CN114210672B - 电子级硫酸槽罐车清洗装置及清洗方法 - Google Patents

电子级硫酸槽罐车清洗装置及清洗方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种电子级硫酸槽罐车清洗装置及清洗方法，将硫酸槽罐车内装满清洗剂，其主要成分包括水，10‑50%的稀硫酸，80‑98%的浓硫酸，硫酸和双氧水的混合物。一种电子级硫酸槽罐车清洗装置，包括两个对立设置的台架，两个台架之间设有翻转机架，台架上设有转动装置，转动装置转动端设有液压升降装置，液压升降装置与翻转机架两端与液压升降装置连接，翻转机架底部设有折弯的承载板，承载板用于放置硫酸槽罐，硫酸槽罐内部设置有清洗剂，通过台架的转动装置进行转动清洗硫酸槽罐内部。不仅解决槽罐车化学品路跑清洗危险运输问题，同时还能解决静置清洗槽罐车存在死角及需要多次更换清洗剂的问题。

Description

电子级硫酸槽罐车清洗装置及清洗方法
技术领域
本发明涉及电子化学品领域，尤其是涉及一种电子级硫酸槽罐车清洗装置及清洗方法。
背景技术
电子级硫酸又称超纯硫酸，属于超净高纯试剂。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的湿电子化学品，在大规模集成电路、LED 显示器、平板显示器、晶体硅太阳能等微电子工业有着广泛应用。特别是在硅圆片在加工过程中，不溶性固体颗粒或金属离子会使电路短路，电子级硫酸能够有效除去晶圆上的杂质，因此用于运输电子级硫酸的容器则至关重要。
因电子级硫酸在芯片制造工艺中是使用量最大的湿电子化学品，常用槽罐车运输，槽罐车内衬PTFE材料，新槽罐车投入使用前需要大量的清洗，常用槽罐车清洗方法主要为路跑清洗和静置清洗。路跑清洗是将装满清洗剂的硫酸槽罐车通过公路路跑晃动，将槽车内部的颗粒和有机物清洗通过这种动态的流体清洗下来，但清洗剂多为危险化学品，路跑限制诸多，管制严格。静置清洗是指将装满清洗剂的硫酸槽车静置，通过长时间的浸泡及多次更换清洗剂的方式将槽罐车清洗干净，但静置清洗存在死角，且需要多次更换清洗剂，成本颇高。
综上所述，现有的针对电子级硫酸槽罐车的清洗方法受交通管制、需要多次更换清洗剂高成本的影响，要开发一种安全高效且低成本的电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种电子级硫酸槽罐车清洗装置及清洗方法，采用自动翻转机架模拟槽罐车路跑晃动清洗过程，能够有效去除槽罐车内的杂质颗粒和金属杂质，为电子级硫酸提供超洁净容器。
为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种电子级硫酸槽罐车清洗装置，包括两个对立设置的台架，两个台架之间设有翻转机架，台架上设有转动装置，转动装置转动端设有液压升降装置，液压升降装置与翻转机架两端与液压升降装置连接，翻转机架底部设有折弯的承载板，承载板用于放置硫酸槽罐；
硫酸槽罐内部设置有清洗剂，通过台架的转动装置进行转动清洗硫酸槽罐内部。
优选方案中，两个台架设置在底座，台架一侧设有运输小车，运输小车用于运输硫酸槽罐。
优选方案中，底座上还设有地轨，运输小车与地轨滑动连接。
优选方案中，运输小车一侧还设有龙门运输架，龙门运输架上设有多个卷扬提升机，龙门运输架底部设有多个滚轮。
优选方案中，液压升降装置与翻转机架之间设有多个导柱，导柱通过多个螺母与翻转机架连接，导柱与液压升降装置滑动连接，且导柱与压升降装置之间设有滑动导向块。
优选方案中，转动装置为转动液压缸或者为电机转动，转动装置输出端与旋转板连接，旋转板与液压升降装置连接。
优选方案中，旋转板上还设有旋转锁扣装置，旋转锁扣装置为液压锁紧装置，翻转机架上设有锁紧孔，旋转锁扣装置的锁紧杆穿过旋转板插在锁紧孔内部锁紧翻转机架的位置。
优选方案中，硫酸槽罐设在硫酸槽罐架内部，翻转机架上还设有锁紧螺栓，锁紧螺栓穿过翻转机架和硫酸槽罐架固定硫酸槽罐。
该方法包括：
S1、硫酸槽罐内部的清洗剂为：包括超纯水，10-50%的稀硫酸，80-98%的浓硫酸，硫酸和双氧水的混合；
S2、将硫酸槽罐放置在硫酸槽罐架内部进行固定，然后通过龙门运输架将整个硫酸槽罐架吊起移动到运输小车上；
S3、液压升降装置带动整个运输翻转机架下降，使翻转机架的承载板承载面低于运输小车，运输小车带动硫酸槽罐架到翻转机架承载板上，液压升降装置带动翻转机架上升，抬起硫酸槽罐架；
S4、将硫酸槽罐架通过多个锁紧螺栓固定在翻转机架上；
S5、硫酸槽罐架固定完毕后，液压升降装置带动翻转机架上升到转动装置中心位置，开启旋转锁扣装置锁紧翻转机架与转动装置的位置；
S6、翻转机架进行来回翻转角度来对硫酸槽罐内部进行清洗，翻转机架翻转角度优选30-90度，翻转时间优选3-6小时；
S7、根据步骤S1中清洗剂：
纯水阻率优选为18-18.3 MΩ*cm，金属含量小于5 ng/kg的超纯水；
稀硫酸的含量优选为20-40%，金属含量小于10 ng/kg；
浓硫酸的含量优选为90-98%，金属含量小于10 ng/kg的电子级硫酸；
硫酸和双氧水的混合物，双氧水为金属含量小于10 ng/kg的电子级20-40%双氧水，硫酸为金属含量小于10 ng/kg的电子级硫酸；
所述硫酸和双氧水的混合物，双氧水和硫酸的混合比例优选为1:2-1:4；
S8、清洗顺序及次数：超纯水1-2次、稀硫酸1-3次、混合物比例为双氧水和硫酸1-2次、90-98%浓硫酸1-3次
S9、利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度；
S10、完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度（＜0.1μm）为25-32pcs/mL。
本发明提供了一种电子级硫酸槽罐车清洗装置及清洗方法，本发明具有以下有益效果为：
1. 采用自动翻转机架模拟槽罐车路跑晃动清洗过程，能够有效去除槽罐车内的杂质颗粒和金属杂质，解决了装满化学品槽罐车路跑清洗而带来的危险运输问题，同时还能解决了静置清洗槽罐车的死角以及需要多次更换清洗剂的问题，为电子级硫酸提供超洁净容器。
2.使用超纯水清洗槽罐车内壁，能够洗掉部分可溶性杂质及沾污；进一步使用稀硫酸，稀硫酸的强氧化性能够溶解洗掉槽罐车内壁难溶性杂质；硫酸和双氧水的混合物，双氧水能够增强硫酸的氧化性，采用硫酸和双氧水的混合液去除槽罐车内壁的有机物杂质，硫酸可以使有机物脱水而碳化，而双氧水可将碳化产物氧化成挥发性气体；电子级硫酸润洗槽罐车，使槽罐车内的金属含量与产品品质保持一致。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明：
图1是本发明硫酸槽罐架安装总体结构图；
图2是本发明硫酸槽罐架按照步骤架设结构图；
图3是本发明硫酸槽罐摆动结构图；
图4是本发明翻转机架下降结构图；
图5是本发明翻转机架固定硫酸槽罐架结构图；
图6是本发明旋转锁扣装置锁紧结构图；
图7是本发明旋转锁扣装置缩回以及翻转机架结构图；
图中：硫酸槽罐1；硫酸槽罐架2；翻转机架3；锁紧孔301；导柱4；液压升降装置5；转动装置6；旋转板601；台架7；底座8；承载板9；地轨10；运输小车11；滚轮12；龙门运输架13；锁紧螺栓14；旋转锁扣装置15；锁紧杆1501。
具体实施方式
实施例1
如图1~7所示，一种电子级硫酸槽罐车清洗装置，包括两个对立设置的台架7，两个台架7之间设有翻转机架3，台架7上设有转动装置6，转动装置6转动端设有液压升降装置5，液压升降装置5与翻转机架3两端与液压升降装置5连接，翻转机架3底部设有折弯的承载板9，承载板9用于放置硫酸槽罐1；
硫酸槽罐1内部设置有清洗剂，通过台架7的转动装置6进行转动清洗硫酸槽罐1内部。
优选方案中，两个台架7设置在底座8，台架7一侧设有运输小车11，运输小车11用于运输硫酸槽罐1。
优选方案中，底座8上还设有地轨10，运输小车11与地轨10滑动连接。
优选方案中，运输小车11一侧还设有龙门运输架13，龙门运输架13上设有多个卷扬提升机，龙门运输架13底部设有多个滚轮12。
优选方案中，液压升降装置5与翻转机架3之间设有多个导柱4，导柱4通过多个螺母与翻转机架3连接，导柱4与液压升降装置5滑动连接，且导柱4与压升降装置5之间设有滑动导向块。
优选方案中，转动装置6为转动液压缸或者为电机转动，转动装置6输出端与旋转板601连接，旋转板601与液压升降装置5连接。
优选方案中，旋转板601上还设有旋转锁扣装置15，旋转锁扣装置15为液压锁紧装置，翻转机架3上设有锁紧孔301，旋转锁扣装置15的锁紧杆1501穿过旋转板601插在锁紧孔301内部锁紧翻转机架3的位置。
优选方案中，硫酸槽罐1设在硫酸槽罐架2内部，翻转机架3上还设有锁紧螺栓14，锁紧螺栓14穿过翻转机架3和硫酸槽罐架2固定硫酸槽罐1。
实施例2
结合实施例1进一步说明，如图1-7所示，硫酸槽罐1内部的清洗剂为：包括超纯水，10-50%的稀硫酸，80-98%的浓硫酸，硫酸和双氧水的混合。
将硫酸槽罐1放置在硫酸槽罐架2内部进行固定，然后通过龙门运输架13将整个硫酸槽罐架2吊起移动到运输小车11上。
液压升降装置5带动整个运输翻转机架3下降，使翻转机架3的承载板9承载面低于运输小车11，运输小车11带动硫酸槽罐架2到翻转机架3承载板9上，液压升降装置5带动翻转机架3上升，抬起硫酸槽罐架2。
将硫酸槽罐架2通过多个锁紧螺栓14固定在翻转机架3上。
硫酸槽罐架2固定完毕后，液压升降装置5带动翻转机架3上升到转动装置6中心位置，开启旋转锁扣装置15锁紧翻转机架3与转动装置6的位置。
翻转机架3进行来回翻转角度来对硫酸槽罐1内部进行清洗，翻转机架3翻转角度优选30-90度，翻转时间优选3-6小时。
纯水阻率优选为18-18.3 MΩ*cm，金属含量小于5 ng/kg的超纯水。
稀硫酸的含量优选为20-40%，金属含量小于10 ng/kg。
浓硫酸的含量优选为90-98%，金属含量小于10 ng/kg的电子级硫酸。
硫酸和双氧水的混合物，双氧水为金属含量小于10 ng/kg的电子级20-40%双氧水，硫酸为金属含量小于10 ng/kg的电子级硫酸。
所述硫酸和双氧水的混合物，双氧水和硫酸的混合比例优选为1:2-1:4。
清洗顺序及次数：超纯水1-2次、稀硫酸1-3次、混合物比例为双氧水和硫酸1-2次、90-98%浓硫酸1-3次；
利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度。
完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度＜0.1μm为25-32pcs/mL。
实施例3
清洗顺序及次数：超纯水2次、20-40%稀硫酸1次、混合物比例为1:2双氧水和硫酸1次、90-98%浓硫酸2次；
翻转角度和翻转时间分别为45度和4h。
按照清洗顺序及次数1 的组合，在硫酸槽罐1灌充满清洗剂，充满清洗剂的槽罐车经电动运输小车11平移至台架7，台架7将槽罐车升至翻转机架3旋转架中心，固定至自动翻转机架3架，确认固定好设定翻转角度为45度，翻转时间为4h。翻转前后取样，利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度。完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度＜0.1μm为31pcs/mL ，说明电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法有明显的效果。
实施例4
清洗顺序及次数：超纯水2次、20-40%稀硫酸1次、混合物比例为1:2双氧水和硫酸1次、90-98%浓硫酸2次；
翻转角度和翻转时间分别为90度和6h。
按照清洗顺序及次数2的组合，在硫酸槽罐1灌充满清洗剂，充满清洗剂的槽罐车经电动运输小车11平移至台架7，台架7将槽罐车升至翻转机架3旋转架中心，固定至自动翻转机架3架，确认固定好设定翻转角度为90度，翻转时间为6h。翻转前后取样，利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度。完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度＜0.1μm为29 pcs/mL ，说明电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法有明显的效果。
实施例5
清洗顺序及次数：超纯水2次、20-40%稀硫酸2次、混合物比例为1:2双氧水和硫酸1次、90-98%浓硫酸2次
翻转角度和翻转时间分别为120度和6h。
按照清洗顺序及次数3的组合，在硫酸槽罐1灌充满清洗剂，充满清洗剂的槽罐车经电动运输小车11平移至台架7，台架7将槽罐车升至翻转机架3旋转架中心，固定至自动翻转机架3架，确认固定好设定翻转角度为90度，翻转时间为6h。翻转前后取样，利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度。完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度＜0.1μm为27 pcs/mL ，说明电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法有明显的效果。
实施例6
清洗顺序及次数：超纯水2次、20-40%稀硫酸2次、混合物比例为1:3双氧水和硫酸1次、90-98%浓硫酸2次；
翻转角度和翻转时间分别为45度和4 h。
按照清洗顺序及次数4的组合，在硫酸槽罐1灌充满清洗剂，充满清洗剂的槽罐车经电动运输小车11平移至台架7，台架7将槽罐车升至翻转机架3旋转架中心，固定至自动翻转机架3架，确认固定好设定翻转角度为90度，翻转时间为6h。翻转前后取样，利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度。完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度＜0.1μm为28 pcs/mL ，说明电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法有明显的效果。
实施例7
清洗顺序及次数：超纯水2次、20-40%稀硫酸1次、混合物比例为1:4双氧水和硫酸1次、90-98%浓硫酸2次；
翻转角度和翻转时间分别为45度和4h。
按照清洗顺序及次数5的组合，在硫酸槽罐1灌充满清洗剂，充满清洗剂的槽罐车经电动运输小车11平移至台架7，台架7将槽罐车升至翻转机架3旋转架中心，固定至自动翻转机架3架，确认固定好设定翻转角度为90度，翻转时间为6h。翻转前后取样，利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度。完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度＜0.1μm为27 pcs/mL ，说明电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法有明显的效果。
实施例8
清洗顺序及次数：20-40%稀硫酸1次、超纯水1次、20-40%稀硫酸1次、混合物比例为1:4双氧水和硫酸1次、90-98%浓硫酸2次；
翻转角度和翻转时间分别为45度和4h。
按照清洗顺序及次数6的组合，在硫酸槽罐1灌充满清洗剂，充满清洗剂的槽罐车经电动运输小车11平移至台架7，台架7将槽罐车升至翻转机架3旋转架中心，固定至自动翻转机架3架，确认固定好设定翻转角度为90度，翻转时间为6h。翻转前后取样，利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度。完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度＜0.1μm为26 pcs/mL ，说明电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法有明显的效果。
实施例9
清洗顺序及次数：超纯水2次、20-40%稀硫酸1次、混合物比例为1:4双氧水和硫酸1次、20-40%稀硫酸1次、90-98%浓硫酸2次；
翻转角度和翻转时间分别为45度和4h。
按照清洗顺序及次数6的组合，在硫酸槽罐1灌充满清洗剂，充满清洗剂的槽罐车经电动运输小车11平移至台架7，台架7将槽罐车升至翻转机架3旋转架中心，固定至自动翻转机架3架，确认固定好设定翻转角度为90度，翻转时间为6h。翻转前后取样，利用电感耦合等离子体质谱测量槽罐车清洗前后金属含量，液体离子计数器测量槽罐车清洗前后的颗粒度。完成一次翻转清洗后，将槽罐车内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个槽罐车清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试，测试结果表明金属含量小于10 ng/kg，颗粒度＜0.1μm为25 pcs/mL ，说明电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法有明显的效果。
上述的实施例仅为本发明的优选技术方案，而不应视为对于本发明的限制，本发明的保护范围应以权利要求记载的技术方案，包括权利要求记载的技术方案中技术特征的等同替换方案为保护范围。即在此范围内的等同替换改进，也在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种电子级硫酸槽罐车清洗装置的清洗方法，其特征是：包括两个对立设置的台架（7），两个台架（7）之间设有翻转机架（3），台架（7）上设有转动装置（6），转动装置（6）转动端设有液压升降装置（5），翻转机架（3）两端与液压升降装置（5）连接，翻转机架（3）底部设有折弯的承载板（9），承载板（9）用于放置硫酸槽罐（1）；
硫酸槽罐（1）内部设置有清洗剂，通过台架（7）的转动装置（6）进行转动清洗硫酸槽罐（1）内部；
两个台架（7）设置在底座（8）上，台架（7）一侧设有运输小车（11），运输小车（11）用于运输硫酸槽罐（1）；
底座（8）上还设有地轨（10），运输小车（11）与地轨（10）滑动连接；
运输小车（11）一侧还设有龙门运输架（13），龙门运输架（13）上设有多个卷扬提升机，龙门运输架（13）底部设有多个滚轮（12）；
转动装置（6）为转动液压缸或者为电机，转动装置（6）输出端与旋转板（601）连接，旋转板（601）与液压升降装置（5）连接；
旋转板（601）上还设有旋转锁扣装置（15），旋转锁扣装置（15）为液压锁紧装置，翻转机架（3）上设有锁紧孔（301），旋转锁扣装置（15）的锁紧杆（1501）穿过旋转板（601）插在锁紧孔（301）内部锁紧翻转机架（3）的位置；
硫酸槽罐（1）设在硫酸槽罐架（2）内部，翻转机架（3）上还设有锁紧螺栓（14），锁紧螺栓（14）穿过翻转机架（3）和硫酸槽罐架（2）固定硫酸槽罐（1）；
该方法包括：
S1、硫酸槽罐（1）内部的清洗剂为：包括超纯水、稀硫酸、浓硫酸、硫酸和双氧水的混合物；
S2、将硫酸槽罐（1）放置在硫酸槽罐架（2）内部进行固定，然后通过龙门运输架（13）将整个硫酸槽罐架（2）吊起移动到运输小车（11）上；
S3、液压升降装置（5）带动整个翻转机架（3）下降，使翻转机架（3）的承载板（9）承载面低于运输小车（11），运输小车（11）带动硫酸槽罐架（2）到翻转机架（3）承载板（9）上，液压升降装置（5）带动翻转机架（3）上升，抬起硫酸槽罐架（2）；
S4、将硫酸槽罐架（2）通过多个锁紧螺栓（14）固定在翻转机架（3）上；
S5、硫酸槽罐架（2）固定完毕后，液压升降装置（5）带动翻转机架（3）上升到转动装置（6）中心位置，开启旋转锁扣装置（15）锁紧翻转机架（3）与转动装置（6）的位置；
S6、翻转机架（3）进行来回翻转来对硫酸槽罐（1）内部进行清洗，翻转机架（3）翻转角度30-90度，翻转时间3-6小时；
S7、根据步骤S1中清洗剂：
超纯水阻率为18-18.3 MΩ*cm，金属含量小于5 ng/kg；
稀硫酸的浓度为20-40%，金属含量小于10 ng/kg；
浓硫酸的浓度为90-98%，金属含量小于10 ng/kg；
硫酸和双氧水的混合物，双氧水为金属含量小于10 ng/kg的电子级20-40%双氧水，硫酸为金属含量小于10 ng/kg的电子级硫酸；
所述硫酸和双氧水的混合物，双氧水和硫酸的混合比例为1:2-1:4；
S8、清洗顺序及次数：超纯水1-2次、稀硫酸1-3次、双氧水和硫酸的混合物1-2次、90-98%浓硫酸1-3次；
S9、利用电感耦合等离子体质谱测量硫酸槽罐（1）清洗前后金属含量，液体离子计数器测量硫酸槽罐（1）清洗前后的颗粒度；
S10、完成一次翻转清洗后，将硫酸槽罐（1）内清洗剂利用氮气反压出来，再次充填下一次清洗剂，直至完成整个硫酸槽罐（1）清洗过程，取最后一次清洗剂样进行电感耦合等离子体质谱和液体离子计数器测试。
2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸槽罐车清洗装置的清洗方法，其特征是：液压升降装置（5）与翻转机架（3）之间设有多个导柱（4），导柱（4）通过多个螺母与翻转机架（3）连接，导柱（4）与液压升降装置（5）滑动连接，且导柱（4）与液压升降装置（5）之间设有滑动导向块。
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