CN113977784B - 一种半导体材料切割用定位夹具 - Google Patents
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Abstract
本发明属于半导体材料加工设备技术领域，特别涉及一种半导体材料切割用定位夹具，包括平台基座、导向组件、双向夹持组件、二次夹持组件、回收组件、清理组件和储存组件，所述导向组件包括面板，所述二次夹持组件包括第二夹块和第二联动块，所述第二夹块与第二联动块分别滑动连接在面板的顶端与底端，通过气缸带动第二联动块移动，使得第二导向块在第二导向槽内滑动的同时，达到第二夹块同步移动的效果，当两组第一夹块向两侧移动后，第二夹块移动到两组第一夹块之间，便于两侧的第一夹块相互靠近时，第一夹块内半导体材料的另一侧能够卡接在对应的第二夹块内，达到半导体材料二次夹紧的作用，提高了半导体材料二次切割过程中的稳定性。
Description
技术领域
本发明属于半导体材料加工设备技术领域，特别涉及一种半导体材料切割用定位夹具。
背景技术
半导体材料是一类具有半导体性能的材料，而材料的导电能力介于导体与绝缘体之间，可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。
为了满足半导体材料尺寸加工的要求，需要将半导体材料切割成规定的尺寸，虽然在现有技术中，半导体材料是通过刀具进行切割，然而无法根据切割后半导体材料进行二次的定位夹紧，往往会在半导体材料二次切割的过程中造成另一端不平衡的现象，在一定情况下影响了半导体材料的切割效果，因此，为了解决上述的问题，需要一种半导体材料切割用定位夹具。
发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种半导体材料切割用定位夹具，包括平台基座、导向组件、双向夹持组件、二次夹持组件、回收组件、清理组件和储存组件，所述导向组件包括面板，所述二次夹持组件包括第二夹块和第二联动块，所述第二夹块与第二联动块分别滑动连接在面板的顶端与底端，所述面板的底端固定连接有气缸且输出端与第二联动块的一侧外壁传动连接，所述第二夹块的一端固定连接有集风罩，所述集风罩的顶端固定连接有四组微型风机，且四组所述微型风机的出风端均与集风罩的内部连通，所述平台基座的顶端与导向组件固定连接，所述导向组件的一侧外壁分别转动连接有接料导向辊和传料导向辊，所述双向夹持组件与平台基座的顶端滑动连接，所述平台基座的一侧外壁与清理组件固定连接，所述储存组件固定连接在平台基座与清理组件的底端，所述回收组件滑动贴合连接在接料导向辊和传料导向辊上，且所述回收组件与二次夹持组件的一侧外壁传动连接。
进一步的，所述面板的表面开设有四个第一导向槽，且所述第一导向槽内滑动连接有第一导向块，所述面板的表面还开设有第二导向槽，且所述第二导向槽内滑动连接有第二导向块。
进一步的，所述面板的一侧外壁固定连接有电机安装壳，所述电机安装壳的内壁固定连接有正反转电机。
进一步的，所述双向夹持组件包括第一夹块和第一联动块；
所述第一夹块滑动连接在面板的顶端，所述第一联动块滑动连接在面板的底端。
进一步的，所述第一导向块的一端与第一夹块固定连接，且所述第一导向块的另一端与联动块固定连接。
进一步的，两个所述第一联动块上反向螺接有丝杆，且所述丝杆的一端与正反转电机的输出端传动连接。
进一步的，所述面板的表面还开设有第二导向槽，所述第二夹块的底端与第二联动块的顶端固定连接有第二导向块，且所述第二导向块滑动连接在第二导向槽内。
进一步的，所述回收组件包括吸尘垫和支撑板；
所述支撑板固定连接在平台基座的底端，所述平台基座的底端一侧还固定连接有限位板，且所述限位板位于支撑板的一侧；
所述限位板上贯穿滑动连接有两个导向杆，且两个所述导向杆的一端均固定连接在支撑板的一侧外壁，所述支撑板与限位板的相邻内壁上弹性连接有拉伸弹簧；
所述吸尘垫的一端固定连接在限位板的一侧外壁，且所述吸尘垫的另一端固定连接在第二夹块的一侧外壁，所述吸尘垫滑动连接在接料导向辊与传料导向辊上。
进一步的，所述清理组件包括第一支架和出料软管；
所述第一支架的内壁底端固定连接有集料板，所述集料板的顶端滑动连接有吸尘机，所述第一支架的一侧外壁固定连接有电动伸缩杆，且所述电动伸缩杆的输出端与吸尘机的一侧外壁传动连接，所述集料板的表面开设有第三导向槽，所述第三导向槽内设有出料软管；
所述储存组件包括第二支架；
所述第二支架的一侧顶端固定连接在第一支架的底端，且所述第二支架的另一侧顶端固定连接在平台基座的顶端，所述第二支架的内壁底端固定连接有废料收集箱，所述出料软管的一端与废料收集箱连通，且所述出料软管的一端与吸尘机的出料端连通。
本发明的有益效果是：
1、通过气缸带动第二联动块移动，使得第二导向块在第二导向槽内滑动的同时，达到第二夹块同步移动的效果，当两组第一夹块向两侧移动后，第二夹块移动到两组第一夹块之间，便于两侧的第一夹块相互靠近时，第一夹块内半导体材料的另一侧能够卡接在对应的第二夹块内，达到半导体材料二次夹紧的作用，提高了半导体材料二次切割过程中的稳定性。
2、通过两侧的第一夹块在对半导体材料的切割过程中，废料掉落在吸尘垫上进行收集，通过拉伸弹簧能够达到时刻拉紧吸尘垫的作用，在保持吸尘垫张力的同时，限位板能够在导向杆上滑动到支撑板的位置，吸尘垫能够在回收的过程中与吸尘机接触，达到对一次切割后残留废屑快速吸尘的效果；
3、通过二次夹紧时第二夹块移动至两侧的第一夹块之间，微型风机能够对集风罩内吹入空气，使得空气能够对吸尘垫两侧的废屑进行清理，达到保持面板整洁的效果，并且吹走的废屑会进入到第一支架内落在集料板上，并配合吸尘机对集料板上残留的废屑进行清理的效果。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本发明实施例切割用定位夹具的结构示意图；
图2示出了本发明实施例面板、第一夹块和第二夹块顶面结构示意图；
图3示出了本发明实施例面板、第一联动块和第二联动块底面示意图；
图4示出了本发明实施例第二夹块与集风罩的结构示意图；
图5示出了本发明实施例回收组件的结构连接示意图；
图6示出了本发明实施例清理组件与储存组件的结构连接示意图。
图中：1、平台基座；2、导向组件；21、面板；22、第一导向槽；23、第二导向槽；24、电机安装壳；25、正反转电机；26、丝杆；3、双向夹持组件；31、第一夹块；32、第一联动块；33、第一导向块；4、二次夹持组件；41、第二夹块；42、第二联动块；43、第二导向块；44、气缸；45、集风罩；46、微型风机；5、接料导向辊；6、传料导向辊；7、回收组件；71、吸尘垫；72、支撑板；73、限位板；74、导向杆；75、拉伸弹簧；8、清理组件；81、第一支架；82、集料板；83、吸尘机；84、电动伸缩杆；85、第三导向槽；86、出料软管；9、储存组件；91、第二支架；92、废料收集箱。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提出了一种半导体材料切割用定位夹具，包括平台基座1、导向组件2、双向夹持组件3、二次夹持组件4、回收组件7、清理组件8和清理组件9；示例性的，如图1所示。
所述平台基座1的顶端与导向组件2固定连接，所述导向组件2的一侧外壁转动连接有接料导向辊5，所述平台基座1的一侧外壁转动连接有传料导向辊6，所述接料导向辊5与传料导向辊6设置在相同的一侧，且所述传料导向辊6设置在接料导向辊5的下侧，所述双向夹持组件3与平台基座1的顶端滑动连接，所述二次夹持组件4与平台基座1的顶端滑动连接，所述平台基座1的一侧外壁与清理组件8固定连接，所述储存组件9固定连接在平台基座1与清理组件8的底端，所述回收组件7滑动贴合连接在接料导向辊5和传料导向辊6上，且所述回收组件7与二次夹持组件4的一侧外壁传动连接。通过将半导体材料放入到双向夹持组件3之间，达到对半导体材料两侧同步夹紧定位的效果，方便通过切割设备对夹紧定位后的半导体材料的中部进行切割，切割分离后，双向夹持组件3带动半导体材料向两侧移动，使二次夹持组件4移动至双向夹持组件3之间，而双向夹持组件3再带动半导体材料的一侧插入到二次夹持组件4内，达到半导体材料二次定位夹持的效果，通过回收组件7对切割过程中半导体材料掉落的废屑进行收集，并且在二次夹持组件4移动以及拉伸组件10拉动的作用下，使得回收组件7在接料导向辊5和传料导向辊6的表面滑动贴合，达到回收组件7表面废屑进入清理组件8内的效果，并通过清理组件8的作用将废屑吸附后传入到储存组件9内，达到半导体材料在切割过程中二次夹持效果的同时，又能够达到对切割废屑进行吸附处理的效果，大大减少了导向组件2的废屑。
导向组件2包括面板21；
双向夹持组件3包括第一夹块31和第一联动块32；
二次夹持组件4包括第二夹块41和第二联动块42；示例性的，如图2、图3和图4所示。
所述面板21的表面开设有四个第一导向槽22，所述面板21的表面还开设有第二导向槽23，所述第二导向槽23与第一导向槽22为纵横交错设置，且所述第二导向槽23位于第一导向槽22之间，所述面板21的一侧外壁固定连接有电机安装壳24，所述电机安装壳24的内壁固定连接有正反转电机25；
通过第一导向槽22和第二导向槽23的作用，能够使第一夹块31平稳滑动连接在第一导向槽22内，而第二夹块41平稳滑动连接在第二导向槽23内，达到第一夹块31与第二夹块41任意在对应的导向槽内调节的效果；
所述第一夹块31滑动连接在面板21的顶端，所述第一联动块32滑动连接在面板21的底端，所述第一夹块31的底端与第一联动块32的顶端固定连接有第一导向块33，且所述第一导向块33均滑动连接在对应的第一导向槽22内，两个所述第一联动块32上反向螺接有丝杆26，且所述丝杆26的一端与正反转电机25的输出端传动连接。通过正反转电机25带动丝杆26转动的同时，利用丝杆26与两个第一联动块32反向螺接的同时，达到两个第一联动块32相互靠近的作用，并且第一导向块33同步带动第一夹块31对放置后的半导体材料进行两侧的夹紧效果，而正反转电机25带动丝杆26反向转动的同时，利用上述的传动原理，使两侧的第一夹块31相互分离，达到取消对半导体材料的夹紧；
所述第二夹块41滑动连接在面板21的顶端，所述第二联动块42滑动连接在面板21的底端，所述第二夹块41的底端与第二联动块42的顶端固定连接有第二导向块43，且所述第二导向块43滑动连接在第二导向槽23内，所述面板21的底端固定连接有气缸44，且所述气缸44的输出端与第二联动块42的一侧外壁传动连接，所述第二夹块41的一端固定连接有集风罩45，所述集风罩45的顶端固定连接有四组微型风机46，且四组所述微型风机46的出风端均与集风罩45的内部连通。通过气缸44带动第二联动块42移动，使得第二导向块43在第二导向槽23内滑动的同时，达到第二夹块41同步移动的效果，当两组第一夹块31向两侧移动后，第二夹块41移动到两组第一夹块31之间，便于两侧的第一夹块31相互靠近时，第一夹块31内半导体材料的另一侧能够卡接在对应的第二夹块41内，达到半导体材料二次夹紧的作用，提高了半导体材料二次切割过程中的稳定性。
所述回收组件7包括吸尘垫71和支撑板72；示例性的，如图4所示。
所述支撑板72固定连接在平台基座1的底端，所述平台基座1的底端一侧还固定连接有限位板73，且所述限位板73位于支撑板72的一侧，所述限位板73上贯穿滑动连接有两个导向杆74，且两个所述导向杆74的一端均固定连接在支撑板72的一侧外壁，所述支撑板72与限位板73的相邻内壁上弹性连接有拉伸弹簧75，所述吸尘垫71的一端固定连接在限位板73的一侧外壁，且所述吸尘垫71的另一端固定连接在第二夹块41的一侧外壁，所述吸尘垫71滑动连接在接料导向辊5与传料导向辊6上。当第二夹块41移动的过程中，通过拉伸弹簧75能够达到时刻拉紧吸尘垫71的作用，在保持吸尘垫71张力的同时，限位板73能够在导向杆74上滑动到支撑板72的位置，能够达到吸尘垫71的回收效果。
清理组件8包括第一支架81和出料软管86；
储存组件9包括第二支架91；示例性的，如图5所示。
所述第一支架81的内壁底端固定连接有集料板82，所述集料板82的顶端滑动连接有吸尘机83，所述第一支架81的一侧外壁固定连接有电动伸缩杆84，且所述电动伸缩杆84的输出端与吸尘机83的一侧外壁传动连接，所述集料板82的表面开设有第三导向槽85，所述第三导向槽85内设有出料软管86；
所述第二支架91的一侧顶端固定连接在第一支架81的底端，且所述第二支架91的另一侧顶端固定连接在平台基座1的顶端，所述第二支架91的内壁底端固定连接有废料收集箱92，所述出料软管86的一端与废料收集箱92连通，且所述出料软管86的一端与吸尘机83的出料端连通。
利用本发明实施例提出的一种半导体材料切割用定位夹具，其工作原理如下：
通过正反转电机25带动丝杆26转动的同时，利用丝杆26与两个第一联动块32反向螺接的同时，达到两个第一联动块32相互靠近的作用，并且第一导向块33同步带动第一夹块31对放置后的半导体材料进行两侧的夹紧效果，而正反转电机25带动丝杆26反向转动的同时，利用上述的传动原理，使两侧的第一夹块31相互分离，达到取消对半导体材料的夹紧；
通过气缸44带动第二联动块42移动，使得第二导向块43在第二导向槽23内滑动的同时，达到第二夹块41同步移动的效果，当两组第一夹块31向两侧移动后，第二夹块41移动到两组第一夹块31之间，便于两侧的第一夹块31相互靠近时，第一夹块31内半导体材料的另一侧能够卡接在对应的第二夹块41内，达到半导体材料二次夹紧的作用，提高了半导体材料二次切割过程中的稳定性。
通过两侧的第一夹块31在对半导体材料的切割过程中，废料掉落在吸尘垫71上进行收集，通过拉伸弹簧75能够达到时刻拉紧吸尘垫71的作用，在保持吸尘垫71张力的同时，限位板73能够在导向杆74上滑动到支撑板72的位置，吸尘垫71能够在回收的过程中与吸尘机83接触，达到对一次切割后残留废屑快速吸尘的效果；
通过二次夹紧时第二夹块41移动至两侧的第一夹块31之间，微型风机46能够对集风罩45内吹入空气，使得空气能够对吸尘垫71两侧的废屑进行清理，达到保持面板21整洁的效果，并且吹走的废屑会进入到第一支架81内落在集料板82上，并配合吸尘机83对集料板82上残留的废屑进行清理的效果。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (9)
1.一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于，包括平台基座(1)、导向组件(2)、双向夹持组件(3)、二次夹持组件(4)、回收组件(7)、清理组件(8)和储存组件(9)，所述导向组件(2)包括面板(21)，所述二次夹持组件(4)包括第二夹块(41)和第二联动块(42)，所述第二夹块(41)与第二联动块(42)分别滑动连接在面板(21)的顶端与底端，所述面板(21)的底端固定连接有气缸(44)且输出端与第二联动块(42)的一侧外壁传动连接，所述第二夹块(41)的一端固定连接有集风罩(45)，所述集风罩(45)的顶端固定连接有四组微型风机(46)，且四组所述微型风机(46)的出风端均与集风罩(45)的内部连通，所述平台基座(1)的顶端与导向组件(2)固定连接，所述导向组件(2)的一侧外壁分别转动连接有接料导向辊(5)和传料导向辊(6)，所述双向夹持组件(3)与平台基座(1)的顶端滑动连接，所述平台基座(1)的一侧外壁与清理组件(8)固定连接，所述储存组件(9)固定连接在平台基座(1)与清理组件(8)的底端，所述回收组件(7)滑动贴合连接在接料导向辊(5)和传料导向辊(6)上，且所述回收组件(7)与二次夹持组件(4)的一侧外壁传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于：所述面板(21)的表面开设有四个第一导向槽(22)，且所述第一导向槽(22)内滑动连接有第一导向块(33)，所述面板(21)的表面还开设有第二导向槽(23)，且所述第二导向槽(23)内滑动连接有第二导向块(43)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于：所述面板(21)的一侧外壁固定连接有电机安装壳(24)，所述电机安装壳(24)的内壁固定连接有正反转电机(25)。
4.根据权利要求2所述的一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于：所述双向夹持组件(3)包括第一夹块(31)和第一联动块(32)；
所述第一夹块(31)滑动连接在面板(21)的顶端，所述第一联动块(32)滑动连接在面板(21)的底端。
5.根据权利要求4所述的一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于：所述第一导向块(33)的一端与第一夹块(31)固定连接，且所述第一导向块(33)的另一端与第一联动块(32)固定连接。
6.根据权利要求4所述的一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于：两个所述第一联动块(32)上反向螺接有丝杆(26)，且所述丝杆(26)的一端与正反转电机(25)的输出端传动连接。
7.根据权利要求1所述的一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于：所述面板(21)的表面还开设有第二导向槽(23)，所述第二夹块(41)的底端与第二联动块(42)的顶端固定连接有第二导向块(43)，且所述第二导向块(43)滑动连接在第二导向槽(23)内。
8.根据权利要求1所述的一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于：所述回收组件(7)包括吸尘垫(71)和支撑板(72)；
所述支撑板(72)固定连接在平台基座(1)的底端，所述平台基座(1)的底端一侧还固定连接有限位板(73)，且所述限位板(73)位于支撑板(72)的一侧；
所述限位板(73)上贯穿滑动连接有两个导向杆(74)，且两个所述导向杆(74)的一端均固定连接在支撑板(72)的一侧外壁，所述支撑板(72)与限位板(73)的相邻内壁上弹性连接有拉伸弹簧(75)；
所述吸尘垫(71)的一端固定连接在限位板(73)的一侧外壁，且所述吸尘垫(71)的另一端固定连接在第二夹块(41)的一侧外壁，所述吸尘垫(71)滑动连接在接料导向辊(5)与传料导向辊(6)上。
9.根据权利要求1所述的一种半导体材料切割用定位夹具，其特征在于：所述清理组件(8)包括第一支架(81)和出料软管(86)；
所述第一支架(81)的内壁底端固定连接有集料板(82)，所述集料板(82)的顶端滑动连接有吸尘机(83)，所述第一支架(81)的一侧外壁固定连接有电动伸缩杆(84)，且所述电动伸缩杆(84)的输出端与吸尘机(83)的一侧外壁传动连接，所述集料板(82)的表面开设有第三导向槽(85)，所述第三导向槽(85)内设有出料软管(86)；
所述储存组件(9)包括第二支架(91)；
所述第二支架(91)的一侧顶端固定连接在第一支架(81)的底端，且所述第二支架(91)的另一侧顶端固定连接在平台基座(1)的顶端，所述第二支架(91)的内壁底端固定连接有废料收集箱(92)，所述出料软管(86)的一端与废料收集箱(92)连通，且所述出料软管(86)的一端与吸尘机(83)的出料端连通。
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