CN114059108B - 一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法 - Google Patents
一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114059108B CN114059108B CN202111557890.2A CN202111557890A CN114059108B CN 114059108 B CN114059108 B CN 114059108B CN 202111557890 A CN202111557890 A CN 202111557890A CN 114059108 B CN114059108 B CN 114059108B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electroforming
- anode
- liquid
- slit nozzle
- mesh piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 title claims abstract description 226
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 81
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000008719 thickening Effects 0.000 claims abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract description 10
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 238000009991 scouring Methods 0.000 description 5
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 241001391944 Commicarpus scandens Species 0.000 description 1
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- RCEAADKTGXTDOA-UHFFFAOYSA-N OS(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCC[Na] Chemical compound OS(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCC[Na] RCEAADKTGXTDOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- DLDJFQGPPSQZKI-UHFFFAOYSA-N but-2-yne-1,4-diol Chemical compound OCC#CCO DLDJFQGPPSQZKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D1/00—Electroforming
- C25D1/08—Perforated or foraminous objects, e.g. sieves
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
本发明专利涉及电铸技术领域，提供了一种冲液‑电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法。本发明装置以电铸槽、电铸液循环过滤单元和给电单元为基础，以左喷液‑阳极组合单元和右喷液‑阳极组合单元为核心，共同实现冲液‑电沉积异面交替实施电铸制造高开孔率网孔件的目的。本发明在利用电铸添加剂的基础上，创新性地采用受电铸液回路转换阀控制的左窄缝喷头和右窄缝喷头和受回路切换开关控制的左阳极和右阳极对一次电铸网孔件进行电铸加工。本发明中的左窄缝喷头和右阳极同步工作、右窄缝喷头和左阳极同步工作，对网孔件的两侧进行交替扫描冲液、电铸，实现了在网孔件网孔两侧共同增厚的目的。本发明易于操作，可简单高效地电铸制造具有大厚度、高开孔率、双向对称喇叭形网孔的网孔件。
Description
技术领域
本发明专利涉及电铸技术领域，具体涉及一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法。
背景技术
电铸加工是根据电化学阴极沉积原理在电铸槽中实现金属基制件精密制造的一种特种加工技术，电铸加工可用于制造具有微孔结构的网孔件。例如在印染行业起着关键性作用的印花镍网，染料可穿过镍网上预定的孔洞形成图案。为了使印花镍网具有良好的力学性能，在使用过程中不易破裂损坏，需要镍网具有一定的厚度，同时为了获得精致、细腻的图案，需要镍网具有较高的开孔率。采用电铸的方法制造单位面积上微孔数目较多的网孔件时，随着网孔件厚度的增加，网孔件上的微孔的横截面积会变小，这是由于金属阳离子在网孔边缘处有优先放电沉积的特性，随着网孔件厚度的增加，网孔会发生闭合，导致开孔率的降低。
现有研究表明，在电铸液中添加适当的电铸添加剂，其可在网孔件的电铸过程中通过抑制金属阳离子在网孔件网孔壁面处放电来减缓孔径的缩小，以期实现网孔件大幅增厚的同时而网孔直径无明显的减小。然而，这类电铸添加剂对金属阳离子沉积行为的调控效果受流场流速、流向等影响很大。在电铸加工时，网孔件上受电铸液冲刷流速越高的部位，电铸添加剂对此处的作用效果越强，对该区域进行金属阳离子沉积的抑制效果越明显。
专利号为US4397715的美国专利提出了一种电铸制造网孔件的方法为，先将带有孔状结构的阴极基体放入含有电铸添加剂的电铸液中，再将连接于电铸电源正极的大面积金属阳极安设于阴极基体的右侧，并在电铸装置中创设具有一定压力梯度的流场条件，使得装置内的电铸液由阴极基体的左侧向右侧整体平移式地流动，为所电铸的网孔件创造相对稳定的流场环境。采用此种方法电铸加工时，为避免阴极基体右侧布置的大面积金属阳极对电铸液流动造成干涉，须要在大面积金属阳极上开设一定数量的通孔，来减少大面积的金属阳极对电铸液流动造成的阻碍，或者将大面积的金属阳极替换为由大量小块状阳极堆叠而成的“阳极墙”，电铸液可从小块状阳极之间的缝隙流淌而形成相对稳定的流场，这两种操作不但会破坏金属阳极的整体性且改善液体流动状态的能力有限，而且采用该种电铸方法时，网孔件仅能在一侧上沉积增厚，电铸所得网孔件厚度增长有限，同时会造成电铸所得网孔件的不对称性，若在网孔件两侧各布置一个大面积的开孔阳极实现双侧电铸，成本又过高。此外，采用该电铸方案时，电铸液极难在网孔件的网孔内形成高的冲刷速度，且很难保证网孔件表面各处的流场状态保持一致，这导致网孔件表面各处沉积速度难以达到均匀一致。
同时兼具大厚度、高开孔率、双向喇叭孔等3项特征是高性能电铸网孔件的主要标志，但现有的电铸方法及相关设备、装置难以达到这样的电铸效果。主要原因是：难以同时实现高速、均匀冲刷网孔但不干扰电场分布的电铸方法及其实现装置。
发明内容
针对现有大厚度、高开孔率网孔件电铸加工方法的不足，本发明提供一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法。
为达到上述目的，本发明的技术方案如下。
一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置，包括电铸槽、电铸液循环过滤单元和给电单元，其特征在于：它还包括右喷液-阳极组合单元和左喷液-阳极组合单元；所述的电铸液循环过滤单元还包括电铸液回路转换阀；所述的给电单元还包括回路切换开关；所述的右喷液-阳极组合单元包括喷口为窄缝的右窄缝喷头和右阳极；所述的左喷液-阳极组合单元包括喷口为窄缝的左窄缝喷头和左阳极；所述的右喷液-阳极组合单元和左喷液-阳极组合单元均连接于电铸液循环过滤单元的电铸液回路转换阀；所述的右阳极和左阳极均连接于给电单元的回路切换开关；所述的右阳极固定于右窄缝喷头内部；所述的左阳极固定于左喷头内部；所述的右窄缝喷头置于竖直固定于电铸槽内的一次电铸网孔件的右侧；所述的左窄缝喷头置于一次电铸网孔件的左侧；所述的右窄缝喷头到一次电铸网孔件的距离与左窄缝喷头到一次电铸网孔件的距离可调且相等；所述的右窄缝喷头和左窄缝喷头均可沿竖直方向做上下往复运动。
所述的窄缝的长度大于一次电铸网孔件的宽度，窄缝宽度为0.05-0.1mm。
所述的右窄缝喷头到一次电铸网孔件的距离为0.05-0.5mm，针对不同厚度的一次电铸网孔件对距离进行调整，可以使一次电铸网孔件处于最佳距离的电铸环境。
所述的右窄缝喷头和左窄缝喷头均由耐酸碱腐蚀的非金属材料制成，可以保证喷头在使用过程中不被电铸液所侵蚀，保证其使用寿命。
一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸方法，其特征在于：包括顺序执行的以下步骤：
S1：将一次电铸网孔件固定于电铸槽内，向电铸槽内加注电铸液直到电铸液全部浸没一次电铸网孔件，然后停止加注电铸液；
S2：调整右窄缝喷头和左窄缝喷头到一次电铸网孔件的距离，并把左窄缝喷头和右窄缝喷头均置于一次电铸网孔件的最下方；
S3：启动加热器待电铸液温度稳定在设定温度后，启动电铸液循环过滤单元并调整电铸液回路转换阀，使电铸液从右窄缝喷头以适当流速喷向一次电铸网孔件，在驱动右窄缝喷头和左窄缝喷头均开始自下而上同步做往复匀速运动的同时，启动给电单元并通过调整回路切换开关只使左阳极通电，此时，一次电铸网孔件的左侧面不断有金属电铸而增厚；
S4：当达到给定的电铸增厚时间时，同时切换电铸液回路转换阀和回路切换开关，使电铸液从左窄缝喷头以适当流速喷向一次电铸网孔件并使右阳极通电，此时，一次电铸网孔件的右侧面不断有金属电铸而增厚；
S5：当达到给定的电铸增厚时间时，同时切换电铸液回路转换阀和回路切换开关，使电铸液从右窄缝喷头以适当流速喷向一次电铸网孔件并使左阳极通电，此时，一次电铸网孔件的左侧面不断有金属电铸而增厚；
S6：重复步骤S4-S5，当一次电铸网孔件的左、右侧厚度均达到设计值时，关闭给电单元和电铸液循环过滤单元，取出电铸网孔件成品，清洗干燥。
本发明与现有技术相比，主要优点如下。
（1）可获得高速均匀的冲刷效果，能大幅减小网孔件增厚过程中网孔的缩小程度。本发明中的左窄缝喷头和右窄缝喷头可沿着网孔件表面做往复移动，左窄缝喷头和右窄缝喷头交替对网孔件的左右两侧进行扫描式地冲刷，网孔件各部位能受到均匀冲刷作用，且喷头能稳定均匀地喷出高流速的电铸液，使得网孔件的网孔内部能获得高速冲刷效果，进而更快更多地提供添加剂以抑制孔壁金属的电沉积。
（2）能实现网孔件的快速和对称增厚，且抑制孔壁增厚效果更好。本发明的工作喷头与阳极在网孔件的两侧对称布置了两套，且各自独立工作。这样工作时，冲液-电沉积可异面交替实施，进而获得更好的电铸效果。本发明中的右喷液-阳极组合单元和左喷液-阳极组合单元都包含喷头部分与阳极部分，安设在网孔件异面的喷头、阳极同时工作，网孔件受冲刷一侧的表面和网孔内部的电铸液流速高，添加剂供给高效，但此侧的阳极不带电，未受直接冲刷的另一面电铸液流速较低，但该侧的阳极带电，此时，可实现孔壁因有大量添加剂供给而受良好的生长抑制、非直接冲刷面因低效的添加剂供给而快速增厚的电铸效果，如此对换冲刷和供电，网孔另一侧可同样获得如此效果。为此，本发明可获得现有技术无法获得的能同时实现网孔面对称增厚、快速增厚而孔壁增厚受大幅抑制的综合效果。
（3）易于获得双向对称喇叭形网孔。由于本发明极易交替对称性实施，使得网孔两侧的金属对称增厚，进而通过过电铸方式获得双向对称喇叭形网孔。
（4）装置结构简单，制造成本低。相较于在电铸槽内创设具有一定压力梯度的流场条件并在网孔件两侧各布置一个大面积的开孔阳极实现双侧电铸的方法而言，本发明仅需依靠两个往复移动的窄缝喷头与形状无特殊要求的阳极即可实现大厚度、高开孔率、双向对称喇叭形的高性能网孔件的电铸制造，装置结构简单，综合成本低。
附图说明
图1是本发明装置的结构示意图。
图2是本发明装置喷液-阳极组合单元的结构示意图。
图3是本发明装置夹具的结构示意图。
图4是本发明的工作原理图。
图5是本发明中双向对称喇叭形网孔的形貌图。
图中标号及名称：1、电铸槽；1-1、夹具卡座；2、电铸液循环过滤单元；2-1、循环泵；2-2、电铸液回路转换阀；2-3、过滤器；2-4、管道；3、给电单元；3-1、电铸电源、3-2、回路切换开关；3-3、导线；4、左喷液-阳极组合单元；4-1、左窄缝喷头；4-2、左阳极；5、右喷液-阳极组合单元；5-1、右窄缝喷头；5-2、右阳极；6、窄缝；6-1、窄缝宽度；7、一次电铸网孔件；8、电铸液；9、电机；9-1、传动丝杠；10、传动块；10-1、传动螺纹孔；10-2光孔；11、导向柱；12、夹具；12-1、夹具体；12-2、夹具盖板；13、加热器；14、双向对称喇叭形网孔；15、电铸网孔件成品。
具体实施方式
下面将结合下面结合附图对本发明的实施作进一步说明。
如图1、图2和图3所示，一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置，包括电铸槽1、电机9、夹具12、电铸液循环过滤单元2和给电单元3，其特征在于：它还包括右喷液-阳极组合单元5和左喷液-阳极组合单元4；夹具12包括夹具体12-1和夹具盖板12-2；夹具体12-1和夹具盖板12-2之间用以安装固定一次电铸网孔件7；夹具12可拆卸的安设于电铸槽1中间位置的夹具卡座1-1中；电铸液循环过滤单元2还包括循环泵2-1、电铸液回路转换阀2-2、过滤器2-3和管道2-4；给电单元3还包括电铸电源3-1、回路切换开关3-2、导线3-3；右喷液-阳极组合单元5包括喷口为窄缝6的右窄缝喷头5-1和右阳极5-2；左喷液-阳极组合单元4包括喷口为窄缝6的左窄缝喷头4-1和左阳极4-2；两个喷头上的窄缝6的长度均大于一次电铸网孔件7的宽度，窄缝宽度6-1为0.1mm；右窄缝喷头5-1和左窄缝喷头4-1均由聚丙烯材料制成；右喷液-阳极组合单元5和左喷液-阳极组合单元4均连接于电铸液循环过滤单元2的电铸液回路转换阀2-2；电铸液回路转换阀2-2安装固定于传动块10之中；电机9安设于电铸槽的右侧中间位置，电机上安装有传动丝杠9-1；电铸槽的左侧中间位置设有一根导向柱11；传动块10上的传动螺纹孔10-1、光孔10-2分别于传动丝杠9-1、导向柱11相配合；右阳极5-2和左阳极4-2均连接于给电单元3的回路切换开关3-2；右阳极5-2固定于右窄缝喷头5-1内部；左阳极4-2固定于左窄缝喷头4-1内部；右窄缝喷头5-1置于竖直固定于电铸槽1内的一次电铸网孔件7的右侧；左窄缝喷头4-1置于一次电铸网孔件7的左侧；右窄缝喷头5-1到一次电铸网孔件7的距离与左窄缝喷头4-1到一次电铸网孔件7的距离可调且相等；右窄缝喷头5-1到一次电铸网孔件7的距离为0.5mm；在电机9的驱动下，右窄缝喷头5-1和左窄缝喷头4-1均可沿竖直方向做上下往复运动。
一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸方法，其主要步骤如下：
S1：取一张以镍为材料，尺寸为100mm×100mm×20μm的一次电铸网孔件7，选取镍为材料的左阳极4-2、右阳极5-2并将其分别安装在左窄缝喷头4-1、右窄缝喷头4-2中，电铸液8由浓度为159g/L的硫酸镍、浓度为40g/L的氯化镍、浓度为35g/L的硼酸及一定量的由1，4-丁炔二醇、十二烷基硫酸钠组成的电铸添加剂所构成；
S2：将一次电铸网孔件7固定于夹具12上并将夹具12安设于电铸槽1中的夹具卡座1-1内，向电铸槽1内加注电铸液8直到电铸液8全部浸没一次电铸网孔件7，然后停止加注电铸液8；
S3：调整右窄缝喷头5-1和左窄缝喷头4-1到一次电铸网孔件7的距离为0.5mm，并把左窄缝喷头4-1和右窄缝喷头5-1均置于一次电铸网孔件7的最下方；
S4：启动加热器13待电铸液8温度稳定在40℃后，启动电铸液循环过滤单元2并调整电铸液回路转换阀2-2，使电铸液8从右窄缝喷头5-1以适当流速喷向一次电铸网孔件7，在电机9的驱动下，使右窄缝喷头5-1和左窄缝喷头4-1均开始自下而上同步做往复匀速运动的同时，启动给电单元3并通过调整回路切换开关3-2只使左阳极4-2通电，此时，一次电铸网孔件7的左侧面不断有金属电铸而增厚；
S5：当达到给定的电铸增厚时间时，同时切换电铸液回路转换阀2-2和回路切换开关3-2，使电铸液8从左窄缝喷头4-1以适当流速喷向一次电铸网孔件7并使右阳极5-2通电，此时，一次电铸网孔件7的右侧面不断有金属电铸而增厚；
S6：当达到给定的电铸增厚时间时，同时切换电铸液回路转换阀2-2和回路切换开关3-2，使电铸液8从右窄缝喷头5-1以适当流速喷向一次电铸网孔件7并使左阳极4-2通电，此时，一次电铸网孔件7的左侧面不断有金属电铸而增厚；
S7：重复步骤S5-S6，当一次电铸网孔件7的左、右侧电铸增加厚度均达到25μm时，关闭给电单元3、电铸液循环过滤单元2、加热器13和电机9，取出电铸网孔件成品15，清洗干燥。
Claims (5)
1.一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置，包括电铸槽（1）、电铸液循环过滤单元（2）和给电单元（3），其特征在于：它还包括右喷液-阳极组合单元（5）和左喷液-阳极组合单元（4）；所述的电铸液循环过滤单元（2）还包括电铸液回路转换阀（2-2）；所述的给电单元（3）还包括回路切换开关（3-2）；所述的右喷液-阳极组合单元（5）包括喷口为窄缝（6）的右窄缝喷头（5-1）和右阳极（5-2）；所述的左喷液-阳极组合单元（4）包括喷口为窄缝（6）的左窄缝喷头（4-1）和左阳极（4-2）；所述的右喷液-阳极组合单元（5）和左喷液-阳极组合单元（4）均连接于电铸液循环过滤单元（2）的电铸液回路转换阀（2-2）；所述的右阳极（5-2）和左阳极（4-2）均连接于给电单元（3）的回路切换开关（3-2）；所述的右阳极（5-2）固定于右窄缝喷头（5-1）内部；所述的左阳极（4-2）固定于左窄缝喷头（4-1）内部；所述的右窄缝喷头（5-1）置于竖直固定于电铸槽（1）内的一次电铸网孔件（7）的右侧；所述的左窄缝喷头（4-1）置于一次电铸网孔件（7）的左侧；所述的右窄缝喷头（5-1）到一次电铸网孔件（7）的距离与左窄缝喷头（4-1）到一次电铸网孔件（7）的距离可调且相等；所述的右窄缝喷头（5-1）和左窄缝喷头（4-1）均可沿竖直方向做上下往复运动。
2.根据权利要求1所述的一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置，其特征在于：所述的窄缝（6）的长度大于一次电铸网孔件（7）的宽度，窄缝宽度（6-1）为0.05-0.1mm。
3.根据权利要求1所述的一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置，其特征在于：所述的右窄缝喷头（5-1）到一次电铸网孔件（7）的距离为0.05-0.5mm。
4.根据权利要求1所述的一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置，其特征在于：所述的右窄缝喷头（5-1）和左窄缝喷头（4-1）均由耐酸碱腐蚀的非金属材料制成。
5.一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸方法，该方法运用了权利要求1-4所述的任意一项扫描电铸装置，其特征在于：包括顺序执行的以下步骤：
S1：将一次电铸网孔件（7）固定于电铸槽（1）内，向电铸槽（1）内加注电铸液（8）直到电铸液（8）全部浸没一次电铸网孔件（7），然后停止加注电铸液（8）；
S2：调整右窄缝喷头（5-1）和左窄缝喷头（4-1）到一次电铸网孔件（7）的距离，并把左窄缝喷头（4-1）和右窄缝喷头（5-1）均置于一次电铸网孔件（7）的最下方；
S3：启动加热器（13）待电铸液（8）温度稳定在设定温度后，启动电铸液循环过滤单元（2）并调整电铸液回路转换阀（2-2），使电铸液（8）从右窄缝喷头（5-1）以适当流速喷向一次电铸网孔件（7），在驱动右窄缝喷头（5-1）和左窄缝喷头（4-1）均开始自下而上同步做往复匀速运动的同时，启动给电单元（3）并通过调整回路切换开关（3-2）只使左阳极（4-2）通电，此时，一次电铸网孔件（7）的左侧面不断有金属电铸而增厚；
S4：当达到给定的电铸增厚时间时，同时切换电铸液回路转换阀（2-2）和回路切换开关（3-2），使电铸液（8）从左窄缝喷头（4-1）以适当流速喷向一次电铸网孔件（7）并使右阳极（5-2）通电，此时，一次电铸网孔件（7）的右侧面不断有金属电铸而增厚；
S5：当达到给定的电铸增厚时间时，同时切换电铸液回路转换阀（2-2）和回路切换开关（3-2），使电铸液（8）从右窄缝喷头（5-1）以适当流速喷向一次电铸网孔件（7）并使左阳极（4-2）通电，此时，一次电铸网孔件（7）的左侧面不断有金属电铸而增厚；
S6：重复步骤S4-S5，当一次电铸网孔件（7）的左、右侧厚度均达到设计值时，关闭给电单元（3）和电铸液循环过滤单元（2），取出电铸网孔件成品（15），清洗干燥。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111557890.2A CN114059108B (zh) | 2021-12-20 | 2021-12-20 | 一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111557890.2A CN114059108B (zh) | 2021-12-20 | 2021-12-20 | 一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114059108A CN114059108A (zh) | 2022-02-18 |
| CN114059108B true CN114059108B (zh) | 2022-10-28 |
Family
ID=80229839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111557890.2A Active CN114059108B (zh) | 2021-12-20 | 2021-12-20 | 一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114059108B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114622252A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-06-14 | 河南理工大学 | 一种高精度射流电铸用喷嘴及其成形方法 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6080288A (en) * | 1998-05-29 | 2000-06-27 | Schwartz; Vladimir | System for forming nickel stampers utilized in optical disc production |
| JP2004332019A (ja) * | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Atotech Japan Kk | 化学処理装置 |
| TW200806815A (en) * | 2006-07-18 | 2008-02-01 | Micro Base Technology Corp | Inclined rotary cathode electroforming apparatus of insoluble anode |
| CN101994137A (zh) * | 2010-12-15 | 2011-03-30 | 南京航空航天大学 | 回转体零件的高速射流喷射电铸加工方法及装置 |
| CN102764920A (zh) * | 2012-07-06 | 2012-11-07 | 河南理工大学 | 一种双面外扩形金属微小孔阵列加工方法 |
| TWM468525U (zh) * | 2013-07-30 | 2013-12-21 | You-Ren Liu | 電鍍裝置 |
| CN108149282A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-06-12 | 广东工业大学 | 一种基底表面金属化射流电铸成型的微模具制造方法 |
| CN111850618A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-10-30 | 河南理工大学 | 一种电铸制造超薄金属网栅的阳极结构和方法 |
-
2021
- 2021-12-20 CN CN202111557890.2A patent/CN114059108B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6080288A (en) * | 1998-05-29 | 2000-06-27 | Schwartz; Vladimir | System for forming nickel stampers utilized in optical disc production |
| JP2004332019A (ja) * | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Atotech Japan Kk | 化学処理装置 |
| TW200806815A (en) * | 2006-07-18 | 2008-02-01 | Micro Base Technology Corp | Inclined rotary cathode electroforming apparatus of insoluble anode |
| CN101994137A (zh) * | 2010-12-15 | 2011-03-30 | 南京航空航天大学 | 回转体零件的高速射流喷射电铸加工方法及装置 |
| CN102764920A (zh) * | 2012-07-06 | 2012-11-07 | 河南理工大学 | 一种双面外扩形金属微小孔阵列加工方法 |
| TWM468525U (zh) * | 2013-07-30 | 2013-12-21 | You-Ren Liu | 電鍍裝置 |
| CN108149282A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-06-12 | 广东工业大学 | 一种基底表面金属化射流电铸成型的微模具制造方法 |
| CN111850618A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-10-30 | 河南理工大学 | 一种电铸制造超薄金属网栅的阳极结构和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114059108A (zh) | 2022-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103255452B (zh) | 一种选择性金属电沉积装置及其应用 | |
| CN104862767B (zh) | 镀铜槽 | |
| CN201068472Y (zh) | 金属复合材料镀锌电极丝母线连续电镀设备 | |
| CN114059108B (zh) | 一种冲液-电沉积异面交替实施的扫描电铸装置及方法 | |
| CN107299378A (zh) | 一种高效切割硅片用金刚线的制造方法 | |
| CN103290437A (zh) | 一种阴极多自由度运动微电铸装置 | |
| CN204874804U (zh) | 镀铜槽 | |
| CN111636080A (zh) | 一种碱性石墨烯锌铁合金电镀液及其电镀工艺 | |
| CN108315808A (zh) | 一种电镀生产设备 | |
| CN101781787B (zh) | 特宽幅印花镍网的生产工艺及电镍槽设备 | |
| CN109023458B (zh) | 一种pcb电路板的电镀装置和方法 | |
| CN203007458U (zh) | 一种阴极可移动的pcb电镀槽 | |
| CN2587889Y (zh) | 制造高孔隙率金属带材的电沉积设备 | |
| CN215050776U (zh) | 一种磁场辅助脉冲射流电沉积装置 | |
| CN113355721B (zh) | 一种电镀喷流系统 | |
| CN205062214U (zh) | 一种线材连续电镀设备 | |
| CN220393948U (zh) | 一种新型辅助阴极固定装置 | |
| CN208167143U (zh) | 一种电镀生产设备 | |
| CN114990646A (zh) | 一种电铸增厚局域网制件的装置及方法 | |
| CN208414614U (zh) | 电镀装置 | |
| CN208717461U (zh) | 电镀装置 | |
| CN114892227B (zh) | 一种物理场辅助脉冲电沉积纳米结构镍钴合金涂层的方法及实验装置 | |
| CN115110136B (zh) | 电镀设备及电镀方法 | |
| CN116103732B (zh) | 一种垂直电镀装置、设备及方法 | |
| CN217149362U (zh) | 一种电镀镍槽槽体机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20240423 Address after: 516083 Yuxin Science and Technology Park, Longshan 7th Road, Xiangshui River, Huizhou Daya Bay, Huiyang District, Huizhou City, Guangdong Province Patentee after: YUXIN TECHNOLOGY (HUIZHOU) Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 454003 No. 2001 Century Avenue, hi tech Zone, Henan, Jiaozuo Patentee before: HENAN POLYTECHNIC University Country or region before: China |
|
| TR01 | Transfer of patent right |