CN114000203A - 浅晶低浓度扩散氧化退火炉 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，涉及晶片热处理设备技术领域。该退火炉的壳体内设有平行于水平面设置的旋转杆，旋转杆一端转动连接在壳体内，旋转杆上套设有用于放置晶片的旋转架，旋转架包括套设在旋转杆上的旋转套，旋转套外侧设有若干个环绕旋转套设置的旋转网，旋转网由若干根平行设置的钢条组成，壳体上还设有用于将旋转套固定在旋转杆上的连接机构，晶片在退火炉中降温退火时，能够通过旋转将不同位置的晶片实现匀速旋转，使不同位置的晶片交替位置降温，从而实现不同位置晶片温度的均匀变化，稳定各个晶片的受热温度，保证各个晶片的完成质量统一，同时能够根据晶片大小不同调整旋转速度，保证各尺寸的晶片效率更合适。

Description

浅晶低浓度扩散氧化退火炉

技术领域

本发明涉及晶片热处理设备技术领域，特别是涉及一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉。

背景技术

由于非晶硅存在光致衰退现象，生产出的太阳能电池组件，往往由于太阳光或者其他光源的长期照射，导致太阳能电池功能衰减，严重影响太阳能电池的输出效率和使用寿命。所以，在磁控溅射溅镀完铝膜以后，需要在退火炉中对电池板进行退火。

退火是太阳能光伏电池片生产工艺中的一个重要环节，在生产过程中需要对烧结后的电池片进行降温处理。降温过程需要在退火炉内完成，并且此过程需要严格控制炉内的温度，不能使电池片在退火过程中温度反复变化。因此在退火过程中需要同时实现降温、控制温度变化以及确保炉内温度均衡。

退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。

目前，公开号为CN210200678U的中国专利公开了一种电池片退火炉，包括炉体、进风口、排风口与运输装置，所述进风口设置在炉体顶部，所述排风口设置在炉体底部，所述运输装置位于进风口下方；

所述排风口为多个，在炉体底部沿炉体长度方向分布，每个所述排风口下方连接一个排风装置。每个排风口单独连接排风装置，通过对多个排风装置的单独控制，实现炉内各处的温度环境的稳定。

这种装置能够控制退火炉内各处温度，使炉内的温度环境更均衡，但是这种装置在使用时，由于炉内各处温度不同，靠近炉内顶部位置的温度更高，炉内底部和边缘位置的温度更低，因此晶片在退火炉中退火降温时，各部分受热不够均匀，温度变化不均匀容易导致晶片质量降低。

发明内容

本发明针对上述技术问题，克服现有技术的缺点，提供一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉。

为了解决以上技术问题，本发明提供一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉。

技术效果：晶片在退火炉中降温退火时，能够通过旋转将不同位置的晶片实现匀速旋转，使不同位置的晶片交替位置降温，从而实现不同位置晶片温度的均匀变化，稳定各个晶片的受热温度，保证各个晶片的完成质量统一，同时能够根据晶片大小不同调整旋转速度，保证各尺寸的晶片具有更合适的效率。

本发明进一步限定的技术方案是：一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，包括壳体和设于壳体底部四角位置的支腿，壳体为卧式壳体，壳体内设有平行于水平面设置的旋转杆，旋转杆一端转动连接在壳体内，旋转杆上套设有用于放置晶片的旋转架，旋转架包括套设在旋转杆上的旋转套，旋转套外侧设有若干个环绕旋转套设置的旋转网，旋转网由若干根平行设置的钢条组成，旋转网一侧开设有开口，开口上铰接有网门，用于将晶片置于旋转网内，壳体上还设有用于将旋转套固定在旋转杆上的连接机构。

进一步的，连接机构包括沿旋转杆长度方向延伸的连接槽，连接槽环绕旋转杆的中心线设有若干根，旋转套内侧面上一体形成有若干个对应连接槽设置的连接条，连接时连接条嵌设于连接槽内。

前所述的一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，连接杆上位于连接槽的一端位置设有限位环，用于抵接并限位旋转套，连接槽的另一端设有螺纹连接套，螺纹连接套套设于连接杆末端并与之螺纹连接，螺纹连接套末端与外壳转动连接。

前所述的一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，外壳一侧铰接设有封盖，封盖中间位置设有连接口，连接口的内径与连接套直径相同，连接时连接套嵌设并转动连接在连接口内。

前所述的一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，壳体一侧设有电机减速器，旋转杆的一端穿透壳体延伸至壳体外，并与壳体转动连接，电机减速器的输出轴与旋转杆一体设置。

前所述的一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，壳体顶部开设有进风口，壳体底部开设有若干个等距设置的排风口，排风口在炉体底部沿炉体长度方向分布，每个排风口下方连接一个排风装置，进风口设有若干个，若干个进风口等距分布。

前所述的一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，壳体内位于旋转网与壳体内壁之间设有挡风板，挡风板呈环状设置，其侧面设有若干个阵列设置的通风口。

本发明的有益效果是：

(1)本发明中，在使用退火炉时，操作人员可以打开退火炉侧面的封盖，将旋转架从旋转杆上取下，并将旋转网上的网门打开，将晶片置于旋转网内，封闭网门后将整个旋转套套设在旋转杆上，对应连接条和连接槽，将连接条嵌设于连接槽内，最后将螺纹连接套转动至连接槽的螺纹上，通过螺纹固定，能够将整个旋转套固定在旋转杆上，从而实现晶片的旋转退火；

(2)本发明中，封盖内转动嵌设连接套，能够在工作时保证整个晶片和旋转网的转动，通过电机减速器能够带动中间的旋转杆转动，从而达到晶片旋转退火的效果，另外设置连接槽和连接条能够保证旋转杆和旋转套位置相对固定，使旋转杆能够带动旋转网转动；

(3)本发明中，若干个进风口和若干个排风口的设置能够使壳体内的温度均匀上升和降低，从而达到平稳退火的目的，设置挡风板能够避免进入的风直接吹向晶片，保证晶片周围温度稳定，避免对晶片的质量产生影响；

(4)本发明中，晶片在退火炉中降温退火时，能够通过旋转将不同位置的晶片实现匀速旋转，使不同位置的晶片交替位置降温，从而实现不同位置晶片温度的均匀变化，稳定各个晶片的受热温度，保证各个晶片的完成质量统一，同时能够根据晶片大小不同调整旋转速度，保证各尺寸的晶片具有更合适的效率。

附图说明

图1为实施例1的整体结构图；

图2为实施例1的剖面示意图；

图3为实施例1中旋转架的结构图；

图4为实施例1中连接机构的示意图。

其中：1、壳体；11、支腿；12、封盖；13、连接口；14、进风口；15、排风口；16、挡风板；17、通风口；2、旋转杆；3、旋转架；31、旋转套；32、旋转网；321、钢条；322、开口；323、网门；4、连接机构；41、连接槽；42、连接条；43、限位环；44、螺纹连接套；5、电机减速器。

具体实施方式

本实施例提供的一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，结构如图1和图2所示，包括壳体1和设于壳体1底部四角位置的支腿11，壳体1为卧式壳体1，壳体1内设有平行于水平面设置的旋转杆2，旋转杆2一端转动连接在壳体1内，旋转杆2上套设有用于放置晶片的旋转架3。

如图2-4所示，旋转架3包括套设在旋转杆2上的旋转套31，旋转套31外侧设有若干个环绕旋转套31设置的旋转网32，旋转网32由若干根平行设置的钢条321组成，旋转网32一侧开设有开口322，开口322上铰接有网门323，用于将晶片置于旋转网32内，壳体1上还设有用于将旋转套31固定在旋转杆2上的连接机构4。

如图2-4所示，连接机构4包括沿旋转杆2长度方向延伸的连接槽41，连接槽41环绕旋转杆2的中心线设有若干根，旋转套31内侧面上一体形成有若干个对应连接槽41设置的连接条42，连接时连接条42嵌设于连接槽41内。连接杆上位于连接槽41的一端位置设有限位环43，用于抵接并限位旋转套31，连接槽41的另一端设有螺纹连接套44。

如图2-4所示，螺纹连接套44套设于连接杆末端并与之螺纹连接，螺纹连接套44末端与外壳转动连接。外壳一侧铰接设有封盖12，封盖12中间位置设有连接口13，连接口13的内径与连接套直径相同，连接时连接套嵌设并转动连接在连接口13内。壳体1一侧设有电机减速器5，旋转杆2的一端穿透壳体1延伸至壳体1外，并与壳体1转动连接。

如图2-4所示，电机减速器5的输出轴与旋转杆2一体设置。壳体1顶部开设有进风口14，壳体1底部开设有若干个等距设置的排风口15，排风口15在炉体底部沿炉体长度方向分布，每个排风口15下方连接一个排风装置，进风口14设有若干个，若干个进风口14等距分布。壳体1内位于旋转网32与壳体1内壁之间设有挡风板16，挡风板16呈环状设置，其侧面设有若干个阵列设置的通风口17。

在使用退火炉时，操作人员可以打开退火炉侧面的封盖12，将旋转架3从旋转杆2上取下，并将旋转网32上的网门323打开，将晶片置于旋转网32内，封闭网门323后将整个旋转套31套设在旋转杆2上，对应连接条42和连接槽41，将连接条42嵌设于连接槽41内，最后将螺纹连接套44转动至连接槽41的螺纹上，通过螺纹固定，能够将整个旋转套31固定在旋转杆2上，从而实现晶片的旋转退火。

晶片在退火炉中降温退火时，能够通过旋转将不同位置的晶片实现匀速旋转，使不同位置的晶片交替位置降温，从而实现不同位置晶片温度的均匀变化，稳定各个晶片的受热温度，保证各个晶片的完成质量统一，同时能够根据晶片大小不同调整旋转速度，保证各尺寸的晶片具有更合适的效率。

除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围。

Claims (7)

1.一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，包括壳体(1)和设于壳体(1)底部四角位置的支腿(11)，其特征在于：所述壳体(1)为卧式壳体(1)，壳体(1)内设有平行于水平面设置的旋转杆(2)，旋转杆(2)一端转动连接在壳体(1)内，旋转杆(2)上套设有用于放置晶片的旋转架(3)，旋转架(3)包括套设在旋转杆(2)上的旋转套(31)，旋转套(31)外侧设有若干个环绕旋转套(31)设置的旋转网(32)，旋转网(32)由若干根平行设置的钢条(321)组成，旋转网(32)一侧开设有开口(322)，开口(322)上铰接有网门(323)，用于将晶片置于旋转网(32)内，壳体(1)上还设有用于将旋转套(31)固定在旋转杆(2)上的连接机构(4)。

2.根据权利要求1所述的浅晶低浓度扩散氧化退火炉，其特征在于：所述连接机构(4)包括沿旋转杆(2)长度方向延伸的连接槽(41)，连接槽(41)环绕旋转杆(2)的中心线设有若干根，旋转套(31)内侧面上一体形成有若干个对应连接槽(41)设置的连接条(42)，连接时连接条(42)嵌设于连接槽(41)内。

3.根据权利要求2所述的浅晶低浓度扩散氧化退火炉，其特征在于：所述连接杆上位于连接槽(41)的一端位置设有限位环(43)，用于抵接并限位旋转套(31)，连接槽(41)的另一端设有螺纹连接套(44)，螺纹连接套(44)套设于连接杆末端并与之螺纹连接，螺纹连接套(44)末端与外壳转动连接。

4.根据权利要求3所述的浅晶低浓度扩散氧化退火炉，其特征在于：所述外壳一侧铰接设有封盖(12)，封盖(12)中间位置设有连接口(13)，连接口(13)的内径与连接套直径相同，连接时连接套嵌设并转动连接在连接口(13)内。

5.根据权利要求1所述的浅晶低浓度扩散氧化退火炉，其特征在于：所述壳体(1)一侧设有电机减速器(5)，旋转杆(2)的一端穿透壳体(1)延伸至壳体(1)外，并与壳体(1)转动连接，电机减速器(5)的输出轴与旋转杆(2)一体设置。

6.根据权利要求1所述的浅晶低浓度扩散氧化退火炉，其特征在于：所述壳体(1)顶部开设有进风口(14)，壳体(1)底部开设有若干个等距设置的排风口(15)，排风口(15)在炉体底部沿炉体长度方向分布，每个排风口(15)下方连接一个排风装置，进风口(14)设有若干个，若干个进风口(14)等距分布。

7.根据权利要求6所述的浅晶低浓度扩散氧化退火炉，其特征在于：所述壳体(1)内位于旋转网(32)与壳体(1)内壁之间设有挡风板(16)，挡风板(16)呈环状设置，其侧面设有若干个阵列设置的通风口(17)。

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