的情况下，若第一夹持位置P1和第二夹持位置P2、第一固定位置P3、第二固定位置P4位于同一条直线L上，则用于第一夹持部220以垂直向下方向移动的位置控制变得简单，因此可将第一夹持部220的运送动作最少化，并且可有效执行化学制剂过滤器更换装置1的控制。

如上所述，举优选的实施例详细说明了本发明，但是本发明不限于上述的实施例，而是能够在权利要求书的范围和发明的详细说明及附图的范围内可进行各种变形并实施，而且这也包括在本发明的范围内。

Claims (11)

1.一种化学制剂过滤器更换装置，包括滤芯存放部、滤芯运送部及过滤器固定部，其特征在于，

投放于所述滤芯存放部的新滤芯通过所述滤芯运送部运送到所述过滤器固定部来结合于过滤器组件，

在所述滤芯存放部具有相互分开的多个存放空间，以分别投放多种滤芯，

所述滤芯运送部将所述多种滤芯分别运送到过滤器固定部，

在所述滤芯存放部具有：多个门，开关所述多个存放空间各个的入口；锁定部，使各个所述多个门处于锁定状态或者锁定解除状态，

所述多种滤芯由孔径或者滤芯外形、尺寸相互不同的多种种类构成，

若控制部接收通过识别标记在所述多种新滤芯的识别部来获取的关于所述多种新滤芯的种类的滤芯信息，则所述控制部控制锁定部，只使开关待投放对应于所述接收的信息的新滤芯的存放空间的门处于锁定解除状态以仅使所述滤芯信息被确认的新滤芯投放到所述存放空间，而其余门则保持锁定状态。

2.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

在所述多个存放空间内部分别配置有滤芯安装部，以安装所述滤芯，

配置有安装架运送驱动部，在所述滤芯安装部安装所述滤芯的状态下使所述滤芯以所述滤芯运送部所在的方向移动。

3.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

在各个所述滤芯安装部沿着与所述滤芯运送部的运送方向垂直的方向相互间隔安装多个滤芯，

若位于最接近所述滤芯运送部的位置的滤芯通过所述滤芯运送部被运送到所述过滤器固定部，则驱动所述安装架运送驱动部，向最接近所述滤芯运送部的位置移动安装于下一个位置的滤芯。

4.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

在各个所述滤芯安装部相互间隔安装多个滤芯的状态下进行旋转，

若位于最接近所述滤芯运送部的位置的滤芯通过所述滤芯运送部被运送至所述过滤器固定部，则驱动所述安装架运送驱动部，向最接近所述滤芯运送部的位置旋转并移动安装于下一个位置的滤芯。

5.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述安装架运送驱动部沿着与所述滤芯运送部的运送方向垂直的方向直线移动安装所述滤芯的滤芯安装架。

6.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述安装架运送驱动部沿着与所述滤芯运送部的运送方向垂直方向直线移动安装所述滤芯的滤芯安装架，若继续移动所述滤芯安装架，则以垂直方向移动至其他高度。

7.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述安装架运送驱动部沿着与所述滤芯运送部的运送方向垂直的方向直线移动安装所述滤芯的滤芯安装架，若继续移动所述滤芯安装架，则循环移动以返回到原来的位置。

8.根据权利要求7所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述滤芯安装架结合于循环的传送带。

9.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述门一体地结合于安装部外壳，所述安装部外壳结合于安装所述滤芯的滤芯安装部，进而所述门和安装部外壳、滤芯安装部一体地从所述存放空间抽出。

10.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述滤芯运送部配置成夹持所述滤芯存放部的滤芯之后进行直线移动，

安装在所述滤芯存放部而被所述滤芯运送部夹持的滤芯的位置和安装在所述过滤器固定部的滤芯的位置位于与通过所述滤芯运送部移动滤芯的直线并列的直线上。

11.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述多个存放空间相邻地位于与所述滤芯运送部运送滤芯的直线方向并列的直线上。