CN114034524A - 样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。样气采样装置包括上压块和下压块，上压块设有进气通道，下压块设有用于储存样气的样气腔，下压块与上压块连接，进气通道与样气腔连通，样气腔的体积大小可调；或上压块设有用于与下压块可拆卸连接的连接部，当上压块通过连接部与下压块连接时，进气通道与样气腔连通。气密封元器件内部气氛分析设备包括该样气采样装置。使用样气采样装置进行气体采样时，将下压块与上压块连接以使进气通道与样气腔连通，标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔，即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。

Description

样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备

技术领域

本发明涉及气密封元器件内部气氛分析技术领域，特别是涉及一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。

背景技术

封装微电子器件的常见方式之一是气密封装。气密封装结构的内部为空腔，充有高纯氮气或其它惰性气体，然而封装过程中可能会引入水蒸气、氧气或者有机材料挥发释放出的有机气体，这些气体会加速内部金属腐蚀、导致元器件绝缘性能等参数变差，是影响气密封装元器件质量的重要因素。在高可靠性要求的应用中往往需要对气密封器件的内部气氛组分及其含量做出明确要求。

在对气密封元器件内部气氛组分含量进行定量分析时，首先需要通过标准样气对内部气氛分析设备的灵敏度因子曲线进行校准。对于水蒸气，由于其灵敏度因子与含量呈非线性关系，需要使用不同体积的标准样气对水蒸气灵敏度因子曲线进行校准。因此，在校准之前，需要准备不同体积的标准样气。

传统的用于内部气氛分析设备的校准器可采集的样气体积较小，只能用于对0.01cc以下的微小腔体元器件内部气氛检测进行校准，且用于储存样气的储气腔的体积受限于气密封结构，导致储气腔体积的可变化范围较小，然而现在大腔体气密封元器件在广泛应用，所需校准的样气体积远远超过0.01cc，所需校准的样气体积范围也较大。

发明内容

基于此，有必要提供一种可产生不同体积样气的、用于校准气密封元器件内部气氛分析设备的样气采样装置。

本申请提供一种样气采样装置，包括：

上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述下压块与所述上压块连接，所述下压块设有用于储存样气的样气腔，所述进气通道与所述样气腔连通，所述样气腔的体积大小可调；或

上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述上压块设有用于与所述下压块可拆卸连接的连接部，所述下压块设有样气腔，当所述上压块通过所述连接部与所述下压块连接时，所述进气通道与所述样气腔连通。

使用所述样气采样装置时，将所述下压块与所述上压块连接，使所述进气通道与所述样气腔连通，外部标准样气供气系统提供的标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气，将样气采样装置移动至气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置上方，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔，即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。

由于水蒸气灵敏度因子与含量呈非线性关系，需要使用不同体积的标准样气对内部气氛分析设备的水蒸气灵敏度因子曲线进行校准，此时需要获取不同体积的标准样气，所述样气采样装置通过调整样气腔的体积大小，从而使样气腔储存不同体积的标准样气，或者所述样气采样装置通过更换具有不同样气腔体积的下压块与上压块连接，从而储存不同体积的标准样气，如此，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置可以从所述样气采样装置中获取不同体积的标准样气来校准水蒸气灵敏度因子曲线。

在其中一个实施例中，所述下压块靠近所述上压块的一端设有密封沟，所述密封沟沿所述样气腔的周向设置，所述密封沟内安装有与密封沟相适配的第一密封件，当所述下压块与所述上压块连接时，所述第一密封件密封设置于所述下压块与所述上压块之间。

在其中一个实施例中，所述下压块远离所述上压块的一端开设有通孔，所述通孔用于连通所述样气腔与外界，所述样气采样装置还包括压板，所述压板盖设于所述通孔。

在其中一个实施例中，所述压板靠近所述下压块的一侧还设有第二密封件，所述第二密封件密封设置于所述下压块与所述压板之间。

在其中一个实施例中，所述样气采样装置还包括固定滑块和第一连接件，所述下压块远离所述上压块的一端设有凹槽，所述固定滑块与所述凹槽插接配合连接，所述固定滑块通过所述第一连接件连接于所述下压块，所述固定滑块用于将所述压板和所述第二密封件向所述下压块的方向压紧。

在其中一个实施例中，所述样气采样装置还包括活塞组件和安装板，所述安装板与所述上压块远离所述下压块的一端固定连接，所述活塞组件设于所述进气通道内，所述活塞组件包括活塞杆和弹性件，所述活塞杆的一端穿设于所述安装板，所述活塞杆的另一端的端部设有活塞杆压头，所述活塞杆还设有限位凸起，所述限位凸起设于所述安装板与所述活塞杆压头之间，所述弹性件套设于所述活塞杆，所述弹性件的一端与所述安装板相接，所述弹性件的另一端与所述限位凸起相接；所述活塞组件未受到外力时，所述弹性件呈压缩状态，压迫所述活塞杆压头封闭所述进气通道。

在其中一个实施例中，所述样气采样装置还包括把手，所述把手与所述活塞杆穿出所述安装板的一端连接，所述把手用于带动所述活塞杆沿所述进气通道的长度方向往复运动。

在其中一个实施例中，所述活塞杆压头是硅橡胶活塞杆压头。

在其中一个实施例中，所述样气采样装置还包括进气接头，所述进气接头的一端与所述进气通道连通，所述进气接头的另一端用于连接外部标准样气供气系统。

本申请还提供一种气密封元器件内部气氛分析设备，包括前述任一实施例中的样气采样装置。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一个实施例所述的样气采样装置的正视图；

图2为本发明一个实施例所述的样气采样装置的俯视图；

图3为本发明一个实施例所述的样气采样装置的侧视图。

附图标记说明：

10、样气采样装置；20、第三连接件；100、上压块；110、进气通道；120、连接部；200、下压块；210、样气腔；220、密封沟；230、第一密封件；240、通孔；250、凹槽；300、压板；400、第二密封件；500、固定滑块；510、第一连接件；600、进气接头；700、活塞组件；710、活塞杆；711、活塞杆压头；712、限位凸起；713、第一安装孔；720、弹性件；800、安装板；900、把手；910、连接段；911、第二安装孔；912、第一接触面；913、第二接触面；920、第二连接件。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

请参照图1至图3，一实施例的样气采样装置10，包括：上压块100和下压块200，上压块100设有进气通道110，下压块200与上压块100连接，下压块200设有用于储存样气的样气腔210，进气通道110与样气腔210连通，样气腔210的体积大小可调；或

在另一实施例中，上压块100和下压块200，上压块100设有进气通道110，上压块100设有用于与下压块200可拆卸连接的连接部120，下压块200设有样气腔210，当上压块100通过连接部120与下压块200连接时，进气通道110与样气腔210连通。

使用样气采样装置10时，将下压块200与上压块100连接，使进气通道110与样气腔210连通，外部标准样气供气系统提供的标准样气通过进气通道110进入样气腔210内部以使样气腔210中储存一定体积的标准样气，将样气采样装置10移动至气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置上方，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔210，即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。

由于水蒸气灵敏度因子与含量呈非线性关系，需要使用不同体积的标准样气对内部气氛分析设备的水蒸气灵敏度因子曲线进行校准，此时需要获取不同体积的标准样气，样气采样装置10通过调整样气腔210的体积大小，从而使样气腔210储存不同体积的标准样气，或者样气采样装置10通过更换具有不同样气腔210体积的下压块200与上压块100连接，从而储存不同体积的标准样气，如此，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置可以从样气采样装置10中获取不同体积的标准样气来校准水蒸气灵敏度因子曲线。

在一些实施例中，样气腔210内部设有推板(未示出)，推板沿样气腔210的长度方向(如图3所示的L方向)运动，推板设有推柱(未示出)，推柱用于推动推板运动，下压块200设有推柱孔(未示出)，推柱通过推柱孔从样气腔210伸出到下压块200的外部，通过在样气腔210外部施力于推柱以使推柱驱动推板沿样气腔210的长度方向运动，此时，推板将样气腔210分隔为互不相通的两部分腔体，样气腔210的一部分腔体与进气通道110连通，样气腔210的另一部分腔体与进气通道110不连通，如此，样气腔210通过进气通道110储存于样气腔210内部的样气体积发生变化，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔210与进气通道110连通的腔体部分即可采集到不同体积的样气。

在一些实施例中，推板也可以沿样气腔210的宽度方向运动(如图1所示的D方向)，推柱和推柱孔与推板运动方向对应设置

具体地，推板的各个侧边均与样气腔210内壁相抵接，以保证推板将样气腔210分隔为互不相通的两部分。

进一步地，推板的各个侧边均套设有气密闭结构(未示出)，以提高推板对样气腔210的分隔效果，避免推板两侧的样气腔210部分出现气体流通。优选地，该气密闭结构可以是硅橡胶密封圈。

具体地，推柱伸出下压块200外部的部分设有刻度(未示出)，该刻度用于标示与进气通道110连通的样气腔210部分腔体的体积，方便操作人员控制与进气通道110连通的样气腔210部分腔体的体积，从而控制通过样气腔210采集到的样气体积。

在一些实施例中，通过更换具有不同样气腔210体积的下压块200与上压块100连接，从而储存不同体积的标准样气。当样气腔210为长方体结构时，通过改变长方体腔体的长度L、宽度D或高度H(如图1所示)得到具有不同样气腔210腔体体积的下压块200；当样气腔210为圆柱体结构时，通过改变圆柱腔体的直径或高度H得到具有不同样气腔210腔体体积的下压块200。需要采集不同体积的样气时，取不同样气腔210腔体体积的下压块200与上压块100配合，即可储存不同体积的标准样气用于校准气密封元器件内部气氛分析设备。通过调节样气腔210腔体尺寸，可储存的样气体积可以覆盖0.002cc～50cc。

连接部120用于连接上压块100和下压块200，可以是螺钉、螺栓、连接销或者其他起到可拆卸连接作用的连接件。

在一些实施例中，请参照图1和图3，下压块200靠近上压块100的一端设有密封沟220，密封沟220沿样气腔210的周向设置，密封沟220内安装有与密封沟220相适配的第一密封件230，当下压块200与上压块100连接时，第一密封件230密封设置于下压块200与上压块100之间。

具体地，第一密封件230可以是呈环形的密封件，也可以是呈矩形框状的密封件，也可以是其他形状的密封件，只要能与密封沟220相适配、保证下压块200与上压块100之间形成气密封连接即可。

在一些实施例中，请参照图1和图3，下压块200远离上压块100的一端开设有通孔240，通孔240用于连通样气腔210与外界，样气采样装置10还包括压板300，压板300盖设于通孔240。气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置通过刺穿压板300并从通孔240伸入样气腔210内部，从样气腔210内部抽取样气。

具体地，压板300可以是各类材料制成的板块，只要能被气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置刺穿都可以用作本实施例的压板300。

优选地，压板300是可伐合金压板。由于气密封元器件的金属管壳大多数使用的是可伐合金，压板300选用材料相同的可伐合金压板可以使气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置更好地模拟真实的气密封元器件内部气氛取样过程，获得更符合实际情况的校准结果。

在一些实施例中，请参照图1和图3，压板300靠近下压块200的一侧还设有第二密封件400，第二密封件400密封设置于下压块200与压板300之间。第二密封件400用于在下压块200与压板300之间形成气密封连接，避免压板300盖设于通孔240时样气腔210内部的样气通过下压块200与压板300之间的缝隙逸出外界。

在一些实施例中，请参照图1和图3，样气采样装置10还包括固定滑块500和第一连接件510，下压块200远离上压块100的一端设有凹槽250，固定滑块500与凹槽250插接配合连接，固定滑块500通过第一连接件510连接于下压块200，固定滑块500用于将压板300和第二密封件400向下压块200的方向压紧。

一方面，固定滑块500通过压紧作用使压板300和第二密封件400紧密地与下压块200接触，提高第二密封件400在下压块200与压板300之间的气密封效果，从而提升样气腔210的气密性。另一方面，固定滑块500可用于更换压板300，由于每一次取样均需要刺破压板300，压板300需要经常更换，更换压板300时，拆卸第一连接件510，固定滑块500沿着凹槽250往远离压板300的一侧滑动，压板300被放松，即可取下破损的压板300，接着换上新的压板300，固定滑块500沿着凹槽250滑动至压板300处并将压板300和第二密封件400向下压块200的方向压紧，安装第一连接件510，即可完成新压板300的安装。

具体地，凹槽250可以是矩形凹槽250、燕尾槽或者其他形状的凹槽250，固定滑块500的形状与凹槽250的形状相适应。优选地，该凹槽250为燕尾槽，以使固定滑块500在凹槽250内滑动时不易从凹槽250脱落。

具体地，第一连接件510可以是螺钉或者其他类型的连接件。

具体地，请参照图1，固定滑块500设有两个或者两个以上，凹槽250的数量与固定滑块500的数量相对应。当固定滑块500设有两个时，该两个固定滑块500相对设置于压板300的两侧。需要说明的是，当固定滑块500将压板300向下压块200的方向压紧时，固定滑块500仅与压板300的边沿接触，因此固定滑块500不会阻挡气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置刺穿压板300并从通孔240伸入样气腔210内部这一取样过程。

具体地，请参照图1，固定滑块500与凹槽250插接配合时，固定滑块500不凸出于下压块200的底部，如此，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置从下压块200的底部刺穿压板300进行取样时，气密封元器件内部气氛分析设备能与下压块200面面贴合而保证取样过程中的稳定性和气密性，保证校准结果可靠。

在一些实施例中，请参照图2和图3，样气采样装置10还包括进气接头600，进气接头600的一端与进气通道110连通，进气接头600的另一端用于连接外部标准样气供气系统。外部标准样气供气系统提供的样气通过进气接头600进入上压块100的进气通道110，进而经过进气通道110进入下压块200的样气腔210内。

在一些实施例中，请参照图2和图3，进气接头600可以设有两个或者两个以上，以提高供气效率。

在一些实施例中，请参照图1和图3，样气采样装置10还包括活塞组件700和安装板800，安装板800与上压块100远离下压块200的一端固定连接，活塞组件700设于进气通道110内，活塞组件700包括活塞杆710和弹性件720，活塞杆710的一端穿设于安装板800，活塞杆710的另一端的端部设有活塞杆压头711，活塞杆710还设有限位凸起712，限位凸起712设于安装板800与活塞杆压头711之间，弹性件720套设于活塞杆710，弹性件720的一端与安装板800相接，弹性件720的另一端与限位凸起712相接；活塞组件700未受到外力作用时，弹性件720呈压缩状态，压迫活塞杆压头711封闭进气通道110。活塞组件700用于控制进气通道110与进气腔的连通状态。在无外力作用时，弹性件720的两端分别被安装板800和限位凸起712压迫而处于压缩状态，弹性件720的弹力压迫活塞杆压头711封闭进气通道110，进气通道110与进气腔不连通；当在活塞杆710上施加远离样气腔210的外力时，活塞杆压头711远离样气腔210，从而使进气通道110与进气腔连通。

具体地，安装板800可以通过螺钉、插销或者其他起固定连接作用的连接件与上压块100固定连接。

具体地，弹性件720可以是弹簧或者任何能起到上述作用的弹性部件。

具体地，限位凸起712可以是连续分布的凸部，也可以是离散分布的凸部，只要能与安装板800配合而起到压缩弹簧的作用即可作为本实施例的限位凸起712。优选地，限位凸起712是环形凸起。

具体地，活塞杆压头711可以是现有任何一种材料制成的活塞杆压头711，只要能起到封堵进气腔的作用即可。优选地，限位凸起712是硅橡胶活塞杆压头711，硅橡胶活塞杆压头711具有良好的弹性和密封性，使用硅橡胶活塞杆压头711可以实现进气通道110与进气腔之间的气密性。

在一些实施例中，请参照图1至图3，样气采样装置10还包括把手900，把手900与活塞杆710穿出安装板800的一端连接，把手900用于带动活塞杆710沿进气通道110的长度方向往复运动，如此，操作人员可以通过把手900方便快捷地控制进气通道110与进气腔的连通状态。

进一步地，请参照图1至图3，把手900的一端设有与活塞杆710连接的连接段910，把手900还包括第二连接件920，活塞杆710穿出安装板800的一端设有第一安装孔713，连接段910设有第二安装孔911，第二连接件920插设于第一安装孔713和第二安装孔911以连接把手900与活塞杆710。把手900远离连接段910的一端用于施加外力以带动活塞杆710运动。

具体地，第二连接件920可以是任何一种连接件，例如连接销、螺栓。优选地，第二连接件920可以是开口销。

在一些实施例中，请参照图1至图3，通过转动把手900带动活塞杆710沿进气通道110的长度方向往复运动，具体而言，第二安装孔911设于连接段910的偏心位置，连接段910设有与第二安装孔911平行的第一接触面912和第二接触面913，第二安装孔911与第一接触面912的垂直距离比第二安装孔911与第二接触面913的垂直距离短。把手900未受到外力作用时，连接段910通过第一接触面912接触于安装板800，活塞杆压头711封闭进气通道110；沿第二安装孔911的周向转动把手900使第二接触面913接触于安装板800时，活塞杆710伸出安装板800的部分变长，活塞杆压头711向远离样气腔210的方向运动，以使进气通道110与样气腔210连通。通过转动把手900的方式控制进气通道110与样气腔210的连通与不连通具有以下优点：转动把手900后撤除外力即可保持进气通道110与样气腔210连通，而不需要在把手900上持续施加外力，可以减轻操作负担。

在一些实施例中，通过沿进气通道110的长度方向往复拉动把手900，从而带动活塞杆710沿进气通道110的长度方向往复运动。

一实施例还涉及一种气密封元器件内部气氛分析设备，该气密封元器件内部气氛分析设备包括前述任一实施例中的样气采样装置10。

在一些实施例中，样气采样装置10通过第三连接件20安装于气密封元器件内部气氛检测设备的取样装置上，取样装置与通孔240相对设置，如此，进行样气取样时，取样装置直接刺穿压板300并从通孔240伸入样气腔210内部即可取样。

该气密封元器件内部气氛分析设备采集标准样气校准的方法如下：操作把手900带动活塞杆710沿着进气通道110向远离样气腔210的方向运动，进气通道110与样气腔210连通，外部标准样气供气系统提供的标准样气通过进气接头600和进气通道110进入样气腔210内，待样气腔210充满标准样气后，操作把手900带动活塞杆710向接近样气腔210的方向运动而封闭样气腔210，气密封元器件内部气氛检测设备的取样装置刺穿压板300并从通孔240伸入样气腔210内部即可取得一定体积的标准样气进行校准。

当进行水蒸气灵敏度因子曲线的校准时，气密封元器件内部气氛分析设备需要继续采集不同体积的标准样气，方法如下：首先，调整样气腔210的体积大小或者更换具有不同样气腔210体积的下压块200与上压块100连接；接着，拆卸破损的压板300，安装新的压板300；然后，操作把手900带动活塞杆710沿着进气通道110向远离样气腔210的方向运动，进气通道110与样气腔210连通，外部标准样气供气系统提供的标准样气通过进气接头600和进气通道110进入样气腔210内，待样气腔210充满标准样气后，操作把手900带动活塞杆710向接近样气腔210的方向运动而封闭样气腔210，气密封元器件内部气氛检测设备的取样装置刺穿压板300并从通孔240伸入样气腔210内部即可取得不同体积的标准样气。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连通”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连通，也可以是可拆卸连通，或成一体；可以是机械连通，也可以是电连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连通”另一个元件，它可以是直接连通到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种样气采样装置，其特征在于，包括：

上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述下压块与所述上压块连接，所述下压块设有用于储存样气的样气腔，所述进气通道与所述样气腔连通，所述样气腔的体积大小可调；或

上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述上压块设有用于与所述下压块可拆卸连接的连接部，所述下压块设有样气腔，当所述上压块通过所述连接部与所述下压块连接时，所述进气通道与所述样气腔连通。

2.根据权利要求1所述的样气采样装置，其特征在于，所述下压块靠近所述上压块的一端设有密封沟，所述密封沟沿所述样气腔的周向设置，所述密封沟内安装有与密封沟相适配的第一密封件，当所述下压块与所述上压块连接时，所述第一密封件密封设置于所述下压块与所述上压块之间。

3.根据权利要求1所述的样气采样装置，其特征在于，所述下压块远离所述上压块的一端开设有通孔，所述通孔用于连通所述样气腔与外界，所述样气采样装置还包括压板，所述压板盖设于所述通孔。

4.根据权利要求3所述的样气采样装置，其特征在于，所述压板靠近所述下压块的一侧还设有第二密封件，所述第二密封件密封设置于所述下压块与所述压板之间。

5.根据权利要求4所述的样气采样装置，其特征在于，所述样气采样装置还包括固定滑块和第一连接件，所述下压块远离所述上压块的一端设有凹槽，所述固定滑块与所述凹槽插接配合连接，所述固定滑块通过所述第一连接件连接于所述下压块，所述固定滑块用于将所述压板和所述第二密封件向所述下压块的方向压紧。

6.根据权利要求1所述的样气采样装置，其特征在于，所述样气采样装置还包括活塞组件和安装板，所述安装板与所述上压块远离所述下压块的一端固定连接，所述活塞组件设于所述进气通道内，所述活塞组件包括活塞杆和弹性件，所述活塞杆的一端穿设于所述安装板，所述活塞杆的另一端的端部设有活塞杆压头，所述活塞杆还设有限位凸起，所述限位凸起设于所述安装板与所述活塞杆压头之间，所述弹性件套设于所述活塞杆，所述弹性件的一端与所述安装板相接，所述弹性件的另一端与所述限位凸起相接；所述活塞组件未受到外力时，所述弹性件呈压缩状态，压迫所述活塞杆压头封闭所述进气通道。

7.根据权利要求6所述的样气采样装置，其特征在于，所述样气采样装置还包括把手，所述把手与所述活塞杆穿出所述安装板的一端连接，所述把手用于带动所述活塞杆沿所述进气通道的长度方向往复运动。

8.根据权利要求6所述的样气采样装置，其特征在于，所述活塞杆压头是硅橡胶活塞杆压头。

9.根据权利要求1所述的样气采样装置，其特征在于，所述样气采样装置还包括进气接头，所述进气接头的一端与所述进气通道连通，所述进气接头的另一端用于连接外部标准样气供气系统。

10.一种气密封元器件内部气氛分析设备，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的样气采样装置。

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