CN114083441A - 一种磨片机砂浆桶及操作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种磨片机砂浆桶，包括桶座，所述桶座的内壁滑动连接有桶体，所述桶体的顶部固定安装有导流件，所述导流件的顶部固定连接有回流管，所述回流管的一端固定连接有回流机构，所述桶体的内壁的中部固定连接有承托管，所述承托管的内壁转动连接有抽浆单元，所述抽浆单元包括抽浆盘，所述抽浆盘的两侧均开设有若干个抽浆孔本发明通过设置导流罩和分流盘等结构，对回流送入桶体的砂浆进行分流使其均匀分散的落入桶体内剩余的砂浆中，同时通过搅拌电机带动搅拌桨叶转动，将桶体底部的砂浆不断向上翻动，使得回流的砂浆与原有砂浆的混合更加均匀充分，使得砂浆的局部杂质含量过高导致无法使用，提高砂浆的利用率。

Description

一种磨片机砂浆桶及操作方法

技术领域

本发明涉及硅片加工相关设备技术领域，具体是一种磨片机砂浆桶及操作方法。

背景技术

随着硅片应用的逐渐广泛，对硅片的质量要求也越来越高，硅片的表面不能有线锯印记和毛刺等瑕疵，因此需要使用磨片机进行打磨。

磨片机是通过高硬度的砂浆在磨盘可控的压力下对硅片双面进行磨削的一种设备，用于去除掉前道工序造成的损伤，从而形成高精度的几何表面和均一深度的损伤层，实现对硅片的打磨。

为减少砂浆的消耗，现有的砂浆桶普遍设置有用于将参与打磨后的砂浆进行回收的回流机构，由于回流的砂浆中普遍含有较多的硅片碎屑，当砂浆中的碎屑量达到一定量，不能用于打磨操作，必须更换新的砂浆；现有的砂浆桶其回流后的砂浆不能充分与原有砂浆混合，极易使得部分硅片碎屑含量过高的砂浆被循环抽取使用，影响打磨操作，也使得砂浆不能被充分利用；同时现有的砂浆桶的抽取操作只是通过单一的管道进行砂浆抽取，使得砂浆桶内的砂浆难以得到充分均匀的抽取利用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种磨片机砂浆桶及操作方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种磨片机砂浆桶，包括桶座，所述桶座的内壁滑动连接有桶体，所述桶体一侧的顶部固定连接有进料管，所述进料管的一端卡合连接有密封塞，所述桶体的顶部固定安装有导流件，所述导流件包括导流管，所述导流管外壁的中部开设有若干个导流口，位于同一行的导流口之间成环形阵列等距排布，两个相邻行的导流口错位布置；所述导流管外壁的底部固定连接有导流罩，所述导流罩的底面大小略小于桶体内腔的大小，且所述导流罩的顶部高度高于其边沿的高度；所述导流管的底部固定连接有分流盘，所述分流盘的中部开设有分流腔，所述分流盘的底部开设有若干个等距分布的分流孔，若干个所述分流管均与分流腔相通。

所述桶体的内壁的中部固定连接有承托管，所述承托管的内壁转动连接有抽浆单元，所述抽浆单元包括抽浆盘，所述抽浆盘的两侧均开设有若干个抽浆孔；所述抽浆盘的内部开设有抽浆腔，所述抽浆腔包括两个相互对称的圆锥形腔，两个圆锥形腔的中部通过连通腔相连通，所述连通腔与两个圆锥形腔共同构成一个类工字形的抽浆腔，若干个所述抽浆孔分别与两个圆锥形腔的一侧相连通；

所述承托管的内壁转动连接有对接环，所述对接环的一侧固定连接有对接管，所述对接管的一端与抽浆盘的一侧固定连接，所述对接环的另一侧卡合连接有调节管，所述调节管的内壁固定连接有固定接头，所述固定接头的一侧固定连接有导浆管，所述导浆管的一端固定连接有蠕动泵，所述蠕动泵的输出端固定连接有供料管，所述供料管的一侧连通至磨片机的打磨工位，为打磨操作提供砂浆；所述固定接头的另一侧卡合连接有抽浆接头，所述抽浆接头的一侧固定连接有抽浆管，所述抽浆管的一端穿过对接管并与抽浆腔的中部固定连接；

所述桶座的一侧固定连接有安装箱，所述安装箱内壁的一侧固定安装有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆的外壁开设有限位槽，所述调节管内壁的一端固定连接有限位块，所述限位槽与限位块滑动连接，以此使得传动杆与调节管滑动连接，并使得传动杆能够带动调节管转动；所述安装箱的底部和调节管的底部均开设有通口，所述导浆管的一端穿过两个通口与蠕动泵的输入端固定连接，所述安装箱的顶部开设有调节槽，所述调节管的顶部固定连接有调节板，所述调节板的顶部穿过调节槽延伸至安装箱的外侧；

本装置还包括回流机构，所述回流机构包括回流桶，所述回流桶一侧的顶部固定连接有接料管，所述接料管的一端固定连接有接料盒，所述接料盒的内壁固定连接有两个倾斜设置的接料板，两个所述接料板的中部均开设有若干个接料口，所述接料盒设置于打磨工位的下方，用于对参与打磨操作后的砂浆进行承接回收；

所述回流桶的顶部固定安装有抽气泵，所述回流桶内壁的中部固定连接有聚流板，所述聚流板的底部固定安装有过滤器，所述回流桶的底部固定连接有过滤管，所述过滤管的一端固定连接有回流泵，所述回流泵的输出端固定连接有回流管，所述回流管的顶部导流管的顶部固定连接；

所述桶体内壁的底部转动连接有搅拌板，所述搅拌板的顶部固定连接有若干个搅拌桨叶，所述桶座内壁的底部固定安装有搅拌电机，所述搅拌电机的输出端固定连接有卡接板，所述卡接板的顶部与搅拌板底部卡合连接；

所述桶座的侧壁嵌设有导热管，所述导热管的两端均固定连接有调温管。

本发明还提供一种磨片机砂浆桶的操作方法，包括下列步骤：

步骤一：启动蠕动泵，桶体内的砂浆通过抽浆口进入抽浆管，并由抽浆管进入导浆管，并由蠕动泵的泵送，由供料管进入磨片机的打磨工位；

步骤二：通过接料盒对打磨工位流下的砂浆进行承接回收，抽气泵启动在回流桶内产生负压，将承接的砂浆导入回流桶，并通过过滤器进行过滤；

步骤三：启动回流泵，将过滤后的砂浆送出并经由回流管进入导流件，经由导流件分散导流后落入桶体内；

步骤四：启动搅拌电机，带动搅拌桨叶转动对砂浆进行搅拌，转动电机启动带动抽浆盘往复摆动，对不同位置砂浆进行抽取。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过设置导流罩和分流盘等结构，对回流送入桶体的砂浆进行分流使其均匀分散的落入桶体内剩余的砂浆中，同时通过搅拌电机带动搅拌桨叶转动，将桶体底部的砂浆不断向上翻动，使得回流的砂浆与原有砂浆的混合更加均匀充分，避免砂浆的局部杂质含量过高导致无法使用，提高砂浆的利用率；

通过设置在抽浆盘内设置圆锥形的腔体，使得位于抽浆盘边沿和中心处的抽浆口受到的抽离力更加均衡；同时通过转动电机带动抽浆盘整体进行往复转动，使得抽浆盘能够对桶体内各个位置的砂浆进行抽取；进一步提高了砂浆的利用效率；

通过抽气泵在回流通过内形成负压，将落入接料盒内的砂浆抽入回流桶中，由接料管抽入的空气通过抽气泵持续送出，维持回流桶内的负压，保持接料盒稳定的抽吸力，提高了对砂浆的回收效率；通过将调节管与对接环卡合连接，固定接头与抽浆接头卡合连接，使得桶体与桶座之间能够方便地进行拆卸，便于桶体的更换操作。

附图说明

图1为本发明的截面图；

图2为本发明抽浆盘的立体图；

图3为本发明图1中局部结构A的放大图；

图4为本发明导流件的截面图；

图5为本发明回流机构的立体图；

图6为本发明回流桶的截面图；

图7为本发明的立体图。

图中：1、桶座；2、桶体；3、导流管；4、导流口；5、导流罩；6、分流盘；7、承托管；8、抽浆盘；9、对接环；10、对接管；11、调节管；12、固定接头；13、导浆管；14、蠕动泵；15、供料管；16、抽浆接头；17、抽浆管；18、安装箱；19、转动电机；20、传动杆；21、回流桶；22、接料盒；23、接料板；24、接料管；25、抽气泵；26、聚流板；27、过滤器；28、回流泵；29、搅拌板；30、搅拌电机；31、导热管；32、回流管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-图7，本发明实施例中，一种磨片机砂浆桶，包括桶座1，桶座1的内壁滑动连接有桶体2，桶体2一侧的顶部固定连接有进料管，进料管的一端卡合连接有密封塞，桶体2的顶部固定安装有导流件，导流件包括导流管3，导流管3外壁的中部开设有若干个导流口4，位于同一行的导流口4之间成环形阵列等距排布，两个相邻行的导流口4错位布置；以此使得导流管3导入的砂浆能够从各个方向上的导流口4落入导流罩5顶面；使得导流罩5顶面的各个方向上均有砂浆滴落；

导流管3外壁的底部固定连接有导流罩5，导流罩5的底面大小略小于桶体2内腔的大小，且导流罩5的顶部高度高于其边沿的高度，在本实施例中，导流罩5设置为圆锥状，以方便导流罩5顶面的砂浆沿其边沿流下；导流管3的底部固定连接有分流盘6，分流盘6的中部开设有分流腔，分流盘6的底部固开设有若干个等距分布的分流孔，若干个分流管均与分流腔相通；通过设置导流罩5和分流盘6等结构，对回流送入桶体2的砂浆进行分流使其均匀分散的落入桶体2内剩余的砂浆中，使得回流的砂浆与原有砂浆的混合更加均匀充分，提高砂浆的利用率。

桶体2的内壁的中部固定连接有承托管7，承托管7的内壁转动连接有抽浆单元，抽浆单元包括抽浆盘8，抽浆盘8的上下两侧均开设有若干个抽浆孔；由于抽浆盘8的两侧均开设有抽浆孔，使得抽浆盘8对桶体2内砂浆的收取更加均匀；抽浆盘8的内部开设有抽浆腔，抽浆腔包括两个相互对称的圆锥形腔，两个圆锥形腔的中部通过连通腔相连通，连通腔与两个圆锥形腔共同构成一个类工字形的抽浆腔，若干个抽浆孔分别与两个圆锥形腔的一侧相连通；通过设置圆锥形的腔体，使得位于抽浆盘8边沿和中心处的抽浆口受到的抽离力更加均衡；

承托管7的内壁转动连接有对接环9，对接环9的一侧固定连接有对接管10，对接管10的一端与抽浆盘8的一侧固定连接，对接环9的另一侧卡合连接有调节管11，调节管11的内壁固定连接有固定接头12，固定接头12的一侧固定连接有导浆管13，导浆管13的一端固定连接有蠕动泵14，蠕动泵14的输出端固定连接有供料管15，供料管15的一侧连通至磨片机的打磨工位，为打磨操作提供砂浆；固定接头12的另一侧卡合连接有抽浆接头16，抽浆接头16的一侧固定连接有抽浆管17，抽浆管17的一端穿过对接管10并与抽浆腔的中部固定连接；通过将调节管11与对接环9卡合连接，固定接头12与抽浆接头16卡合连接，使得桶体2与桶座1之间能够方便的进行拆卸；

桶座1的一侧固定连接有安装箱18，安装箱18内壁的一侧固定安装有转动电机19，转动电机19的输出端固定连接有传动杆20，传动杆20的外壁开设有限位槽，调节管11内壁的一端固定连接有限位块，限位槽与限位块滑动连接，以此使得传动杆20与调节管11滑动连接，并使得传动杆20能够带动调节管11转动；

通过转动电机19带动抽浆盘8整体进行往复转动，使得抽浆盘8能够对桶体2内各个位置的砂浆进行抽取；安装箱18的底部和调节管11的底部均开设有通口，导浆管13的一端穿过两个通口与蠕动泵14的输入端固定连接，安装箱18的顶部开设有调节槽，调节管11的顶部固定连接有调节板，调节板的顶部穿过调节槽延伸至安装箱18的外侧，通过设置调节板，使得调节管11与对接环9、固定接头12与抽浆接头16之间的分离更加方便；

本装置还包括回流机构，回流机构包括回流桶21，回流桶21一侧的顶部固定连接有接料管24，接料管24的一端固定连接有接料盒22，接料盒22的内壁固定连接有两个倾斜设置的接料板23，两个接料板23的中部均开设有若干个接料口，接料盒22设置于打磨工位的下方，用于对参与打磨操作后的砂浆进行承接回收；回流桶21的顶部固定安装有抽气泵25，回流桶21内壁的中部固定连接有聚流板26，聚流板26的底部固定安装有过滤器27，回流桶21的底部固定连接有过滤管，过滤管的一端固定连接有回流泵28，回流泵28的输出端固定连接有回流管32，回流管32的顶部导流管3的顶部固定连接；通过抽气泵25在回流通过内形成负压，将落入接料盒22内的砂浆抽入回流桶21中，由接料管24抽入的空气通过抽气泵25持续送出，维持回流桶21内的负压；

桶体2内壁的底部转动连接有搅拌板29，搅拌板29的顶部固定连接有若干个搅拌桨叶，桶座1内壁的底部固定安装有搅拌电机30，通过搅拌电机30带动搅拌桨叶转动，将桶体2底部的砂浆不断向上翻动，进一步提高了砂浆的混合程度，搅拌电机30的输出端固定连接有卡接板，卡接板的顶部与搅拌板29底部卡合连接；

桶座1的侧壁嵌设有导热管31，导热管31的两端均固定连接有调温管，通过外接设备向调温管内送入冷水会热水的方式，对桶体2内部砂浆温度进行调整，砂浆与待打磨的硅片之间的温度差，避免硅片的热胀冷缩程度过大导致硅片在打磨过程中受损。

本发明的工作原理：首先蠕动泵14启动，桶体2内的砂浆通过抽浆口进入抽浆管17，并由抽浆管17进入导浆管13，再由蠕动泵14的泵送，由供料管15进入磨片机的打磨工位；

通过接料盒22对打磨工位流下的砂浆进行承接回收，抽气泵25启动在回流桶21内产生负压，将承接的砂浆导入回流桶21，流入回流桶21的砂浆经由聚流板26的导流流向过滤器27，通过过滤器27对砂浆进行过滤，过滤后的砂浆落入回流桶21底部；

而后启动回流泵28，将过滤后的砂浆送出并经由回流管32进入导流管3，沿导流管3流下的砂浆部分由各个位置的导流口4送出，由导流罩5顶部不同方向上流下并从顶部边沿滴落；剩余部分的砂浆流入分流盘6，并由若干个分流孔流下；

启动搅拌电机30，带动搅拌桨叶转动对砂浆进行搅拌，将底层的上将向上推送，使得桶体2内部的砂浆更加分散均匀，转动电机19启动带动传动管往复转动，进而依次带动传动杆20、调节管11、对接环9和对接管10往复转动，进而带动抽浆盘8往复摆动，使得抽浆盘8上的抽浆口能够对不同位置砂浆进行抽取；

在进行打磨操作前，对打磨工位泵送出的砂浆的温度以及待加工的硅片的温度进行检测，当二者温度差距过大时，通过外接设备相调温管内通入高温水或低温水，对砂浆进行升温或降温，减小砂浆与硅片的温度差；

当工作一段时间，需要对砂浆进行更换时，蠕动泵14停止工作，回流泵28继续工作直到砂浆全部流回桶体2内，而后将回流管32与导流管3分离，供料管15与蠕动泵14分离，滑动调节板，使得调节管11与对接环9分离，固定接头12与抽浆接头16分离，将桶体2由桶座1内取出，通过进料管内通入清水或清洁剂对桶体2内部进行清理，而后重新加入砂浆准备重新使用。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (9)

1.一种磨片机砂浆桶，其特征在于，包括桶座（1），所述桶座（1）的内壁滑动连接有桶体（2），所述桶体（2）的顶部固定安装有导流件，所述导流件的顶部固定连接有回流管（32），所述回流管（32）的一端固定连接有回流机构，所述桶体（2）的内壁的中部固定连接有承托管（7），所述承托管（7）的内壁转动连接有抽浆单元，所述抽浆单元包括抽浆盘（8），所述抽浆盘（8）的两侧均开设有若干个抽浆孔。

2.根据权利要求1所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述抽浆盘（8）的内部开设有抽浆腔，若干个所述抽浆孔均与抽浆腔相连通，所述抽浆腔的中部固定连接有抽浆管（17），所述抽浆管（17）的一端固定连接有抽浆接头（16），所述抽浆接头（16）的一侧卡合连接有固定接头（12），所述固定接头（12）的一侧固定连接有导浆管（13），所述导浆管（13）的一端固定连接有蠕动泵（14），所述蠕动泵（14）的输出端固定连接有供料管（15）。

3.根据权利要求2所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述承托管（7）的内壁转动连接有对接环（9），所述对接环（9）的一侧固定连接有对接管（10），所述对接管（10）的一端与抽浆盘（8）的一侧固定连接，所述对接环（9）的另一侧卡合连接有调节管（11），所述调节管（11）的内壁与固定接头（12）固定连接，所述调节管（11）的一端滑动连接有传动杆（20），所述传动杆（20）的一端固定连接有转动电机（19）。

4.根据权利要求1所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述导流件包括导流管（3），所述导流管（3）外壁的中部开设有若干个导流口（4），所述导流管（3）外壁的底部固定连接有导流罩（5），所述导流管（3）的底部固定连接有分流盘（6），所述分流盘（6）的底部开设有若干个分流孔。

5.根据权利要求1所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述桶体（2）内壁的底部转动连接有搅拌板（29），所述搅拌板（29）的顶部固定连接有若干个搅拌桨叶；所述桶座（1）内壁的底部固定安装有搅拌电机（30），所述搅拌电机（30）的输出端固定连接有卡接板，所述卡接板的顶部与搅拌板（29）底部卡合连接。

6.根据权利要求1所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述桶座（1）的侧壁嵌设有导热管（31），所述导热管（31）的两端均固定连接有调温管。

7.根据权利要求1所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述回流机构包括回流桶（21），所述回流桶（21）一侧的顶部固定连接有接料管（24），所述接料管（24）的一端固定连接有接料盒（22），所述接料盒（22）的内壁固定连接有两个倾斜设置的接料板（23），两个所述接料板（23）的中部均开设有若干个接料口。

8.根据权利要求7所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述回流桶（21）的顶部固定安装有抽气泵（25），所述回流桶（21）内壁的中部固定连接有聚流板（26），所述聚流板（26）的底部固定安装有过滤器（27），所述回流桶（21）的底部固定连接有过滤管，所述过滤管的一端固定连接有回流泵（28），所述回流泵（28）的输出端与回流管（32）固定连接。

9.一种磨片机砂浆桶的操作方法，其特征在于，包括下列步骤：

步骤一：蠕动泵（14）启动，桶体（2）内的砂浆通过抽浆口进入抽浆管（17），并由抽浆管（17）进入导浆管（13），并由蠕动泵（14）的泵送，由供料管（15）进入磨片机的打磨工位；

步骤二：通过接料盒（22）对打磨工位流下的砂浆进行承接回收，抽气泵（25）启动在回流桶（21）内产生负压，将承接的砂浆导入回流桶（21），并通过过滤器（27）进行过滤；

步骤三：启动回流泵（28），将过滤后的砂浆送出并经由回流管（32）进入导流件，经由导流件分散导流后落入桶体（2）内；

步骤四：搅拌电机（30）启动带动搅拌桨叶转动对砂浆进行搅拌，转动电机（19）启动带动抽浆盘（8）往复摆动，对不同位置砂浆进行抽取。

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