CN114107934A - 一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法,涉及镜片镀膜技术领域,具体为一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法,包括镀膜机外壳,所述镀膜机外壳的上表面固定有驱动电机,所述驱动电机的输出端连接有回转盘,所述回转盘的内部安置有探测头,所述镀膜机外壳的内部安装有安装板,所述安装板的前端设置有材料箱,所述安装板的前端且靠近材料箱的两端均安置有挡板,所述安装板的后端设置有固定板。该膜厚控制装置及其快速镀膜方法设置有通过设置的调节马达,能够驱动主动齿轮旋转啮合齿杆进行运动,带动限流盖运动,使得限流盖运动至材料箱上方,对蒸发出的气体进行格挡,从而停止对镜片进行镀膜,能够很好的控制膜厚。
Description
技术领域
本发明涉及镜片镀膜技术领域,具体为一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法。
背景技术
由于手机摄像头对成像质量要求严格,镜头光学设计较复杂,在镜头内部以及镜室壁之间易产生较多的杂散光,在做逆光摄影时,杂散光在像面上的成像甚至覆盖了原实际图像,亦即在镜面上表现为眩光的各种形式,严重地影响了成像质量,而镀膜镜片可以降低镜片表面的反射光,视物清楚,减少镜面反射光,增加了光线透过率。
现有的镜片在进行镀膜时,无法很好的控制膜厚,且导致每炉膜色不能一致,实用性较差的缺点。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法,解决了上述背景技术中提出现有的镜片在进行镀膜时,无法很好的控制膜厚,且导致每炉膜色不能一致,实用性较差的问题。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法,包括:
镀膜机外壳,所述镀膜机外壳的上表面固定有驱动电机,所述驱动电机的输出端连接有回转盘,所述回转盘的内部安置有探测头,所述镀膜机外壳的内部安装有安装板,所述安装板的前端设置有材料箱,所述安装板的前端且靠近材料箱的两端均安置有挡板,所述安装板的后端设置有固定板,所述固定板的内部安装有调节马达,所述调节马达的输出端连接有主动齿轮,所述主动齿轮的下表面连接有齿杆;
固定杆,其对称设置在所述齿杆的下表面,所述固定杆的下表面固定有限流盖,所述固定板的前端且靠近主动齿轮的一侧设置有限位孔。
可选的,所述回转盘与驱动电机之间构成旋转结构,且探测头与回转盘之间为螺钉连接,所述材料箱与安装板之间为活动连接。
可选的,所述调节马达与固定板之间为螺栓连接,且主动齿轮与调节马达之间构成旋转结构,并且齿杆与主动齿轮之间为啮合连接。
可选的,所述齿杆还设有:
导向槽,其开设在所述齿杆的外表面,所述导向槽的内部连接有限位块,所述固定杆与齿杆之间为焊接连接,且齿杆通过导向槽和限位块与固定板之间构成滑动结构。
可选的,所述镀膜机外壳还设有:
连接管,其安装在所述镀膜机外壳的左侧,所述连接管的末端连接有真空泵,所述真空泵的输出端连接有出气管,所述出气管内部的下端设置有固定块,所述固定块的内部开设有排气孔,所述固定块的上表面对称安装有两个连接杆,两个所述连接杆的外表面均连接有限流板,所述限流板的上方连接有弹簧,所述出气管的上表面开设有出气孔;
密封垫,其安装在所述镀膜机外壳的前端,所述镀膜机外壳的外表面铰接有防护门。
可选的,所述真空泵通过连接管与镀膜机外壳之间构成连通结构,且出气管与真空泵之间相互连通,并且固定块与出气管之间为固定连接。
可选的,所述连接杆与固定块之间为焊接连接,且限流板通过弹簧和连接杆与出气管之间构成弹性伸缩结构。
可选的,所述密封垫与镀膜机外壳之间为粘合连接,且防护门通过密封垫与镀膜机外壳之间构成密封结构。
可选的,所述快速镀膜的步骤为:
S1:镜片抽检:先将需要镀膜的镜片从仓库取出,运输至镀膜仓库,对需要镀膜的镜片抽取10%进行外观检查,不良镜片返工打点补数,再进行上伞镀膜,分材料选择镀膜机;
S2:真空镀膜:通过真空泵,将镀膜机外壳内的空气抽出,使镀膜机外壳内形成真空,空气抽出完成后,限流板被弹簧带动复位,防止外部的空气进入至镀膜机外壳内,提高镀膜机外壳内真空的稳定性;
S3:离子源辅助镀膜:材料箱下方的离子源辅助结构将离子化气体向DischargeChamber里导入,13.56MHz高频波励起Plasma产生,在产生Plasma后,用栅网构成的加速结构将离子引出,最初,离子被带正电的SCREENGRID集中,接下来加负压的加速栅网将离子束引出,被引出的离子形成离子束,向回转盘辐射,离子所带有的能量是由SCREENGRID的正电压和ACCELERATORGRID所加的负电压大小所决定的,离子的能量由栅网之间的电位差获得,并且保持这个能量打到回转盘上,进行辅助镀膜;
S4:控制反射曲线膜色:不同材质镜片,折射率不同,设定不同的膜系对应生产,每炉测试反射曲线,厚度6层每层实际与设定偏差不可超0.5nm,连续2炉有变化,调试相关的层数加减厚度,反射曲线回正。
本发明提供了一种膜厚控制装置及其快速镀膜方法,具备以下有益效果:
1、本发明通过设置的调节马达,能够驱动主动齿轮旋转啮合齿杆进行运动,带动限流盖运动,使得限流盖运动至材料箱上方,对蒸发出的气体进行格挡,从而停止对镜片进行镀膜,能够很好的控制膜厚;
2、本发明通过限位孔内设置的限位块,在导向槽的配合下,能够起到导向的作用,从而降低齿杆运动时发生偏移的情况;
3、本发明通过设置的连接杆,在弹簧自身的作用下,可限流板进行复位,使得限流板和固定块接触,起到密封的作用,从而降低外部的空气进入至镀膜机外壳内,提高镀膜机外壳内真空的稳定性
4、本发明通过设置的驱动电机,能够驱动回转盘转动,从而带动镜片运动,能够更加均匀的对镜片进行镀膜,且设置的探测头能够对镜片表面的膜厚进行检测;
5、本发明通过控制镀膜机外壳开门时间10钟内,镀膜机外壳定期保养,确保抽空速度变化不会太大,且使用合格的晶控片,能够很好的控制反射曲线膜色,使得每炉膜色能够一致。
附图说明
图1为本发明立体结构示意图;
图2为本发明镀膜机外壳的内部结构示意图;
图3为本发明安装板的立体结构示意图;
图4为本发明图3中A处局部放大结构示意图;
图5为本发明出气管的剖面结构示意图;
图6为本发明离子源和中和器的构造结构示意图。
图中:1、镀膜机外壳;2、驱动电机;3、回转盘;4、探测头;5、安装板;6、材料箱;7、挡板;8、固定板;9、调节马达;10、主动齿轮;11、齿杆;12、固定杆;13、限流盖;14、限位孔;15、导向槽;16、限位块;17、连接管;18、真空泵;19、出气管;20、固定块;21、排气孔;22、连接杆;23、限流板;24、弹簧;25、出气孔;26、密封垫;27、防护门。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上;术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1至图3,本发明提供一种技术方案:一种膜厚控制装置,包括:镀膜机外壳1,镀膜机外壳1的上表面固定有驱动电机2,驱动电机2的输出端连接有回转盘3,回转盘3与驱动电机2之间构成旋转结构,回转盘3的内部安置有探测头4,且探测头4与回转盘3之间为螺钉连接,通过设置的驱动电机2,能够驱动回转盘3转动,从而带动镜片运动,能够更加均匀的对镜片进行镀膜,且设置的探测头4能够对镜片表面的膜厚进行检测,镀膜机外壳1的内部安装有安装板5,安装板5的前端设置有材料箱6,材料箱6与安装板5之间为活动连接,安装板5的前端且靠近材料箱6的两端均安置有挡板7,安装板5的后端设置有固定板8,固定板8的内部安装有调节马达9,调节马达9与固定板8之间为螺栓连接,调节马达9的输出端连接有主动齿轮10,主动齿轮10的下表面连接有齿杆11;固定杆12,其对称设置在齿杆11的下表面,固定杆12的下表面固定有限流盖13,固定板8的前端且靠近主动齿轮10的一侧设置有限位孔14,且主动齿轮10与调节马达9之间构成旋转结构,并且齿杆11与主动齿轮10之间为啮合连接,通过设置的调节马达9,能够驱动主动齿轮10旋转啮合齿杆11进行运动,带动限流盖13运动,使得限流盖13运动至材料箱6上方,对蒸发出的气体进行格挡,从而停止对镜片进行镀膜,能够很好的控制膜厚。
请参阅图3至图4,本发明提供一种技术方案:一种膜厚控制装置,包括:导向槽15,其开设在齿杆11的外表面,导向槽15的内部连接有限位块16,固定杆12与齿杆11之间为焊接连接,且齿杆11通过导向槽15和限位块16与固定板8之间构成滑动结构,通过限位孔14内设置的限位块16,在导向槽15的配合下,能够起到导向的作用,从而降低齿杆11运动时发生偏移的情况。
请参阅图1至图5和图6,本发明提供一种技术方案:一种膜厚控制装置,包括:连接管17,其安装在镀膜机外壳1的左侧,连接管17的末端连接有真空泵18,真空泵18通过连接管17与镀膜机外壳1之间构成连通结构,真空泵18的输出端连接有出气管19,出气管19内部的下端设置有固定块20,且出气管19与真空泵18之间相互连通,并且固定块20与出气管19之间为固定连接,通过设置的真空泵18,能够将镀膜机外壳1内的空气抽出,从而形成真空,便于进行镀膜操作,固定块20的内部开设有排气孔21,固定块20的上表面对称安装有两个连接杆22,连接杆22与固定块20之间为焊接连接,两个连接杆22的外表面均连接有限流板23,限流板23的上方连接有弹簧24,出气管19的上表面开设有出气孔25,且限流板23通过弹簧24和连接杆22与出气管19之间构成弹性伸缩结构,通过设置的连接杆22,在弹簧24自身的作用下,可限流板23进行复位,使得限流板23和固定块20接触,起到密封的作用,从而降低外部的空气进入至镀膜机外壳1内,提高镀膜机外壳1内真空的稳定性;密封垫26,其安装在镀膜机外壳1的前端,镀膜机外壳1的外表面铰接有防护门27,密封垫26与镀膜机外壳1之间为粘合连接,且防护门27通过密封垫26与镀膜机外壳1之间构成密封结构,通过控制镀膜机外壳1开门时间10钟内,镀膜机外壳1定期保养,确保抽空速度变化不会太大,且使用合格的晶控片,能够很好的控制反射曲线膜色,使得每炉膜色能够一致。
如图1-图6:一种快速镀膜方法:S1:镜片抽检:先将需要镀膜的镜片从仓库取出,运输至镀膜仓库,对需要镀膜的镜片抽取10%进行外观检查,不良镜片返工打点补数,再进行上伞镀膜,分材料选择镀膜机;
S2:真空镀膜:通过真空泵18,将镀膜机外壳1内的空气抽出,使镀膜机外壳1内形成真空,空气抽出完成后,限流板23被弹簧24带动复位,防止外部的空气进入至镀膜机外壳1内,提高镀膜机外壳1内真空的稳定性;
S3:离子源辅助镀膜:材料箱6下方的离子源辅助结构将离子化气体向DischargeChamber里导入,13.56MHz高频波励起Plasma产生,在产生Plasma后,用栅网构成的加速结构将离子引出,最初,离子被带正电的SCREENGRID集中,接下来加负压的加速栅网将离子束引出,被引出的离子形成离子束,向回转盘3辐射,离子所带有的能量是由SCREENGRID的正电压和ACCELERATORGRID所加的负电压大小所决定的,离子的能量由栅网之间的电位差获得,并且保持这个能量打到回转盘3上,进行辅助镀膜,且提高镀膜速度;
S4:控制反射曲线膜色:不同材质镜片,折射率不同,设定不同的膜系对应生产,每炉测试反射曲线,厚度6层每层实际与设定偏差不可超0.5nm,连续2炉有变化,调试相关的层数加减厚度,反射曲线回正,使得每炉膜色能够一致。
综上,该膜厚控制装置及其快速镀膜方法,首先,将镀膜机外壳1放置到合适的位置,防护门27的左侧设置的有驱动机构,通过控制按钮,将防护门27打开,安装板5上设置的有材料箱6,把镀膜使用的材料放置到材料箱6内,然后将需要镀膜的镜片放置到回转盘3上,再关闭防护门27,通过镀膜机外壳1上设置的密封垫26,能够起到良好的密封作用,从而降低发生泄漏的情况,通过设置的连接管17,使得真空泵18启动,将镀膜机外壳1内的空气抽出,使得镀膜机外壳1内形成真空,抽出的空气排入至真空泵18输出连接的出气管19内,经过固定块20内设置的排气孔21,在空气压力的作用下,能够推动限流板23运动,同时限流板23带动弹簧24进行压缩,使得空气经过限流板23和出气管19之间的缝隙,然后通过出气孔25排出至外部,当镀膜机外壳1内的空气抽出完成后,真空泵18停止,使得出气管19内空气压力恢复正常,通过设置的连接杆22,在弹簧24自身的配合下,能够推动限流板23进行复位,使得限流板23和固定块20接触,起到密封的作用,这样能够避免外部的空气通过真空泵18和连接管17进入至镀膜机外壳1内,从而确保镀膜机外壳1内部的真空压力不会发生变化,通过材料箱6内设置的加热管,能够对镀膜材料进行加热,使得镀膜材料蒸发,从而对回转盘3上的镜片进行镀膜,且通过设置的驱动电机2,带动回转盘3转动,能够更均匀快速的对镜片进行镀膜,通过安装板5上设置的挡板7,能够起到限位的作用,回转盘3上设置的探测头4,能够对晶片表面的膜厚进行检测,然后将检测的数据发生至单片机,对预先设置的数据进行对比,当检测的数据和预先设置的数据相同时,单片机控制固定板8上的调节马达9启动,从而驱动主动齿轮10啮合齿杆11,使得齿杆11进行运动,带动下端的固定杆12和限流盖13运动,限流盖13运动至材料箱6上方,对加热产生的蒸气进行阻挡,且通过限位孔14上设置的限位块16,在导向槽15的配合下,能够起到导向的作用,避免齿杆11运动时发生偏移的情况,从而对镜片的膜厚进行控制,然后将镀膜完成的镜片取出进行下一步的加工,通过控制镀膜机外壳1开门时间10钟内,镀膜机外壳1定期保养,更换护板清洁腔体,确保抽空速度变化不会太大,且使用合格的晶控片,能够很好的控制反射曲线膜色,使得每炉膜色能够一致。
以上,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种膜厚控制装置,其特征在于,包括:
镀膜机外壳(1),所述镀膜机外壳(1)的上表面固定有驱动电机(2),所述驱动电机(2)的输出端连接有回转盘(3),所述回转盘(3)的内部安置有探测头(4),所述镀膜机外壳(1)的内部安装有安装板(5),所述安装板(5)的前端设置有材料箱(6),所述安装板(5)的前端且靠近材料箱(6)的两端均安置有挡板(7),所述安装板(5)的后端设置有固定板(8),所述固定板(8)的内部安装有调节马达(9),所述调节马达(9)的输出端连接有主动齿轮(10),所述主动齿轮(10)的下表面连接有齿杆(11);
固定杆(12),其对称设置在所述齿杆(11)的下表面,所述固定杆(12)的下表面固定有限流盖(13),所述固定板(8)的前端且靠近主动齿轮(10)的一侧设置有限位孔(14)。
2.根据权利要求1所述的一种膜厚控制装置,其特征在于:所述回转盘(3)与驱动电机(2)之间构成旋转结构,且探测头(4)与回转盘(3)之间为螺钉连接,所述材料箱(6)与安装板(5)之间为活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种膜厚控制装置,其特征在于:所述调节马达(9)与固定板(8)之间为螺栓连接,且主动齿轮(10)与调节马达(9)之间构成旋转结构,并且齿杆(11)与主动齿轮(10)之间为啮合连接。
4.根据权利要求1所述的一种膜厚控制装置,其特征在于:所述齿杆(11)还设有:
导向槽(15),其开设在所述齿杆(11)的外表面,所述导向槽(15)的内部连接有限位块(16),所述固定杆(12)与齿杆(11)之间为焊接连接,且齿杆(11)通过导向槽(15)和限位块(16)与固定板(8)之间构成滑动结构。
5.根据权利要求1所述的一种膜厚控制装置,其特征在于:所述镀膜机外壳(1)还设有:
连接管(17),其安装在所述镀膜机外壳(1)的左侧,所述连接管(17)的末端连接有真空泵(18),所述真空泵(18)的输出端连接有出气管(19),所述出气管(19)内部的下端设置有固定块(20),所述固定块(20)的内部开设有排气孔(21),所述固定块(20)的上表面对称安装有两个连接杆(22),两个所述连接杆(22)的外表面均连接有限流板(23),所述限流板(23)的上方连接有弹簧(24),所述出气管(19)的上表面开设有出气孔(25);
密封垫(26),其安装在所述镀膜机外壳(1)的前端,所述镀膜机外壳(1)的外表面铰接有防护门(27)。
6.根据权利要求5所述的一种膜厚控制装置,其特征在于:所述真空泵(18)通过连接管(17)与镀膜机外壳(1)之间构成连通结构,且出气管(19)与真空泵(18)之间相互连通,并且固定块(20)与出气管(19)之间为固定连接。
7.根据权利要求5所述的一种膜厚控制装置,其特征在于:所述连接杆(22)与固定块(20)之间为焊接连接,且限流板(23)通过弹簧(24)和连接杆(22)与出气管(19)之间构成弹性伸缩结构。
8.根据权利要求5所述的一种膜厚控制装置,其特征在于:所述密封垫(26)与镀膜机外壳(1)之间为粘合连接,且防护门(27)通过密封垫(26)与镀膜机外壳(1)之间构成密封结构。
9.一种快速镀膜方法,其特征在于,所述快速镀膜的步骤为:
S1:镜片抽检:先将需要镀膜的镜片从仓库取出,运输至镀膜仓库,对需要镀膜的镜片抽取10%进行外观检查,不良镜片返工打点补数,再进行上伞镀膜,分材料选择镀膜机;
S2:真空镀膜:通过真空泵(18),将镀膜机外壳(1)内的空气抽出,使镀膜机外壳(1)内形成真空,空气抽出完成后,限流板(23)被弹簧(24)带动复位,防止外部的空气进入至镀膜机外壳(1)内,提高镀膜机外壳(1)内真空的稳定性;
S3:离子源辅助镀膜:材料箱(6)下方的离子源辅助结构将离子化气体向DischargeChamber里导入,13.56MHz高频波励起Plasma产生,在产生Plasma后,用栅网构成的加速结构将离子引出,最初,离子被带正电的SCREENGRID集中,接下来加负压的加速栅网将离子束引出,被引出的离子形成离子束,向回转盘(3)辐射,离子所带有的能量是由SCREENGRID的正电压和ACCELERATORGRID所加的负电压大小所决定的,离子的能量由栅网之间的电位差获得,并且保持这个能量打到回转盘(3)上,进行辅助镀膜;
S4:控制反射曲线膜色:不同材质镜片,折射率不同,设定不同的膜系对应生产,每炉测试反射曲线,厚度6层每层实际与设定偏差不可超0.5nm,连续2炉有变化,调试相关的层数加减厚度,反射曲线回正。
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