CN114281035A

CN114281035A - 生产安全运维监控管理系统

Info

Publication number: CN114281035A
Application number: CN202111467817.6A
Authority: CN
Inventors: 王晓尉; 李文博
Original assignee: Beijing Jingyi Automation Equipment Co Ltd
Current assignee: Beijing Jingyi Automation Equipment Co Ltd
Priority date: 2021-12-03
Filing date: 2021-12-03
Publication date: 2022-04-05

Abstract

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种生产安全运维监控管理系统，包括多个单机附属设备，以及数据链路整合设备和集控管理设备，每个单机附属设备均与数据链路整合设备连接，数据链路整合设备与集控管理设备连接。通过数据链路整合设备将各个单机附属设备的不同数据链路进行整合，并且通过集控管理设备对数据链路整合设备整合的数据进行分析处理，可实现单机附属设备的集中监控、自动巡检和健康监测等。降低单机分散设备的运行风险。从网络架构、数据采集、软件设计及数据上传等不同层面，建立了一套安全、可靠系统，即满足单机附属设备的运维管理，又可实现工厂统一化、智能化管理。

Description

生产安全运维监控管理系统

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种生产安全运维监控管理系统。

背景技术

半导体的附属设备，可广泛应用在CVD/PVD/ETCH/DIFF等半导体制程中，目前此类设备特点为体积小、分布分散、数量多、多为单机控制，而且现有的半导体制程中的单机附属设备一般无集中监控，对单机附属设备的工作运行的维护就需要大量的人力巡检，无形中增加了运维成本，而随着工厂统一化、智能化管理的发展需求，对附属设备的集中管控需求已势在必行。

发明内容

本发明提供一种生产安全运维监控管理系统，用以解决现有技术中现有的半导体制程中的单机附属设备一般无集中监控，对单机附属设备的工作运行的维护就需要大量的人力巡检，无形中增加了运维成本的缺陷，实现节省巡检人力，提前预警，降低单机分散设备的运行风险。从网络架构、数据采集、软件设计及数据上传等不同层面，建立了一套安全、可靠系统，确保系统实现实时监控、预警预判、对比分析及数据上传等各项功能，即满足单机附属设备的运维管理，又可实现工厂统一化、智能化管理的效果。

本发明提供一种生产安全运维监控管理系统，包括多个单机附属设备，以及数据链路整合设备和集控管理设备，每个所述单机附属设备均与所述数据链路整合设备连接，所述数据链路整合设备与所述集控管理设备连接。

根据本发明提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述数据链路整合设备包括交换机和采集服务器，每个所述单机附属设备均通过所述交换机与所述采集服务器连接。

根据本发明提供的一种生产安全运维监控管理系统，每个所述单机附属设备通过以太网与所述交换机连接。

根据本发明提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述交换机通过IOServer驱动器与所述采集服务器连接。

根据本发明提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述数据链路整合设备还包括数据存储器，所述数据存储器与所述采集服务器连接。

根据本发明提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述集控管理设备包括管理监控模块和分析预警模块，所述管理监控模块用于数据链路整合设备整合的数据进行管理和监控，所述分析预警模块用于对数据链路整合设备整合的数据进行分析处理和检测预警。

根据本发明提供的一种生产安全运维监控管理系统，还包括上层设备，所述上层设备与集控管理设备连接。

根据本发明提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述集控管理设备通过SECS/GEM转发工具与所述上层设备连接。

本发明提供的生产安全运维监控管理系统，能实现在CVD/PVD/ETCH/DIFF等半导体制程中，半导体温控、废气处理、加热带、泵等单机附属设备的安全运维监控及管理，可广泛应用。针对附属设备体积小、分布分散、数量多、多为单机控制的特点，通过数据链路整合设备将各个单机附属设备的不同数据链路进行整合，并且通过集控管理设备对数据链路整合设备整合的数据进行分析处理，可实现单机附属设备的集中监控、自动巡检和健康监测等。本发明由此可实现分散式的单机附属设备工厂智能化集中管控的需求，实现分散单机附属设备集中全面监控，既节省巡检人力，又可提前预警，降低单机分散设备的运行风险。从网络架构、数据采集、软件设计及数据上传等不同层面，建立了一套安全、可靠系统，确保系统实现实时监控、预警预判、对比分析及数据上传等各项功能，即满足单机附属设备的运维管理，又可实现工厂统一化、智能化管理。

除了上面所描述的本发明解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明提供的生产安全运维监控管理系统的结构示意图；

图2是本发明提供的生产安全运维监控管理系统的数据链路整合设备的结构示意图；

图3是本发明提供的生产安全运维监控管理系统的集控管理设备的结构示意图；

图4是本发明提供的生产安全运维监控管理系统的SECS/GEM转发工具的结构示意图；

附图标记：

100、单机附属设备；

200、数据链路整合设备；210、交换机；220、采集服务器；

300、集控管理设备；310、管理监控模块；320、分析预警模块；

400、上层设备；500、SECS/GEM转发工具。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

此外，在本发明实施例的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

如图1所示，本发明实施例提供的生产安全运维监控管理系统，包括多个单机附属设备100，以及数据链路整合设备200和集控管理设备300，每个单机附属设备100均与数据链路整合设备200连接，数据链路整合设备200与集控管理设备300连接。

本发明实施例的生产安全运维监控管理系统，能实现在CVD/PVD/ETCH/DIFF等半导体制程中，半导体温控、废气处理、加热带、泵等单机附属设备100的安全运维监控及管理，可广泛应用。针对附属设备体积小、分布分散、数量多、多为单机控制的特点，通过数据链路整合设备200将各个单机附属设备100的不同数据链路进行整合，并且通过集控管理设备300对数据链路整合设备200整合的数据进行分析处理，可实现单机附属设备100的集中监控、自动巡检和健康监测等。本发明由此可实现分散式的单机附属设备100工厂智能化集中管控的需求，实现分散单机附属设备100集中全面监控，既节省巡检人力，又可提前预警，降低单机分散设备的运行风险。从网络架构、数据采集、软件设计及数据上传等不同层面，建立了一套安全、可靠系统，确保系统实现实时监控、预警预判、对比分析及数据上传等各项功能，即满足单机附属设备100的运维管理，又可实现工厂统一化、智能化管理。

如图2所示，根据本发明提供的一个实施例，数据链路整合设备200包括交换机210和采集服务器220，每个单机附属设备100均通过交换机210与采集服务器220连接。本实施例中，单机附属设备100的数据链路整合主要采用IOServer服务器来完成，由于不同厂家或不同种类的单机附属设备100选用的控制器不同，通讯协议格式和接口就不同，IOServer服务器是兼容多种通讯协议的驱动，可将不同数据链路进行整合，该系统可满足20000个点位的数据采集。每个单机附属设备100的数据传输接口均连接交换机210，通过交换机210与IOServer服务器实现数据在通信传递过程中的各设备的硬件连接。

根据本发明提供的一个实施例，每个单机附属设备100通过以太网与交换机210连接。本实施例中，所有分散的单机附属设备100均通过以太网连接到交换机210，实现数据信息的传递。在其它实施例中，单机附属设备100还可通过其它有线或无线形式与交换机210连接，实现数据通信即可。

根据本发明提供的一个实施例，交换机210通过IOServer驱动器与采集服务器220连接。本实施例中，为适配交换机210传送的各个单机附属设备100的通讯协议，通过IOServer驱动器建立分散的单机附属设备100与采集服务器220之间的通讯协议接口，统一转化为能够被采集服务器220采集的通信信号。本实施例中，采集服务器220采用IOServer服务器。

根据本发明提供的一个实施例，数据链路整合设备200还包括数据存储器，数据存储器与采集服务器220连接。本实施例中，采集服务器220可满足20000个点位的数据采集，并通过数据存储器实现数据的存储，以备数据查看和分析。本实施例中，数据存储器采用Mysql数据库，在其它实施例中，数据存储器也可采用其它类型、不同容量的数据库，适配采集服务器220的数据采集性质和特点即可，如根据实际需求也可采用SQL Server或者实时数据库。

如图3所示，根据本发明提供的一个实施例，集控管理设备300包括管理监控模块310和分析预警模块320，管理监控模块310用于数据链路整合设备200整合的数据进行管理和监控，分析预警模块320用于对数据链路整合设备200整合的数据进行分析处理和检测预警。本实施例中，集控管理设备300对分散的单机附属设备100进行集中的监控和管理。其中，管理监控模块310与分析预警模块320配合集成了常规运行数据分析、日志、报表、故障统计等功能，可实现自动巡检和健康监测等工作。

本实施例中，管理监控模块310主要进行用户管理，即用户权限等级管理；数据管理，即数据存储/清除管理；网络管理，即网络配置管理及机台在线与否监控；设备管理，即实现添加监控设备功能；实时监控，即友好的人机界面与工作人员进行显示交互；常用图表，即提供数据图表分析和报表统计功能的工作。

本实施例中，分析预警模块320主要进行预警提示：提供设备失效提前预警功能；远程操作，即在权力范围内远程监测及设定功能；故障分析，即提供远程设备失效报警功能；数据分析，即提供数据报表分析、数据关联功能；振动分析，即嵌入振动分析软件，根据针对分析数据判断某些设备比如泵的工作状态；健康指标监测，即提供实时的健康指标监测功能；远程操作，即可实现远程操作控制附属设备的功能。

根据本发明提供的一个实施例，本发明实施例的生产安全运维监控管理系统还包括上层设备400，上层设备400与集控管理设备300连接。本实施例中，上层设备400一般为智能工厂FDC或MES系统，作为工厂信息化管理平台，集控管理设备300在集中监控预警和管理分散的单机附属设备100时，还需将其分析处理获得的数据结果及采集服务器220采集到的所有单机附属设备100的数据整理发送至上层设备400，工作人员在上层设备400处可读取所有数据内容，以便于工厂对各个单机附属设备100的信息、状态的监控和整合记录。

如图4所示，根据本发明提供的一个实施例，集控管理设备300通过SECS/GEM转发工具500与上层设备400连接。本实施例中，目前现有的单机附属设备100大多不具有SECS/GEM通讯协议接口，而实际应用中，实现单机附属设备100接入工厂信息化管理平台的需求越来越多，因此，本实施例的单机附属设备100进行数据链路整合，通过SECS/GEM转发工具500将链路整合的数据上传给上层设备400，即可实现与单机附属设备100通讯，也可满足半导体SECS/GEM标准通讯功能。因半导体附属设备多数不具备SECS/GEM通讯接口，本发明通过SECS/GEM转发工具500使半导体附属设备可通过GECS/GEM标准化通讯接口接入到半导体工厂信息管理系统，实现分散单机附属设备100信息链路的整合。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims

1.一种生产安全运维监控管理系统，其特征在于：包括多个单机附属设备，以及数据链路整合设备和集控管理设备，每个所述单机附属设备均与所述数据链路整合设备连接，所述数据链路整合设备与所述集控管理设备连接。

2.根据权利要求1所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：所述数据链路整合设备包括交换机和采集服务器，每个所述单机附属设备均通过所述交换机与所述采集服务器连接。

3.根据权利要求2所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：每个所述单机附属设备通过以太网与所述交换机连接。

4.根据权利要求2所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：所述交换机通过IOServer驱动器与所述采集服务器连接。

5.根据权利要求2所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：所述数据链路整合设备还包括数据存储器，所述数据存储器与所述采集服务器连接。

6.根据权利要求1所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：所述集控管理设备包括管理监控模块和分析预警模块，所述管理监控模块用于数据链路整合设备整合的数据进行管理和监控，所述分析预警模块用于对数据链路整合设备整合的数据进行分析处理和检测预警。

7.根据权利要求1至6任意一项所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：还包括上层设备，所述上层设备与集控管理设备连接。

8.根据权利要求7所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：所述集控管理设备通过SECS/GEM转发工具与所述上层设备连接。