CN114277345A - 一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备及镀厚金属层工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及薄膜镀金技术领域，尤其涉及一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备及镀厚金属层工艺。其技术方案包括：底柜、磁控溅射机与真空槽，底柜的内部两侧安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端安装有升降板，升降板的底部安装有磁控溅射机，底柜的内部的顶部安装有真空槽，真空槽的内部安装有清理组件，清理组件内安装有双向丝杆，双向丝杆的外侧通过螺纹安装有丝套刮板。本发明通过清理组件中的双向丝杆转动带动两组丝套刮板进行相对移动，从而可以对真空槽内部残留的金属涂料进行及时的刮除清理，减少工作人员手动清理的工作量，同时也便于对真空槽内部残留的金属涂料进行收集，方便对留的金属涂料进行回收利用，增加装置节能环保性能。

Description

一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备及镀厚金属层工艺

技术领域

本发明涉及薄膜镀金技术领域，尤其涉及一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备及镀厚金属层工艺。

背景技术

超薄膜在镀金时，需要通过磁控溅射的方式进行镀金，磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤，射频磁控溅射制备薄膜是一种很成熟的技术，通俗地讲就是在真空的状态下，将要溅射的元件等离子化，然后把这种等离子的类气体涂在薄膜上，也可以把坚硬的物资涂到柔性物体上去，这时需要一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备。

经检索，专利公告号为CN103898462A公开一种磁控溅射镀膜装置，其包括一反应室、位于反应室中央的一转架及可拆卸地设置于反应室腔壁与转架之间的至少一靶材，该磁控溅射镀膜装置还包括与反应室连通的二气体气路，每一气体气路设置有出气孔，且其中一气体气路的出气孔靠近靶材设置，另一气体气路的出气孔设置于转架的周围。

现有的磁控溅射镀膜装置的设备存在的缺陷是：

1、无法及时地对超薄膜镀金残留的金属涂料进行清理，从而导致金属涂料残留在装置内部固化，不仅增加了工作人员后期清理量，也增加清理难度，同时也不便于对金属涂料进行收集，从而影响金属涂料回收利用率，降低了装置的节能环保性；

2、在进行抽吸真空时，无法对抽出的气体进行过滤，导致抽出气体直接排放在空气中，而抽出气体中携带大量的金属等离子，金属等离子进入真空抽吸装置内部会破坏内部结构，同时携带金属等离子的气体排放在空气中会污染工作环境，进而危害工作人员的身体健康。

发明内容

本发明的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备。

本发明的技术方案：一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，包括底柜、磁控溅射机与真空槽，所述底柜的内部两侧安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端安装有升降板，所述升降板的底部安装有磁控溅射机，所述底柜的内部的顶部安装有真空槽，所述真空槽的内部安装有清理组件，所述清理组件内安装有双向丝杆，所述双向丝杆的外侧通过螺纹安装有丝套刮板，所述真空槽的底部通过电磁阀管安装有收集箱，所述真空槽的底部一侧通过管道安装有真空组件，所述真空组件内安装有真空抽吸泵，所述真空抽吸泵的顶部安装有过滤筒，且过滤筒的内部安装有滤芯，所述底柜内部的底部安装有氩气罐。

优选的，所述底柜的正面通过合页安装有检修门，且底柜的正面一侧安装有控制器。

优选的，所述磁控溅射机的底部安装有平面矩形靶，且平面矩形靶底部安装有限位辊架。

优选的，所述双向丝杆的一端安装有延伸至底柜内部的伺服电机，且丝套刮板的底部与真空槽底部内壁接触连接。

优选的，所述氩气罐的顶部通过管道安装有输气泵，且输气泵的输出端通过管道与真空槽的底部连接。

优选的，所述收集箱的内部活动安装有收集抽屉，且收集抽屉的正面安装有把手。

一种用于超薄膜上镀厚金属层的工艺，基于上述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其工艺是，将超薄膜固定在限位辊架顶部，在通过电动伸缩杆通电运行带动升降板进行向下移动，从而带动磁控溅射机向下一端至与真空槽密闭连接，通过真空抽吸泵通电产生负压吸力，从而抽取真空槽内部的空气，使真空槽内部呈一定真空度，且真空槽内部的空气通过过滤筒内部的通过滤芯进行过滤，避免金属等离子进入真空抽吸泵内部，磁控溅射机通电产生等离子气体，等离子气体通过平面矩形靶均匀涂在限位辊架顶部的超薄膜上，在平面矩形靶均匀涂布时，通过输气泵通电运行将氩气罐内部的氩气输送至真空槽内部，通过惰性气体氩气将金属等离子均匀涂布在限位辊架顶部的超薄膜上，通过清理组件中的双向丝杆转动带动两组丝套刮板进行相对移动，从而对真空槽内部残留的金属涂料进行及时的刮除清理，清理的金属涂料通过电磁阀管输送至收集箱。

与现有技术相比，本发明具有如下有益的技术效果：

1、通过清理组件中的双向丝杆转动带动两组丝套刮板进行相对移动，从而可以对真空槽内部残留的金属涂料进行及时的刮除清理，使其不需要工作人员手动清理，减少工作人员手动清理的工作量，同时也便于对真空槽内部残留的金属涂料进行收集，方便对留的金属涂料进行回收利用，增加了装置节能环保性能；

2、通过过滤筒内部的滤芯可对真空槽内部排出的空气进行过滤，利用滤芯有效过滤空气中的金属等离子，避免金属等离子进入真空抽吸泵内部，有效解决了造成真空槽内部厚镀金层的问题，同时也保证了真空槽内部的散热效果，同时也避免真空抽吸泵排气携带金属等离子排放到空气中，保证了工作环境的安全性。

附图说明

图1为本发明的立体图；

图2为本发明的剖面结构示意图；

图3为本发明的磁控溅射机局部结构示意图；

图4为本发明的真空组件局部结构示意图。

附图标记：1、底柜；101、电动伸缩杆；102、升降板；103、检修门；2、磁控溅射机；201、平面矩形靶；202、限位辊架；3、真空槽；4、清理组件；401、伺服电机；402、双向丝杆；403、丝套刮板；5、氩气罐；501、输气泵；6、收集箱；601、收集抽屉；602、电磁阀管；7、真空组件；701、真空抽吸泵；702、过滤筒；703、滤芯。

具体实施方式

下文结合附图和具体实施例对本发明的技术方案做进一步说明。

实施例一

如图1-4所示，本发明提出的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，包括底柜1、磁控溅射机2与真空槽3，底柜1的内部两侧安装有电动伸缩杆101，电动伸缩杆101的输出端安装有升降板102，升降板102的底部安装有磁控溅射机2，磁控溅射机2的底部安装有平面矩形靶201，且平面矩形靶201底部安装有限位辊架202，底柜1的内部的顶部安装有真空槽3，真空槽3的内部安装有清理组件4，清理组件4内安装有双向丝杆402，双向丝杆402的外侧通过螺纹安装有丝套刮板403，真空槽3的底部通过电磁阀管602安装有收集箱6，真空槽3的底部一侧通过管道安装有真空组件7，真空组件7内安装有真空抽吸泵701，真空抽吸泵701的顶部安装有过滤筒702，且过滤筒702的内部安装有滤芯703，底柜1内部的底部安装有氩气罐5。

基于实施例1的用于超薄膜上镀厚金属层的设备工作原理是：将超薄膜固定在限位辊架202顶部，电动伸缩杆101通电运行带动升降板102进行向下移动，从而可带动磁控溅射机2向下移动至与真空槽3密闭连接(磁控溅射机2下部与真空槽3形成密封)，通过真空抽吸泵701通电产生负压吸力，从而抽取真空槽3内部的空气，使其真空槽3内部真空状态(非绝对真空，可以根据情况设定抽到一定的气压)，且真空槽3内部的空气通过过滤筒702内部的通过滤芯703进行过滤，利用滤芯703有效过滤空气中的金属等离子，避免金属等离子进入真空抽吸泵701内部，有效解决了造成真空槽3内部厚镀金层的问题(真空抽吸泵701抽取形成真空，使得镀金层可以镀的更加均匀)，保证了真空槽3内部的散热效果(真空抽吸泵701抽取空气带走热量)，同时也避免金属等离子排放到空气中，保证了工作环境的安全性，磁控溅射机2通电可产生等离子气体，等离子气体通过平面矩形靶201均匀涂在限位辊架202顶部的超薄膜上，在平面矩形靶201均匀涂布时，通过输气泵501通电运行将氩气罐5内部的氩气输送至真空槽3内部，通过惰性气体氩气可将金属等离子均匀涂布在限位辊架202顶部的超薄膜上，从而提高了超薄膜镀厚金属层的质量，且在超薄膜镀厚金属层完成后，可通过清理组件4中的双向丝杆402转动带动两组丝套刮板403进行相对移动，从而可以对真空槽3内部残留的金属涂料进行及时的刮除清理，清理的金属涂料通过电磁阀管602输送至收集箱6，使其不需要工作人员手动清理，减少工作人员手动清理的工作量，同时也便于对真空槽3内部残留的金属涂料进行收集，方便对留的金属涂料进行回收利用，增加了装置节能环保性能。

实施例二

如图1或图2所示，本发明提出的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，相较于实施例一，本实施例还包括：底柜1的正面通过合页安装有检修门103，打开检修门103可利于对底柜1内部装置进行检修，且底柜1的正面一侧安装有控制器，控制器通过导线可与电动伸缩杆101、伺服电机401、电磁阀管602、真空抽吸泵701、磁控溅射机2、输气泵501电性连接，便于通过控制器控制电动伸缩杆101、伺服电机401、电磁阀管602、真空抽吸泵701、磁控溅射机2、输气泵501配合运行，双向丝杆402的一端安装有延伸至底柜1内部的伺服电机401，伺服电机401的输出端与双向丝杆402连接，通过伺服电机401通电运行可带动双向丝杆402运行，且丝套刮板403的底部与真空槽3底部内壁接触连接，氩气罐5的顶部通过管道安装有输气泵501，且输气泵501的输出端通过管道与真空槽3的底部连接，通过输气泵501通电运行可将氩气罐5内部的氩气通过管件输送至真空槽3内部。

本实施例中，收集箱6的内部活动安装有收集抽屉601，且收集抽屉601的正面安装有把手。

上述具体实施例仅仅是本发明的几种优选的实施例，基于本发明的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。

Claims (7)

1.一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，包括底柜(1)、磁控溅射机(2)与真空槽(3)，其特征在于：所述底柜(1)的内部两侧安装有电动伸缩杆(101)，所述电动伸缩杆(101)的输出端安装有升降板(102)，所述升降板(102)的底部安装有磁控溅射机(2)，所述底柜(1)的内部的顶部安装有真空槽(3)，所述真空槽(3)的内部安装有清理组件(4)，所述清理组件(4)内安装有双向丝杆(402)，所述双向丝杆(402)的外侧通过螺纹安装有丝套刮板(403)，所述真空槽(3)的底部通过电磁阀管(602)安装有收集箱(6)，所述真空槽(3)的底部一侧通过管道安装有真空组件(7)，所述真空组件(7)内安装有真空抽吸泵(701)，所述真空抽吸泵(701)的顶部安装有过滤筒(702)，且过滤筒(702)的内部安装有滤芯(703)，所述底柜(1)内部的底部安装有氩气罐(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其特征在于：所述底柜(1)的正面通过合页安装有检修门(103)，且底柜(1)的正面一侧安装有控制器。

3.根据权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其特征在于：所述磁控溅射机(2)的底部安装有平面矩形靶(201)，且平面矩形靶(201)底部安装有限位辊架(202)。

4.根据权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其特征在于：所述双向丝杆(402)的一端安装有延伸至底柜(1)内部的伺服电机(401)，且丝套刮板(403)的底部与真空槽(3)底部内壁接触连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其特征在于：所述氩气罐(5)的顶部通过管道安装有输气泵(501)，且输气泵(501)的输出端通过管道与真空槽(3)的底部连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其特征在于：所述收集箱(6)的内部活动安装有收集抽屉(601)，且收集抽屉(601)的正面安装有把手。

7.一种用于超薄膜上镀厚金属层的工艺，其特征在于：基于权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其工艺是，将超薄膜固定在限位辊架(202)顶部，在通过电动伸缩杆(101)通电运行带动升降板(102)进行向下移动，从而带动磁控溅射机(2)向下一端至与真空槽(3)密闭连接，通过真空抽吸泵(701)通电产生负压吸力，从而抽取真空槽(3)内部的空气，使真空槽(3)内部呈一定真空度，且真空槽(3)内部的空气通过过滤筒(702)内部的通过滤芯(703)进行过滤，避免金属等离子进入真空抽吸泵(701)内部，磁控溅射机(2)通电产生等离子气体，等离子气体通过平面矩形靶(201)均匀涂在限位辊架(202)顶部的超薄膜上，在平面矩形靶(201)均匀涂布时，通过输气泵(501)通电运行将氩气罐(5)内部的氩气输送至真空槽(3)内部，通过惰性气体氩气将金属等离子均匀涂布在限位辊架(202)顶部的超薄膜上，通过清理组件(4)中的双向丝杆(402)转动带动两组丝套刮板(403)进行相对移动，从而对真空槽(3)内部残留的金属涂料进行及时的刮除清理，清理的金属涂料通过电磁阀管(602)输送至收集箱(6)。

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