CN114345104A - 一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法，属于半导体废气处理设备技术领域，启动双头电机带动第一联动转杆和橡胶清理杆转动，通过橡胶清理杆进行清理，通过第一联动转杆带动第一锥齿轮转动，并通过联动实现带动主动工型轮运动，通过主动工型轮带动从动工型轮运动，进而在废气导入管内壁移动清理，对于不同直径的内壁通过侧连接架端部的十字型滑块可在侧滑槽内滑动进行调节，并通过第一限位弹簧对十字型滑块进行限位，通过采用第二限位弹簧和弧形连接杆的配合对端铰接杆进行限位，通过内调节板、外调节筒和辅助滚筒以及第三限位弹簧对传动仓在废气导入管内移动进行支撑和限位。

Description

一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法

技术领域

本发明涉及一种半导体废气处理设备，特别是涉及一种水汽雾化半导体废气处理设备，本发明还涉及一种半导体废气处理设备的水汽雾化方法，特别涉及一种水汽雾化半导体废气处理设备的水汽雾化方法，属于半导体废气处理设备技术领域。

背景技术

在对于半导体废气处理中依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化\燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。

在半导体制备厂，依照系统废气排放可分为：一般排气、酸性排气、碱性排气和有机排气。

现有技术中针对酸性排气和碱性排气采用的处理基本原理相同都是对废气进行收集处理，然后采用洗涤的方式。

而现有技术中常因气体特性导致在管路中结晶或粉尘堆积，导致管路堵塞后导致气体外泄，严重的甚至引发爆炸，危害现场工作人员的工作安全，另外在进行水洗的时候其水洗的程度不够高效，而且水洗后的气体也容易携带一些酸性或者碱性水汽出来导致环境的污染，为此设计一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法来优化上述问题。

发明内容

本发明的主要目的是为了提供一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法，将废气导入管连通半导体制备装置输出酸性或碱性气体的排气阀，酸性或碱性气体通过废气导入管进入至柔性导气管并通过侧导气架以及垂直排气管进行排出气体，依据加入的是酸性或碱性气体通过水洗液进入泵向环形水洗液导入管内导入对应的酸性或碱性洗涤液，然后通过联动杆雾化后喷出，启动调节电机带动调节转盘转动，通过调节转盘调节联动杆运动，通过联动杆带动升降连接杆上下移动，从而调节环形水洗液导入管上下移动进行移动式雾化，雾化的水洗液与排出的气体进行中和反应并产生水以及废渣可以落入至废渣收集池内进行收集处理，启动第一水泵、第二水泵并依据气体水洗塔内的温度，然后启动半导体制冷器或电加热器进行对蓄水池制冷或者加热，来保持气体水洗塔内温度的平衡达到合适中和的温度，通过气体导出盘收集中和后含有水雾的气体通过第二气体导出管进入至气水分离仓内，雾化的水在重力下会在气水分离仓顶部凝聚然后落入至液体回流管，并通过液体回流管进入至气体水洗塔内，中和后的气体通过第一气体导出管和再过滤管进入至再过滤仓内进行再次中和后通过第三气体导出管排出，再长时间使用后废气导入管内壁会有结晶，然后启动双头电机带动第一联动转杆和橡胶清理杆转动，通过橡胶清理杆进行清理，通过第一联动转杆带动第一锥齿轮转动，并通过联动实现带动主动工型轮运动，通过主动工型轮带动从动工型轮运动，进而在废气导入管内壁移动清理，对于不同直径的内壁通过侧连接架端部的十字型滑块可在侧滑槽内滑动进行调节，并通过第一限位弹簧对十字型滑块进行限位，通过采用第二限位弹簧和弧形连接杆的配合对端铰接杆进行限位，通过内调节板、外调节筒和辅助滚筒以及第三限位弹簧对传动仓在废气导入管内移动进行支撑和限位。

本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：

一种水汽雾化半导体废气处理设备，包括气体水洗塔，气体水洗塔的内底部设有废渣收集组件，气体水洗塔的内中下方处安装有过滤缓冲网，气体水洗塔的侧底部贯穿气体水洗塔连接有废气导入管，且废气导入管位于气体水洗塔内部并位于过滤缓冲网下方处设有气体导入分布架组件，废气导入管的内部设有内壁结晶粉尘清理组件，气体水洗塔的两侧中部设有限位侧槽组件，在气体水洗塔的中部设有水洗液导入环形架组件，且水洗液导入环形架组件两侧的顶部与限位侧槽组件相互配合，气体水洗塔的侧中部处设有可带动水洗液导入环形架组件上下移动的调节盘组件，位于气体水洗塔的外侧中部设有与水洗液导入环形架组件连通的水洗液导入组件，气体水洗塔的外侧套设有外调温罩，且位于外调温罩的内部设有储水环形仓，所述外调温罩外壁的一侧设有水循环泵组件，且水循环泵组件之间连通有水调温组件，气体水洗塔的顶部安装有气水分离仓，位于气水分离仓的内部与气体水洗塔连通设有水回流组件，气水分离仓的顶部连通有第一气体导出管，位于外调温罩的一侧下方设有与第一气体导出管连通的再洗涤组件。

优选的，废渣收集组件包括废渣收集池、推拉手柄和底过滤网，气体水洗塔外侧的底部插入有废渣收集池，并位于废渣收集池的内底部设有底过滤网，且位于废渣收集池的外侧中部安装有推拉手柄，该推拉手柄的外侧套设有橡胶套。

优选的，气体导入分布架组件包括柔性导气管、侧导气架、浮动气囊和垂直排气管，废气导入管的顶部连通有柔性导气管，并位于柔性导气管的外侧顶部等角度连通有侧导气架，该侧导气架的顶部等间距连通有垂直排气管，侧导气架的底部铺设有浮动气囊。

优选的，内壁结晶粉尘清理组件包括传动仓、橡胶清理杆、U型座传驱动组件、外限位板组件、支撑调节架组件和驱动工型轮组件，该传动仓的一端中部设有橡胶清理杆，传动仓外侧的顶部与底部皆设有驱动工型轮组件，位于传动仓远离橡胶清理杆的一端中部安装有U型座，该U型座的内侧底部与底部皆铰接有支撑调节架组件，传动仓的顶中部与底中部处安装有外限位板组件，位于传动仓的内部设有传驱动组件，且驱动工型轮组件和橡胶清理杆皆被传驱动组件驱动。

优选的，传驱动组件包括双头电机、第一联动转杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮、第二联动转杆、主动齿轮盘和从动齿轮盘，传动仓的内壁靠近橡胶清理杆处安装有双头电机，该双头电机的一输出端与橡胶清理杆连接，且双头电机的另一输出端安装有第一联动转杆，并通过第一联动转杆安装有第一锥齿轮，且第一锥齿轮的外侧啮合有第二锥齿轮，第二锥齿轮一侧的中部安装有第二联动转杆，并位于第二联动转杆的另一端安装有主动齿轮盘，传动仓的内部设有两组从动齿轮盘，且其中一组从动齿轮盘与主动齿轮盘之间相互啮合。

优选的，驱动工型轮组件包括主动工型轮、传送皮带和从动工型轮，传动仓远离橡胶清理杆的一端顶部与底部皆设有主动工型轮，该主动工型轮的一端中部贯穿至传动仓内与从动齿轮盘侧中部固定，主动工型轮的外侧套设有传送皮带，且传送皮带的内侧远离主动工型轮的一端套设有从动工型轮。

优选的，支撑调节架组件包括弧形连接杆、弧形调节筒、第二限位弹簧、端铰接杆、侧滑槽、第一限位弹簧、十字型滑块和侧连接架，U型座的内侧顶部与底部皆铰接有端铰接杆，该端铰接杆远离U型座的一端顶部与侧部皆开设有侧滑槽，并位于侧滑槽的内侧设有可沿侧滑槽轴向滑动的十字型滑块，十字型滑块的内端部与侧滑槽内壁之间安装有第一限位弹簧，十字型滑块的两侧铰接有侧连接架，且侧连接架的另一端铰接在从动工型轮外侧的中部处。

优选的，外限位板组件包括外调节筒、内调节板和辅助滚筒，传动仓的顶中部与底中部皆安装有外调节筒，并位于外调节筒的内侧设有可在外调节筒内侧上下滑动的内调节板，且内调节板的端部铰接有辅助滚筒，内调节板和外调节筒之间安装有第三限位弹簧。

优选的，限位侧槽组件包括侧垂直槽、垂直限位杆和侧限位杆，侧垂直槽开设在气体水洗塔内壁的两侧中部处，并在侧垂直槽的内侧沿侧垂直槽轴向上安装有垂直限位杆，垂直限位杆的外侧套设有侧限位杆，且侧限位杆的另一端固定在水洗液导入环形架组件的外侧。

优选的，水洗液导入环形架组件包括环形水洗液导入管、侧架、连接架、联动杆和升降连接杆，气体水洗塔的内中部设有垂直向下分布的多组环形水洗液导入管，且环形水洗液导入管沿垂直向下直径不断增大，每组环形水洗液导入管之间通过侧架连接，且侧架侧中部安装有连接架，并位于连接架的中部安装有升降连接杆，升降连接杆的顶部与调节盘组件相互配合，最顶部的环形水洗液导入管两侧固定有侧限位杆。

优选的，调节盘组件包括调节转盘、调节电机和联动杆，外调温罩的外侧安装有调节电机，且该调节电机的输出端贯穿外调温罩和气体水洗塔，所述调节电机输出端位于气体水洗塔内部的一端安装有调节转盘，且调节转盘的外侧边部处铰接有联动杆，该联动杆的底部铰接有升降连接杆。

优选的，水洗液导入组件包括水洗液进入阀和水洗液进入泵，外调温罩的外侧下方安装有水洗液进入泵，并在水洗液进入泵的一端连通有水洗液进入阀，水洗液进入阀的另一端通过软管贯穿外调温罩和气体水洗塔与环形水洗液导入管侧顶部连通。

优选的，水调温组件包括调温仓、蓄水池、电加热筒、电加热器、散热风机仓、半导体制冷器和散热风机，外调温罩的外侧中部安装有调温仓，并位于调温仓的顶部与底部皆设有半导体制冷器，调温仓的外侧中部安装有散热风机仓，且散热风机仓的内侧设有散热风机，调温仓的内部设有蓄水池，位于蓄水池的外侧套设有电加热筒，且电加热筒的外侧设有电加热器，电加热器通过导线与电加热筒电性连接；

水循环泵组件包括第一水泵、第二水泵和储水环形仓，外调温罩的一侧安装有第一水泵和第二水泵，且第二水泵和第一水泵皆与蓄水池的内部连通，储水环形仓位于外调温罩的内部，第一水泵和第二水泵的另一端皆与储水环形仓连通。

优选的，水回流组件包括第二气体导出管、液体回流管和气体导出盘，气水分离仓的内部与气体水洗塔内部之间插入有第二气体导出管，且第二气体导出管的底部位于气体水洗塔内设有气体导出盘，气水分离仓的底部连通有插入至过滤缓冲网上方的液体回流管；

再洗涤组件包括再过滤仓、加液管、液体排出管和第三气体导出管，外调温罩的外侧下方安装有再过滤仓，再过滤仓的一侧顶部连通有加液管，再过滤仓的顶部连通有第三气体导出管，再过滤仓的底部连通有液体排出管，第一气体导出管的底部连通有再过滤管，且再过滤管插入至再过滤仓的内部，气体水洗塔的侧上方连通有液体导出电磁阀。

一种水汽雾化半导体废气处理设备的水汽雾化方法，包括如下步骤：

步骤1：将废气导入管连通半导体制备装置输出酸性或碱性气体的排气阀；

步骤2：酸性或碱性气体通过废气导入管进入至柔性导气管并通过侧导气架以及垂直排气管进行排出气体；

步骤3：依据加入的是酸性或碱性气体通过水洗液进入泵向环形水洗液导入管内导入对应的酸性或碱性洗涤液，然后通过联动杆雾化后喷出；

步骤4：启动调节电机带动调节转盘转动，通过调节转盘调节联动杆运动，通过联动杆带动升降连接杆上下移动，从而调节环形水洗液导入管上下移动进行移动式雾化；

步骤5：雾化的水洗液与排出的气体进行中和反应并产生水以及废渣可以落入至废渣收集池内进行收集处理；

步骤6：启动第一水泵、第二水泵并依据气体水洗塔内的温度，然后启动半导体制冷器或电加热器进行对蓄水池制冷或者加热，来保持气体水洗塔内温度的平衡达到合适中和的温度；

步骤7：通过气体导出盘收集中和后含有水雾的气体通过第二气体导出管进入至气水分离仓内，雾化的水在重力下会在气水分离仓顶部凝聚然后落入至液体回流管，并通过液体回流管进入至气体水洗塔内；

步骤8：中和后的气体通过第一气体导出管和再过滤管进入至再过滤仓内进行再次中和后通过第三气体导出管排出；

步骤9：再长时间使用后废气导入管内壁会有结晶，然后启动双头电机带动第一联动转杆和橡胶清理杆转动；

步骤10：通过橡胶清理杆进行清理，通过第一联动转杆带动第一锥齿轮转动，并通过联动实现带动主动工型轮运动，通过主动工型轮带动从动工型轮运动，进而在废气导入管内壁移动清理；

步骤11：对于不同直径的内壁通过侧连接架端部的十字型滑块可在侧滑槽内滑动进行调节，并通过第一限位弹簧对十字型滑块进行限位；

步骤12：通过采用第二限位弹簧和弧形连接杆的配合对端铰接杆进行限位；

步骤13：通过内调节板、外调节筒和辅助滚筒以及第三限位弹簧对传动仓在废气导入管内移动进行支撑和限位。

本发明的有益技术效果：

本发明提供的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法，将废气导入管连通半导体制备装置输出酸性或碱性气体的排气阀，酸性或碱性气体通过废气导入管进入至柔性导气管并通过侧导气架以及垂直排气管进行排出气体，依据加入的是酸性或碱性气体通过水洗液进入泵向环形水洗液导入管内导入对应的酸性或碱性洗涤液，然后通过联动杆雾化后喷出，启动调节电机带动调节转盘转动，通过调节转盘调节联动杆运动，通过联动杆带动升降连接杆上下移动，从而调节环形水洗液导入管上下移动进行移动式雾化，雾化的水洗液与排出的气体进行中和反应并产生水以及废渣可以落入至废渣收集池内进行收集处理，启动第一水泵、第二水泵并依据气体水洗塔内的温度，然后启动半导体制冷器或电加热器进行对蓄水池制冷或者加热，来保持气体水洗塔内温度的平衡达到合适中和的温度，通过气体导出盘收集中和后含有水雾的气体通过第二气体导出管进入至气水分离仓内，雾化的水在重力下会在气水分离仓顶部凝聚然后落入至液体回流管，并通过液体回流管进入至气体水洗塔内，中和后的气体通过第一气体导出管和再过滤管进入至再过滤仓内进行再次中和后通过第三气体导出管排出，再长时间使用后废气导入管内壁会有结晶，然后启动双头电机带动第一联动转杆和橡胶清理杆转动，通过橡胶清理杆进行清理，通过第一联动转杆带动第一锥齿轮转动，并通过联动实现带动主动工型轮运动，通过主动工型轮带动从动工型轮运动，进而在废气导入管内壁移动清理，对于不同直径的内壁通过侧连接架端部的十字型滑块可在侧滑槽内滑动进行调节，并通过第一限位弹簧对十字型滑块进行限位，通过采用第二限位弹簧和弧形连接杆的配合对端铰接杆进行限位，通过内调节板、外调节筒和辅助滚筒以及第三限位弹簧对传动仓在废气导入管内移动进行支撑和限位。

附图说明

图1为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的装置整体侧剖视图；

图2为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的b处结构放大图；

图3为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的a处结构放大图；

图4为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的第一视角管道清理组件立体结构示意图；

图5为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的c处结构放大图；

图6为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的第二视角管道清理组件立体结构示意图；

图7为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的缓冲架侧剖视图；

图8为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的驱动组件及联动组件组合结构示意图；

图9为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的齿轮传动组件结构示意图；

图10为按照本发明的一种水汽雾化半导体废气处理设备及水汽雾化方法的一优选实施例的排气组件立体结构示意图。

图中：1-第一气体导出管，2-气水分离仓，3-第二气体导出管，4-液体回流管，5-气体水洗塔，6-气体导出盘，8-液体导出电磁阀，9-再过滤仓，10-调节转盘，11-外调温罩，12-第一水泵，13-调温仓，14-水洗液进入阀，15-水洗液进入泵，16-再过滤管，17-加液管，18-液体排出管，19-储水环形仓，20-第二水泵，21-散热风机仓，22-散热风机，23-半导体制冷器，24-电加热器，25-蓄水池，26-电加热筒，27-过滤缓冲网，28-废渣收集池，29-废气导入管，30-环形水洗液导入管，31-连接架，32-侧架，33-侧限位杆，34-侧垂直槽，35-垂直限位杆，36-传动仓，37-橡胶清理杆，38-外调节筒，39-内调节板，40-辅助滚筒，41-端铰接杆，42-传送皮带，43-弧形调节筒，44-弧形连接杆，45-主动工型轮，46-从动工型轮，47-侧连接架，48-十字型滑块，49-第一限位弹簧，50-侧滑槽，52-U型座，53-第二限位弹簧，54-双头电机，55-第一联动转杆，56-第一锥齿轮，57-第二锥齿轮，58-主动齿轮盘，59-从动齿轮盘，60-第二联动转杆，61-柔性导气管，62-侧导气架，63-垂直排气管，64-浮动气囊，65-联动杆，66-升降连接杆，67-第三气体导出管。

具体实施方式

为使本领域技术人员更加清楚和明确本发明的技术方案，下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

如图1-图10所示，本实施例提供的一种水汽雾化半导体废气处理设备，包括气体水洗塔5，气体水洗塔5的内底部设有废渣收集组件，气体水洗塔5的内中下方处安装有过滤缓冲网27，气体水洗塔5的侧底部贯穿气体水洗塔5连接有废气导入管29，且废气导入管29位于气体水洗塔5内部并位于过滤缓冲网27下方处设有气体导入分布架组件，废气导入管29的内部设有内壁结晶粉尘清理组件，气体水洗塔5的两侧中部设有限位侧槽组件，在气体水洗塔5的中部设有水洗液导入环形架组件，且水洗液导入环形架组件两侧的顶部与限位侧槽组件相互配合，气体水洗塔5的侧中部处设有可带动水洗液导入环形架组件上下移动的调节盘组件，位于气体水洗塔5的外侧中部设有与水洗液导入环形架组件连通的水洗液导入组件，气体水洗塔5的外侧套设有外调温罩11，且位于外调温罩11的内部设有储水环形仓19，外调温罩11外壁的一侧设有水循环泵组件，且水循环泵组件之间连通有水调温组件，气体水洗塔5的顶部安装有气水分离仓2，位于气水分离仓2的内部与气体水洗塔5连通设有水回流组件，气水分离仓2的顶部连通有第一气体导出管1，位于外调温罩11的一侧下方设有与第一气体导出管1连通的再洗涤组件。

将废气导入管29连通半导体制备装置输出酸性或碱性气体的排气阀，酸性或碱性气体通过废气导入管29进入至柔性导气管61并通过侧导气架62以及垂直排气管63进行排出气体，依据加入的是酸性或碱性气体通过水洗液进入泵15向环形水洗液导入管30内导入对应的酸性或碱性洗涤液，然后通过联动杆65雾化后喷出，启动调节电机带动调节转盘10转动，通过调节转盘10调节联动杆65运动，通过联动杆65带动升降连接杆66上下移动，从而调节环形水洗液导入管30上下移动进行移动式雾化，雾化的水洗液与排出的气体进行中和反应并产生水以及废渣可以落入至废渣收集池28内进行收集处理，启动第一水泵12、第二水泵20并依据气体水洗塔5内的温度，然后启动半导体制冷器23或电加热器24进行对蓄水池25制冷或者加热，来保持气体水洗塔5内温度的平衡达到合适中和的温度，通过气体导出盘6收集中和后含有水雾的气体通过第二气体导出管3进入至气水分离仓2内，雾化的水在重力下会在气水分离仓2顶部凝聚然后落入至液体回流管4，并通过液体回流管4进入至气体水洗塔5内，中和后的气体通过第一气体导出管1和再过滤管16进入至再过滤仓9内进行再次中和后通过第三气体导出管67排出，再长时间使用后废气导入管29内壁会有结晶，然后启动双头电机54带动第一联动转杆55和橡胶清理杆37转动，通过橡胶清理杆37进行清理，通过第一联动转杆55带动第一锥齿轮56转动，并通过联动实现带动主动工型轮45运动，通过主动工型轮45带动从动工型轮46运动，进而在废气导入管29内壁移动清理，对于不同直径的内壁通过侧连接架47端部的十字型滑块48可在侧滑槽50内滑动进行调节，并通过第一限位弹簧49对十字型滑块48进行限位，通过采用第二限位弹簧53和弧形连接杆44的配合对端铰接杆41进行限位，通过内调节板39、外调节筒38和辅助滚筒40以及第三限位弹簧对传动仓36在废气导入管29内移动进行支撑和限位。

在本实施例中，废渣收集组件包括废渣收集池28、推拉手柄和底过滤网，气体水洗塔5外侧的底部插入有废渣收集池28，并位于废渣收集池28的内底部设有底过滤网，且位于废渣收集池28的外侧中部安装有推拉手柄，该推拉手柄的外侧套设有橡胶套。

在本实施例中，气体导入分布架组件包括柔性导气管61、侧导气架62、浮动气囊64和垂直排气管63，废气导入管29的顶部连通有柔性导气管61，并位于柔性导气管61的外侧顶部等角度连通有侧导气架62，该侧导气架62的顶部等间距连通有垂直排气管63，侧导气架62的底部铺设有浮动气囊64。

在本实施例中，内壁结晶粉尘清理组件包括传动仓36、橡胶清理杆37、U型座52传驱动组件、外限位板组件、支撑调节架组件和驱动工型轮组件，该传动仓36的一端中部设有橡胶清理杆37，传动仓36外侧的顶部与底部皆设有驱动工型轮组件，位于传动仓36远离橡胶清理杆37的一端中部安装有U型座52，该U型座52的内侧底部与底部皆铰接有支撑调节架组件，传动仓36的顶中部与底中部处安装有外限位板组件，位于传动仓36的内部设有传驱动组件，且驱动工型轮组件和橡胶清理杆37皆被传驱动组件驱动。

在本实施例中，传驱动组件包括双头电机54、第一联动转杆55、第一锥齿轮56、第二锥齿轮57、第二联动转杆60、主动齿轮盘58和从动齿轮盘59，传动仓36的内壁靠近橡胶清理杆37处安装有双头电机54，该双头电机54的一输出端与橡胶清理杆37连接，且双头电机54的另一输出端安装有第一联动转杆55，并通过第一联动转杆55安装有第一锥齿轮56，且第一锥齿轮56的外侧啮合有第二锥齿轮57，第二锥齿轮57一侧的中部安装有第二联动转杆60，并位于第二联动转杆60的另一端安装有主动齿轮盘58，传动仓36的内部设有两组从动齿轮盘59，且其中一组从动齿轮盘59与主动齿轮盘58之间相互啮合。

在本实施例中，驱动工型轮组件包括主动工型轮45、传送皮带42和从动工型轮46，传动仓36远离橡胶清理杆37的一端顶部与底部皆设有主动工型轮45，该主动工型轮45的一端中部贯穿至传动仓36内与从动齿轮盘59侧中部固定，主动工型轮45的外侧套设有传送皮带42，且传送皮带42的内侧远离主动工型轮45的一端套设有从动工型轮46。

在本实施例中，支撑调节架组件包括弧形连接杆44、弧形调节筒43、第二限位弹簧53、端铰接杆41、侧滑槽50、第一限位弹簧49、十字型滑块48和侧连接架47，U型座52的内侧顶部与底部皆铰接有端铰接杆41，该端铰接杆41远离U型座52的一端顶部与侧部皆开设有侧滑槽50，并位于侧滑槽50的内侧设有可沿侧滑槽50轴向滑动的十字型滑块48，十字型滑块48的内端部与侧滑槽50内壁之间安装有第一限位弹簧49，十字型滑块48的两侧铰接有侧连接架47，且侧连接架47的另一端铰接在从动工型轮46外侧的中部处。

在本实施例中，外限位板组件包括外调节筒38、内调节板39和辅助滚筒40，传动仓36的顶中部与底中部皆安装有外调节筒38，并位于外调节筒38的内侧设有可在外调节筒38内侧上下滑动的内调节板39，且内调节板39的端部铰接有辅助滚筒40，内调节板39和外调节筒38之间安装有第三限位弹簧。

在本实施例中，限位侧槽组件包括侧垂直槽34、垂直限位杆35和侧限位杆33，侧垂直槽34开设在气体水洗塔5内壁的两侧中部处，并在侧垂直槽34的内侧沿侧垂直槽34轴向上安装有垂直限位杆35，垂直限位杆35的外侧套设有侧限位杆33，且侧限位杆33的另一端固定在水洗液导入环形架组件的外侧。

在本实施例中，水洗液导入环形架组件包括环形水洗液导入管30、侧架32、连接架31、联动杆65和升降连接杆66，气体水洗塔5的内中部设有垂直向下分布的多组环形水洗液导入管30，且环形水洗液导入管30沿垂直向下直径不断增大，每组环形水洗液导入管30之间通过侧架32连接，且侧架32侧中部安装有连接架31，并位于连接架31的中部安装有升降连接杆66，升降连接杆66的顶部与调节盘组件相互配合，最顶部的环形水洗液导入管30两侧固定有侧限位杆33。

在本实施例中，调节盘组件包括调节转盘10、调节电机和联动杆65，外调温罩11的外侧安装有调节电机，且该调节电机的输出端贯穿外调温罩11和气体水洗塔5，调节电机输出端位于气体水洗塔5内部的一端安装有调节转盘10，且调节转盘10的外侧边部处铰接有联动杆65，该联动杆65的底部铰接有升降连接杆66。

在本实施例中，水洗液导入组件包括水洗液进入阀14和水洗液进入泵15，外调温罩11的外侧下方安装有水洗液进入泵15，并在水洗液进入泵15的一端连通有水洗液进入阀14，水洗液进入阀14的另一端通过软管贯穿外调温罩11和气体水洗塔5与环形水洗液导入管30侧顶部连通。

在本实施例中，水调温组件包括调温仓13、蓄水池25、电加热筒26、电加热器24、散热风机仓21、半导体制冷器23和散热风机22，外调温罩11的外侧中部安装有调温仓13，并位于调温仓13的顶部与底部皆设有半导体制冷器23，调温仓13的外侧中部安装有散热风机仓21，且散热风机仓21的内侧设有散热风机22，调温仓13的内部设有蓄水池25，位于蓄水池25的外侧套设有电加热筒26，且电加热筒26的外侧设有电加热器24，电加热器24通过导线与电加热筒26电性连接；

水循环泵组件包括第一水泵12、第二水泵20和储水环形仓19，外调温罩11的一侧安装有第一水泵12和第二水泵20，且第二水泵20和第一水泵12皆与蓄水池25的内部连通，储水环形仓19位于外调温罩11的内部，第一水泵12和第二水泵20的另一端皆与储水环形仓19连通。

在本实施例中，水回流组件包括第二气体导出管3、液体回流管4和气体导出盘6，气水分离仓2的内部与气体水洗塔5内部之间插入有第二气体导出管3，且第二气体导出管3的底部位于气体水洗塔5内设有气体导出盘6，气水分离仓2的底部连通有插入至过滤缓冲网27上方的液体回流管4；

再洗涤组件包括再过滤仓9、加液管17、液体排出管18和第三气体导出管67，外调温罩11的外侧下方安装有再过滤仓9，再过滤仓9的一侧顶部连通有加液管17，再过滤仓9的顶部连通有第三气体导出管67，再过滤仓9的底部连通有液体排出管18，第一气体导出管1的底部连通有再过滤管16，且再过滤管16插入至再过滤仓9的内部，气体水洗塔5的侧上方连通有液体导出电磁阀8。

一种水汽雾化半导体废气处理设备的水汽雾化方法，包括如下步骤：

步骤1：将废气导入管29连通半导体制备装置输出酸性或碱性气体的排气阀；

步骤2：酸性或碱性气体通过废气导入管29进入至柔性导气管61并通过侧导气架62以及垂直排气管63进行排出气体；

步骤3：依据加入的是酸性或碱性气体通过水洗液进入泵15向环形水洗液导入管30内导入对应的酸性或碱性洗涤液，然后通过联动杆65雾化后喷出；

步骤4：启动调节电机带动调节转盘10转动，通过调节转盘10调节联动杆65运动，通过联动杆65带动升降连接杆66上下移动，从而调节环形水洗液导入管30上下移动进行移动式雾化；

步骤5：雾化的水洗液与排出的气体进行中和反应并产生水以及废渣可以落入至废渣收集池28内进行收集处理；

步骤6：启动第一水泵12、第二水泵20并依据气体水洗塔5内的温度，然后启动半导体制冷器23或电加热器24进行对蓄水池25制冷或者加热，来保持气体水洗塔5内温度的平衡达到合适中和的温度；

步骤7：通过气体导出盘6收集中和后含有水雾的气体通过第二气体导出管3进入至气水分离仓2内，雾化的水在重力下会在气水分离仓2顶部凝聚然后落入至液体回流管4，并通过液体回流管4进入至气体水洗塔5内；

步骤8：中和后的气体通过第一气体导出管1和再过滤管16进入至再过滤仓9内进行再次中和后通过第三气体导出管67排出；

步骤9：再长时间使用后废气导入管29内壁会有结晶，然后启动双头电机54带动第一联动转杆55和橡胶清理杆37转动；

步骤10：通过橡胶清理杆37进行清理，通过第一联动转杆55带动第一锥齿轮56转动，并通过联动实现带动主动工型轮45运动，通过主动工型轮45带动从动工型轮46运动，进而在废气导入管29内壁移动清理；

步骤11：对于不同直径的内壁通过侧连接架47端部的十字型滑块48可在侧滑槽50内滑动进行调节，并通过第一限位弹簧49对十字型滑块48进行限位；

步骤12：通过采用第二限位弹簧53和弧形连接杆44的配合对端铰接杆41进行限位；

步骤13：通过内调节板39、外调节筒38和辅助滚筒40以及第三限位弹簧对传动仓36在废气导入管29内移动进行支撑和限位。

以上，仅为本发明进一步的实施例，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明所公开的范围内，根据本发明的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：包括气体水洗塔(5)，气体水洗塔(5)的内底部设有废渣收集组件，气体水洗塔(5)的内中下方处安装有过滤缓冲网(27)，气体水洗塔(5)的侧底部贯穿气体水洗塔(5)连接有废气导入管(29)，且废气导入管(29)位于气体水洗塔(5)内部并位于过滤缓冲网(27)下方处设有气体导入分布架组件，废气导入管(29)的内部设有内壁结晶粉尘清理组件，气体水洗塔(5)的两侧中部设有限位侧槽组件，在气体水洗塔(5)的中部设有水洗液导入环形架组件，且水洗液导入环形架组件两侧的顶部与限位侧槽组件相互配合，气体水洗塔(5)的侧中部处设有可带动水洗液导入环形架组件上下移动的调节盘组件，位于气体水洗塔(5)的外侧中部设有与水洗液导入环形架组件连通的水洗液导入组件，气体水洗塔(5)的外侧套设有外调温罩(11)，且位于外调温罩(11)的内部设有储水环形仓(19)，所述外调温罩(11)外壁的一侧设有水循环泵组件，且水循环泵组件之间连通有水调温组件，气体水洗塔(5)的顶部安装有气水分离仓(2)，位于气水分离仓(2)的内部与气体水洗塔(5)连通设有水回流组件，气水分离仓(2)的顶部连通有第一气体导出管(1)，位于外调温罩(11)的一侧下方设有与第一气体导出管(1)连通的再洗涤组件。

2.根据权利要求1所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：废渣收集组件包括废渣收集池(28)、推拉手柄和底过滤网，气体水洗塔(5)外侧的底部插入有废渣收集池(28)，并位于废渣收集池(28)的内底部设有底过滤网，且位于废渣收集池(28)的外侧中部安装有推拉手柄，该推拉手柄的外侧套设有橡胶套。

3.根据权利要求2所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：气体导入分布架组件包括柔性导气管(61)、侧导气架(62)、浮动气囊(64)和垂直排气管(63)，废气导入管(29)的顶部连通有柔性导气管(61)，并位于柔性导气管(61)的外侧顶部等角度连通有侧导气架(62)，该侧导气架(62)的顶部等间距连通有垂直排气管(63)，侧导气架(62)的底部铺设有浮动气囊(64)。

4.根据权利要求3所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：内壁结晶粉尘清理组件包括传动仓(36)、橡胶清理杆(37)、U型座(52)传驱动组件、外限位板组件、支撑调节架组件和驱动工型轮组件，该传动仓(36)的一端中部设有橡胶清理杆(37)，传动仓(36)外侧的顶部与底部皆设有驱动工型轮组件，位于传动仓(36)远离橡胶清理杆(37)的一端中部安装有U型座(52)，该U型座(52)的内侧底部与底部皆铰接有支撑调节架组件，传动仓(36)的顶中部与底中部处安装有外限位板组件，位于传动仓(36)的内部设有传驱动组件，且驱动工型轮组件和橡胶清理杆(37)皆被传驱动组件驱动。

5.根据权利要求4所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：传驱动组件包括双头电机(54)、第一联动转杆(55)、第一锥齿轮(56)、第二锥齿轮(57)、第二联动转杆(60)、主动齿轮盘(58)和从动齿轮盘(59)，传动仓(36)的内壁靠近橡胶清理杆(37)处安装有双头电机(54)，该双头电机(54)的一输出端与橡胶清理杆(37)连接，且双头电机(54)的另一输出端安装有第一联动转杆(55)，并通过第一联动转杆(55)安装有第一锥齿轮(56)，且第一锥齿轮(56)的外侧啮合有第二锥齿轮(57)，第二锥齿轮(57)一侧的中部安装有第二联动转杆(60)，并位于第二联动转杆(60)的另一端安装有主动齿轮盘(58)，传动仓(36)的内部设有两组从动齿轮盘(59)，且其中一组从动齿轮盘(59)与主动齿轮盘(58)之间相互啮合。

6.根据权利要求5所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：驱动工型轮组件包括主动工型轮(45)、传送皮带(42)和从动工型轮(46)，传动仓(36)远离橡胶清理杆(37)的一端顶部与底部皆设有主动工型轮(45)，该主动工型轮(45)的一端中部贯穿至传动仓(36)内与从动齿轮盘(59)侧中部固定，主动工型轮(45)的外侧套设有传送皮带(42)，且传送皮带(42)的内侧远离主动工型轮(45)的一端套设有从动工型轮(46)。

7.根据权利要求6所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：支撑调节架组件包括弧形连接杆(44)、弧形调节筒(43)、第二限位弹簧(53)、端铰接杆(41)、侧滑槽(50)、第一限位弹簧(49)、十字型滑块(48)和侧连接架(47)，U型座(52)的内侧顶部与底部皆铰接有端铰接杆(41)，该端铰接杆(41)远离U型座(52)的一端顶部与侧部皆开设有侧滑槽(50)，并位于侧滑槽(50)的内侧设有可沿侧滑槽(50)轴向滑动的十字型滑块(48)，十字型滑块(48)的内端部与侧滑槽(50)内壁之间安装有第一限位弹簧(49)，十字型滑块(48)的两侧铰接有侧连接架(47)，且侧连接架(47)的另一端铰接在从动工型轮(46)外侧的中部处。

8.根据权利要求7所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：外限位板组件包括外调节筒(38)、内调节板(39)和辅助滚筒(40)，传动仓(36)的顶中部与底中部皆安装有外调节筒(38)，并位于外调节筒(38)的内侧设有可在外调节筒(38)内侧上下滑动的内调节板(39)，且内调节板(39)的端部铰接有辅助滚筒(40)，内调节板(39)和外调节筒(38)之间安装有第三限位弹簧。

9.根据权利要求8所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：限位侧槽组件包括侧垂直槽(34)、垂直限位杆(35)和侧限位杆(33)，侧垂直槽(34)开设在气体水洗塔(5)内壁的两侧中部处，并在侧垂直槽(34)的内侧沿侧垂直槽(34)轴向上安装有垂直限位杆(35)，垂直限位杆(35)的外侧套设有侧限位杆(33)，且侧限位杆(33)的另一端固定在水洗液导入环形架组件的外侧。

10.根据权利要求9所述的一种水汽雾化半导体废气处理设备，其特征在于：水洗液导入环形架组件包括环形水洗液导入管(30)、侧架(32)、连接架(31)、联动杆(65)和升降连接杆(66)，气体水洗塔(5)的内中部设有垂直向下分布的多组环形水洗液导入管(30)，且环形水洗液导入管(30)沿垂直向下直径不断增大，每组环形水洗液导入管(30)之间通过侧架(32)连接，且侧架(32)侧中部安装有连接架(31)，并位于连接架(31)的中部安装有升降连接杆(66)，升降连接杆(66)的顶部与调节盘组件相互配合，最顶部的环形水洗液导入管(30)两侧固定有侧限位杆(33)。

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