CN114032612B - 外延设备的系统权限控制方法、装置、设备及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及权限控制技术领域，具体公开了一种外延设备的系统权限控制方法、装置、设备及存储介质，其中，方法包括以下步骤：在外延设备执行上料操作前，获取许可证的剩余可用时间；在剩余可用时间不足一个生长周期时，禁用上料操作的启动权限，生成续期提醒信息，并在加热组件及供气组件处于运行状态时，保持加热组件及供气组件正常运行；该方法在获知许可证的剩余可用时间不足一个生长周期时，发出续期提醒信息，避免用户未能及时续期而导致外延设备停机，同时禁用上料操作的启动权限，使得外延设备在该情况下不能继续进行上料，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
Description
技术领域
本申请涉及权限控制技术领域，具体而言，涉及一种外延设备的系统权限控制方法、装置、设备及存储介质。
背景技术
外延设备是一种半导体工艺设备，一般根据化学气相沉积的方法制备外延片。
现有技术的外延设备较为昂贵，用户普遍为租赁使用或分期付款使用，因此，外延设备使用期间需设置对应的具有相应使用限期的许可证（license）。
在用户未知晓情况下，如果license在外延生长过程中到期，外延设备会立刻禁用设备所有使用权限，那么加热和供气将会停止，会影响外延处理效果，造成不必要的损失，如表现为正在外延生长的外延片因供气不足或温度骤降导致该外延片加工报废，又如表现为设备突然停机导致再次启动需要运行较长时间才能达到外延生长需要的温度、供气工况，影响外延生成效率。
针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。
发明内容
本申请的目的在于提供一种外延设备的系统权限控制方法、装置、设备及存储介质，根据许可证时间适当调整外延设备的使用权限，提醒用户及时进行许可证续期，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
第一方面，本申请提供了一种外延设备的系统权限控制方法，用于根据系统权限控制外延设备运行，所述方法包括以下步骤：
在所述外延设备执行上料操作前，获取许可证的剩余可用时间；
在所述剩余可用时间不足一个生长周期时，禁用所述上料操作的启动权限，生成续期提醒信息，并在加热组件及供气组件处于运行状态时，保持所述加热组件及所述供气组件正常运行。
该示例的外延设备的系统权限控制方法，能避免用户未能及时续期而导致外延设备停机，同时禁用上料操作的启动权限，使得外延设备在该情况下不能继续进行上料，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其中，所述外延设备的上料操作为装载腔上料操作，在生成续期提醒信息时，若所述加热组件及所述供气组件均处于待机状态，禁用所述加热组件和/或所述供气组件的启动权限。
该示例的外延设备的系统权限控制方法，禁用加热组件和/或供气组件的启动权限，能避免用电和/或气体资源的浪费。
所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其中，所述保持所述加热组件及所述供气组件正常运行的步骤包括：
保持所述加热组件及所述供气组件正常运行至所述许可证到期，或保持所述加热组件及所述供气组件正常运行到所述外延设备的反应腔内的外延片完成生长，或保持所述加热组件及所述供气组件正常运行到所述反应腔内的外延片完成卸料。
所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其中，所述外延设备的上料操作为机械臂上料操作。
所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其中，所述保持所述加热组件及所述供气组件正常运行的步骤包括：
保持所述加热组件及所述供气组件正常运行至所述许可证到期。
该示例的外延设备的系统权限控制方法，保持加热组件及供气组件正常运行至许可证到期，能确保外延生长所需的工况条件能稳定保持至许可证到期或许可证续期。
所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其中，所述方法还包括执行于所述在所述外延设备执行上料操作前，获取许可证的剩余可用时间的步骤之前的步骤：
校验所述许可证的合法性。
所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其中，所述校验所述许可证的合法性的步骤包括：
校验工控机的本地许可证的合法性；
校验PLC的本地许可证的合法性；
校验PLC时间。
该示例的外延设备的系统权限控制方法，利用工控机和PLC设置对应的本地许可证，实现双向验证的方法，有效避免外延设备的系统权限被盗用，且该验证方式基于外延设备本身具备的工控机和PLC进行设置，充分利用了设备资源完成权限加密。
第二方面，本申请还提供了一种外延设备的系统权限控制装置，用于根据系统权限控制外延设备运行，所述装置包括：
获取模块，用于在外延设备执行上料操作前，获取许可证的剩余可用时间；
生成模块，用于在所述剩余可用时间不足一个生长周期时，生成续期提醒信息；
控制模块，用于在所述剩余可用时间不足一个生长周期时，禁用所述上料操作的启动权限，并在加热组件及供气组件处于运行状态时，保持加热组件及供气组件正常运行。
本申请的一种外延设备的系统权限控制装置，通过生成模块生成续期提醒信息，避免用户未能及时续期而导致外延设备停机，同时利用控制模块禁用上料操作的启动权限，使得外延设备在该情况下不能继续进行上料，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
第三方面，本申请还提供了一种电子设备，包括处理器以及存储器，所述存储器存储有计算机可读取指令，当所述计算机可读取指令由所述处理器执行时，运行如上述第一方面提供的所述方法中的步骤。
第四方面，本申请还提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时运行如上述第一方面提供的所述方法中的步骤。
由上可知，本申请提供了一种外延设备的系统权限控制方法、装置、设备及存储介质，其中，方法在获知许可证的剩余可用时间不足一个生长周期时，发出续期提醒信息，避免用户未能及时续期而导致外延设备停机，同时禁用上料操作的启动权限，使得外延设备在该情况下不能继续进行上料，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
附图说明
图1为本申请实施例提供的一种外延设备的系统权限控制方法的流程图。
图2为本申请实施例提供的一种外延设备的系统权限控制装置的结构示意图。
图3为本申请实施例提供的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
外延设备是一种半导体工艺设备，用于制备具有单晶层的外延片，对于卧式CVD（化学气相沉积）的外延设备而言，其制备外延片的流程包括：将若干待外延生长的衬底整齐置于装载腔（LoadLock）中，装载腔将衬底抬升至合适的高度（装载腔上料操作），机械臂抓取装载腔中一片衬底并转移至持续加热并供气的反应腔中（机械臂上料操作），反应腔内高温使得反应气体沉积在衬底上以进行外延生长，衬底外延生长结束后获得外延片，机械臂将反应腔内外延片转移至冷却腔中（机械臂下料操作），然后再次执行机械臂上料操作以将装载腔中一片衬底并转移至持续加热并供气的反应腔中；外延片冷却完成后由机械臂转移至装载腔中腾空的位置上。
其中，装载腔上料操作为将待取走的衬底抬升至机械臂能取走的高度位置。
其中，机械臂上料操作需满足的条件是反应腔内为空载（即没有放置任何衬底、外延片），装载腔上料操作则在机械臂上料操作和机械臂下料操作期间进行。
现有技术的外延设备较为昂贵，用户普遍为租赁使用或分期付款使用，因此，外延设备使用期间需设置对应的具有相应使用限期的许可证（license），一般情况下，外延设备若在运行时许可证到期会立刻禁用设备所有使用权限，会影响外延处理效果，如表现为正在外延生长的外延片因供气不足或温度骤降导致该外延片加工报废，又如表现为设备突然停机导致再次启动需要运行较长时间才能达到外延生长需要的温度、供气工况，影响外延生成效率。
第一方面，请参照图1，图1是本申请一些实施例中的一种外延设备的系统权限控制方法，用于根据系统权限控制外延设备运行，方法包括以下步骤：
S1、在外延设备执行上料操作前，获取许可证的剩余可用时间；
具体地，许可证（license）的剩余可用时间为license的合法使用时间，当该合法的license的剩余可用时间为0时，外延设备的license会变更会非法license，现有的外延设备在持有非法license的情况下，会直接停止整机运行，直至外延设备输入新的密钥（key），并根据key生成新的合法license才能再次启动运行。
更具体地，获取剩余可用时间的过程可以是直接获取外延设备中许可证剩余的合法使用时长，还可以是获取外延设备中许可证的到期时间和系统时间进行计算。
更具体地，外延设备执行上料操作前指外延设备即将执行上料操作，可以根据上一操作结束时产生的信号建立该时间点，也可以根据外延设备的运行效率计算上料操作前的时间点，还可以在执行上料操作前设置预启动信号，根据该预启动信号确定外延设备执行上料操作前的时间点；如机械臂上料操作执行于机械臂下料操作之后，因此，外延设备完成机械臂下料操作时产生的信号能代表外延设备即将执行机械臂上料操作的信号，获取该信号后便可开始获取许可证的剩余可用时间；又如根据一外延设备的运行效率可知其一片外延片生长周期为1小时，则每两次上料操作之间的间隔为1小时，故能根据该间隔确定上料操作前的时间点。
S2、在剩余可用时间不足一个生长周期时，禁用上料操作的启动权限，生成续期提醒信息，并在加热组件及供气组件处于运行状态时，保持加热组件及供气组件正常运行。
具体地，该步骤通过比较剩余可用时间与一个生长周期之间的大小，在剩余可用时间小于一个生长周期时，生成续期提醒信息，该续期提醒信息用于提醒用户输入新的密钥进行许可证的续期，避免用户在未能及时获知外延设备到期而导致外延设备突然停机而影响外延生长效果。
更具体地，该步骤在剩余可用时间不足一个生长周期时禁用了上料操作的启动权限，使得外延设备在该情况下不能继续对反应腔进行上料，即无法将新的衬底置入反应腔内，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
更具体地，在生成续期提醒信息时，若加热组件及供气组件处于运行状态，则表示反应腔内已达到外延生长需求的工况条件，若此时禁用加热和供气功能，则破坏该工况条件，即使用户在许可证到期前完成续期，反应腔内工况若要再次回归到外延生长需求的工况条件需要耗费较多时间，故该步骤在加热组件及供气组件处于运行状态时保持加热组件及供气组件正常运行，避免用户续期后需要耗费较多时间调节反应腔内工况。
更具体地，在许可证完成续期后，重新发放上料操作的启动权限。
具体地，一个生长周期可以是一片衬底的生长周期，还可以是一批次衬底的生长周期，在本申请实施例中，一个生长周期优选为一片衬底的生长周期。
更具体地，生长周期可以是一片衬底离开装载腔至返回装载腔的时长，还可以是衬底离开装载腔至离开反应腔的时长，还可以是衬底在反应腔内进行外延生长的时长，还可以是衬底进入反应腔至返回装载腔的时长；在本申请实施例中，生成周期优选为衬底在反应腔内进行外延生长的时长，即为即一片衬底在反应腔内完成外延生长所需要的逗留时间。
本申请实施例的一种外延设备的系统权限控制方法，在获知许可证的剩余可用时间不足一个生长周期时，发出续期提醒信息，避免用户未能及时续期而导致外延设备停机，同时禁用上料操作的启动权限，使得外延设备在该情况下不能继续进行上料，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
具体地，外延设备的上料过程为衬底从装载腔移动至反应腔内的整个过程，因此，外延设备的上料操作可以是装载腔上料操作或机械臂上料操作。
在一些优选的实施方式中，外延设备的上料操作为装载腔上料操作，在生成续期提醒信息时，若加热组件及供气组件均处于待机状态，禁用加热组件和/或供气组件的启动权限。
具体地，步骤S2中禁用上料操作的启动权限为禁用装载腔将衬底抬升的操作权限。
具体地，外延设备每运行一段时间便要对反应腔进行清洗维护，在清洗维护结束，再次启动外延设备时，外延设备进行第一次装载腔上料操作前，反应腔内的加热组件和供气组件尚未启动，若此时生成续期提醒信息，用户也未明确是否会进行续期，若在许可证到期前启动加热组件和供气组件，只会平白浪费电量和气体，故禁用加热组件和/或供气组件的启动权限，从而避免用电和/或气体资源的浪费。
具体地，在许可证续期后，重新发放生成续期提醒信息时被禁用的权限。
更具体地，在只禁用加热组件的启动权限下，供气组件产生的气体在反应腔内不会发生反应，可避免气体反应沉积在反应腔内，并避免用电资源的浪费；在只禁用供气组件的启动权限下，加热组件能使反应腔加热到外延生长需求的温度条件，避免气体资源的浪费，在许可证续期后重新进行供气即可马上开始进行外延生长；在同时禁用加热组件和供气组件的启动权限下，可同时避免用电和气体资源的浪费。
更具体地，若即将执行的装载腔上料操作并非当前加工批次的第一次上料操作，则表明加热组件和供气组件处于运行状态，故无需禁用加热组件和供气组件的启动权限。
在一些优选的实施方式中，保持加热组件及供气组件正常运行的步骤包括：
保持加热组件及供气组件正常运行至许可证到期，或保持加热组件及供气组件正常运行到外延设备的反应腔内的外延片完成生长，或保持加热组件及供气组件正常运行到反应腔内的外延片完成卸料。
由于装载腔上料操作为将衬底抬升至可供机械臂抓取的高度位置的操作，可执行于机械臂上料操作和机械臂下料操作期间，因此，装载腔上料操作执行前，反应腔内可能存在或不存在衬底；若在许可证到期时衬底仍未完成外延生长，外延设备关闭加热组件和供气组件会导致该衬底外延生长失败而报废。
具体地，步骤S2中，在生成续期提醒信息时，若反应腔内不存在外延片，则保持加热组件及供气组件正常运行至许可证到期，从而确保外延生长所需的工况条件能稳定保持至许可证到期或许可证续期。
具体地，步骤S2中，在生成续期提醒信息时，若反应腔内存在外延片，保持加热组件及供气组件正常运行到外延设备的反应腔内的外延片完成生长，或保持加热组件及供气组件正常运行到反应腔内的外延片完成卸料，从而确保反应腔内的衬底能完成外延生长，避免该衬底报废。
更具体地，保持加热组件及供气组件正常运行到外延设备的反应腔内的外延片完成生长的操作行为能保证该衬底的单晶体能生长到预期厚度；保持加热组件及供气组件正常运行到反应腔内的外延片完成卸料的操作行为能保证该衬底转移至冷却腔内进行冷却或转移至装载腔中等待用户取走。
在一些优选的实施方式中，外延设备的上料操作为机械臂上料操作。
具体地，步骤S2中禁用上料操作的启动权限为禁用机械臂将衬底从装载腔转移至反应腔的操作权限。
具体地，由于机械臂上料操作过程为将衬底置入反应腔中，则表明加热组件和供气组件已处于运行状态，故步骤S2无需考虑是否需要禁用加热组件和供气组件的启动权限。
更具体地，由于机械臂上料操作过程为将衬底置入反应腔中，则表明反应腔中不存在衬底，因此，在一些优选的实施方式中，保持加热组件及供气组件正常运行的步骤包括：
保持加热组件及供气组件正常运行至许可证到期，从而确保外延生长所需的工况条件能稳定保持至许可证到期或许可证续期。
在一些优选的实施方式中，方法还包括执行于步骤S1之前的步骤：
S0、校验许可证的合法性。
具体地，在外延设备运行时，通过步骤S0校验许可证的合法性以确认外延设备当前使用权限是否为正常，在许可证非法的情况下，禁用外延设备整体的使用权限，避免用户非法使用设备。
在一些优选的实施方式中，校验许可证的合法性的步骤包括：
S01、校验工控机的本地许可证的合法性；
S02、校验PLC的本地许可证的合法性；
S03、校验PLC时间。
具体地，外延设备设有工控机和PLC，其中工控机用于控制参数输入和设备权限控制，PLC用于执行生产操作，PLC受工控机控制。
更具体地，在本申请实施例中，工控机和PLC中均生成对应的本体许可证，许可证合法需要满足3个条件：工控机的本地许可证合法、PLC的本地许可证合法、PLC时间正确；在满足上述3个条件的前提下，输出许可证合法的结果，再执行步骤S1，在不满足上述3个条件中的一个或多个时，输出许可证非法的结果，禁止启动外延设备。
更具体地，PLC时间正确可以是指PLC时间与工控机时间相同且在许可证到期时间前，还可以是指PLC时间与当前时区时间相同且在许可证到期时间前。
更具体地，输出许可证非法的结果的过程为：在PLC内生成本地非法许可证（若PLC内本地许可证为非法则无需再次生成），进而禁止外延设备启动。
本申请实施例的一种外延设备的系统权限控制方法，利用工控机和PLC设置对应的本地许可证，实现双向验证的方法，有效避免外延设备的系统权限被盗用，且该验证方式基于外延设备本身具备的工控机和PLC进行设置，充分利用了设备资源完成权限加密。
具体地，许可证的续期过程为：用户通过外延设备的控制器端输入新的密钥，工控机根据新的密钥生成本地许可证，PLC根据新的密钥生成本地许可证，工控机重新设定PLC时间，从而使得工控机、PLC具有对应的本地许可证和时间。
第二方面，请参照图1-图3，图1-图3是本申请一些实施例中的一种外延设备的系统权限控制装置，用于根据系统权限控制外延设备运行，装置包括：
获取模块201，用于在外延设备执行上料操作前，获取许可证的剩余可用时间；
生成模块202，用于在剩余可用时间不足一个生长周期时，生成续期提醒信息；
控制模块203，用于在剩余可用时间不足一个生长周期时，禁用上料操作的启动权限，并在加热组件及供气组件处于运行状态时，保持加热组件及供气组件正常运行。
本申请实施例的一种外延设备的系统权限控制装置，在通过获取模块201获知许可证的剩余可用时间不足一个生长周期时，通过生成模块202生成续期提醒信息，避免用户未能及时续期而导致外延设备停机，同时利用控制模块203禁用上料操作的启动权限，使得外延设备在该情况下不能继续进行上料，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
在一些优选的实施方式中，采用该外延设备的系统权限控制装置执行上述第一方面的外延设备的系统权限控制方法。
在一些优选的实施方式中，装置还包括：
校验模块，用于校验许可证的合法性。
第三方面，请参照图3，图3为本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图，本申请提供一种电子设备3，包括：处理器301和存储器302，处理器301和存储器302通过通信总线303和/或其他形式的连接机构（未标出）互连并相互通讯，存储器302存储有处理器301可执行的计算机程序，当计算设备运行时，处理器301执行该计算机程序，以执行时执行上述实施例的任一可选的实现方式中的方法。
第四方面，本申请实施例提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时，执行上述实施例的任一可选的实现方式中的方法。其中，存储介质可以由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合实现，如静态随机存取存储器（Static Random Access Memory, 简称SRAM），电可擦除可编程只读存储器（ElectricallyErasable Programmable Read-Only Memory, 简称EEPROM），可擦除可编程只读存储器（Erasable Programmable Read Only Memory, 简称EPROM），可编程只读存储器（Programmable Red-Only Memory, 简称PROM），只读存储器（Read-Only Memory, 简称ROM），磁存储器，快闪存储器，磁盘或光盘。
综上，本申请实施例提供了一种外延设备的系统权限控制方法、装置、设备及存储介质，其中，方法在获知许可证的剩余可用时间不足一个生长周期时，发出续期提醒信息，避免用户未能及时续期而导致外延设备停机，同时禁用上料操作的启动权限，使得外延设备在该情况下不能继续进行上料，避免新的衬底置入反应腔内且用户未能及时进行许可证续期而导致该新的衬底生长失败的情况发生。
在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
另外，作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
再者，在本申请各个实施例中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。
在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种外延设备的系统权限控制方法，用于根据系统权限控制外延设备运行，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
在所述外延设备执行机械臂上料操作前，获取许可证的剩余可用时间，所述机械臂上料操作执行于机械臂下料操作之后；
在所述剩余可用时间不足一个生长周期时，禁用所述上料操作的启动权限，生成续期提醒信息，并在加热组件及供气组件处于运行状态时，保持所述加热组件及所述供气组件正常运行。
2.根据权利要求1所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其特征在于，所述保持所述加热组件及所述供气组件正常运行的步骤包括：
保持所述加热组件及所述供气组件正常运行至所述许可证到期。
3.根据权利要求1所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其特征在于，所述方法还包括执行于所述在所述外延设备执行上料操作前，获取许可证的剩余可用时间的步骤之前的步骤：
校验所述许可证的合法性。
4.根据权利要求3所述的一种外延设备的系统权限控制方法，其特征在于，所述校验所述许可证的合法性的步骤包括：
校验工控机的本地许可证的合法性；
校验PLC的本地许可证的合法性；
校验PLC时间。
5.一种外延设备的系统权限控制装置，用于根据系统权限控制外延设备运行，其特征在于，所述装置包括：
获取模块，用于在外延设备执行机械臂上料操作前，获取许可证的剩余可用时间，所述机械臂上料操作执行于机械臂下料操作之后；
生成模块，用于在所述剩余可用时间不足一个生长周期时，生成续期提醒信息；
控制模块，用于在所述剩余可用时间不足一个生长周期时，禁用所述上料操作的启动权限，并在加热组件及供气组件处于运行状态时，保持加热组件及供气组件正常运行。
6.一种电子设备，其特征在于，包括处理器以及存储器，所述存储器存储有计算机可读取指令，当所述计算机可读取指令由所述处理器执行时，运行如权利要求1-4任一所述方法中的步骤。
7.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时运行如权利要求1-4任一所述方法中的步骤。
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