CN114101119A - 一种晶片频率分选机及其分选方法 - Google Patents
一种晶片频率分选机及其分选方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114101119A CN114101119A CN202111339501.9A CN202111339501A CN114101119A CN 114101119 A CN114101119 A CN 114101119A CN 202111339501 A CN202111339501 A CN 202111339501A CN 114101119 A CN114101119 A CN 114101119A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- slide rail
- frequency
- sorting
- feeding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 191
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 134
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 65
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 44
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 34
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 3
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 241000252254 Catostomidae Species 0.000 description 2
- 230000002337 anti-port Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/34—Sorting according to other particular properties
- B07C5/344—Sorting according to other particular properties according to electric or electromagnetic properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/02—Measures preceding sorting, e.g. arranging articles in a stream orientating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
- B07C5/361—Processing or control devices therefor, e.g. escort memory
- B07C5/362—Separating or distributor mechanisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
- B07C5/38—Collecting or arranging articles in groups
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C2501/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material to be sorted
- B07C2501/0063—Using robots
Abstract
本发明公开了一种晶片频率分选机及其分选方法,箱体上设置有振动器、上料机械手、第一测频机构、第二测频机构、下料机械手、分选机构和收纳机构,振动器上设置有进料斗和出料板,出料板位于靠近上料机械手的一侧,上料机械手、第一测频机构、第二测频机构和下料机械手通过支架连接在箱体的上方,分选机构设于箱体的顶面上,收纳机构设于箱体内,箱体的顶面上设置有显示屏。其方法包括:箱体加工、收纳机构安装、分选机构安装、支架安装和晶片分选。本发明不仅可以实现晶片的连续上下料,而且可以对晶片进行二次频率检测,提高分选的精度和质量,同时可以将分选后的晶片输送至相应的收纳筒内,避免灰尘或杂质进入。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶片频率分选机及其分选方法。
背景技术
石英晶体是一种重要的电子材料。沿一定方向切割的石英晶片,当收到机械应力作用时将产生与应力成正比的电厂或电荷,这种现象成为正压电效应。反之,当石英晶受到电场作用将产生与电场成正比的应变,这种现象成为逆电压效应。正、逆两种效应合称为压电效应。石英晶体不仅具有压电效应,而且具有优良的机械特性、电学特性和温度特性。用它设计制作的谐振器、振荡器和滤波器等,在稳频和选频方面都有突出的优点。
在石英晶片生产加工过程中,要经过切割、研磨等工艺过程,难免其中一部分石英晶片会产生一些缺陷,这些缺陷严重影响了石英晶片的性能,所以需要对石英晶片进行分选。
传统的石英晶片分选主要依靠人工进行分选,存在分选速度慢、误差高等诸多弊端;但近年来随着市场上对石英晶片的大量需求,石英晶片自动分选设备逐步的被广泛采用,特别是全自动的石英晶片分选设备的使用。但是全自动石英晶片分选机存在分选生产效率不高,分选精度不高的问题,设备存在稳定性不好,可靠性低,重复性差的问题。
发明内容
本发明目的在于针对现有技术所存在的不足而提供一种晶片频率分选机及其分选方法的技术方案,通过上料机械手和下料机械手的设计,可以将振动后的晶片输送至分选机构上进行频率检测,检测后输送至收纳机构进行收集,相比现有技术中一个一个拿取和放置晶片,该结构设计可以大大提高晶片频率的检测效率,通过第一测频机构和第二测频机构的设计,可以对晶片进行二次频率检测,大大提高检测的精度和质量,分选机构可以实现晶片的连续上下料,同时不影响频率检测的速度,保证整个分选机有序进行晶片频率分选,该分选方法步骤简单,不仅可以实现晶片的连续上下料,而且可以对晶片进行二次频率检测,提高分选的精度和质量,同时可以将分选后的晶片输送至相应的收纳筒内,避免灰尘或杂质进入。
为了解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
一种晶片频率分选机,包括箱体,其特征在于:箱体上设置有振动器、上料机械手、第一测频机构、第二测频机构、下料机械手、分选机构和收纳机构,振动器上设置有进料斗和出料板,出料板位于靠近上料机械手的一侧,上料机械手、第一测频机构、第二测频机构和下料机械手通过支架连接在箱体的上方,分选机构设于箱体的顶面上,收纳机构设于箱体内,箱体的顶面上设置有显示屏;通过上料机械手和下料机械手的设计,可以将振动后的晶片输送至分选机构上进行频率检测,检测后输送至收纳机构进行收集,相比现有技术中一个一个拿取和放置晶片,该结构设计可以大大提高晶片频率的检测效率,通过第一测频机构和第二测频机构的设计,可以对晶片进行二次频率检测,大大提高检测的精度和质量,分选机构可以实现晶片的连续上下料,同时不影响频率检测的速度,保证整个分选机有序进行晶片频率分选。
进一步,支架包括环形圈、上料滑轨和下料滑轨,环形圈通过立柱固定于箱体上,上料滑轨和下料滑轨均设于环形圈上,上料滑轨设有第一滑槽,下料滑轨设有第二滑槽,上料机械手和下料机械手通过助推机构分别连接上料滑轨和下料滑轨,立柱大大提高了环形圈安装的稳定性和可靠性,上料机械手沿上料滑轨移动,可以将待测晶片输送至分选机构上,分选后通过下料机械手将晶片通过下料滑轨输出,大大提高了分选机的工作效率,助推机构可以带动上料机械手和下料机械手沿上料滑轨和下料滑轨移动。
进一步,助推机构包括伺服电机、螺杆和挡板,伺服电机和挡板设于上料滑轨和下料滑轨上,伺服电机通过螺杆连接挡板,通过伺服电机带动螺杆旋转,进而可以带动上料机械手和下料机械手移动,实现晶片的快速上下料。
进一步,上料机械手、下料机械手、第一测频机构和第二测频机构均包括第一固定板、第二固定板、第三液压缸和升降板,第二固定板通过连接块固定连接第一固定板,第三液压缸设于第二固定板上,升降板通过第三活塞杆连接第三液压缸,第三液压缸的侧面上设置有导轨,升降板滑动连接在导轨上,上料机械手和下料机械手的升降板上设有吸盘,第一测频机构和第二测频机构的升降板上设有上电极,吸盘用于吸附晶片,便于将晶片吸取后移动,上电极可以在对晶片进行检测时配合下电极检测晶片的厚度,经显示屏换算后得到晶片的频率。
进一步,分选机构包括底板、转盘、驱动机构、阻挡机构和辅助平衡机构,底板设于箱体上,驱动机构和阻挡机构均设于底板上,底板的中心设有固定轴,固定轴上套接有第一传动轮和第二传动轮,第二传动轮通过第一传动轮固定连接转盘,第一传动轮上均匀设有第一卡槽,第二传动轮上均匀设有第二卡槽,第二传动轮连接内筒,内筒套接在固定轴上,内筒通过扣件连接外筒,外筒连接驱动机构,辅助平衡机构设于底板上,驱动机构可以带动第二传动轮转动,进而通过第一传动轮带动转盘旋转,使晶片移动,转动一定角度后,通过阻挡机构将第一传动轮进行固定,进而使转盘固定,使晶片达到所需的工位,操作灵活方便。扣件包括弧形板和第二弹簧,外筒的内圆周侧面上设有第二凹槽,内筒的外圆周侧面上设有第一凹槽,弧形板转动连接在第一凹槽上,且弧形板通过第二弹簧连接第一凹槽,当驱动机构经摆臂转动时,可以带动外筒转动,进而通过弧形板推动,内筒转动,实现第一传动轮和第二传动轮一起转动,当驱动机构带动摆臂反向移动时,外筒反向转动,外筒将弧形板压入第一凹槽内,此时内筒不转动,晶片的工位不变。辅助平衡机构包括支撑板和托轮,支撑板固定于底板上,托轮转动连接在支撑板上,通过支撑板和托轮的设计,不仅可以对转盘进行支撑,而且可以减小转盘旋转时的摩擦力。
进一步,转盘上设有支撑块,四个支撑块为一组用于支撑晶片,支撑块上设有限位槽,四个支撑块之间设有下电极,下电极通过第一弹簧连接转盘,转盘上设有信号发射器,便于将下电极的信号传递至显示屏,提高检测精度。
进一步,驱动机构包括第二定位块、第二液压缸、第二活塞杆和摆臂,第二液压缸通过第二定位块连接箱体,第二液压缸通过第二活塞杆连接摆臂,摆臂固定连接外筒,摆臂上设置有第二转动臂,通过第二液压缸带动第二活塞杆伸缩移动,可以实现摆臂的前后移动,实现外筒的正向转动或反向转动,提高晶片移动的精度。
进一步,阻挡机构包括第一定位块、第一液压缸、第一活塞杆和第一转动臂,第一液压缸通过第一定位块连接底板,第一液压缸通过第一活塞杆连接第一转动臂,第一转动臂通过支撑柱转动连接底板,通过第一液压缸经第一活塞杆带动第一转动臂转动,可以实现对第一传动轮的卡紧或松开。
进一步,收纳机构包括圆盘和收纳筒,收纳筒均匀设于圆筒上,圆盘的底部通过转轴连接有驱动电机,显示屏通过检测数据控制驱动电机工作,进而控制圆盘转动的角度,使相应的收纳筒转动至出料口下方,便于晶片的收集。
如上述的一种晶片频率分选机的分选方法,其特征在于包括以下步骤:
1)箱体加工
a、首先根据设计要求制作相应的箱体,沿箱体的顶面上安装显示屏和振动器,在振动器上安装进料斗和出料板,显示屏用于现实频率检测的数据,同时便于控制驱动电机,使收纳机构根据需要进行转动;
b、然后沿箱体的顶面上确定晶片的出料孔,并开设相应的出料孔,便于将检测后的晶片放入收纳筒内,同时避免灰尘杂质的进入;
2)收纳机构安装
a、首先根据设计要求加工相应的圆盘,将圆盘通过转轴连接驱动电机,驱动电机固定安装于箱体内;
b、然后根据圆盘的尺寸加工相应的收纳筒,将收纳筒依次放置于圆盘上,使出料孔与收纳筒对应;
3)分选机构安装
a、首先根据设计要求制作相应的底板,将底板固定安装于箱体的顶面上,沿底板的顶面上呈环形分布支撑板,在每个支撑板上安装托轮,同时在底板的中心处安装固定轴,固定轴起到定位的作用,提高内筒和外筒旋转时的稳定性,进而提高转盘转动时的稳定性和可靠性;
b、然后根据固定轴的尺寸加工相应的内筒、外筒、第二传动轮和第一传动轮,将内筒套接在固定轴上,再将外筒套接再内筒上,内筒与外筒之间通过扣件连接,内筒的顶部安装第二传动轮,沿第二传动轮的外圆周侧面均匀开设第二卡槽,沿第二传动轮的上方固定连接第一传动轮,沿第一传动轮的外圆周侧面上均匀开设第一卡槽;
c、接着选取第二液压缸,将第二液压缸通过第二定位块安装在箱体上,第二液压缸通过第二活塞杆连接摆臂,摆臂的一端与第二活塞杆转动连接,摆臂的另一端固定于外筒上,同时根据第二卡槽的高度在摆臂上安装第二转动臂,选取第一液压缸,将第一液压缸通过第一定位块安装在底板上,第一液压缸通过第一活塞杆连接第一转动臂,第一转动臂通过支撑柱连接底板,第一转动臂上设有卡钩,卡钩与第一卡槽相匹配;
d、最后根据设计要求加工相应的转盘,沿转盘的顶面安装支撑块,四个支撑块为一组用于支撑晶片,每个支撑块上均开设有限位槽,四个支撑块之间安装下电极,下电极通过第一弹簧连接转盘,将加工好的转盘固定于第一传动轮上;通过第一转动臂和扣件的设计,大大提高了转盘旋转的稳定性和可靠性,避免发送倾斜;
4)支架安装
a、首先根据设计要求加工相应的环形圈、上料滑轨和下料滑轨,将环形圈通过立柱固定于箱体上,上料滑轨和下料滑轨均安装于环形圈上,沿上料滑轨开设第一滑槽,沿下料滑轨开设第二滑槽;
b、然后沿上料滑轨和下料滑轨安装助推机构;
c、接着根据设计要求加工相应的上料机械手、下料机械手、第一测频机构和第二测频机构,将上料机械手安装于上料滑轨的助推机构上,将下料机械手安装于下料滑轨的助推机构上,将第一测频机构和第二测频机构安装于环形圈上,使第一测频机构靠近上料机械手,第二测频机构靠近下料机械手;
5)晶片分选
a、首先将晶片通过进料斗放入振动器内,经振动器振动后移动至出料板上,启动上料机械手,通过上料机械手将晶片进行吸附,在上料滑轨的助推机构作用下将晶片移动至转盘上,并放在支撑块上,进行下一个晶片的上料;
b、然后启动驱动机构,使转盘转动一定的角度,再通过阻挡机构进行定位,同时第一测频机构对相应的晶片进行一次检测,检测的信息数据通过显示屏进行现实;
c、接着驱动机构继续转动,转动至第二测频机构下方时,第二测频机构对相应的晶片进行二次检测,检测的信息数据通过显示屏现实;
d、最后根据检测的数据信息,通过驱动电机带动收纳机构转动,使相应的收纳筒转动至出料口的位置,通过下料机械手将检测后的晶片输送至出料口,并掉入相应的收纳筒内,实现分选。
该分选方法步骤简单,不仅可以实现晶片的连续上下料,而且可以对晶片进行二次频率检测,提高分选的精度和质量,同时可以将分选后的晶片输送至相应的收纳筒内,避免灰尘或杂质进入。
本发明由于采用了上述技术方案,具有以下有益效果:
1、通过上料机械手和下料机械手的设计,可以将振动后的晶片输送至分选机构上进行频率检测,检测后输送至收纳机构进行收集,相比现有技术中一个一个拿取和放置晶片,该结构设计可以大大提高晶片频率的检测效率。
2、通过第一测频机构和第二测频机构的设计,可以对晶片进行二次频率检测,大大提高检测的精度和质量,分选机构可以实现晶片的连续上下料,同时不影响频率检测的速度,保证整个分选机有序进行晶片频率分选。
3、该分选方法步骤简单,不仅可以实现晶片的连续上下料,而且可以对晶片进行二次频率检测,提高分选的精度和质量,同时可以将分选后的晶片输送至相应的收纳筒内,避免灰尘或杂质进入。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明:
图1为本发明一种晶片频率分选机及其分选方法中分选机的结构示意图;
图2为本发明中分选机构的效果图;
图3为本发明中分选机构拆除转盘后的结构示意图;
图4为本发明中分选机构拆除转盘和第一传动轮后的结构示意图;
图5为本发明中支架的结构示意图;
图6为本发明中收纳机构的结构示意图;
图7为本发明中上料机械手和下料机械手的结构示意图;
图8为本发明中第一测频机构和第二测频机构的结构示意图;
图9为本发明中内筒与外筒之间的连接示意图。
图中:1-箱体;2-显示屏;3-振动器;4-进料斗;5-出料板;6-支架;7-上料机械手;8-第一测频机构;9-第二测频机构;10-下料机械手;11-第二定位块;12-外筒;13-内筒;14-收纳机构;15-驱动电机;16-分选机构;17-转盘;18-晶片;19-支撑块;20-限位槽;21-下电极;22-第一弹簧;23-底板;24-第一传动轮;25-第一卡槽;26-第一定位块;27-第一液压缸;28-第一活塞杆;29-第一转动臂;30-支撑柱;31-支撑板;32-托轮;33-第二液压缸;34-第二活塞杆;35-摆臂;36-第二转动臂;37-第二传动轮;38-第二卡槽;39-环形圈;40-上料滑轨;41-第一滑槽;42-下料滑轨;43-第二滑槽;44-伺服电机;45-挡板;46-螺杆;47-第一凹槽;48-第二凹槽;49-圆盘;50-收纳筒;51-第一固定板;52-连接块;53-第二固定板;54-第三液压缸;55-导轨;56-升降板;57-第三活塞杆;58-吸盘;59-上电极;60-弧形板;61-第二弹簧;62-固定轴。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本发明的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明保护的范围。
需要说明书的是,本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。
如图1至图9所示,为本发明一种晶片频率分选机,包括箱体1,箱体1上设置有振动器3、上料机械手7、第一测频机构8、第二测频机构9、下料机械手10、分选机构16和收纳机构14,振动器3上设置有进料斗4和出料板5,出料板5位于靠近上料机械手7的一侧,上料机械手7、下料机械手10、第一测频机构8和第二测频机构9均包括第一固定板51、第二固定板53、第三液压缸54和升降板56,第二固定板53通过连接块52固定连接第一固定板51,第三液压缸54设于第二固定板53上,升降板56通过第三活塞杆57连接第三液压缸54,第三液压缸54的侧面上设置有导轨55,升降板56滑动连接在导轨55上,上料机械手7和下料机械手10的升降板56上设有吸盘58,第一测频机构8和第二测频机构9的升降板56上设有上电极59,吸盘58用于吸附晶片18,便于将晶片18吸取后移动,上电极59可以在对晶片18进行检测时配合下电极21检测晶片18的厚度,经显示屏2换算后得到晶片18的频率。
上料机械手7、第一测频机构8、第二测频机构9和下料机械手10通过支架6连接在箱体1的上方,支架6包括环形圈39、上料滑轨40和下料滑轨42,环形圈39通过立柱固定于箱体1上,上料滑轨40和下料滑轨42均设于环形圈39上,上料滑轨40设有第一滑槽41,下料滑轨42设有第二滑槽43,上料机械手7和下料机械手10通过助推机构分别连接上料滑轨40和下料滑轨42,立柱大大提高了环形圈39安装的稳定性和可靠性,上料机械手7沿上料滑轨40移动,可以将待测晶片18输送至分选机构16上,分选后通过下料机械手10将晶片18通过下料滑轨42输出,大大提高了分选机的工作效率,助推机构可以带动上料机械手7和下料机械手10沿上料滑轨40和下料滑轨42移动。
助推机构包括伺服电机44、螺杆46和挡板45,伺服电机44和挡板45设于上料滑轨40和下料滑轨42上,伺服电机44通过螺杆46连接挡板45,通过伺服电机44带动螺杆46旋转,进而可以带动上料机械手7和下料机械手10移动,实现晶片18的快速上下料。
分选机构16设于箱体1的顶面上,分选机构16包括底板23、转盘17、驱动机构、阻挡机构和辅助平衡机构,底板23设于箱体1上,驱动机构和阻挡机构均设于底板23上,底板23的中心设有固定轴62,固定轴62上套接有第一传动轮24和第二传动轮37,第二传动轮37通过第一传动轮24固定连接转盘17,第一传动轮24上均匀设有第一卡槽25,第二传动轮37上均匀设有第二卡槽38,第二传动轮37连接内筒13,内筒13套接在固定轴62上,内筒13通过扣件连接外筒12,外筒12连接驱动机构,辅助平衡机构设于底板23上,驱动机构可以带动第二传动轮37转动,进而通过第一传动轮24带动转盘17旋转,使晶片18移动,转动一定角度后,通过阻挡机构将第一传动轮24进行固定,进而使转盘17固定,使晶片18达到所需的工位,操作灵活方便。扣件包括弧形板60和第二弹簧61,外筒12的内圆周侧面上设有第二凹槽48,内筒13的外圆周侧面上设有第一凹槽47,弧形板60转动连接在第一凹槽47上,且弧形板60通过第二弹簧61连接第一凹槽47,当驱动机构经摆臂35转动时,可以带动外筒12转动,进而通过弧形板60推动,内筒13转动,实现第一传动轮24和第二传动轮37一起转动,当驱动机构带动摆臂35反向移动时,外筒12反向转动,外筒12将弧形板60压入第一凹槽47内,此时内筒13不转动,晶片18的工位不变。辅助平衡机构包括支撑板31和托轮32,支撑板31固定于底板23上,托轮32转动连接在支撑板31上,通过支撑板31和托轮32的设计,不仅可以对转盘17进行支撑,而且可以减小转盘17旋转时的摩擦力。
转盘17上设有支撑块19,四个支撑块19为一组用于支撑晶片18,支撑块19上设有限位槽20,四个支撑块19之间设有下电极21,下电极21通过第一弹簧22连接转盘17,转盘17上设有信号发射器,便于将下电极21的信号传递至显示屏2,提高检测精度。
驱动机构包括第二定位块11、第二液压缸33、第二活塞杆34和摆臂35,第二液压缸33通过第二定位块11连接箱体1,第二液压缸33通过第二活塞杆34连接摆臂35,摆臂35固定连接外筒12,摆臂35上设置有第二转动臂36,通过第二液压缸33带动第二活塞杆34伸缩移动,可以实现摆臂35的前后移动,实现外筒12的正向转动或反向转动,提高晶片18移动的精度。
阻挡机构包括第一定位块26、第一液压缸27、第一活塞杆28和第一转动臂29,第一液压缸27通过第一定位块26连接底板23,第一液压缸27通过第一活塞杆28连接第一转动臂29,第一转动臂29通过支撑柱30转动连接底板23,通过第一液压缸27经第一活塞杆28带动第一转动臂29转动,可以实现对第一传动轮24的卡紧或松开。
收纳机构14设于箱体1内,收纳机构14包括圆盘49和收纳筒50,收纳筒50均匀设于圆筒上,圆盘49的底部通过转轴连接有驱动电机15,显示屏2通过检测数据控制驱动电机15工作,进而控制圆盘49转动的角度,使相应的收纳筒50转动至出料口下方,便于晶片18的收集。箱体1的顶面上设置有显示屏2;通过上料机械手7和下料机械手10的设计,可以将振动后的晶片18输送至分选机构16上进行频率检测,检测后输送至收纳机构14进行收集,相比现有技术中一个一个拿取和放置晶片18,该结构设计可以大大提高晶片18频率的检测效率,通过第一测频机构8和第二测频机构9的设计,可以对晶片18进行二次频率检测,大大提高检测的精度和质量,分选机构16可以实现晶片18的连续上下料,同时不影响频率检测的速度,保证整个分选机有序进行晶片18频率分选。
如上述的一种晶片频率分选机的分选方法,包括以下步骤:
1)箱体1加工
a、首先根据设计要求制作相应的箱体1,沿箱体1的顶面上安装显示屏2和振动器3,在振动器3上安装进料斗4和出料板5,显示屏2用于现实频率检测的数据,同时便于控制驱动电机15,使收纳机构14根据需要进行转动;
b、然后沿箱体1的顶面上确定晶片18的出料孔,并开设相应的出料孔,便于将检测后的晶片18放入收纳筒50内,同时避免灰尘杂质的进入;
2)收纳机构14安装
a、首先根据设计要求加工相应的圆盘49,将圆盘49通过转轴连接驱动电机15,驱动电机15固定安装于箱体1内;
b、然后根据圆盘49的尺寸加工相应的收纳筒50,将收纳筒50依次放置于圆盘49上,使出料孔与收纳筒50对应;
3)分选机构16安装
a、首先根据设计要求制作相应的底板23,将底板23固定安装于箱体1的顶面上,沿底板23的顶面上呈环形分布支撑板31,在每个支撑板31上安装托轮32,同时在底板23的中心处安装固定轴62,固定轴62起到定位的作用,提高内筒13和外筒12旋转时的稳定性,进而提高转盘17转动时的稳定性和可靠性;
b、然后根据固定轴62的尺寸加工相应的内筒13、外筒12、第二传动轮37和第一传动轮24,将内筒13套接在固定轴62上,再将外筒12套接再内筒13上,内筒13与外筒12之间通过扣件连接,内筒13的顶部安装第二传动轮37,沿第二传动轮37的外圆周侧面均匀开设第二卡槽38,沿第二传动轮37的上方固定连接第一传动轮24,沿第一传动轮24的外圆周侧面上均匀开设第一卡槽25;
c、接着选取第二液压缸33,将第二液压缸33通过第二定位块11安装在箱体1上,第二液压缸33通过第二活塞杆34连接摆臂35,摆臂35的一端与第二活塞杆34转动连接,摆臂35的另一端固定于外筒12上,同时根据第二卡槽38的高度在摆臂35上安装第二转动臂36,选取第一液压缸27,将第一液压缸27通过第一定位块26安装在底板23上,第一液压缸27通过第一活塞杆28连接第一转动臂29,第一转动臂29通过支撑柱30连接底板23,第一转动臂29上设有卡钩,卡钩与第一卡槽25相匹配;
d、最后根据设计要求加工相应的转盘17,沿转盘17的顶面安装支撑块19,四个支撑块19为一组用于支撑晶片18,每个支撑块19上均开设有限位槽20,四个支撑块19之间安装下电极21,下电极21通过第一弹簧22连接转盘17,将加工好的转盘17固定于第一传动轮24上;通过第一转动臂29和扣件的设计,大大提高了转盘17旋转的稳定性和可靠性,避免发送倾斜;
4)支架6安装
a、首先根据设计要求加工相应的环形圈39、上料滑轨40和下料滑轨42,将环形圈39通过立柱固定于箱体1上,上料滑轨40和下料滑轨42均安装于环形圈39上,沿上料滑轨40开设第一滑槽41,沿下料滑轨42开设第二滑槽43;
b、然后沿上料滑轨40和下料滑轨42安装助推机构;
c、接着根据设计要求加工相应的上料机械手7、下料机械手10、第一测频机构8和第二测频机构9,将上料机械手7安装于上料滑轨40的助推机构上,将下料机械手10安装于下料滑轨42的助推机构上,将第一测频机构8和第二测频机构9安装于环形圈39上,使第一测频机构8靠近上料机械手7,第二测频机构9靠近下料机械手10;
5)晶片18分选
a、首先将晶片18通过进料斗4放入振动器3内,经振动器3振动后移动至出料板5上,启动上料机械手7,通过上料机械手7将晶片18进行吸附,在上料滑轨40的助推机构作用下将晶片18移动至转盘17上,并放在支撑块19上,进行下一个晶片18的上料;
b、然后启动驱动机构,使转盘17转动一定的角度,再通过阻挡机构进行定位,同时第一测频机构8对相应的晶片18进行一次检测,检测的信息数据通过显示屏2进行现实;
c、接着驱动机构继续转动,转动至第二测频机构9下方时,第二测频机构9对相应的晶片18进行二次检测,检测的信息数据通过显示屏2现实;
d、最后根据检测的数据信息,通过驱动电机15带动收纳机构14转动,使相应的收纳筒50转动至出料口的位置,通过下料机械手10将检测后的晶片18输送至出料口,并掉入相应的收纳筒50内,实现分选。
该分选方法步骤简单,不仅可以实现晶片18的连续上下料,而且可以对晶片18进行二次频率检测,提高分选的精度和质量,同时可以将分选后的晶片18输送至相应的收纳筒50内,避免灰尘或杂质进入。
以上仅为本发明的具体实施例,但本发明的技术特征并不局限于此。任何以本发明为基础,为实现基本相同的技术效果,所作出地简单变化、等同替换或者修饰等,皆涵盖于本发明的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种晶片频率分选机,包括箱体,其特征在于:所述箱体上设置有振动器、上料机械手、第一测频机构、第二测频机构、下料机械手、分选机构和收纳机构,所述振动器上设置有进料斗和出料板,所述出料板位于靠近所述上料机械手的一侧,所述上料机械手、所述第一测频机构、所述第二测频机构和所述下料机械手通过支架连接在所述箱体的上方,所述分选机构设于所述箱体的顶面上,所述收纳机构设于所述箱体内,所述箱体的顶面上设置有显示屏。
2.根据权利要求1所述的一种晶片频率分选机,其特征在于:所述支架包括环形圈、上料滑轨和下料滑轨,所述环形圈通过立柱固定于所述箱体上,所述上料滑轨和所述下料滑轨均设于所述环形圈上,所述上料滑轨设有第一滑槽,所述下料滑轨设有第二滑槽,所述上料机械手和所述下料机械手通过助推机构分别连接所述上料滑轨和所述下料滑轨。
3.根据权利要求2所述的一种晶片频率分选机,其特征在于:所述助推机构包括伺服电机、螺杆和挡板,所述伺服电机和所述挡板设于所述上料滑轨和所述下料滑轨上,所述伺服电机通过所述螺杆连接所述挡板。
4.根据权利要求1所述的一种晶片频率分选机,其特征在于:所述上料机械手、所述下料机械手、所述第一测频机构和所述第二测频机构均包括第一固定板、第二固定板、第三液压缸和升降板,所述第二固定板通过连接块固定连接所述第一固定板,所述第三液压缸设于所述第二固定板上,所述升降板通过第三活塞杆连接所述第三液压缸,所述第三液压缸的侧面上设置有导轨,所述升降板滑动连接在所述导轨上,所述上料机械手和所述下料机械手的所述升降板上设有吸盘,所述第一测频机构和所述第二测频机构的所述升降板上设有上电极。
5.根据权利要求1所述的一种晶片频率分选机,其特征在于:所述分选机构包括底板、转盘、驱动机构、阻挡机构和辅助平衡机构,所述底板设于所述箱体上,所述驱动机构和所述阻挡机构均设于所述底板上,所述底板的中心设有固定轴,所述固定轴上套接有第一传动轮和第二传动轮,所述第二传动轮通过所述第一传动轮固定连接所述转盘,所述第一传动轮上均匀设有第一卡槽,所述第二传动轮上均匀设有第二卡槽,所述第二传动轮连接内筒,所述内筒套接在所述固定轴上,所述内筒通过扣件连接外筒,所述外筒连接所述驱动机构,所述辅助平衡机构设于所述底板上。
6.根据权利要求5所述的一种晶片频率分选机,其特征在于:所述转盘上设有支撑块,四个所述支撑块为一组用于支撑晶片,所述支撑块上设有限位槽,四个所述支撑块之间设有下电极,所述下电极通过第一弹簧连接所述转盘。
7.根据权利要求5所述的一种晶片频率分选机,其特征在于:所述驱动机构包括第二定位块、第二液压缸、第二活塞杆和摆臂,所述第二液压缸通过所述第二定位块连接所述箱体,所述第二液压缸通过所述第二活塞杆连接所述摆臂,所述摆臂固定连接所述外筒,所述摆臂上设置有第二转动臂。
8.根据权利要求5所述的一种晶片频率分选机,其特征在于:所述阻挡机构包括第一定位块、第一液压缸、第一活塞杆和第一转动臂,所述第一液压缸通过所述第一定位块连接所述底板,所述第一液压缸通过所述第一活塞杆连接所述第一转动臂,所述第一转动臂通过支撑柱转动连接所述底板。
9.根据权利要求1所述的一种晶片频率分选机,其特征在于:所述收纳机构包括圆盘和收纳筒,所述收纳筒均匀设于所述圆筒上,所述圆盘的底部通过转轴连接有驱动电机。
10.如权利要求1~9任一项所述的一种晶片频率分选机的分选方法,其特征在于包括以下步骤:
1)箱体加工
a、首先根据设计要求制作相应的箱体,沿箱体的顶面上安装显示屏和振动器,在振动器上安装进料斗和出料板;
b、然后沿箱体的顶面上确定晶片的出料孔,并开设相应的出料孔;
2)收纳机构安装
a、首先根据设计要求加工相应的圆盘,将圆盘通过转轴连接驱动电机,驱动电机固定安装于箱体内;
b、然后根据圆盘的尺寸加工相应的收纳筒,将收纳筒依次放置于圆盘上,使出料孔与收纳筒对应;
3)分选机构安装
a、首先根据设计要求制作相应的底板,将底板固定安装于箱体的顶面上,沿底板的顶面上呈环形分布支撑板,在每个支撑板上安装托轮,同时在底板的中心处安装固定轴;
b、然后根据固定轴的尺寸加工相应的内筒、外筒、第二传动轮和第一传动轮,将内筒套接在固定轴上,再将外筒套接再内筒上,内筒与外筒之间通过扣件连接,内筒的顶部安装第二传动轮,沿第二传动轮的外圆周侧面均匀开设第二卡槽,沿第二传动轮的上方固定连接第一传动轮,沿第一传动轮的外圆周侧面上均匀开设第一卡槽;
c、接着选取第二液压缸,将第二液压缸通过第二定位块安装在箱体上,第二液压缸通过第二活塞杆连接摆臂,摆臂的一端与第二活塞杆转动连接,摆臂的另一端固定于外筒上,同时根据第二卡槽的高度在摆臂上安装第二转动臂,选取第一液压缸,将第一液压缸通过第一定位块安装在底板上,第一液压缸通过第一活塞杆连接第一转动臂,第一转动臂通过支撑柱连接底板,第一转动臂上设有卡钩,卡钩与第一卡槽相匹配;
d、最后根据设计要求加工相应的转盘,沿转盘的顶面安装支撑块,四个支撑块为一组用于支撑晶片,每个支撑块上均开设有限位槽,四个支撑块之间安装下电极,下电极通过第一弹簧连接转盘,将加工好的转盘固定于第一传动轮上;
4)支架安装
a、首先根据设计要求加工相应的环形圈、上料滑轨和下料滑轨,将环形圈通过立柱固定于箱体上,上料滑轨和下料滑轨均安装于环形圈上,沿上料滑轨开设第一滑槽,沿下料滑轨开设第二滑槽;
b、然后沿上料滑轨和下料滑轨安装助推机构;
c、接着根据设计要求加工相应的上料机械手、下料机械手、第一测频机构和第二测频机构,将上料机械手安装于上料滑轨的助推机构上,将下料机械手安装于下料滑轨的助推机构上,将第一测频机构和第二测频机构安装于环形圈上,使第一测频机构靠近上料机械手,第二测频机构靠近下料机械手;
5)晶片分选
a、首先将晶片通过进料斗放入振动器内,经振动器振动后移动至出料板上,启动上料机械手,通过上料机械手将晶片进行吸附,在上料滑轨的助推机构作用下将晶片移动至转盘上,并放在支撑块上,进行下一个晶片的上料;
b、然后启动驱动机构,使转盘转动一定的角度,再通过阻挡机构进行定位,同时第一测频机构对相应的晶片进行一次检测,检测的信息数据通过显示屏进行现实;
c、接着驱动机构继续转动,转动至第二测频机构下方时,第二测频机构对相应的晶片进行二次检测,检测的信息数据通过显示屏现实;
d、最后根据检测的数据信息,通过驱动电机带动收纳机构转动,使相应的收纳筒转动至出料口的位置,通过下料机械手将检测后的晶片输送至出料口,并掉入相应的收纳筒内,实现分选。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111339501.9A CN114101119A (zh) | 2021-11-12 | 2021-11-12 | 一种晶片频率分选机及其分选方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111339501.9A CN114101119A (zh) | 2021-11-12 | 2021-11-12 | 一种晶片频率分选机及其分选方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114101119A true CN114101119A (zh) | 2022-03-01 |
Family
ID=80379059
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111339501.9A Pending CN114101119A (zh) | 2021-11-12 | 2021-11-12 | 一种晶片频率分选机及其分选方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114101119A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114713510A (zh) * | 2022-06-10 | 2022-07-08 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 晶圆自动分类设备 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201156073Y (zh) * | 2007-12-12 | 2008-11-26 | 南京熊猫仪器仪表有限公司 | 视觉定位式smd晶片检测装置 |
US20110013013A1 (en) * | 2009-07-17 | 2011-01-20 | Lee Yeu Yong | Wafer inspection apparatus |
CN206047766U (zh) * | 2016-08-26 | 2017-03-29 | 宁波长晟电子科技有限公司 | 一种工业机器人用气动八分度盘结构 |
CN206305067U (zh) * | 2016-12-08 | 2017-07-07 | 台州钧威机械有限公司 | 陶瓷套筒拉力精密筛选机 |
CN206663847U (zh) * | 2017-04-07 | 2017-11-24 | 苏州市通达自动扶梯配件厂 | 用于滚轮自动压机中的多工位转台 |
CN207086378U (zh) * | 2017-08-09 | 2018-03-13 | 湖北泰晶电子科技股份有限公司 | 一种石英晶体频率分选机 |
CN209902795U (zh) * | 2019-05-05 | 2020-01-07 | 扬州大学 | 一种基于棘轮的精确分度机构 |
CN111487518A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-08-04 | 肇庆华鑫隆自动化设备有限公司 | 一种晶片电容的高效测试设备 |
CN212600636U (zh) * | 2020-06-29 | 2021-02-26 | 台州市北光机械制造有限公司 | 一种半自动加工机床分度平台 |
-
2021
- 2021-11-12 CN CN202111339501.9A patent/CN114101119A/zh active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201156073Y (zh) * | 2007-12-12 | 2008-11-26 | 南京熊猫仪器仪表有限公司 | 视觉定位式smd晶片检测装置 |
US20110013013A1 (en) * | 2009-07-17 | 2011-01-20 | Lee Yeu Yong | Wafer inspection apparatus |
CN206047766U (zh) * | 2016-08-26 | 2017-03-29 | 宁波长晟电子科技有限公司 | 一种工业机器人用气动八分度盘结构 |
CN206305067U (zh) * | 2016-12-08 | 2017-07-07 | 台州钧威机械有限公司 | 陶瓷套筒拉力精密筛选机 |
CN206663847U (zh) * | 2017-04-07 | 2017-11-24 | 苏州市通达自动扶梯配件厂 | 用于滚轮自动压机中的多工位转台 |
CN207086378U (zh) * | 2017-08-09 | 2018-03-13 | 湖北泰晶电子科技股份有限公司 | 一种石英晶体频率分选机 |
CN209902795U (zh) * | 2019-05-05 | 2020-01-07 | 扬州大学 | 一种基于棘轮的精确分度机构 |
CN111487518A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-08-04 | 肇庆华鑫隆自动化设备有限公司 | 一种晶片电容的高效测试设备 |
CN212600636U (zh) * | 2020-06-29 | 2021-02-26 | 台州市北光机械制造有限公司 | 一种半自动加工机床分度平台 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114713510A (zh) * | 2022-06-10 | 2022-07-08 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 晶圆自动分类设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4638600A (en) | Multi-function work finshing machine using barrel containers | |
CN114101119A (zh) | 一种晶片频率分选机及其分选方法 | |
CN215237084U (zh) | 一种限位板冲压装置 | |
CN210173280U (zh) | 一种晶体倒边桶换砂装置 | |
CN110977752A (zh) | 一种整体式轴瓦工件外圈全自动研磨设备 | |
CN108808996A (zh) | 一种转子自动生产线 | |
CN109877697A (zh) | 一种晶体倒边桶换砂装置 | |
CN108790389A (zh) | 一种模型车身自动移印设备及其移印方法 | |
CN215588799U (zh) | 一种锯片双面抛光机 | |
CN210189373U (zh) | 一种全自动研磨机 | |
CN109263061A (zh) | 喇叭装配用治具搬运装置和喇叭智能装配设备 | |
CN112518312B (zh) | 一种微型轻触开关的全自动组装设备 | |
CN115283954B (zh) | 一种电感的全自动化组装设备 | |
CN110153859A (zh) | 一种全自动研磨机 | |
CN214024452U (zh) | 一种转子与介子装配机 | |
CN216399004U (zh) | 一种弹簧钢丝磨口设备 | |
CN112548696A (zh) | 一种柱体物料磨削加工装置及其加工方法 | |
CN110977437A (zh) | 一种部件组装设备 | |
CN112645017A (zh) | 一种电脑机箱加工用可自动上下料的多部件组装装置 | |
CN219668527U (zh) | 棕刚玉粉定量下料装置 | |
CN116618851B (zh) | 一种自动化双头锯片切割机 | |
CN220258587U (zh) | 一种具有防粘功能的环状产品涂胶装置 | |
CN215624748U (zh) | 一种高精度定位的多工位振动盘 | |
CN114454087B (zh) | 一种研磨机全自动上下料装置及上下料方法 | |
CN215587205U (zh) | 一种基于自动检测的晶片频率分选机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |