CN114096386A - 板状部件的制造方法、板状部件的中间体和板状部件 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够抑制板状部件的形状不良的板状部件的制造方法、板状部件的中间体和抑制了形状不良的板状部件。本发明的板状部件的制造方法的特征在于，包括：在具有彼此相反的第一主面和第二主面的板状部件的母材的第一主面设置第一分割槽(12a)后，在第二主面在俯视时与第一分割槽(12a)交叉的方向设置第二分割槽(13a)，由此形成波长转换部件(板状部件)的中间体(11)的工序；和在沿着第一分割槽(12a)和第二分割槽(13a)中的一方的分割槽将波长转换部件的中间体(11)割断后，沿着另一方的分割槽将波长转换部件的中间体(11)割断的工序。在沿着第一分割槽(12a)将波长转换部件的中间体(11)割断时，从第二主面(11b)侧按压，由此沿着第一分割槽(12a)将波长转换部件的中间体(11)割断；在沿着第二分割槽(13a)将波长转换部件的中间体(11)割断时，从第一主面(11a)侧按压，由此沿着第二分割槽(13a)将波长转换部件的中间体割断。

Description

板状部件的制造方法、板状部件的中间体和板状部件
技术领域
本发明涉及板状部件的制造方法、板状部件的中间体和板状部件。
背景技术
近年来，作为替代荧光灯或白炽灯的新一代光源，对于使用LED或LD的发光设备等的关注越来越高。作为这种新一代光源的一例，公开了射出蓝色光的LED和吸收来自LED的部分光并将其转换成黄色光的波长转换部件组合而成的发光设备。该发光设备发出作为从LED射出且透过波长转换部件的蓝色光、和从波长转换部件射出的黄色光的合成光的白色光。
下述专利文献1中记载了使用波长转换部件的发光设备的一例。在发光设备的制造中得到波长转换部件时，有时采用通过将波长转换部件的母材单片化，一次得到多个波长转换部件的方法。下述专利文献1中，作为这种单片化的方法的一例，记载了在波长转换部件的母材上形成格子状图案的分割槽，沿着分割槽割断来进行单片化的方法。该单片化通过将波长转换部件的母材沿着在格子状图案的一个方向(例如X方向)上延伸的分割槽割断后，沿着在另一个方向(例如Y方向)上延伸的分割槽割断来进行。经过单片化的波长转换部件被贴附于LED等光源。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2018－097060号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
在波长转换部件等板状部件的母材的单片化时，以分割槽为起点，产生在板状部件的母材的厚度方向上延伸的裂纹，从而将板状部件的母材割断。然而，有时以分割槽为起点产生在偏离上述厚度方向的方向上延伸的裂纹。因此，有时经过单片化的板状部件产生飞边等形状不良。
本发明的目的在于提供一种能够抑制板状部件的形状不良的板状部件的制造方法、板状部件的中间体和抑制了形状不良的板状部件。
用于解决技术问题的技术方案
本发明的板状部件的制造方法的特征在于，包括：在具有彼此相反的第一主面和第二主面的板状部件的母材的第一主面设置第一分割槽后，在板状部件的母材的第二主面在俯视时与第一分割槽交叉的方向设置第二分割槽，由此形成板状部件的中间体的工序；和沿着第一分割槽和第二分割槽中的一方的分割槽将板状部件的中间体割断后，沿着第一分割槽和第二分割槽中的另一方的分割槽将板状部件的中间体割断的工序，在沿着第一分割槽将板状部件的中间体割断时，从板状部件的中间体的第二主面侧按压，由此沿着第一分割槽将板状部件的中间体割断；在沿着第二分割槽将板状部件的中间体割断时，从板状部件的中间体的第一主面侧按压，由此沿着第二分割槽将板状部件的中间体割断。
本发明的板状部件的制造方法是将设置有第一分割槽和第二分割槽的板状部件的中间体割断来制造多个板状部件的方法，其特征在于：板状部件的中间体是通过在具有彼此相反的第一主面和第二主面的板状部件的母材的第一主面设置第一分割槽后、在板状部件的母材的第二主面在俯视时与第一分割槽交叉的方向设置第二分割槽而得到的，上述制造方法包括沿着第一分割槽和第二分割槽中的一方的分割槽将板状部件的中间体割断后、沿着第一分割槽和第二分割槽中的另一方的分割槽将板状部件的中间体割断的工序，在沿着第一分割槽将板状部件的中间体割断时，从板状部件的中间体的第二主面侧按压，由此沿着第一分割槽将板状部件的中间体割断；在沿着第二分割槽将板状部件的中间体割断时，从板状部件的中间体的第一主面侧按压，由此沿着第二分割槽将板状部件的中间体割断。
优选在俯视时第一分割槽与第二分割槽正交。
优选板状部件为波长转换部件。在这种情况下，更优选波长转换部件是将荧光体颗粒分散在无机基质中而形成的。
优选板状部件为脆性材料基板。在这种情况下，更优选脆性材料基板为玻璃板、玻璃陶瓷板或陶瓷板。
本发明的板状部件的中间体是用于通过割断而得到多个板状部件的板状部件的中间体，该板状部件的中间体的特征在于：具有彼此相反的第一主面和第二主面，在第一主面设置有第一分割槽，在第二主面设置有俯视时与第一分割槽交叉的第二分割槽。
本发明的板状部件的特征在于，具有：彼此相反的第一主面和第二主面；与第一主面和第二主面直接或间接地连接、并且彼此相反的第一侧面和第二侧面；与第一主面和第二主面直接或间接地连接、并且彼此相反的第三侧面和第四侧面；以连接第一主面和第一侧面的方式设置的第一倾斜面；以连接第一主面和第二侧面的方式设置的第二倾斜面；以连接第二主面和第三侧面的方式设置的第三倾斜面；和以连接第二主面和第四侧面的方式设置的第四倾斜面。
发明的效果
根据本发明，提供一种能够抑制板状部件的形状不良的板状部件的制造方法、板状部件的中间体，并且提供一种抑制了形状不良的板状部件。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式涉及的板状部件的俯视示意图。
图2是沿图1中的I－I线的截面图。
图3是沿图1中的II－II线的截面图。
图4是本发明的一个实施方式涉及的板状部件的中间体的俯视示意图。
图5(a)～图5(c)是用于说明本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法的正面截面示意图。
图6是表示本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中使用的波长转换部件的中间体的、形成有第一分割槽的部分附近的放大正面截面示意图。
图7是用于说明本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法的截面示意图。
图8(a)和图8(b)是用于对本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中的、板状部件的中间体的分割进行说明的正面截面示意图。
图9(a)和图9(b)是用于说明本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中的、支撑膜的贴换工序的正面截面示意图。
图10(a)和图10(b)是用于对本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中的、板状部件的中间体的分割进行说明的正面截面示意图。
图11是比较例的板状部件的中间体的俯视示意图。
图12是表示比较例的板状部件的中间体刚刚单片化后的状态的俯视示意图。
图13是表示在图5～图10所示的本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中，板状部件的中间体刚刚单片化后的状态的俯视示意图。
具体实施方式
以下，对优选的实施方式进行说明。但是，以下的实施方式仅为例示，本发明不限定于以下的实施方式。并且，在各图中，具有实质上相同功能的部件有时用相同的符号进行参照。
[板状部件]
图1是本发明的一个实施方式涉及的板状部件的俯视示意图。波长转换部件1是具有彼此相反的第一主面1a和第二主面1b的矩形板状的波长转换部件1。波长转换部件1具有彼此相反的第一侧面1c和第二侧面1d、以及彼此相反的第三侧面1e和第四侧面1f。
图2是沿图1中的I－I线的截面图。波长转换部件1在俯视时的端缘部具有多个倾斜面。具体而言，如图2所示，波长转换部件1具有第一倾斜面1g和第二倾斜面1h。第一倾斜面1g以连接第一主面1a和第一侧面1c的方式设置。第二倾斜面1h以连接第一主面1a和第二侧面1d的方式设置。
第一主面1a经由第一倾斜面1g与第一侧面1c间接连接。第一主面1a经由第二倾斜面1h与第二侧面1d间接连接。另一方面，第二主面1b与第一侧面1c和第二侧面1d直接连接。第一倾斜面1g和第二倾斜面1h的截面形状是直线状。但是，第一倾斜面1g的至少一部分的截面形状也可以是曲线状。第二倾斜面1h的至少一部分的截面形状也可以是曲线状。
图3是沿图1中的II－II线的截面图。如图3所示，波长转换部件1具有第三倾斜面1i和第四倾斜面1j。第三倾斜面1i以连接第二主面1b和第三侧面1e的方式设置。第四倾斜面1j以连接第二主面1b和第四侧面1f的方式设置。
第二主面1b经由第三倾斜面1i与第三侧面1e间接连接。第二主面1b经由第四倾斜面1j与第四侧面1f间接连接。另一方面，第一主面1a与第三侧面1e和第四侧面1f直接连接。第三倾斜面1i和第四倾斜面1j的截面形状是直线状。但是，第三倾斜面1i的至少一部分的截面形状也可以是曲线状。第四倾斜面1j的至少一部分的截面形状也可以是曲线状。
在此，在本说明书中，所谓俯视是指从图2或图3中的上方侧观察的方向。如图2所示，在俯视时，第一侧面1c与第一倾斜面1g连接的部分相比于第一主面1a与第一倾斜面1g连接的部分位于外侧。第二侧面1d与第二倾斜面1h连接的部分相比于第一主面1a与第二倾斜面1h连接的部分位于外侧。如图3所示，在俯视时，第三侧面1e与第三倾斜面1i连接的部分相比于第二主面1b与第三倾斜面1i连接的部分位于外侧。在俯视时，第四侧面1f与第四倾斜面1j连接的部分相比于第二主面1b与第四倾斜面1j连接的部分位于外侧。
如图2和图3所示，波长转换部件1通过荧光体颗粒2分散在无机基质3中而形成。荧光体颗粒2通过激发光A的入射而射出荧光。因此，当激发光A入射到波长转换部件1时，从波长转换部件1射出激发光A和荧光的合成光B。
荧光体颗粒2只要通过激发光A的入射而射出荧光即可，没有特别限定。作为荧光体颗粒2的具体例，例如可以列举选自氧化物荧光体、氮化物荧光体、氧氮化物荧光体、氯化物荧光体、氧氯化物荧光体、硫化物荧光体、氧硫化物荧光体、卤化物荧光体、硫属元素化物荧光体、铝酸盐荧光体、卤磷酸盐化物荧光体和石榴石系化合物荧光体中的1种以上等。作为激发光A使用蓝色光时，例如，可以使用作为荧光射出绿色光、黄色光或红色光的荧光体。
荧光体颗粒2的平均粒径优选为1μm～50μm，更优选为5μm～30μm。荧光体颗粒2的平均粒径过小时，有时发光强度降低。另一方面，荧光体颗粒2的平均粒径过大时，有时发光色变得不均匀。
波长转换部件1中的荧光体颗粒2的含量优选为1体积％以上，更优选为1.5体积％以上，进一步优选为2体积％以上。波长转换部件1中的荧光体颗粒2的含量优选为70体积％以下，更优选为50体积％以下，进一步优选为30体积％以下。荧光体颗粒2的含量过少时，为了得到所希望的发光色，必须增大波长转换部件1的厚度，结果，所得到的波长转换部件1的内部散射增加，因而有时会导致光取出效率降低。另一方面，荧光体颗粒2的含量过多时，为了得到所希望的发光色，必须减小波长转换部件1的厚度，因而有时会导致波长转换部件1的机械强度降低。
无机基质3所使用的无机材料只要能够作为荧光体颗粒2的分散介质使用即可，没有特别限定，例如可以使用玻璃。作为无机基质3所使用的玻璃，例如可以使用硼硅酸盐系玻璃、磷酸盐系玻璃、锡磷酸盐系玻璃、铋酸盐系玻璃等。作为硼硅酸盐系玻璃，可以列举以质量％计含有SiO2 30％～85％、Al2O3 0％～30％、B2O3 0％～50％、Li2O+Na2O+K2O 0％～10％、和MgO+CaO+SrO+BaO 0％～50％的玻璃。作为锡磷酸盐系玻璃，可以列举以摩尔％计含有SnO 30％～90％、P2O5 1％～70％的玻璃。
在本实施方式中，作为板状部件的波长转换部件1通过荧光体颗粒2分散在无机基质3中而形成。另外，波长转换部件也可以是荧光体陶瓷板。并且，板状部件不限定于波长转换部件。作为板状部件，除了波长转换部件以外，还可以列举例如玻璃板、玻璃陶瓷板、陶瓷板等的由无机材料构成的脆性材料基板、或板状的半导体元件等。
本实施方式的波长转换部件1通过将作为板状部件的母材的、波长转换部件的母材割断而得到。进一步具体而言，通过将由波长转换部件的母材形成的作为本发明的一个实施方式涉及的板状部件的中间体的、波长转换部件的中间体割断而得到。
[板状部件的中间体]
图4是本发明的一个实施方式涉及的板状部件的中间体的俯视示意图。图4所示的板状部件的中间体用于本发明涉及的板状部件的制造方法。具体而言，图4所示的板状部件的中间体为波长转换部件的中间体11，其用于通过单片化而得到上述波长转换部件1。
波长转换部件的中间体11具有彼此相反的第一主面11a和第二主面11b。波长转换部件的中间体11为矩形板状。但波长转换部件的中间体11的形状不限定于矩形板状。
波长转换部件的中间体11的第一主面11a具有在X方向上延伸的多个第一分割槽12a。第二主面11b具有在Y方向上延伸的多个第二分割槽13a。在本实施方式中，在俯视时，第一分割槽12a和第二分割槽13a正交。另外，第一分割槽12a和第二分割槽13a在俯视时不必须正交，只要彼此交叉即可。在本说明书中，所谓在X方向上延伸，在不妨碍本发明效果的范围内，还包括与X方向大致平行地延伸。同样，所谓在Y方向上延伸，在不妨碍本发明效果的范围内，还包括与Y方向大致平行地延伸。
在本实施方式中，第一分割槽12a和第二分割槽13a的图案在俯视时形成为格子状。但分割槽的图案不限定于格子状，可以适当选择与最终制造的板状部件的形状相应的图案。
第一分割槽12a和第二分割槽13a的深度没有特别限定，分别优选为波长转换部件的中间体11的厚度的0.1％～10％的范围内，更优选为0.5％～5％的范围内。分割槽的深度过浅时，有时利用分割槽的割断变得困难。分割槽的深度过深时，形成分割槽时的负荷变得过大，有时裂纹在非意图的方向上伸展，无法在与第一主面11a垂直的方向进行割断。
第一分割槽12a和第二分割槽13a的宽度分别优选为0.001mm以上，更优选为0.002mm以上。另一方面，第一分割槽12a和第二分割槽13a的宽度分别优选为0.010mm以下，更优选为0.005mm以下。宽度过大时，存在割断时成为缺损部的情况。宽度过小时，存在利用分割槽的割断变得困难的情况。
波长转换部件的中间体11通过荧光体颗粒分散在无机基质中而形成。波长转换部件的中间体11可以由与上述的波长转换部件1相同的材料构成。另外，板状部件的中间体除了通过荧光体颗粒分散在无机基质中而形成以外，例如也可以是玻璃板、玻璃陶瓷板、荧光体陶瓷板或除荧光体陶瓷板以外的陶瓷板等的由无机材料构成的脆性材料基板、或者板状的半导体元件等。
[板状部件的制造方法]
(形成板状部件的中间体的工序)
以下，对本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法的一例进行说明。并且，本实施方式中的板状部件为上述的板状的波长转换部件。
图5(a)～图5(c)是用于说明本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法的正面截面示意图。
首先，准备图5(a)所示的矩形板状的波长转换部件的母材21。波长转换部件的母材21具有彼此相反的第一主面21a和第二主面21b。波长转换部件的母材21通过荧光体颗粒分散在无机基质中而形成。波长转换部件的母材21可以由与上述的波长转换部件1相同的材料构成。另外，板状部件的母材除了通过荧光体颗粒分散在无机基质中而形成以外，例如也可以是玻璃板、玻璃陶瓷板、荧光体陶瓷板或除荧光体陶瓷板以外的陶瓷板等的由无机材料构成的脆性材料基板、或者板状的半导体元件等。
接着，如图5(b)所示，在波长转换部件的母材21的第一主面21a设置在X方向上延伸的多个第一分割槽12a。接着，如图5(c)所示，在第二主面21b上设置在Y方向上延伸的多个第二分割槽13a。由此，能够形成图4所示的波长转换部件的中间体11。不过，只要在第二主面21b上在俯视时与第一分割槽12a交叉的方向上设置第二分割槽13a即可。波长转换部件的母材21所形成的分割槽的图案不限定于俯视时为格子状，可以适当选择与最终制造的板状部件的形状相应的图案。
图6是表示本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中使用的波长转换部件的中间体的、形成有第一分割槽的部分附近的放大正面截面示意图。如图6所示，第一分割槽12a具有大致V字状的截面形状。具体而言，本实施方式的第一分割槽12a通过截面形状为直线状的倾斜面彼此相连接而构成。不过，各倾斜面的至少一部分的截面形状也可以是曲线状。同样，图5(c)中示意性地表示的第二分割槽13a也具有大致V字状的形状。本实施方式中，构成第二分割槽13a的各倾斜面的截面形状为直线状。不过，第二分割槽13a的各倾斜面的至少一部分的截面形状也可以为曲线状。
第一分割槽12a和第二分割槽13a优选通过划线(scribe)形成。作为形成第一分割槽12a和第二分割槽13a的具体方法，可以根据无机基质的材质适当选择，在无机基质为玻璃的情况下，优选通过使用金刚石颗粒等的划线针等来形成。在利用划线的情况下，例如，可以在波长转换部件的母材21的第一主面21a形成第一分割槽12a后，将波长转换部件的母材21翻转，然后在第二主面21b形成第二分割槽13a。另外，还可以根据无机基质的材质，通过激光照射来形成第一分割槽12a和第二分割槽13a。
(单片化工序)
图7是用于说明本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法的截面示意图。如图7所示，在波长转换部件的中间体11的第一主面11a侧贴附支撑膜24A。支撑膜24A包括支撑层和设置在支撑层上的粘接层。在本实施方式中，支撑层由聚烯烃膜构成。但支撑层的材料不限定于上述材料，支撑层可以由适当的树脂膜构成。另外，在本实施方式中，粘接层由紫外线固化树脂构成。作为紫外线固化树脂，能够使用丙烯酸树脂、环氧树脂、聚氨酯树脂等。但粘接层的材料不限定于上述材料，也可以由其他的树脂等构成。本实施方式中，通过在波长转换部件的中间体11的第一主面11a贴附支撑膜24A的粘接层，能够在波长转换部件的中间体11上贴附支撑膜24A。另外，支撑膜24A并不必须设置。
图8(a)和图8(b)是用于对本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中的、板状部件的中间体的分割进行说明的正面截面示意图。图9(a)和图9(b)是用于说明本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中的、支撑膜的贴换工序的正面截面示意图。
图10(a)和图10(b)是用于对本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中的、板状部件的中间体的分割进行说明的正面截面示意图。
如图8(a)所示，在本实施方式中，在分割波长转换部件的中间体11时，使用按压部件25和支撑体26。按压部件25具有与波长转换部件的中间体11的第一主面11a平行、并且以直线状延伸的刀片25a。另一方面，支撑体26具有间隙(slit)26a。
首先，将作为板状部件的中间体的波长转换部件的中间体11在Y方向上进行分割。具体而言，如图8(a)所示，将支撑体26配置成与波长转换部件的中间体11的第二主面11b接触的方式。此时，从第一主面11a侧观察时，以用于割断的第二分割槽13a位于间隙26a内的方式配置支撑体26。另一方面，在与用于割断的第二分割槽13a相对的位置配置按压部件25。其中，所谓与用于割断的第二分割槽13a相对的位置，具体是指在俯视时与用于割断的第二分割槽13a重叠的位置。此时，按压部件25的刀片25a和支撑体26的间隙26a分别在Y方向上以直线状延伸。
接着，在如上述那样配置支撑体26的状态下，利用按压部件25的刀片25a从支撑膜24A侧、即从第一主面11a侧按压波长转换部件的中间体11。这样，通过利用支撑体26和按压部件25对波长转换部件的中间体11进行夹压，如图8(b)所示，以第二分割槽13a为起点，使裂纹在波长转换部件的中间体11的厚度方向上伸展。由此，将波长转换部件的中间体11沿着第二分割槽13a割断。此时，在用于割断的第二分割槽13a的部分形成割断面13b。这里，割断后的波长转换部件的中间体11的单片维持贴附于支撑膜24A的状态。
接着，使按压部件25和支撑体26在X方向上移动，沿着相邻的第二分割槽13a将波长转换部件的中间体11割断。另外，也可以代替按压部件25和支撑体26，使波长转换部件的中间体11在X方向上移动。通过反复进行上述操作，沿着在X方向上隔开间隔大致平行排列的、多个在Y方向上延伸的第二分割槽13a，依次将波长转换部件的中间体11割断。由此，将波长转换部件的中间体11割断成多个长方体状的单片体。
接着，如图9(a)所示，通过对支撑膜24A照射UV光C，使支撑膜24A的粘接层固化。具体而言，在本实施方式中，从支撑膜24A的支撑层侧照射UV光C。接着，在波长转换部件的中间体11的第二主面11b贴附另一个支撑膜24B。接着，如图9(b)所示，将波长转换部件的中间体11从支撑膜24A剥离。
接着，将波长转换部件的中间体11在X方向上进行分割。具体而言，如图10(a)所示，将按压部件25的刀片25a和支撑体26的间隙26a配置成分别在X方向上以直线状延伸的方式。在将波长转换部件的中间体11在X方向上进行分割时，从支撑膜24B侧、即从第二主面11b侧按压波长转换部件的中间体11。通过利用支撑体26和按压部件25对波长转换部件的中间体11进行夹压，如图10(b)所示，以第一分割槽12a为起点，使裂纹在波长转换部件的中间体11的厚度方向上伸展。由此，将波长转换部件的中间体11沿着第一分割槽12a割断。此时，在用于割断的第一分割槽12a的部分形成割断面12b。
接着，使按压部件25和支撑体26在Y方向上移动，沿着相邻的第一分割槽12a将波长转换部件的中间体11割断。另外，也可以代替按压部件25和支撑体26，使波长转换部件的中间体11在Y方向上移动。通过反复进行上述操作，沿着在Y方向上隔开间隔大致平行排列的、在X方向上延伸的多个第一分割槽12a，依次将波长转换部件的中间体11割断。由此，波长转换部件的中间体11被单片化成多个波长转换部件1。
在波长转换部件的中间体11被单片化时，割断面12b分别成为图2所示的波长转换部件1的第一侧面1c或第二侧面1d。此时，构成图6所示的第一分割槽12a的倾斜面中的一方成为第一倾斜面1g，另一方成为第二倾斜面1h。
同样，在波长转换部件的中间体11被单片化时，图8(b)所示的割断面13b分别成为图3所示的波长转换部件1的第三侧面1e或第四侧面1f。此时，构成第二分割槽13a的倾斜面中的一方成为第三倾斜面1i，另一方成为第四倾斜面1j。
然而，通过沿着第一分割槽12a割断而形成的割断面12b在从波长转换部件的中间体11的第一主面11a侧或第二主面11b侧观察时是线状。同样，通过沿着第二分割槽13a割断而形成的割断面13b在从第一主面11a侧或第二主面11b侧观察时也是线状。将割断面12b和割断面13b中先形成的割断面的从第一主面11a侧或第二主面11b侧观察时的线作为第一断线。将割断面12b和割断面13b中后形成的割断面的从第一主面11a侧或第二主面11b侧观察时的线作为第二断线。本实施方式中，割断面13b的上述线为第一断线，割断面12b的上述线为第二断线。
但是，也可以在将波长转换部件的中间体11沿着第一分割槽12a割断后，再沿着第二分割槽13a割断。在这种情况下，割断面12b的上述线为第一断线，割断面13b的上述线为第二断线。
(本发明的板状部件的制造方法的效果的详细情况)
本实施方式的特征在于具有以下的1)～4)的构成。1)使用通过在波长转换部件的母材21的第一主面21a设置第一分割槽12a后，在第二主面21b设置第二分割槽13a而得到的波长转换部件的中间体11。2)包括在沿着第一分割槽12a和第二分割槽13a中的一方的分割槽将波长转换部件的中间体11割断后，沿着另一方的分割槽将板状部件的中间体割断的工序。3)在沿着第一分割槽12a将波长转换部件的中间体11割断时，从第二主面11b侧按压，由此沿着第一分割槽12a将波长转换部件的中间体11割断。4)在沿着第二分割槽13a将波长转换部件的中间体11割断时，从第一主面11a侧按压，由此沿着第二分割槽13a将波长转换部件的中间体11割断。由此，能够抑制板状部件的形状不良。以下，通过比较本实施方式与比较例来说明该效果的详细情况。
图11是比较例的板状部件的中间体的俯视示意图。如图11所示，在作为比较例的板状部件的中间体的波长转换部件的中间体101中，在Y方向上延伸的第一分割槽102a和在X方向上延伸的第二分割槽103a双方设置于第一主面101a。波长转换部件的中间体101在第一主面101a具有第一分割槽102a和第二分割槽103a的交点104。在将波长转换部件的中间体101单片化时，沿着所有的第一分割槽102a将波长转换部件的中间体101割断后，再沿着所有的第二分割槽103a将波长转换部件的中间体101割断。由此得到波长转换部件111。
图12是表示比较例的板状部件的中间体刚刚单片化后的状态的俯视示意图。图13是表示在图5～图10所示的本发明的一个实施方式涉及的板状部件的制造方法中，板状部件的中间体刚刚单片化后的状态的俯视示意图。其中，图12和图13分别是从波长转换部件的第二主面101b侧或第二主面1b侧观察时的图。
如图12所示，在比较例中，第一断线D111与Y方向平行地延伸。然而，第二断线E111的一部分相对于X方向倾斜地延伸。进一步具体而言，例如虚线F所示的那样，在第二断线E111与第一断线D111交叉的部分，在第二断线E111产生了台阶差。由该台阶差带来的错位例如超过10μm。因此，一部分的波长转换部件111的第二主面111b不形成完整的矩形形状。如此，在比较例中，沿着图11所示的第二分割槽103a将波长转换部件的中间体101割断时，容易发生形状不良。
与此相对，如图13所示，在上述实施方式中被单片化的情况下，第一断线D1与Y方向平行地延伸，并且第二断线E1与X方向平行地延伸。由此，图13所示的波长转换部件1的第二主面1b均为矩形形状。如此，在本发明涉及的实施方式中，不易发生波长转换部件1的形状不良。其理由可以认为如下。
在将图11所示的比较例的波长转换部件的中间体101沿着第一分割槽102a割断时，在交点104附近，在第二分割槽103a所延伸的X方向上可能会产生横向裂纹(lateralcrack)。接着，在将波长转换部件的中间体101沿着第二分割槽103a分割时，在产生了横向裂纹的交点104附近的部分，裂纹容易比其他部分先伸展至第二主面101b。这样，交点104附近的部分与其他部分的裂纹的伸展时间点产生差异，因此，裂纹有可能向偏离波长转换部件的中间体101的厚度方向的方向伸展。因此，在比较例中容易发生波长转换部件111的形状不良。
与此相对，本发明的上述实施方式的波长转换部件的中间体11在第一主面11a设置有第一分割槽12a，在第二主面11b设置有第二分割槽13a。由此，在形成波长转换部件的中间体11时，不会产生由于在同一主面上设置第一分割槽12a和第二分割槽13a所引起的横向裂纹。由此，不易出现像比较例那样的裂纹的伸展时间点的差异，能够抑制偏离波长转换部件的中间体11的厚度方向的方向上的裂纹的伸展。因此，在本发明涉及的实施方式中，能够抑制作为板状部件的波长转换部件1的形状不良。
此外，在将波长转换部件的中间体11沿着第二分割槽13a割断时，设置有第一分割槽12a的第一主面11a是进行按压的一侧的主面。因此，在沿着第二分割槽13a割断时，第一分割槽12a附近受到压缩应力，而不是拉伸应力。由此，在将波长转换部件的中间体11沿着第一分割槽12a割断的工序之前，能够更可靠地抑制产生以第一分割槽12a为起点的裂纹。因此，能够更可靠地抑制偏离波长转换部件的中间体11的厚度方向的方向上的裂纹的伸展，能够进一步抑制波长转换部件1的形状不良。
另外，比较例中的形状不良在断线的间距比较小时(例如小于1mm)容易发生。因此，本发明的方法在断线的间距如此小时特别有效。
符号的说明
1…波长转换部件；1a…第一主面；1b…第二主面；1c…第一侧面；1d…第二侧面；1e…第三侧面；1f…第四侧面；1g…第一倾斜面；1h…第二倾斜面；1i…第三倾斜面；1j…第四倾斜面；2…荧光体颗粒；3…无机基质；11…波长转换部件的中间体；11a…第一主面；11b…第二主面；12a…第一分割槽；12b…割断面；13a…第二分割槽；13b…割断面；21…波长转换部件的母材；21a…第一主面；21b…第二主面；24A…支撑膜；24B…支撑膜；25…按压部件；25a…刀片；26…支撑体；26a…间隙；101…波长转换部件的中间体；101a…第一主面；102a…第一分割槽；103a…第二分割槽；104…交点；111…波长转换部件；111b…第二主面；D1…第一断线；D111…第一断线；E1…第二断线；E111…第二断线。

Claims (9)

1.一种板状部件的制造方法，其特征在于，包括：
在具有彼此相反的第一主面和第二主面的板状部件的母材的所述第一主面设置第一分割槽后，在所述板状部件的母材的所述第二主面在俯视时与所述第一分割槽交叉的方向设置第二分割槽，由此形成板状部件的中间体的工序；和
沿着所述第一分割槽和所述第二分割槽中的一方的分割槽将所述板状部件的中间体割断后，沿着所述第一分割槽和所述第二分割槽中的另一方的分割槽将所述板状部件的中间体割断的工序，
在沿着所述第一分割槽将所述板状部件的中间体割断时，从所述板状部件的中间体的所述第二主面侧按压该中间体，由此沿着所述第一分割槽将所述板状部件的中间体割断；在沿着所述第二分割槽将所述板状部件的中间体割断时，从所述板状部件的中间体的所述第一主面侧按压该中间体，由此沿着所述第二分割槽将所述板状部件的中间体割断。
2.一种板状部件的制造方法，其是将设置有第一分割槽和第二分割槽的板状部件的中间体割断来制造多个板状部件的方法，其特征在于：
所述板状部件的中间体是通过在具有彼此相反的第一主面和第二主面的板状部件的母材的所述第一主面设置所述第一分割槽后、在所述板状部件的母材的所述第二主面在俯视时与所述第一分割槽交叉的方向设置所述第二分割槽而得到的，
所述制造方法包括沿着所述第一分割槽和所述第二分割槽中的一方的分割槽将所述板状部件的中间体割断后、沿着所述第一分割槽和所述第二分割槽中的另一方的分割槽将所述板状部件的中间体割断的工序，
在沿着所述第一分割槽将所述板状部件的中间体割断时，从所述板状部件的中间体的所述第二主面侧按压该中间体，由此沿着所述第一分割槽将所述板状部件的中间体割断；在沿着所述第二分割槽将所述板状部件的中间体割断时，从所述板状部件的中间体的所述第一主面侧按压该中间体，由此沿着所述第二分割槽将所述板状部件的中间体割断。
3.如权利要求1或2所述的板状部件的制造方法，其特征在于：
在俯视时，所述第一分割槽与所述第二分割槽正交。
4.如权利要求1～3中任一项所述的板状部件的制造方法，其特征在于：
所述板状部件为波长转换部件。
5.如权利要求4所述的板状部件的制造方法，其特征在于：
所述波长转换部件是将荧光体颗粒分散在无机基质中而形成的。
6.如权利要求1～3中任一项所述的板状部件的制造方法，其特征在于：
所述板状部件为脆性材料基板。
7.如权利要求6所述的板状部件的制造方法，其特征在于：
所述脆性材料基板为玻璃板、玻璃陶瓷板或陶瓷板。
8.一种板状部件的中间体，其是用于通过割断而得到多个板状部件的板状部件的中间体，所述板状部件的中间体的特征在于：
具有彼此相反的第一主面和第二主面，
在所述第一主面设置有第一分割槽，在所述第二主面设置有俯视时与所述第一分割槽交叉的第二分割槽。
9.一种板状部件，其特征在于，具有：
彼此相反的第一主面和第二主面；
与所述第一主面和所述第二主面直接或间接地连接、并且彼此相反的第一侧面和第二侧面；
与所述第一主面和所述第二主面直接或间接地连接、并且彼此相反的第三侧面和第四侧面；
以连接所述第一主面和所述第一侧面的方式设置的第一倾斜面；
以连接所述第一主面和所述第二侧面的方式设置的第二倾斜面；
以连接所述第二主面和所述第三侧面的方式设置的第三倾斜面；和
以连接所述第二主面和所述第四侧面的方式设置的第四倾斜面。
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