CN114087314A - 一种划片机清洗台 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及芯片加工设备技术领域，尤其是涉及一种划片机清洗台，其包括内盘底板和底盘，所述内盘底板底部连有气缸，所述气缸的缸筒与所述底盘连接，所述内盘底板外侧设有圆环，所述圆环的厚度大于所述内盘底板的厚度，所述圆环上开设有导向孔，所述导向孔内穿设有导向杆且所述导向杆套设有直线轴承。本申请具有提升内盘底板上下运动时的稳定性的效果。
Description
技术领域
本申请涉及芯片加工设备技术领域，尤其是涉及一种划片机清洗台。
背景技术
划片机包括划片机构和清洗台，划片机构主要用于半导体衬底材料的划片和切割，在划片和切割的过程中产品表面上不可避免地会积存少量的残余材料，清洗台对加工后的产品进行清洗来保证产品的洁净度。
相关技术中的一种划片机清洗台，清洗台的内盘底板中间加挂有电机，内盘底板上还连有气缸，气缸的缸筒和清洗台的底盘连接，清洗台的内盘底板由气缸推动而上下运动，为保证内盘底板上下运动的稳定性，需要对称的直线机构辅助内盘底板上下运动，因此内盘底板的边缘连有导向杆，导向杆上套设有直线轴承，直线轴承固定在底盘的底面，内盘底板通过导向杆的引导作用上下运动。
在实现本申请的过程中，发明人发现上述技术至少存在以下问题：划片机清洗台内盘底板中间加挂的电机易导致内盘底板的受力变形且呈锥状，导向杆连在内盘底板的边缘处导致导向杆略向外偏移，由于直线轴承固定在底盘上，导向杆无法向外偏移并会对直线轴承产生向外的作用力从而导致直线轴承对导向杆造成磨损，进而可能影响内盘底板上下运动时的稳定性。
发明内容
为了提升内盘底板上下运动时的稳定性，本申请提供一种划片机清洗台。
本申请提供的一种划片机清洗台采用如下的技术方案：
一种划片机清洗台，包括内盘底板和底盘，所述底盘底面连有气缸，所述气缸的活塞杆穿过所述底盘与所述内盘底板连接，所述内盘底板外侧设有圆环，所述圆环的厚度大于所述内盘底板的厚度，所述圆环上开设有导向孔，所述导向孔内穿设有导向杆，所述导向杆穿过所述底盘且套设有直线轴承，所述直线轴承设在所述底盘的底面。
通过采用上述技术方案，加厚清洗台内盘底板外缘的圆环，可以减小内盘底板边缘的形变量，导向孔设置在圆环上可以减小导向杆的倾斜量，使得导向杆对直线轴承的作用力减小，不易使直线轴承内的钢珠受力卡出弧形槽，从而造成导向杆和钢珠相互碰撞造成损耗，进而提升内盘底板上下运动时的稳定性。
优选的，所述直线轴承包括上轴承、轴承隔环和下轴承；所述轴承隔环的顶端与所述上轴承的底端连接，所述轴承隔环的底端与所述下轴承的顶端连接，所述轴承隔环上开设有入油孔。
通过采用上述技术方案，在注油时，油可以通过入油孔与导向杆接触，由于导向杆上下运动，油得以在导向杆上实现较大的覆盖效果。
优选的，所述直线轴承外设有直线轴承套，所述直线轴承套上开设有注油孔，所述轴承隔环外侧壁开设有环形槽，所述注油孔与所述环形槽连通，所述环形槽与所述入油孔连通。
通过采用上述技术方案，注油孔便于注油，油从注油孔进入环形槽，并从与环形槽贯通的入油孔进入从而实现对导向杆的润滑效果；除此之外，油还可以储存在环形槽中，保证导向杆上的油脂充足。
优选的，所述直线轴承套内侧壁顶部设有挡圈，所述挡圈与所述上轴承顶部相贴合，所述直线轴承套的底部与所述下轴承底部相抵。
通过采用上述技术方案，挡圈抵住上轴承的顶部，直线轴承套抵住下轴承的底部，挡圈可以起到防止直线轴承松动的作用。
优选的，所述直线轴承套外设有凸台，所述注油孔开设在所述凸台上。
通过采用上述技术方案，凸台的设置可以在凸台上开设多个注油孔，便于添加油路，提高注油效率。
优选地，所述注油孔连接有油嘴，所述油嘴包括方形块和圆柱体，所述方形块与所述凸台相抵，所述圆柱体伸入所述注油孔并与所述注油孔螺纹连接。
通过采用上述技术方案，油嘴便于插入注油孔中，螺纹连接保证了油嘴与注油孔之间的连接紧固，从而保证注油时的稳定。
优选的，所述直线轴承套外壁设有油嘴限位板，所述油嘴限位板底端与所述方形块相贴合。
通过采用上述技术方案，油嘴注油时，油易流入油嘴与注油孔之间的缝隙中而使得油嘴容易转动，油嘴限位板可以抵住油嘴的方形块，使得油嘴无法转动，防止油嘴因转动而脱离注油孔。
优选的，所述底盘上设有分油器。
通过采用上述技术方案，分油器一端用于与配合分油器使用的油泵连接，分油器的另一端用于与配合分油器使用的油管连接，分油器的设置使得在给导向杆加油润滑时，便于同时将油管连入多个直线轴承中，从而提高注油的效率。
优选的，所述底盘下方设有减震箱，所述减震箱包括箱体，所述箱体顶端设有活动板，所述活动板能在所述箱体顶端上下移动，所述底盘和所述气缸均与所述活动板相连；所述箱体内设有连杆，所述连杆上套设有减震弹簧，所述连杆顶端连有受力件，所述减震弹簧的一端与所述受力件连接，所述连杆穿过所述受力件且所述受力件能在所述连杆上沿竖直方向滑动，所述受力件与所述活动板连接。
通过采用上述技术方案，清洗台工作时导向杆可能会发生微弱的晃动从而导致导向杆受到横向作用力，作用力通过底盘传递至减震箱上，减震箱内的弹簧能够对底盘进行减震，从而减缓导向杆晃动的幅度，进而提高内盘底板上下运动的稳定性。
优选地，所述箱体内还设有气囊垫，所述气囊垫连有连接杆，所述连接杆的顶端连有放置板，所述连杆和所述减震弹簧均设置在所述放置板的顶面。
通过采用上述技术方案，箱体内的气囊垫可以配合减震弹簧对作用力进行缓冲，当作用力较大时，连杆向下推动放置板可以挤压气囊垫，气囊垫会对向下的作用力起到缓冲的效果。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1.加厚清洗台内盘底板外缘的圆环，可以减小内盘底板边缘的形变量，导向孔设置在圆环上可以减缓导向杆的偏移趋势，使得直线轴承内钢珠对导向杆的摩擦力减小，从而避免对导向杆造成磨损；提升内盘底板上下运动时的稳定性；
2.通过分油器的设置，分油器一端用于与配合分油器使用的油泵连接，分油器的另一端用于与配合分油器使用的油管连接，分油器的设置使得在给导向杆加油润滑时，可以同时将油管连入多个直线轴承中，从而提高注油的效率；
3.清洗台工作时导向杆可能会发生微弱的晃动从而使得导向杆受到横向作用力，减震箱内的弹簧配合气囊垫能够对清洗台进行减震，从而减缓导向杆晃动的幅度，进而提高内盘底板上下运动的稳定性。
附图说明
图1是本申请实施例中划片机清洗台的结构示意图。
图2是本申请实施例中直线轴承套的结构示意图。
图3是本申请实施例中直线轴承套和直线轴承的剖视图。
图4是本申请实施例中划片机清洗台另一个角度的结构示意图。
图5是本申请实施例中减震箱的爆炸示意图。
图6是本申请实施例中减震箱的剖视图。
附图标记说明：1、内盘底板；11、圆环；111、导向孔；12、导向杆；2、底盘；21、支撑架；22、安装孔；3、电机；31、连接架；4、直线轴承；41、直线轴承套；411、注油孔；42、轴承隔环；421、入油孔；422、环形槽；43、挡圈；44、油嘴；441、方形块；442、圆柱体；46、油嘴限位板；47、上轴承；48、下轴承；49、凸台；5、气缸；6、分油器；7、固定片；8、活动板；81、凹槽；9、减震箱；91、箱体；92、气囊垫；93、连接杆；94、放置板；95、连杆；96、减震弹簧；97、受力件。
具体实施方式
以下结合附图对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种划片机清洗台。参照图1，划片机清洗台包括内盘底板1和底盘2，内盘底板1在底盘2上方且内盘底板1和底盘2平行。底盘2上开设有安装孔22，内盘底板1的中间连有连接架31，连接架31穿过安装孔22连有电机3，电机3位于底盘2的下方。底盘2的底面连有两个气缸5，气缸5的活塞杆穿过底盘2与内盘底板1的底面相连。底盘2的下方设有减震箱9，底盘2通过支撑架21与减震箱9连接，气缸5的底端与减震箱9连接。
参照图1，内盘底板1外侧设有圆环11，圆环11的厚度大于内盘底板1的厚度，圆环11上开设有导向孔111，导向孔111内穿设有导向杆12，导向杆12穿过底盘2且套设有直线轴承4，直线轴承4固定在底盘2的底面。在气缸5的驱动和导向杆12的导向作用下，内盘底板1沿竖直方向上下运动。圆环11的厚度大于内盘底板1的厚度使得内盘底板1的向下凹陷程度在圆环11处尽可能减缓，减小导向杆12因具有倾斜的趋势而对直线轴承4产生横向的作用力，从而尽可能避免因直线轴承4内的钢珠与导向杆12之间的摩擦力增大而对导向杆12造成磨损，以便于保证内盘底板1上下运动时的稳定性。
参照图2和图3，直线轴承4包括上轴承47、轴承隔环42和下轴承48，上轴承47的底端与轴承隔环42的顶部相连，下轴承48的顶端与轴承隔环42的底端相连。轴承隔环42外侧壁开设有环形槽422，轴承隔环42的内侧壁上开设有入油孔421，入油孔421和环形槽422相互连通。直线轴承套41内侧壁的顶部开设有插槽，插槽中设有挡圈43，直线轴承套41的底部抵住下轴承48的底端，挡圈43抵住上轴承47的顶部，挡圈43的作用是防止直线轴承4松动，从而保证内盘底板1上下运动时的稳定性。
参照图2和图3，直线轴承套41外壁中部设有凸台49，凸台49上开设有注油孔411，凸台49便于工作人员开设多个注油孔411，添加多条油路，从而提高注油效率。注油孔411连有油嘴44，注油孔411与环形槽422相连通，油嘴44包括方形块441和圆柱体442，圆柱体442伸入注油孔411内并与注油孔411螺纹连接，方形块441与凸台49相抵。在注油时，油从油嘴44进入环形槽422中并可以通过入油孔421与导向杆12接触，由于导向杆12上下运动，油得以在导向杆12上实现较大的覆盖效果。此外油还可以储存在环形槽422中，可以保证导向杆12上油脂充足。直线轴承套41外壁的位于方形块441上方位置设有油嘴限位板46；由于通过油嘴44注油时，油易流入油嘴44与注油孔411之间的缝隙中而使得油嘴44容易转动，而设置的油嘴限位板46可以抵住方形块441的顶端，使得油嘴44无法转动，防止油嘴44因转动而脱离注油孔411。
参照图2和图4，底盘2的底面设有分油器6，分油器6一端用于与配合分油器6使用的油泵连接，分油器6的另一端用于与配合分油器6使用的油管连接，分油器6的设置使得在给导向杆12加油润滑时，便于同时将油管连入多个直线轴承4中，从而提高注油的效率。
参照图5，减震箱9包括顶面开口设置的箱体91，箱体91的顶端上设有能在箱体91顶面上下移动的活动板8，活动板8上开设有凹槽81，结合图1，气缸5的底端和支撑架21的底端均连有固定片7，固定片7设在凹槽81中。
参照图6，箱体91内设有气囊垫92，气囊垫92上连有连接杆93，连接杆93的顶端连有放置板94，放置板94上装有连杆95，连杆95顶端连有受力件97，连杆95穿过受力件97且受力件97能在连杆95上沿竖直方向滑动，受力件97顶端与活动板8连接。连杆95上套设有减震弹簧96，减震弹簧96一端与放置板94连接，减震弹簧96另一端与受力件97连接。结合图1，当内盘底板1上下运动时，导向杆12会轻微晃动并对直线轴承4产生横向的作用力，从而使得直线轴承4内的钢珠与导向杆12之间的摩擦力增大并对导向杆12造成磨损。直线轴承套41设在底盘2上，底盘2通过支撑架21连在活动板8上，直线轴承4的晃动带动底盘2晃动并将作用力传递至支撑架21，支撑架21受力导致活动板8上下移动，当活动板8向下移动时，使得受力件97开始顺着连杆95向下挤压减震弹簧96，以获得反弹力抵消部分震动产生的作用力。若是晃动幅度过大时，活动板8会继续下移使得放置板94带动连接杆93向下挤压气囊垫92，以获得更大的反弹力对震动产生的作用力进行吸收和缓冲，从而保证直线轴承4与导向杆12运行时的稳定性，导向杆12横向的作用力得到减缓并使得导向杆12与直线轴承4内的钢珠之间的摩擦力减小，不易使得导向杆12受到磨损。
本申请实施例一种划片机清洗台的实施原理为：通过气缸5的活塞杆驱动内盘底板1，使得内盘底板1上下运动，内盘底板1上加挂的电机3导致内盘底板1的受力变形且锥状，使得导向杆12向外偏移并对直线轴承4施加作用力，通过加厚的圆环11使得内盘底板1的边缘圆环11处形变量减小，从而让导向杆12尽可能沿竖直方向上下运动，减缓对直线轴承4的作用力，有效减小直线轴承4内的钢珠与导向杆12之间的摩擦力，避免导向杆12受到磨损。
注油孔411和分油器6的设置，使得在给导向杆12加油润滑时，可以同时将油管连入三个直线轴承4中，从而提高注油的效率。油易滑入油嘴44与注油孔411之间的缝隙处而使得油嘴44容易转动，油嘴限位板46可以抵住油嘴44的顶端，防止油嘴44因转动脱离注油孔411。
减震箱9的设置可以在一定程度上减缓直线轴承4运行时的晃动情况，通过减震弹簧96和气囊垫92的配合减缓支撑架21的作用力，从而保持底盘2的稳定性，进而使得导向杆12不易发生晃动。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种划片机清洗台，包括内盘底板（1）和底盘（2），所述底盘（2）底面连有气缸（5），所述气缸（5）的活塞杆穿过所述底盘（2）与所述内盘底板（1）连接，其特征在于：所述内盘底板（1）外侧设有圆环（11），所述圆环（11）的厚度大于所述内盘底板（1）的厚度，所述圆环（11）上开设有导向孔（111），所述导向孔（111）内穿设有导向杆（12），所述导向杆（12）穿过所述底盘（2）且套设有直线轴承（4），所述直线轴承（4）设在所述底盘（2）的底面。
2.根据权利要求1所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述直线轴承（4）包括上轴承（47）、轴承隔环（42）和下轴承（48）；所述轴承隔环（42）的顶端与所述上轴承（47）的底端连接，所述轴承隔环（42）的底端与所述下轴承（48）的顶端连接，所述轴承隔环（42）上开设有入油孔（421）。
3.根据权利要求2所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述直线轴承（4）外设有直线轴承套（41），所述直线轴承套（41）上开设有注油孔（411），所述轴承隔环（42）外侧壁开设有环形槽（422），所述注油孔（411）与所述环形槽（422）连通，所述环形槽（422）与所述入油孔（421）连通。
4.根据权利要求3所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述直线轴承套（41）内侧壁顶部设有挡圈（43），所述挡圈（43）与所述上轴承（47）顶部相贴合，所述直线轴承套（41）的底部与所述下轴承（48）底部相抵。
5.根据权利要求3所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述直线轴承套（41）外设有凸台（49），所述注油孔（411）开设在所述凸台（49）上。
6.根据权利要求5所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述注油孔（411）连接有油嘴（44），所述油嘴（44）包括方形块（441）和圆柱体（442），所述方形块（441）与所述凸台（49）相抵，所述圆柱体（442）伸入所述注油孔（411）并与所述注油孔（411）螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述直线轴承套（41）外壁设有油嘴限位板（46），所述油嘴限位板（46）底端与所述方形块（441）相贴合。
8.根据权利要求6所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述底盘（2）上设有分油器（6）。
9.根据权利要求1所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述底盘（2）下方设有减震箱（9），所述减震箱（9）包括箱体（91），所述箱体（91）顶端设有活动板（8），所述活动板（8）能在所述箱体（91）顶端上下移动，所述底盘（2）和所述气缸（5）均与所述活动板（8）相连；所述箱体（91）内设有连杆（95），所述连杆（95）上套设有减震弹簧（96），所述连杆（95）顶端连有受力件（97），所述减震弹簧（96）的一端与所述受力件（97）连接，所述连杆（95）穿过所述受力件（97）且所述受力件（97）能在所述连杆（95）上沿竖直方向滑动，所述受力件（97）与所述活动板（8）连接。
10.根据权利要求9所述的一种划片机清洗台，其特征在于：所述箱体（91）内还设有气囊垫（92），所述气囊垫（92）的顶面连有连接杆（93），所述连接杆（93）的顶端连有放置板（94），所述连杆（95）和所述减震弹簧（96）均设置在所述放置板（94）的顶面。
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