CN114028900A - 一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备 - Google Patents

一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备 Download PDF

Info

Publication number
CN114028900A
CN114028900A CN202111126896.4A CN202111126896A CN114028900A CN 114028900 A CN114028900 A CN 114028900A CN 202111126896 A CN202111126896 A CN 202111126896A CN 114028900 A CN114028900 A CN 114028900A
Authority
CN
China
Prior art keywords
nitrogen trifluoride
absorption tower
gas
tail gas
tower
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202111126896.4A
Other languages
English (en)
Inventor
马朝选
纪振红
林坤
张延远
乔蓓蓓
李丹丹
贾炜冬
吕随强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Peric Special Gases Co Ltd
Original Assignee
Peric Special Gases Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Peric Special Gases Co Ltd filed Critical Peric Special Gases Co Ltd
Priority to CN202111126896.4A priority Critical patent/CN114028900A/zh
Publication of CN114028900A publication Critical patent/CN114028900A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25B—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25B15/00—Operating or servicing cells
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/005—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by heat treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/38—Removing components of undefined structure
    • B01D53/40—Acidic components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/68—Halogens or halogen compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/75—Multi-step processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25B—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25B1/00—Electrolytic production of inorganic compounds or non-metals
    • C25B1/01—Products
    • C25B1/24—Halogens or compounds thereof
    • C25B1/245—Fluorine; Compounds thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/20—Reductants
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/30—Alkali metal compounds
    • B01D2251/304—Alkali metal compounds of sodium
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/60—Inorganic bases or salts
    • B01D2251/604—Hydroxides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
    • Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
    • Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

本发明提供了一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备，包括第一三氟化氮电解槽、第二三氟化氮电解槽和第三三氟化氮电解槽，且其阳极尾气分别通过管路与裂解塔连通，裂解塔顶端通过管路连通有还原吸收塔，还原吸收塔连通有碱液吸收塔，碱液吸收塔的顶端设置有尾气排放管，本发明通过管路将第一三氟化氮电解槽、第二三氟化氮电解槽和第三三氟化氮电解槽的阳极尾气送至裂解塔中，利用裂解塔将三氟化氮、二氟化二氮全部分解，利用还原吸收塔吸处理分解后氧化性物质，利用碱液吸收塔处理尾气中酸性物质，能将尾气中的三氟化氮、二氟二氮、含量降低至0ppm，氟化氢含量降低至1ppm以下，满足环保要求尾气达标排放。

Description

一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备
技术领域
本发明属于三氟化氮电解尾气处理技术领域，具体涉及一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备。
背景技术
三氟化氮电解槽阳极尾气成分主要为三氟化氮、氟化氢、二氟化二氮和氮气。
现有的三氟化氮阳极尾气处理工艺，要么工艺设备结构复杂，工业成本高，给企业生产带来一定负担；要么处理效果不理想，处理后的尾气难以达到尾气排放的环保要求。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
第一方面，一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备，包括第一三氟化氮电解槽、第二三氟化氮电解槽和第三三氟化氮电解槽，所述第一三氟化氮电解槽、第二三氟化氮电解槽和第三三氟化氮电解槽的阳极尾气分别通过管路与裂解塔连通，所述裂解塔顶端通过管路连通有还原吸收塔，所述还原吸收塔连通有碱液吸收塔，所述碱液吸收塔的顶端设置有尾气排放管。
进一步的，所述第一三氟化氮电解槽、第二三氟化氮电解槽和第三三氟化氮电解槽的阳极尾气与裂解塔连通的管路为衬氟碳钢管。
进一步的，所述还原吸收塔底部连通有还原液罐，所述还原液罐内储放有还原液，还原液通过循环泵送入还原吸收塔内。
进一步的，所述碱液吸收塔底部连通有碱液罐，所述碱液罐内储放有碱液，碱液通过循环泵送入碱液吸收塔内。
第二方面，一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将第一三氟化氮电解槽、第二三氟化氮电解槽和第三三氟化氮电解槽的阳极尾气利用管路送至裂解塔中，阳极尾气尾气中残余的三氟化氮气体经裂解塔裂解反应分解为氟气和氮气，得到第一混合气；
S2、将第一混合气通入还原吸收塔内，第一混合气内的氧化性物质与还原吸收塔内与还原液中的还原剂发生还原反应被还原，得到第二混合气；
S3、将第二混合气通入碱液吸收塔内，第二混合气内的酸性物质与被碱液吸收塔内的碱液反应中和，得到排放气体通过碱液吸收塔的顶端排放。
进一步的，在S1中，裂解反应的温度为400～600℃，压力为0.01Mpa。
进一步的，在S2中还原剂为硫代硫酸钠，反应在常温下进行。
进一步的，在S3中，所述碱液吸收塔内的反应条件为常温，压力为0.01Mpa，所述碱液为pH为11的氢氧化钠溶液。
本发明与现有技术相比具有以下优点：
本发明通过管路将第一三氟化氮电解槽、第二三氟化氮电解槽和第三三氟化氮电解槽的阳极尾气送至裂解塔中，利用裂解塔将电解槽产生的阳极尾气中的三氟化氮、二氟化二氮全部分解，利用还原吸收塔吸处理分解后氧化性物质，利用碱液吸收塔处理尾气中酸性物质；能将尾气中的三氟化氮、二氟二氮、含量降低至0ppm，氟化氢含量降低至1ppm以下，满足环保要求尾气达标排放。
附图说明
图1是本发明整体结构分解图；
附图标记说明：
1-第一三氟化氮电解槽；2-第二三氟化氮电解槽；3-第三三氟化氮电解槽；4-裂解塔；5-还原吸收塔；51-还原液罐；6-碱液吸收塔；61-碱液罐。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1，如图1所示，本发明提供一种技术方案：一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备，包括第一三氟化氮电解槽1、第二三氟化氮电解槽2和第三三氟化氮电解槽3，所述第一三氟化氮电解槽1、第二三氟化氮电解槽2和第三三氟化氮电解槽3的阳极尾气分别通过管路与裂解塔4连通，所述裂解塔4顶端通过管路连通有还原吸收塔5，所述还原吸收塔5底部连通有还原液罐51，所述还原液罐51内储放有还原液，还原液通过循环泵送入还原吸收塔5内。
所述还原吸收塔5连通有碱液吸收塔6，所述碱液吸收塔6的顶端设置有尾气排放管，所述碱液吸收塔6底部连通有碱液罐61，所述碱液罐61内储放有碱液，碱液通过循环泵送入碱液吸收塔6内。
所述第一三氟化氮电解槽1、第二三氟化氮电解槽2和第三三氟化氮电解槽3的阳极尾气与裂解塔4连通的管路为衬氟碳钢管。
三氟化氮电解槽为产生三氟化氮的设备，三氟化氮在电解槽阳极收集，当满足收集条件NF3≥10％体积百分数时，开始收集，当NF3＜10％时，对阳极气体进行放空。
本发明主要针对放空时，阳极气体的处理，防空时阳极气体主要为三氟化氮、氟化氢、氮气、二氟化二氮、二氧化碳等气体，经过裂解塔将三氟化氮和二氟化二氮裂解为氮气和氟气，经过还原塔，氟气与还原性物质硫代硫酸钠还原生成氟离子和硫酸根并吸收一部分氟化氢气体，新一步经过碱洗将多余氟化氢气体以及一部分二氧化碳吸收，最终使尾气中氟化氢含量降至1ppm以下。
实施例2，实施例1中的三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备的处理工艺，包括以下步骤：
S1、将第一三氟化氮电解槽1、第二三氟化氮电解槽2和第三三氟化氮电解槽3的阳极尾气利用管路送至裂解塔4中，阳极尾气尾气中残余的三氟化氮气体经裂解塔4裂解反应，裂解反应的温度为400℃，压力为0.01Mpa，裂解反应分解为氟气和氮气，得到第一混合气；
S2、将第一混合气通入还原吸收塔5内，第一混合气内的氧化性物质与还原吸收塔5内与还原液中的还原剂发生还原反应被还原，还原剂为硫代硫酸钠，反应在常温下进行，得到第二混合气；
S3、将第二混合气通入碱液吸收塔6内，第二混合气内的酸性物质与被碱液吸收塔6内的碱液反应中和，所述碱液吸收塔6内的反应条件为常温，压力为0.01Mpa，所述碱液为pH为11的氢氧化钠溶液，得到排放气体，得到排放气体，尾气中的三氟化氮、二氟二氮、含量降低至0ppm，氟化氢含量降低至0.95ppm，通过碱液吸收塔6的顶端排放。
实施例3，实施例1中的三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备的处理工艺，包括以下步骤：
S1、将第一三氟化氮电解槽1、第二三氟化氮电解槽2和第三三氟化氮电解槽3的阳极尾气利用管路送至裂解塔4中，阳极尾气尾气中残余的三氟化氮气体经裂解塔4裂解反应，裂解反应的温度为500℃，压力为0.01Mpa，裂解反应分解为氟气和氮气，得到第一混合气；
S2、将第一混合气通入还原吸收塔5内，第一混合气内的氧化性物质与还原吸收塔5内与还原液中的还原剂发生还原反应被还原，还原剂为硫代硫酸钠，反应在常温下进行，得到第二混合气；
S3、将第二混合气通入碱液吸收塔6内，第二混合气内的酸性物质与被碱液吸收塔6内的碱液反应中和，所述碱液吸收塔6内的反应条件为常温，压力为0.01Mpa，所述碱液为pH为11的氢氧化钠溶液，得到排放气体，得到排放气体，尾气中的三氟化氮、二氟二氮、含量降低至0ppm，氟化氢含量降低至0.85ppm，通过碱液吸收塔6的顶端排放。
实施例4，实施例1中的三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备的处理工艺，包括以下步骤：
S1、将第一三氟化氮电解槽1、第二三氟化氮电解槽2和第三三氟化氮电解槽3的阳极尾气利用管路送至裂解塔4中，阳极尾气尾气中残余的三氟化氮气体经裂解塔4裂解反应，裂解反应的温度为600℃，压力为0.01Mpa，裂解反应分解为氟气和氮气，得到第一混合气；
S2、将第一混合气通入还原吸收塔5内，第一混合气内的氧化性物质与还原吸收塔5内与还原液中的还原剂发生还原反应被还原，还原剂为硫代硫酸钠，反应在常温下进行，得到第二混合气；
S3、将第二混合气通入碱液吸收塔6内，第二混合气内的酸性物质与被碱液吸收塔6内的碱液反应中和，所述碱液吸收塔6内的反应条件为常温，压力为0.01Mpa，所述碱液为pH为11的氢氧化钠溶液，得到排放气体，得到排放气体，尾气中的三氟化氮、二氟二氮、含量降低至0ppm，氟化氢含量降低至0.8ppm，通过碱液吸收塔6的顶端排放。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备，其特征在于：包括第一三氟化氮电解槽(1)、第二三氟化氮电解槽(2)和第三三氟化氮电解槽(3)，所述第一三氟化氮电解槽(1)、第二三氟化氮电解槽(2)和第三三氟化氮电解槽(3)的阳极尾气分别通过管路与裂解塔(4)连通，所述裂解塔(4)顶端通过管路连通有还原吸收塔(5)，所述还原吸收塔(5)连通有碱液吸收塔(6)，所述碱液吸收塔(6)的顶端设置有尾气排放管。
2.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备，其特征在于，所述第一三氟化氮电解槽(1)、第二三氟化氮电解槽(2)和第三三氟化氮电解槽(3)的阳极尾气与裂解塔(4)连通的管路为衬氟碳钢管。
3.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备，其特征在于，所述还原吸收塔(5)底部连通有还原液罐(51)，所述还原液罐(51)内储放有还原液，还原液通过循环泵送入还原吸收塔(5)内。
4.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备，其特征在于，所述碱液吸收塔(6)底部连通有碱液罐(61)，所述碱液罐(61)内储放有碱液，碱液通过循环泵送入碱液吸收塔(6)内。
5.一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将第一三氟化氮电解槽(1)、第二三氟化氮电解槽(2)和第三三氟化氮电解槽(3)的阳极尾气利用管路送至裂解塔(4)中，阳极尾气尾气中残余的三氟化氮气体经裂解塔(4)裂解反应分解为氟气和氮气，得到第一混合气；
S2、将第一混合气通入还原吸收塔(5)内，第一混合气内的氧化性物质与还原吸收塔(5)内与还原液中的还原剂发生还原反应被还原，得到第二混合气；
S3、将第二混合气通入碱液吸收塔(6)内，第二混合气内的酸性物质与被碱液吸收塔(6)内的碱液反应中和，得到排放气体通过碱液吸收塔(6)的顶端排放。
6.根据权利要求5所述一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理工艺，其特征在于：在S1中，裂解反应的温度为400～600℃，压力为0.01Mpa。
7.根据权利要求5所述一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理工艺，其特征在于：在S2中还原剂为硫代硫酸钠，反应在常温下进行。
8.根据权利要求5所述一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理工艺，其特征在于：在S3中，所述碱液吸收塔(6)内的反应条件为常温，压力为0.01Mpa，所述碱液为pH为11的氢氧化钠溶液。
CN202111126896.4A 2021-09-26 2021-09-26 一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备 Pending CN114028900A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111126896.4A CN114028900A (zh) 2021-09-26 2021-09-26 一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111126896.4A CN114028900A (zh) 2021-09-26 2021-09-26 一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114028900A true CN114028900A (zh) 2022-02-11

Family

ID=80134646

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111126896.4A Pending CN114028900A (zh) 2021-09-26 2021-09-26 一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114028900A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101604758A (zh) * 2009-06-19 2009-12-16 武汉银泰科技燃料电池有限公司 燃料电池阳极尾气处理系统和处理方法
US20160136573A1 (en) * 2014-11-13 2016-05-19 Spartan Energy Services LLC DBA Sep Texas Energy Services LLC Desulfurization of flue gas from an amine process
CN108290113A (zh) * 2015-12-01 2018-07-17 昭和电工株式会社 含有氟元素的废气的处理方法
US20190157685A1 (en) * 2013-07-31 2019-05-23 Aquahydrex Pty Ltd Method and electrochemical cell for managing electrochemical reactions
CN212283451U (zh) * 2020-08-20 2021-01-05 山东东科化工科技有限公司 废气净化处理装置
CN112546803A (zh) * 2020-12-22 2021-03-26 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种三氟化氮电解槽阴极尾气的处理系统和方法
CN112742158A (zh) * 2020-12-30 2021-05-04 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种三氟化氮电解制备过程中氟化氢废气处理系统及方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101604758A (zh) * 2009-06-19 2009-12-16 武汉银泰科技燃料电池有限公司 燃料电池阳极尾气处理系统和处理方法
US20190157685A1 (en) * 2013-07-31 2019-05-23 Aquahydrex Pty Ltd Method and electrochemical cell for managing electrochemical reactions
US20160136573A1 (en) * 2014-11-13 2016-05-19 Spartan Energy Services LLC DBA Sep Texas Energy Services LLC Desulfurization of flue gas from an amine process
CN108290113A (zh) * 2015-12-01 2018-07-17 昭和电工株式会社 含有氟元素的废气的处理方法
CN212283451U (zh) * 2020-08-20 2021-01-05 山东东科化工科技有限公司 废气净化处理装置
CN112546803A (zh) * 2020-12-22 2021-03-26 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种三氟化氮电解槽阴极尾气的处理系统和方法
CN112742158A (zh) * 2020-12-30 2021-05-04 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种三氟化氮电解制备过程中氟化氢废气处理系统及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103755082B (zh) 一种离子交换树脂再生废水资源回收系统及方法
CN102101708A (zh) 光电化学处理含氰废水的方法及装置
CN112742158B (zh) 一种三氟化氮电解制备过程中氟化氢废气处理系统及方法
CN212247228U (zh) 一种基于电解制氢技术的含盐废水回收再利用装置
CN109626684B (zh) 高硝酸盐废水的处理装置及其工艺
CN114984735A (zh) 一种氢氧化钠溶液吸收氯气处理方法
CN114028900A (zh) 一种三氟化氮电解槽阳极尾气的处理设备
CN206916218U (zh) 一种电路板酸性蚀刻液循环再生回用设备
CN212050663U (zh) 一种电催化氧化降解含氯有机废水处理装置
CN113893663B (zh) 一种三氟化氮生产排污设备及工艺方法
KR101638971B1 (ko) 폐수로부터 생산된 산화제를 이용한 습식 가스 세정 시스템
CN111636073A (zh) 一种含盐废水回收再利用装置及工艺
CN110813064A (zh) 一种沸腾氯化生产四氯化钛中综合处理含氯尾气的方法
CN217163800U (zh) 一种高温hf尾气的处理系统
CN113996171A (zh) 一种工业烟气脱硫脱硝脱碳系统及处理方法
CN113842753A (zh) 一种三氟化氮电解槽阴极排放的尾气的处理工艺
CN114293207A (zh) 离子膜法烧碱生产中氯酸盐的分解系统和方法
CN209836312U (zh) 提高酸性蚀刻液再生回用率的系统
CN112546803A (zh) 一种三氟化氮电解槽阴极尾气的处理系统和方法
CN107190278B (zh) 一种电解槽淡盐水中的氯酸盐的处理方法
CN218047240U (zh) 一种三氟化氮间歇精馏塔尾气的自动处理设备
CN111995010A (zh) 一种应用于高浓度含氰废水的电化学管式处理装置及方法
WO2020017689A1 (ko) 격막형 전기분해장치를 이용한 배연탈황폐수의 처리 방법
CN106591874A (zh) 一种氯酸盐电解氢气的综合利用系统及其综合利用方法
CN213132610U (zh) 一种三氟化氮制备过程中的废气处理系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB02 Change of applicant information
CB02 Change of applicant information

Address after: 057550 No. five Weir Road, chemical industry gathering area, Feixiang District, Handan, Hebei, 1

Applicant after: China shipbuilding (Handan) Perry Special Gas Co.,Ltd.

Address before: 057550 No. five Weir Road, chemical industry gathering area, Feixiang District, Handan, Hebei, 1

Applicant before: PERIC SPECIAL GASES Co.,Ltd.

RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20220211