CN114107934A - 一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法，涉及镜片镀膜技术领域，具体为一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法，包括镀膜机外壳，所述镀膜机外壳的上表面固定有驱动电机，所述驱动电机的输出端连接有回转盘，所述回转盘的内部安置有探测头，所述镀膜机外壳的内部安装有安装板，所述安装板的前端设置有材料箱，所述安装板的前端且靠近材料箱的两端均安置有挡板，所述安装板的后端设置有固定板。该膜厚控制装置及其快速镀膜方法设置有通过设置的调节马达，能够驱动主动齿轮旋转啮合齿杆进行运动，带动限流盖运动，使得限流盖运动至材料箱上方，对蒸发出的气体进行格挡，从而停止对镜片进行镀膜，能够很好的控制膜厚。

Description

一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法

技术领域

本发明涉及镜片镀膜技术领域，具体为一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法。

背景技术

由于手机摄像头对成像质量要求严格，镜头光学设计较复杂，在镜头内部以及镜室壁之间易产生较多的杂散光，在做逆光摄影时，杂散光在像面上的成像甚至覆盖了原实际图像，亦即在镜面上表现为眩光的各种形式，严重地影响了成像质量，而镀膜镜片可以降低镜片表面的反射光，视物清楚，减少镜面反射光，增加了光线透过率。

现有的镜片在进行镀膜时，无法很好的控制膜厚，且导致每炉膜色不能一致，实用性较差的缺点。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法，解决了上述背景技术中提出现有的镜片在进行镀膜时，无法很好的控制膜厚，且导致每炉膜色不能一致，实用性较差的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法，包括：

镀膜机外壳，所述镀膜机外壳的上表面固定有驱动电机，所述驱动电机的输出端连接有回转盘，所述回转盘的内部安置有探测头，所述镀膜机外壳的内部安装有安装板，所述安装板的前端设置有材料箱，所述安装板的前端且靠近材料箱的两端均安置有挡板，所述安装板的后端设置有固定板，所述固定板的内部安装有调节马达，所述调节马达的输出端连接有主动齿轮，所述主动齿轮的下表面连接有齿杆；

固定杆，其对称设置在所述齿杆的下表面，所述固定杆的下表面固定有限流盖，所述固定板的前端且靠近主动齿轮的一侧设置有限位孔。

可选的，所述回转盘与驱动电机之间构成旋转结构，且探测头与回转盘之间为螺钉连接，所述材料箱与安装板之间为活动连接。

可选的，所述调节马达与固定板之间为螺栓连接，且主动齿轮与调节马达之间构成旋转结构，并且齿杆与主动齿轮之间为啮合连接。

可选的，所述齿杆还设有：

导向槽，其开设在所述齿杆的外表面，所述导向槽的内部连接有限位块，所述固定杆与齿杆之间为焊接连接，且齿杆通过导向槽和限位块与固定板之间构成滑动结构。

可选的，所述镀膜机外壳还设有：

连接管，其安装在所述镀膜机外壳的左侧，所述连接管的末端连接有真空泵，所述真空泵的输出端连接有出气管，所述出气管内部的下端设置有固定块，所述固定块的内部开设有排气孔，所述固定块的上表面对称安装有两个连接杆，两个所述连接杆的外表面均连接有限流板，所述限流板的上方连接有弹簧，所述出气管的上表面开设有出气孔；

密封垫，其安装在所述镀膜机外壳的前端，所述镀膜机外壳的外表面铰接有防护门。

可选的，所述真空泵通过连接管与镀膜机外壳之间构成连通结构，且出气管与真空泵之间相互连通，并且固定块与出气管之间为固定连接。

可选的，所述连接杆与固定块之间为焊接连接，且限流板通过弹簧和连接杆与出气管之间构成弹性伸缩结构。

可选的，所述密封垫与镀膜机外壳之间为粘合连接，且防护门通过密封垫与镀膜机外壳之间构成密封结构。

可选的，所述快速镀膜的步骤为：

S1:镜片抽检：先将需要镀膜的镜片从仓库取出，运输至镀膜仓库，对需要镀膜的镜片抽取10%进行外观检查，不良镜片返工打点补数，再进行上伞镀膜，分材料选择镀膜机；

S2:真空镀膜：通过真空泵，将镀膜机外壳内的空气抽出，使镀膜机外壳内形成真空，空气抽出完成后，限流板被弹簧带动复位，防止外部的空气进入至镀膜机外壳内，提高镀膜机外壳内真空的稳定性；

S3:离子源辅助镀膜：材料箱下方的离子源辅助结构将离子化气体向DischargeChamber里导入，13.56MHz高频波励起Plasma产生，在产生Plasma后，用栅网构成的加速结构将离子引出，最初，离子被带正电的SCREENGRID集中，接下来加负压的加速栅网将离子束引出，被引出的离子形成离子束，向回转盘辐射，离子所带有的能量是由SCREENGRID的正电压和ACCELERATORGRID所加的负电压大小所决定的，离子的能量由栅网之间的电位差获得，并且保持这个能量打到回转盘上，进行辅助镀膜；

S4:控制反射曲线膜色：不同材质镜片，折射率不同，设定不同的膜系对应生产，每炉测试反射曲线，厚度6层每层实际与设定偏差不可超0.5nm,连续2炉有变化，调试相关的层数加减厚度，反射曲线回正。

本发明提供了一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法，具备以下有益效果：

1、本发明通过设置的调节马达，能够驱动主动齿轮旋转啮合齿杆进行运动，带动限流盖运动，使得限流盖运动至材料箱上方，对蒸发出的气体进行格挡，从而停止对镜片进行镀膜，能够很好的控制膜厚；

2、本发明通过限位孔内设置的限位块，在导向槽的配合下，能够起到导向的作用，从而降低齿杆运动时发生偏移的情况；

3、本发明通过设置的连接杆，在弹簧自身的作用下，可限流板进行复位，使得限流板和固定块接触，起到密封的作用，从而降低外部的空气进入至镀膜机外壳内，提高镀膜机外壳内真空的稳定性

4、本发明通过设置的驱动电机，能够驱动回转盘转动，从而带动镜片运动，能够更加均匀的对镜片进行镀膜，且设置的探测头能够对镜片表面的膜厚进行检测；

5、本发明通过控制镀膜机外壳开门时间10钟内，镀膜机外壳定期保养，确保抽空速度变化不会太大，且使用合格的晶控片，能够很好的控制反射曲线膜色，使得每炉膜色能够一致。

附图说明

图1为本发明立体结构示意图；

图2为本发明镀膜机外壳的内部结构示意图；

图3为本发明安装板的立体结构示意图；

图4为本发明图3中A处局部放大结构示意图；

图5为本发明出气管的剖面结构示意图；

图6为本发明离子源和中和器的构造结构示意图。

图中：1、镀膜机外壳；2、驱动电机；3、回转盘；4、探测头；5、安装板；6、材料箱；7、挡板；8、固定板；9、调节马达；10、主动齿轮；11、齿杆；12、固定杆；13、限流盖；14、限位孔；15、导向槽；16、限位块；17、连接管；18、真空泵；19、出气管；20、固定块；21、排气孔；22、连接杆；23、限流板；24、弹簧；25、出气孔；26、密封垫；27、防护门。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参阅图1至图3，本发明提供一种技术方案：一种膜厚控制装置，包括：镀膜机外壳1，镀膜机外壳1的上表面固定有驱动电机2，驱动电机2的输出端连接有回转盘3，回转盘3与驱动电机2之间构成旋转结构，回转盘3的内部安置有探测头4，且探测头4与回转盘3之间为螺钉连接，通过设置的驱动电机2，能够驱动回转盘3转动，从而带动镜片运动，能够更加均匀的对镜片进行镀膜，且设置的探测头4能够对镜片表面的膜厚进行检测，镀膜机外壳1的内部安装有安装板5，安装板5的前端设置有材料箱6，材料箱6与安装板5之间为活动连接，安装板5的前端且靠近材料箱6的两端均安置有挡板7，安装板5的后端设置有固定板8，固定板8的内部安装有调节马达9，调节马达9与固定板8之间为螺栓连接，调节马达9的输出端连接有主动齿轮10，主动齿轮10的下表面连接有齿杆11；固定杆12，其对称设置在齿杆11的下表面，固定杆12的下表面固定有限流盖13，固定板8的前端且靠近主动齿轮10的一侧设置有限位孔14，且主动齿轮10与调节马达9之间构成旋转结构，并且齿杆11与主动齿轮10之间为啮合连接，通过设置的调节马达9，能够驱动主动齿轮10旋转啮合齿杆11进行运动，带动限流盖13运动，使得限流盖13运动至材料箱6上方，对蒸发出的气体进行格挡，从而停止对镜片进行镀膜，能够很好的控制膜厚。

请参阅图3至图4，本发明提供一种技术方案：一种膜厚控制装置，包括：导向槽15，其开设在齿杆11的外表面，导向槽15的内部连接有限位块16，固定杆12与齿杆11之间为焊接连接，且齿杆11通过导向槽15和限位块16与固定板8之间构成滑动结构，通过限位孔14内设置的限位块16，在导向槽15的配合下，能够起到导向的作用，从而降低齿杆11运动时发生偏移的情况。

请参阅图1至图5和图6，本发明提供一种技术方案：一种膜厚控制装置，包括：连接管17，其安装在镀膜机外壳1的左侧，连接管17的末端连接有真空泵18，真空泵18通过连接管17与镀膜机外壳1之间构成连通结构，真空泵18的输出端连接有出气管19，出气管19内部的下端设置有固定块20，且出气管19与真空泵18之间相互连通，并且固定块20与出气管19之间为固定连接，通过设置的真空泵18，能够将镀膜机外壳1内的空气抽出，从而形成真空，便于进行镀膜操作，固定块20的内部开设有排气孔21，固定块20的上表面对称安装有两个连接杆22，连接杆22与固定块20之间为焊接连接，两个连接杆22的外表面均连接有限流板23，限流板23的上方连接有弹簧24，出气管19的上表面开设有出气孔25，且限流板23通过弹簧24和连接杆22与出气管19之间构成弹性伸缩结构，通过设置的连接杆22，在弹簧24自身的作用下，可限流板23进行复位，使得限流板23和固定块20接触，起到密封的作用，从而降低外部的空气进入至镀膜机外壳1内，提高镀膜机外壳1内真空的稳定性；密封垫26，其安装在镀膜机外壳1的前端，镀膜机外壳1的外表面铰接有防护门27，密封垫26与镀膜机外壳1之间为粘合连接，且防护门27通过密封垫26与镀膜机外壳1之间构成密封结构，通过控制镀膜机外壳1开门时间10钟内，镀膜机外壳1定期保养，确保抽空速度变化不会太大，且使用合格的晶控片，能够很好的控制反射曲线膜色，使得每炉膜色能够一致。

如图1-图6：一种快速镀膜方法：S1:镜片抽检：先将需要镀膜的镜片从仓库取出，运输至镀膜仓库，对需要镀膜的镜片抽取10%进行外观检查，不良镜片返工打点补数，再进行上伞镀膜，分材料选择镀膜机；

S2:真空镀膜：通过真空泵18，将镀膜机外壳1内的空气抽出，使镀膜机外壳1内形成真空，空气抽出完成后，限流板23被弹簧24带动复位，防止外部的空气进入至镀膜机外壳1内，提高镀膜机外壳1内真空的稳定性；

S3:离子源辅助镀膜：材料箱6下方的离子源辅助结构将离子化气体向DischargeChamber里导入，13.56MHz高频波励起Plasma产生，在产生Plasma后，用栅网构成的加速结构将离子引出，最初，离子被带正电的SCREENGRID集中，接下来加负压的加速栅网将离子束引出，被引出的离子形成离子束，向回转盘3辐射，离子所带有的能量是由SCREENGRID的正电压和ACCELERATORGRID所加的负电压大小所决定的，离子的能量由栅网之间的电位差获得，并且保持这个能量打到回转盘3上，进行辅助镀膜，且提高镀膜速度；

S4:控制反射曲线膜色：不同材质镜片，折射率不同，设定不同的膜系对应生产，每炉测试反射曲线，厚度6层每层实际与设定偏差不可超0.5nm,连续2炉有变化，调试相关的层数加减厚度，反射曲线回正，使得每炉膜色能够一致。

综上，该膜厚控制装置及其快速镀膜方法，首先，将镀膜机外壳1放置到合适的位置，防护门27的左侧设置的有驱动机构，通过控制按钮，将防护门27打开，安装板5上设置的有材料箱6，把镀膜使用的材料放置到材料箱6内，然后将需要镀膜的镜片放置到回转盘3上，再关闭防护门27，通过镀膜机外壳1上设置的密封垫26，能够起到良好的密封作用，从而降低发生泄漏的情况，通过设置的连接管17，使得真空泵18启动，将镀膜机外壳1内的空气抽出，使得镀膜机外壳1内形成真空，抽出的空气排入至真空泵18输出连接的出气管19内，经过固定块20内设置的排气孔21，在空气压力的作用下，能够推动限流板23运动，同时限流板23带动弹簧24进行压缩，使得空气经过限流板23和出气管19之间的缝隙，然后通过出气孔25排出至外部，当镀膜机外壳1内的空气抽出完成后，真空泵18停止，使得出气管19内空气压力恢复正常，通过设置的连接杆22，在弹簧24自身的配合下，能够推动限流板23进行复位，使得限流板23和固定块20接触，起到密封的作用，这样能够避免外部的空气通过真空泵18和连接管17进入至镀膜机外壳1内，从而确保镀膜机外壳1内部的真空压力不会发生变化，通过材料箱6内设置的加热管，能够对镀膜材料进行加热，使得镀膜材料蒸发，从而对回转盘3上的镜片进行镀膜，且通过设置的驱动电机2，带动回转盘3转动，能够更均匀快速的对镜片进行镀膜，通过安装板5上设置的挡板7，能够起到限位的作用，回转盘3上设置的探测头4，能够对晶片表面的膜厚进行检测，然后将检测的数据发生至单片机，对预先设置的数据进行对比，当检测的数据和预先设置的数据相同时，单片机控制固定板8上的调节马达9启动，从而驱动主动齿轮10啮合齿杆11，使得齿杆11进行运动，带动下端的固定杆12和限流盖13运动，限流盖13运动至材料箱6上方，对加热产生的蒸气进行阻挡，且通过限位孔14上设置的限位块16，在导向槽15的配合下，能够起到导向的作用，避免齿杆11运动时发生偏移的情况，从而对镜片的膜厚进行控制，然后将镀膜完成的镜片取出进行下一步的加工，通过控制镀膜机外壳1开门时间10钟内，镀膜机外壳1定期保养，更换护板清洁腔体，确保抽空速度变化不会太大，且使用合格的晶控片，能够很好的控制反射曲线膜色，使得每炉膜色能够一致。

以上，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种膜厚控制装置，其特征在于，包括：

镀膜机外壳（1），所述镀膜机外壳（1）的上表面固定有驱动电机（2），所述驱动电机（2）的输出端连接有回转盘（3），所述回转盘（3）的内部安置有探测头（4），所述镀膜机外壳（1）的内部安装有安装板（5），所述安装板（5）的前端设置有材料箱（6），所述安装板（5）的前端且靠近材料箱（6）的两端均安置有挡板（7），所述安装板（5）的后端设置有固定板（8），所述固定板（8）的内部安装有调节马达（9），所述调节马达（9）的输出端连接有主动齿轮（10），所述主动齿轮（10）的下表面连接有齿杆（11）；

固定杆（12），其对称设置在所述齿杆（11）的下表面，所述固定杆（12）的下表面固定有限流盖（13），所述固定板（8）的前端且靠近主动齿轮（10）的一侧设置有限位孔（14）。

2.根据权利要求1所述的一种膜厚控制装置，其特征在于：所述回转盘（3）与驱动电机（2）之间构成旋转结构，且探测头（4）与回转盘（3）之间为螺钉连接，所述材料箱（6）与安装板（5）之间为活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种膜厚控制装置，其特征在于：所述调节马达（9）与固定板（8）之间为螺栓连接，且主动齿轮（10）与调节马达（9）之间构成旋转结构，并且齿杆（11）与主动齿轮（10）之间为啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种膜厚控制装置，其特征在于：所述齿杆（11）还设有：

导向槽（15），其开设在所述齿杆（11）的外表面，所述导向槽（15）的内部连接有限位块（16），所述固定杆（12）与齿杆（11）之间为焊接连接，且齿杆（11）通过导向槽（15）和限位块（16）与固定板（8）之间构成滑动结构。

5.根据权利要求1所述的一种膜厚控制装置，其特征在于：所述镀膜机外壳（1）还设有：

连接管（17），其安装在所述镀膜机外壳（1）的左侧，所述连接管（17）的末端连接有真空泵（18），所述真空泵（18）的输出端连接有出气管（19），所述出气管（19）内部的下端设置有固定块（20），所述固定块（20）的内部开设有排气孔（21），所述固定块（20）的上表面对称安装有两个连接杆（22），两个所述连接杆（22）的外表面均连接有限流板（23），所述限流板（23）的上方连接有弹簧（24），所述出气管（19）的上表面开设有出气孔（25）；

密封垫（26），其安装在所述镀膜机外壳（1）的前端，所述镀膜机外壳（1）的外表面铰接有防护门（27）。

6.根据权利要求5所述的一种膜厚控制装置，其特征在于：所述真空泵（18）通过连接管（17）与镀膜机外壳（1）之间构成连通结构，且出气管（19）与真空泵（18）之间相互连通，并且固定块（20）与出气管（19）之间为固定连接。

7.根据权利要求5所述的一种膜厚控制装置，其特征在于：所述连接杆（22）与固定块（20）之间为焊接连接，且限流板（23）通过弹簧（24）和连接杆（22）与出气管（19）之间构成弹性伸缩结构。

8.根据权利要求5所述的一种膜厚控制装置，其特征在于：所述密封垫（26）与镀膜机外壳（1）之间为粘合连接，且防护门（27）通过密封垫（26）与镀膜机外壳（1）之间构成密封结构。

9.一种快速镀膜方法，其特征在于，所述快速镀膜的步骤为：

S1:镜片抽检：先将需要镀膜的镜片从仓库取出，运输至镀膜仓库，对需要镀膜的镜片抽取10%进行外观检查，不良镜片返工打点补数，再进行上伞镀膜，分材料选择镀膜机；

S2:真空镀膜：通过真空泵（18），将镀膜机外壳（1）内的空气抽出，使镀膜机外壳（1）内形成真空，空气抽出完成后，限流板（23）被弹簧（24）带动复位，防止外部的空气进入至镀膜机外壳（1）内，提高镀膜机外壳（1）内真空的稳定性；

S3:离子源辅助镀膜：材料箱（6）下方的离子源辅助结构将离子化气体向DischargeChamber里导入，13.56MHz高频波励起Plasma产生，在产生Plasma后，用栅网构成的加速结构将离子引出，最初，离子被带正电的SCREENGRID集中，接下来加负压的加速栅网将离子束引出，被引出的离子形成离子束，向回转盘（3）辐射，离子所带有的能量是由SCREENGRID的正电压和ACCELERATORGRID所加的负电压大小所决定的，离子的能量由栅网之间的电位差获得，并且保持这个能量打到回转盘（3）上，进行辅助镀膜；

S4:控制反射曲线膜色：不同材质镜片，折射率不同，设定不同的膜系对应生产，每炉测试反射曲线，厚度6层每层实际与设定偏差不可超0.5nm,连续2炉有变化，调试相关的层数加减厚度，反射曲线回正。

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