CN114088627B - 一种双显微镜测量设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种双显微镜测量设备及方法，包括：两个显微镜、龙门、夹具；其中，所述两个显微镜安装在龙门的轴上，能够在龙门上来回移动；所述显微镜具有电动微调装置，安装在显微镜与龙门的连接处，以对显微镜的位置进行微调；和/或，所述夹具具有旋转电动微调装置，安装在夹具的底部，以对夹具的位置进行微调。测量时，将同一行测量点左右平分，如果是奇数个点位，则增加一个虚拟点位，左侧显微镜负责左侧点位，右侧显微镜负责右侧点位，从左至右或从右至左同向逐个点位依次同时进行移动和测量。本发明的优点在于：基板及其夹具质量比较小，重心比较低，移动后机台较短时间就可以稳定，可以较快进行测量，提高测量效率。

Description

一种双显微镜测量设备及方法

技术领域

本发明涉及屏幕检测技术领域，具体涉及一种双显微镜测量设备及方法。

背景技术

随着LCD屏、OLED屏基板尺寸的增大，所需测量点位随之增加，测量节拍时间随之增长，为了缩短节拍时间，设备采用双显微镜进行测量。因为测量倍率比较高，镜头景深比较小,对振动的要求就会比较高，一般的双显微镜测量设备需要较长稳定时间才能测量，测量效率比较低。

已有的双显微镜测量设备是两个显微镜各自安装在不同的移动龙门上进行测量。现有技术的缺点是龙门质量比较大，重心比较高，移动后机台需要较长稳定时间才能测量，测量效率比较低。

发明内容

本发明的目的是通过以下技术方案实现的。

本发明的目的是减小机台稳定时间。

根据本发明的第一个方面，提供了一种双显微镜测量设备，包括：

两个显微镜、龙门、夹具；其中，所述两个显微镜安装在龙门的轴上，能够在龙门上来回移动；

所述显微镜具有电动微调装置，安装在显微镜与龙门的连接处，以对显微镜的位置进行微调；和/或，

所述夹具具有旋转电动微调装置，安装在夹具的底部，以对夹具的位置进行微调。

进一步地，所述显微镜的电动微调装置和夹具的旋转电动微调装置均包括电机。

进一步地，所述夹具安装在气浮平台的轴上，用来夹持待测玻璃基板，所述待测玻璃基板能够在气浮平台上前后移动。

进一步地，所述显微镜的电动微调装置包括电机及电源连接线，通过电源连接线从外部电源获取电力，以驱动电机对显微镜的位置进行微调。

进一步地，所述夹具的旋转电动微调装置包括：旋转支点、弧形导轨、电机；旋转支点固定于夹具底部，弧形导轨安装于旋转支点上，电机安装于弧形导轨上，以驱动旋转支点对夹具的位置进行微调。

根据本发明的第二个方面，提供了一种使用第一方面任一项的双显微镜测量设备的测量方法，包括：

将同一行测量点左右平分，如果是奇数个点位，则增加一个虚拟点位，左侧显微镜负责左侧点位，右侧显微镜负责右侧点位，从左至右或从右至左同向逐个点位依次同时进行移动和测量。

进一步地，如果显微镜左右移动轴直线度达到测量倍率视野要求，则手动调节两个显微镜之间的前后偏差；

如果显微镜左右移动轴直线度达不到测量倍率视野要求，则首先测量显微镜左右移动轴直线度，再根据双显微镜实时位置在直线度上的差值电动微调其中一个显微镜前后位置，将双显微镜调到同一水平线上。

进一步地，所述测量显微镜左右移动轴直线度的方法为：用激光干涉仪测量，或者利用LCD屏、OLED屏制程基板上从左到右的直线制程，显微镜左右移动测量所述直线制程的上下偏差，即移动轴的直线度。

进一步地，旋转所述夹具的电动微调装置，将基板上同一行测量点旋转微调至与显微镜左右移动轴平行，如果夹具前后移动旋转偏差达不到测量倍率视野要求，则测量夹具前后移动旋转偏差，再根据夹具实时位置的旋转偏差值电动微调基板旋转微调至与显微镜左右移动轴平行。

进一步地，所述测量夹具前后移动旋转偏差的方法为：用激光干涉仪测量，或者利用LCD屏、OLED屏制程基板上左侧和右侧从上到下的直线制程，夹具带动玻璃基板前后移动测量左侧和右侧直线制程之间的上下偏差，即夹具前后移动旋转偏差。

进一步地，将同一行测量点四等分，每等分的区域宽度大于显微镜相撞的距离，左右显微镜先跑一三等分，已字形跑完所有行后，再已字形跑二四等分，从而显微镜可以相反或相向移动。

本发明的优点在于：基板及其夹具质量比较小，重心比较低，移动后机台较短时间就可以稳定，可以较快进行测量，提高测量效率。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

附图1示出了根据本发明实施方式的一种双显微镜测量设备结构示意图；

附图2示出了根据本发明实施方式的显微镜的电动微调装置结构示意图；

附图3示出了根据本发明实施方式的夹具的旋转电动微调装置结构示意图；

附图4示出了根据本发明实施方式的工作效果示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

附图1示出了根据本发明实施方式的一种双显微镜测量设备结构示意图，如图1所示，包括：两个显微镜、龙门、夹具；其中，所述两个显微镜安装在龙门的轴上，能够在龙门上来回移动；所述显微镜具有电动微调装置，安装在显微镜与龙门的连接处，以对显微镜的位置进行微调；和/或，所述夹具具有旋转电动微调装置，安装在夹具的底部，以对夹具的位置进行微调。显微镜的电动微调装置和夹具的旋转电动微调装置均包括电机。夹具安装在气浮平台的轴上，用来夹持待测玻璃基板，夹具可以在平台上来回移动。待测玻璃基板能够在气浮平台上前后移动。显微镜的电动微调装置、夹具的旋转电动微调装置可以只有其中一个，也可以两个都有。

附图2示出了根据本发明实施方式的显微镜的电动微调装置结构示意图，主要包括电机及电源连接线。通过电源连接线从外部电源获取电力，以驱动电机对显微镜的位置进行微调。

附图3示出了根据本发明实施方式的夹具的旋转电动微调装置结构示意图，包括：旋转支点、弧形导轨、电机；旋转支点固定于夹具底部，弧形导轨安装于旋转支点上，电机安装于弧形导轨上，以驱动旋转支点对夹具的位置进行微调。

如图2所示，LCD屏、OLED屏在基板上横平竖直排列，测量点也就横平竖直排列，双显微镜安装于同一个固定的龙门上，左右移动同时测量同一行测量点，玻璃基板在气浮平台上前后移动实现不同行的测量。基板及其夹具质量比较小，重心比较低，移动后机台较短时间就可以稳定，可以较快进行测量，提高测量效率。

以下将说明本发明的一种双显微镜测量设备的测量方法：

将同一行测量点左右平分，如果是奇数个点位，则增加一个虚拟点位，左侧显微镜负责左侧点位，右侧显微镜负责右侧点位，从左至右或从右至左同向逐个点位依次同时进行移动和测量，这样可以避免双显微镜相撞，且测量效率较高。

进一步的，由于显微镜测量倍率比较高，视野比较小，测量点位容易偏出视野，本发明做了如下进一步优化设计：

1.其中一个显微镜可安装前后手动或电动微调装置，如果显微镜左右移动轴直线度可以达到测量倍率视野要求，手动调节两个显微镜之间的前后偏差即可，如果达不到测量倍率视野要求，需要测量出显微镜左右移动轴直线度，再根据双显微镜实时位置在直线度上的差值电动微调其中一个显微镜前后位置将双显微镜调到同一水平线上。

其中，测量显微镜左右移动轴直线度的方法为：用激光干涉仪测量，或者利用LCD屏、OLED屏制程基板上从左到右的直线制程，显微镜左右移动测量此直线制程的上下偏差，即移动轴的直线度。

2.夹具上旋转电动微调装置，可以将基板上同一行测量点旋转微调至与显微镜左右移动轴平行，如果夹具前后移动旋转偏差达不到测量倍率视野要求，需要测量出夹具前后移动旋转偏差，再根据夹具实时位置的旋转偏差值电动微调基板旋转微调至与显微镜左右移动轴平行，如图4所示。

其中，测量夹具前后移动旋转偏差的方法为：用激光干涉仪测量，或者利用LCD屏、OLED屏制程基板上左侧和右侧从上到下的直线制程，夹具带动玻璃前后移动测量左侧和右侧直线制程之间的上下偏差，即夹具前后移动旋转偏差。旋转夹具即可将此上下偏差消除。

进一步的，除了上面的将同一行测量点左右平分，还可以四等分，每等分的区域宽度大于显微镜相撞的距离，左右显微镜先跑一三等分，已字形跑完所有行后，再已字形跑二四等分，这样显微镜可以相反或相向移动，相向移动时不会相撞，相反或相向移动可以降低机台振动，当然还可以六等分、八等分等，不过四等分是最优的。

需要说明的是：

在此提供的算法和显示不与任何特定计算机、虚拟系统或者其它设备有固有相关。各种通用系统也可以与基于在此的示教一起使用。根据上面的描述，构造这类系统所要求的结构是显而易见的。此外，本申请也不针对任何特定编程语言。应当明白，可以利用各种编程语言实现在此描述的本申请的内容，并且上面对特定语言所做的描述是为了披露本申请的最佳实施方式。

在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本申请的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

类似地，应当理解，为了精简本申请并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本申请的示例性实施例的描述中，本申请的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本申请要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如下面的权利要求书所反映的那样，发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本申请的单独实施例。

本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在下面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

本申请的各个部件实施例可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器( DSP )来实现根据本申请实施例的虚拟机的创建系统中的一些或者全部部件的一些或者全部功能。本申请还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的设备或者系统程序(例如，计算机程序和计算机程序产品)。这样的实现本申请的程序可以存储在计算机可读介质上，或者可以具有一个或者多个信号的形式。这样的信号可以从因特网网站上下载得到，或者在载体信号上提供，或者以任何其他形式提供。

应该注意的是上述实施例对本申请进行说明而不是对本申请进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本申请可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干系统的单元权利要求中，这些系统中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到其各种变化或替换，这些都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种双显微镜测量设备，其特征在于，包括：

两个显微镜、龙门、夹具；其中，所述两个显微镜安装在龙门的轴上，能够在龙门上来回移动；

所述显微镜具有电动微调装置，安装在显微镜与龙门的连接处，以对显微镜的位置进行微调；和/或，

所述夹具具有旋转电动微调装置，安装在夹具的底部，以对夹具的位置进行微调；

所述夹具的旋转电动微调装置包括：旋转支点、弧形导轨、电机；旋转支点固定于夹具底部，弧形导轨安装于旋转支点上，电机安装于弧形导轨上，以驱动旋转支点对夹具的位置进行微调。

2.根据权利要求1所述的一种双显微镜测量设备，其特征在于，

所述夹具安装在气浮平台的轴上，用来夹持待测玻璃基板，所述待测玻璃基板能够在气浮平台上前后移动。

3.根据权利要求1所述的一种双显微镜测量设备，其特征在于，

所述显微镜的电动微调装置包括电机及电源连接线，通过电源连接线从外部电源获取电力，以驱动电机对显微镜的位置进行微调。

4.一种使用权利要求1-3任一项的双显微镜测量设备的测量方法，其特征在于，包括：

将同一行测量点左右平分，如果是奇数个点位，则增加一个虚拟点位，左侧显微镜负责左侧点位，右侧显微镜负责右侧点位，从左至右或从右至左同向逐个点位依次同时进行移动和测量。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，

如果显微镜左右移动轴直线度达到测量倍率视野要求，则手动调节两个显微镜之间的前后偏差；

如果显微镜左右移动轴直线度达不到测量倍率视野要求，则首先测量显微镜左右移动轴直线度，再根据双显微镜实时位置在直线度上的差值电动微调其中一个显微镜前后位置，将双显微镜调到同一水平线上。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，

所述测量显微镜左右移动轴直线度的方法为：用激光干涉仪测量，或者利用LCD屏、OLED屏制程基板上从左到右的直线制程，显微镜左右移动测量所述直线制程的上下偏差，即移动轴的直线度。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，

旋转所述夹具的电动微调装置，将基板上同一行测量点旋转微调至与显微镜左右移动轴平行，如果夹具前后移动旋转偏差达不到测量倍率视野要求，则测量夹具前后移动旋转偏差，再根据夹具实时位置的旋转偏差值电动微调基板旋转微调至与显微镜左右移动轴平行。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，

所述测量夹具前后移动旋转偏差的方法为：用激光干涉仪测量，或者利用LCD屏、OLED屏制程基板上左侧和右侧从上到下的直线制程，夹具带动玻璃基板前后移动测量左侧和右侧直线制程之间的上下偏差，即夹具前后移动旋转偏差。

9.一种使用权利要求1-3任一项的双显微镜测量设备的测量方法，其特征在于，包括：

将同一行测量点四等分，每等分的区域宽度大于显微镜相撞的距离，左右显微镜先跑一三等分，已字形跑完所有行后，再已字形跑二四等分，从而显微镜可以相反或相向移动。