CN113948433B - 一种晶圆真空搬运机械装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆加工搬运的技术领域，特别是涉及一种晶圆真空搬运机械装置，其提高对晶圆搬运的长度跨度，同时提高搬运的晶圆尺寸跨度，降低设备的使用局限性，满足较多的使用要求；包括支撑柱、第一支撑臂、第二支撑臂与设置于第二支撑臂上侧的支撑叉，还包括移动机构、升降机构、旋转机构、调节机构和两组拉伸机构，移动机构包括第一传动结构第一限位结构，移动机构外侧壁设置有第一外壳，第一外壳上侧设置有底板，第一传动结构包括第一电机、第一螺纹杆和第一螺纹管，所述升降机构包括第二传动结构和第二限位结构，第二传动结构包括第二电机、第二螺纹杆和第二螺纹管，支撑叉包括支撑板和两组叉体，两组叉体均包括第一叉体和第二叉体。

Description

一种晶圆真空搬运机械装置

技术领域

本发明涉及晶圆加工搬运的技术领域，特别是涉及一种晶圆真空搬运机械装置。

背景技术

众所周知，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，晶圆存在不同的特征尺寸，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，因此，在对晶圆加工过程中对环境的要求较高，因此出现真空腔内进行加工的设备，而晶圆真空搬运机械装置是一种用于对晶圆进行加工过程中，对其进行搬运过程中使用的设备，其在晶圆加工的领域中得到了广泛的使用。

现有的晶圆真空搬运机械装置包括第一支撑柱、第一支撑臂、第二支撑臂与设置于第二支撑臂上侧的支撑叉，第一支撑臂和第二支撑臂之间通过第一转动机构转动连接，第二支撑臂与支撑叉通过第二转动机构转动连接；现有的晶圆真空搬运机械装置使用时将第一支撑柱与上侧机构均插入至真空腔内，第一转动机构和第二转动机构相互辅助操作，实现第一支撑臂和第二支撑臂与支撑叉的转动并对晶圆进行搬运操作；现有的晶圆真空搬运机械装置使用中发现，现有技术较难实现对晶圆进行较大跨度的搬运操作，同时处于真空腔内部的机构较难实现晶圆的转动搬运操作，对不同尺寸晶圆进行搬运过程中稳定性较差，较难满足目前对晶圆搬运的多种条件。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供一种提高对晶圆搬运的长度跨度，同时提高搬运的晶圆尺寸跨度，降低设备的使用局限性，满足较多的使用要求的晶圆真空搬运机械装置。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：本发明的晶圆真空搬运机械装置，包括第一支撑柱、第一支撑臂、第二支撑臂与设置于第二支撑臂上侧的支撑叉，第一支撑臂和第二支撑臂之间通过第一转动机构转动连接，第二支撑臂与支撑叉通过第二转动机构转动连接；还包括移动机构、升降机构、旋转机构、调节机构和两组拉伸机构；

所述移动机构包括第一传动结构第一限位结构，移动机构外侧壁设置有第一外壳，第一外壳上侧设置有底板，第一传动结构包括第一电机、第一螺纹杆和第一螺纹管；

所述升降机构包括第二传动结构和第二限位结构，升降机构外侧壁设置有第二外壳，第二外壳底端与底板顶端中部连接，第二传动结构包括第二电机、第二螺纹杆和第二螺纹管，第一支撑柱底端设置有槽，所述旋转机构设置于槽内；

支撑叉包括支撑板和两组叉体，支撑板内部右侧设置有第一腔，所述调节机构设置于第一腔内，两组叉体均包括第一叉体和第二叉体，两组第一叉体内部右侧均设置有第二腔，所述两组拉伸机构分别设置于两组第二腔内。

优选的，调节机构包括角度调节结构和加固结构，角度调节结构包括弯轴和两组弯管，弯轴设置于第一腔内，弯轴两端分别与第一腔前后两端连接，两组弯管分别套设于弯轴外侧壁前侧和后侧，两组弯管右端固定设置有第一连接板，支撑板右端设置有第一长型孔，两组第一连接板右端穿过第一长型孔后分别与两组第一叉体左端连接。

优选的，所述加固结构包括两组第三螺纹杆和两组螺母，两组弯管底端均固定设置有第二连接板，支撑板底端右侧设置有弯型孔，两组第二连接板底端分别穿过两组弯型孔，两组第三螺纹杆顶端分别与两组第二连接板底端连接，两组第三螺纹杆外侧壁上侧均套设有加固板，两组加固板顶端均固定设置有橡胶层，两组第三螺纹杆外侧壁中部均套设有橡胶圈，两组螺母分别螺装套设于两组第三螺纹杆外侧壁下侧，两组螺母外侧壁均设置有摩擦纹。

优选的，拉伸机构包括第三传动结构和第三限位结构，第三传动结构包括两组齿轮、连接轴和两组齿条板，两组齿轮、连接轴和齿条板均设置于第二腔内，连接轴前后两端分别与第二腔前后两端可转动连接，两组齿轮分别固定套设于连接轴外侧壁前侧和后侧，两组齿条板分别啮合设置于两组齿轮底端，第一叉体右端下侧设置有两组第一连接孔，两组齿条板右端分别穿过两组第一连接孔后均与第二叉体左端下侧连接，连接轴可转动穿过第一叉体后并设置连接有手轮。

优选的，第一电机固定设置于第一外壳左端，第一螺纹杆左右两端分别与第一外壳内部左右两端可转动连接，第一螺纹管螺装套设于第一螺纹杆外侧壁，第一螺纹管顶端固定设置有第一设置板，第一外壳顶端设置有三组第二长型孔，第一设置板顶端穿过中部第二长型孔后与底板底端中部连接。

优选的，第二电机固定设置于第二外壳内部底端，第二螺纹杆固定设置于第二电机输出端，第二螺纹管螺装套设于第二螺纹杆外侧壁上侧，第二螺纹管左端和右端均固定设置有第三设置板，两组第三设置板分别与槽内部左端下侧和右端下侧连接。

优选的，旋转机构包括第三电机和两组第二齿轮，两组第二齿轮前后横向设置，第三电机输出端与前侧第二齿轮底端连接，第三电机与槽内部上侧连接，两组第二齿轮啮合设置，后侧第二齿轮顶端固定设置有传动轴，传动轴顶端可转动穿过支撑柱顶端后与第一支撑臂底端左侧连接。

优选的，第三限位结构包括两组第一固定板和两组第二固定板，两组第一固定板分别固定设置于两组齿条板底端，两组第一固定板顶端均设置有滑道，两组滑道内均设置有滑块，两组滑块顶端分别与两组齿条板底端左侧连接，两组第二固定板分别设置于连接轴上侧和下侧，第一叉体右端上下两侧均设置有第二连接孔，两组第二固定板右端分别穿过两组第二连接孔分别与第二叉体上下两侧连接。

优选的，第一限位结构包括两组限位轴和两组限位管，两组限位轴左右两端分别与第一外壳内部左右两端连接，两组限位管分别套设于两组限位轴外侧壁，两组限位管顶端均固定设置有第二设置板，两组第二设置板顶端分别穿过前后两组第二长型孔后分别与底板底端前后两侧连接。

优选的，第二限位结构设置于第二外壳内部，第二限位结构包括两组限位块，第二外壳内部左侧和右侧均设置有滑槽，两组限位块分别设置于两组滑槽内，两组滑块分别与支撑柱外侧壁左侧和右侧连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆真空搬运机械装置，具备以下有益效果：将此装置安装于真空腔内部，首先，根据晶圆的尺寸对第一叉体和第二叉体之间的距离与两组第一叉体之间的角度进行调节，使用调节机构对两组第一叉体之间的角度进行调节，同时使用两组拉伸机构分别对第一叉体和第二叉体之间的距离进行调节，使第一叉体和第二叉体的可使用长度适用于晶圆的尺寸，减少无法对晶圆进行支撑的现象，同时对两组第一叉体之间的角度进行调节，可更加适用于不同尺寸的晶圆，提高稳定性，减少晶圆掉落的现象，调节结束后，根据晶圆的搬运路线，对其进行移动，移动机构中的第一传动结构可支撑支撑柱与晶圆等进行移动，同时第一限位结构可对第一传动结构进行限位，同时保证稳定性，在对晶圆进行纵向方向搬运过程中，升降机构中的第二传动结构可带动第二外壳、支撑柱与晶圆等进行升降操作，同时第二限位结构可对其进行限位，提高稳定性，另外，旋转机构可带动第一支撑臂、第二支撑臂和叉体等进行旋转，第一支撑臂和第二支撑臂与支撑叉之间的传动操作属于现有技术，不再赘述，以此提高了对晶圆搬运的长度跨度、高度跨度与角度跨度，同时提高搬运的晶圆尺寸跨度，降低设备的使用局限性，满足较多的使用要求。

附图说明

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明中第一外壳内部的立体机构示意图；

图3是本发明中第二外壳和支撑柱的切面结构的立体结构示意图；

图4是本发明中支撑叉的立体结构示意图；

图5是本发明中第一腔内部与第二腔内部的立体结构示意图；

图6是本发明中两组第一齿轮和齿条板等结构的立体示意图；

附图中标记：1、支撑柱；2、第一支撑臂；3、第二支撑臂；7、第一外壳；8、底板；9、第一电机；10、第一螺纹杆；11、第一螺纹管；13、第二外壳；14、第二电机；15、第二螺纹杆；16、第二螺纹管；17、第一叉体；18、第二叉体；19、弯轴；20、弯管；21、第一连接板；22、第三螺纹杆；23、螺母；24、第二连接板；25、加固板；26、橡胶圈；27、第一齿轮；28、连接轴；29、齿条板；30、手轮；31、第一设置板；32、第三电机；33、第二齿轮；34、第一固定板；35、第二固定板；36、限位轴；37、限位管；38、限位块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本申请的一种晶圆真空搬运机械装置，包括支撑柱1、第一支撑臂2、第二支撑臂3与设置于第二支撑臂3上侧的支撑叉4，第一支撑臂2和第二支撑臂3之间通过第一转动机构转动连接，第二支撑臂3与支撑叉4通过第二转动机构转动连接；还包括移动机构、升降机构、旋转机构、调节机构和两组拉伸机构；

所述移动机构包括第一传动结构和第一限位结构，移动机构外侧壁设置有第一外壳7，第一外壳7上侧设置有底板8，第一传动结构包括第一电机9、第一螺纹杆10和第一螺纹管11；

所述升降机构包括第二传动结构和第二限位结构，升降机构外侧壁设置有第二外壳13，第二外壳13底端与底板8顶端中部连接，第二传动结构包括第二电机14、第二螺纹杆15和第二螺纹管16，支撑柱1底端设置有槽，所述旋转机构设置于槽内；

支撑叉4包括支撑板和两组叉体，支撑板内部右侧设置有第一腔，所述调节机构设置于第一腔内，两组叉体均包括第一叉体17和第二叉体18，两组第一叉体17内部右侧均设置有第二腔，所述两组拉伸机构分别设置于两组第二腔内。

本申请中，将此装置安装于真空腔内部，首先，根据晶圆的尺寸对第一叉体17和第二叉体18之间的距离与两组第一叉体17之间的角度进行调节，使用调节机构对两组第一叉体17之间的角度进行调节，同时使用两组拉伸机构分别对第一叉体17和第二叉体18之间的距离进行调节，使第一叉体17和第二叉体18的可使用长度适用于晶圆的尺寸，减少无法对晶圆进行支撑的现象，同时对两组第一叉体17之间的角度进行调节，可更加适用于不同尺寸的晶圆，提高稳定性，减少晶圆掉落的现象，调节结束后，根据晶圆的搬运路线，对其进行移动，移动机构中的第一传动结构可支撑支撑柱1与晶圆等进行移动，同时第一限位结构可对第一传动结构进行限位，同时保证稳定性，在对晶圆进行纵向方向搬运过程中，升降机构中的第二传动结构可带动第二外壳13、支撑柱1与晶圆等进行升降操作，同时第二限位结构可对其进行限位，提高稳定性，另外，旋转机构可带动第一支撑臂2、第二支撑臂3和叉体等进行旋转，第一支撑臂2和第二支撑臂3与支撑叉4之间的传动操作属于现有技术，不再赘述，以此提高了对晶圆搬运的长度跨度、高度跨度与角度跨度，同时提高搬运的晶圆尺寸跨度，降低设备的使用局限性，满足较多的使用要求。

本申请实施例中，调节机构包括角度调节结构和加固结构，角度调节结构包括弯轴19和两组弯管20，弯轴19设置于第一腔内，弯轴19两端分别与第一腔前后两端连接，两组弯管20分别套设于弯轴19外侧壁前侧和后侧，两组弯管20右端固定设置有第一连接板21，支撑板右端设置有第一长型孔，两组第一连接板21右端穿过第一长型孔后分别与两组第一叉体17左端连接。

角度调节结构可对两组第一叉体17之间的角度进行调节，同时移动两组叉体，将两组叉体之间的距离移动至合适位置，使两组叉体之间的角度可对晶圆进行稳定的支撑，在移动过程中，两组弯管20可均自弯轴19外侧壁进行滑动，滑动过程中在两组第一连接板21的连接作用下，两组叉体随之进行移动，调节结束后，使用加固结构对其进行加固，提高稳定性。

本申请实施例中，所述加固结构包括两组第三螺纹杆22和两组螺母23，两组弯管20底端均固定设置有第二连接板24，支撑板底端右侧设置有弯型孔，两组第二连接板24底端分别穿过两组弯型孔，两组第三螺纹杆22顶端分别与两组第二连接板24底端连接，两组第三螺纹杆22外侧壁上侧均套设有加固板25，两组加固板25顶端均固定设置有橡胶层，两组第三螺纹杆22外侧壁中部均套设有橡胶圈26，两组螺母23分别螺装套设于两组第三螺纹杆22外侧壁下侧，两组螺母23外侧壁均设置有摩擦纹。

在加固过程中，转动两组螺母23，螺母23外侧壁的摩擦纹可提高螺母23外侧壁的摩擦力，在转动过程中，在第三螺纹杆22的螺纹的螺装作用下，螺母23推动橡胶圈26和加固板25向上移动，加固板25向上移动至与第一叉体17底端贴紧，此时加固板25顶端的橡胶层可提高摩擦力，提高加固稳定性，另外，橡胶圈26具有一定的弹性，可加大对加固板25的固定力，以此实现了加固板25对叉体的固定，减少在对晶圆搬运过程中出现叉体移动的现象。

本申请实施例中，拉伸机构包括第三传动结构和第三限位结构，第三传动结构包括两组第一齿轮27、连接轴28和两组齿条板29，两组第一齿轮27、连接轴28和齿条板29均设置于第二腔内，连接轴28前后两端分别与第二腔前后两端可转动连接，两组第一齿轮27分别固定套设于连接轴28外侧壁前侧和后侧，两组齿条板29分别啮合设置于两组第一齿轮27底端，第一叉体17右端下侧设置有两组第一连接孔，两组齿条板29右端分别穿过两组第一连接孔后均与第二叉体18左端下侧连接，连接轴28可转动穿过第一叉体17后并设置连接有手轮30。

在对较大的晶圆进行搬运前，使用第三传动结构对第一叉体17和第二叉体18之间的距离进行调节，转动手轮30，在连接轴28的连接作用下，两组第一齿轮27随之进行转动，在第一齿轮27与齿的啮合作用下，两组齿条板29随之向右侧移动，与齿条板29连接的第二叉体18随之向右侧移动，第一叉体17和第二叉体18之间的距离随之变大，叉体的可使用长度变大，反向转动手轮30，相反的，第一叉体17和第二叉体18之间的距离减小，叉体的可使用长度减小，以此可适用于更多尺寸的晶圆搬运操作，降低装置的使用局限性。

本申请实施例中，第一电机9固定设置于第一外壳7左端，第一螺纹杆10左右两端分别与第一外壳7内部左右两端可转动连接，第一螺纹管11螺装套设于第一螺纹杆10外侧壁，第一螺纹管11顶端固定设置有第一设置板31，第一外壳7顶端设置有三组第二长型孔，第一设置板31顶端穿过中部第二长型孔后与底板8底端中部连接。

在对晶圆进行横向搬运过程中，第一电机9带动第一螺纹杆10进行转动，在第一螺纹杆10和第一螺纹管11的螺装作用下，第一螺纹管11随之向右侧移动，第一螺纹管11带动底板8向右侧移动，以此可带动晶圆向右侧移动，第一电机9反向转动的同时，相反的，在第一螺纹杆10和第一螺纹管11的螺纹螺装作用下，可带动底板8和晶圆等向左侧移动，以此增大了晶圆搬运的横向跨度，降低装置的使用局限性。

本申请实施例中，第二电机14固定设置于第二外壳13内部底端，第二螺纹杆15固定设置于第二电机14输出端，第二螺纹管16螺装套设于第二螺纹杆15外侧壁上侧，第二螺纹管16左端和右端均固定设置有第三设置板，两组第三设置板分别与槽内部左端下侧和右端下侧连接。

在对晶圆进行纵向的搬运操作时，第二电机14带动第二螺纹杆15进行转动，在第二螺纹杆15和第二螺纹管16的螺纹螺装作用下，第二螺纹管16随之向上移动，在第三设置板的连接作用下，可带动支撑柱1进行向上移动，相反的，第二电机14反向转动，第二螺纹管16可带动支撑柱1等向下移动，在支撑柱1等进行上下移动过程中，晶圆可进行上下方向的移动，以此可便于对晶圆进行纵向方向的搬运操作，提高了对晶圆的纵向搬运跨度。

本申请实施例中，旋转机构包括第三电机32和两组第二齿轮33，两组第二齿轮33前后横向设置，第三电机32输出端与前侧第二齿轮33底端连接，第三电机32与槽内部上侧连接，两组第二齿轮33啮合设置，后侧第二齿轮33顶端固定设置有传动轴，传动轴顶端可转动穿过支撑柱1顶端后与第一支撑臂2底端左侧连接。

在对晶圆进行旋转搬运过程中，第三电机32带动前侧第二齿轮33进行转动，此时在齿的啮合作用下，后侧第二齿轮33随之带动传动轴与支撑柱1等进行转动，相反的，第三电机32反向转动的同时，在齿的啮合作用下，可实现对传动轴和支撑柱1等进行反向转动，以此可实现对晶圆进行正向与反向的旋转搬运操作，提高设备的使用自动化程度。

本申请实施例中，第三限位结构包括两组第一固定板34和两组第二固定板35，两组第一固定板34分别固定设置于第二腔底端前侧和底端后侧，两组第一固定板34顶端均设置有滑道，两组滑道内均设置有滑块，两组滑块顶端分别与两组齿条板29底端左侧连接，两组第二固定板35分别设置于连接轴28上侧和下侧，第一叉体17右端上下两侧均设置有第二连接孔，两组第二固定板35右端分别穿过两组第二连接孔分别与第二叉体18上下两侧连接。

在第三传动结构带动第二叉体18进行移动过程中，两组齿条板29进行左右移动，此时与齿条板29连接的滑块自滑道内进行移动，提高两组齿条板29移动的稳定性，在第二叉体18移动的同时，两组第二固定板35随之自两组第二连接孔内进行移动，两组第二固定板35可提高第一叉体17和第二叉体18之间的稳定性，减少第二叉体18的晃动现象。

本申请实施例中，第一限位结构包括两组限位轴36和两组限位管37，两组限位轴36左右两端分别与第一外壳7内部左右两端连接，两组限位管37分别套设于两组限位轴36外侧壁，两组限位管37顶端均固定设置有第二设置板，两组第二设置板顶端分别穿过前后两组第二长型孔后分别与底板8底端前后两侧连接。

在第一螺纹管11进行左右方向的移动过程中，与底板8连接的两组限位管37随之自限位轴36外侧壁进行左右方向的移动，两组限位轴36和两组限位管37的设置可为第一螺纹管11的左右移动提供稳定性与限位作用，减少在第一螺纹杆10转动的同时第一螺纹管11跟随转动的现象。

本申请实施例中，第二限位结构设置于第二外壳13内部，第二限位结构包括两组限位块38，第二外壳13内部左侧和右侧均设置有滑槽，两组限位块38分别设置于两组滑槽内，两组滑块分别与支撑柱1外侧壁左侧和右侧连接。

在第二电机14的作用下，第二螺纹管16带动支撑柱1进行上下移动过程中，与支撑柱1连接的限位块38可自滑槽内进行上下方向的移动，为支撑柱1和第二外壳13之间的移动提供限位作用，同时提高稳定性。

在使用时，将此装置安装于真空腔内部，首先，根据晶圆的尺寸使用调节机构对两组第一叉体17之间的角度进行调节，同时移动两组叉体，将两组叉体之间的距离移动至合适位置，使两组叉体之间的角度可对晶圆进行稳定的支撑，在移动过程中，两组弯管20可均自弯轴19外侧壁进行滑动，滑动过程中在两组第一连接板21的连接作用下，两组叉体随之进行移动，调节结束后，使用加固结构对其进行加固，转动两组螺母23，螺母23外侧壁的摩擦纹可提高螺母23外侧壁的摩擦力，在转动过程中，在第三螺纹杆22的螺纹的螺装作用下，螺母23推动橡胶圈26和加固板25向上移动，加固板25向上移动至与第一叉体17底端贴紧，此时加固板25顶端的橡胶层可提高摩擦力，提高加固稳定性，橡胶圈26具有一定的弹性，可加大对加固板25的固定力，然后，两组拉伸机构分别对第一叉体17和第二叉体18之间的距离进行调节，转动手轮30，在连接轴28的连接作用下，两组第一齿轮27随之进行转动，在第一齿轮27与齿的啮合作用下，两组齿条板29随之向右侧移动，与齿条板29连接的第二叉体18随之向右侧移动，第一叉体17和第二叉体18之间的距离随之变大，叉体的可使用长度变大，反向转动手轮30，相反的，第一叉体17和第二叉体18之间的距离减小，叉体的可使用长度减小，以此可适用于更多尺寸的晶圆搬运操作，同时，两组齿条板29进行左右移动，此时与齿条板29连接的滑块自滑道内进行移动，提高两组齿条板29移动的稳定性，在第二叉体18移动的同时，两组第二固定板35随之自两组第二连接孔内进行移动，两组第二固定板35可提高第一叉体17和第二叉体18之间的稳定性，调节结束后，支撑叉4可对晶圆进行搬运，根据晶圆的搬运路线，移动机构中的第一传动结构可支撑柱1与晶圆等进行移动，第一电机9带动第一螺纹杆10进行转动，在第一螺纹杆10和第一螺纹管11的螺装作用下，第一螺纹管11随之向右侧移动，第一螺纹管11带动底板8向右侧移动，以此可带动晶圆向右侧移动，第一电机9反向转动的同时，相反的，在第一螺纹杆10和第一螺纹管11的螺纹螺装作用下，可带动底板8和晶圆等向左侧移动，以此增大了晶圆搬运的横向跨度，同时，与底板8连接的两组限位管37随之自限位轴36外侧壁进行左右方向的移动，两组限位轴36和两组限位管37的设置可为第一螺纹管11的左右移动提供稳定性与限位作用，减少在第一螺纹杆10转动的同时第一螺纹管11跟随转动的现象；在对晶圆进行纵向搬运过程中，第二传动结构可带动第二外壳13、支撑柱1与晶圆等进行升降操作，第二电机14带动第二螺纹杆15进行转动，在第二螺纹杆15和第二螺纹管16的螺纹螺装作用下，第二螺纹管16随之向上移动，在第三设置板的连接作用下，可带动支撑柱1进行向上移动，相反的，第二电机14反向转动，第二螺纹管16可带动支撑柱1等向下移动，在支撑柱1等进行上下移动过程中，晶圆可进行上下方向的移动，以此可便于对晶圆进行纵向方向的搬运操作，提高了对晶圆的纵向搬运跨度，同时，与支撑柱1连接的限位块38可自滑槽内进行上下方向的移动，为支撑柱1和第二外壳13之间的移动提供限位作用；在对晶圆进行旋转搬运过程中，第三电机32带动前侧第二齿轮33进行转动，此时在齿的啮合作用下，后侧第二齿轮33随之带动传动轴与支撑柱1等进行转动，相反的，第三电机32反向转动的同时，在齿的啮合作用下，可实现对传动轴和支撑柱1等进行反向转动，以此可实现对晶圆进行正向与反向的旋转搬运操作，提高设备的使用自动化程度，第一支撑臂2和第二支撑臂3与支撑叉4之间的传动操作属于现有技术，不再赘述，以此提高了对晶圆搬运的长度跨度、高度跨度与角度跨度，同时提高搬运的晶圆尺寸跨度，降低设备的使用局限性，满足较多的使用要求

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种晶圆真空搬运机械装置，包括支撑柱(1)、第一支撑臂(2)、第二支撑臂(3)与设置于第二支撑臂(3)上侧的支撑叉，第一支撑臂(2)和第二支撑臂(3)之间通过第一转动机构转动连接，第二支撑臂(3)与支撑叉通过第二转动机构转动连接；其特征在于，还包括移动机构、升降机构、旋转机构、调节机构和两组拉伸机构；

所述移动机构包括第一传动结构第一限位结构，移动机构外侧壁设置有第一外壳(7)，第一外壳(7)上侧设置有底板(8)，第一传动结构包括第一电机(9)、第一螺纹杆(10)和第一螺纹管(11)；

所述升降机构包括第二传动结构和第二限位结构，升降机构外侧壁设置有第二外壳(13)，第二外壳(13)底端与底板(8)顶端中部连接，第二传动结构包括第二电机(14)、第二螺纹杆(15)和第二螺纹管(16)，支撑柱(1)底端设置有槽，所述旋转机构设置于槽内；

支撑叉包括支撑板和两组叉体，支撑板内部右侧设置有第一腔，所述调节机构设置于第一腔内，两组叉体均包括第一叉体(17)和第二叉体(18)，两组第一叉体(17)内部右侧均设置有第二腔，所述两组拉伸机构分别设置于两组第二腔内；

调节机构包括角度调节结构和加固结构，角度调节结构包括弯轴(19)和两组弯管(20)，弯轴(19)设置于第一腔内，弯轴(19)两端分别与第一腔前后两端连接，两组弯管(20)分别套设于弯轴(19)外侧壁前侧和后侧，两组弯管(20)右端固定设置有第一连接板(21)，支撑板右端设置有第一长型孔，两组第一连接板(21)右端穿过第一长型孔后分别与两组第一叉体(17)左端连接；

所述加固结构包括两组第三螺纹杆(22)和两组螺母(23)，两组弯管(20)底端均固定设置有第二连接板(24)，支撑板底端右侧设置有弯型孔，两组第二连接板(24)底端分别穿过两组弯型孔，两组第三螺纹杆(22)顶端分别与两组第二连接板(24)底端连接，两组第三螺纹杆(22)外侧壁上侧均套设有加固板(25)，两组加固板(25)顶端均固定设置有橡胶层，两组第三螺纹杆(22)外侧壁中部均套设有橡胶圈(26)，两组螺母(23)分别螺装套设于两组第三螺纹杆(22)外侧壁下侧，两组螺母(23)外侧壁均设置有摩擦纹；

拉伸机构包括第三传动结构和第三限位结构，第三传动结构包括两组第一齿轮(27)、连接轴(28)和两组齿条板(29)，两组第一齿轮(27)、连接轴(28)和齿条板(29)均设置于第二腔内，连接轴(28)前后两端分别与第二腔前后两端可转动连接，两组第一齿轮(27)分别固定套设于连接轴(28)外侧壁前侧和后侧，两组齿条板(29)分别啮合设置于两组第一齿轮(27)底端，第一叉体(17)右端下侧设置有两组第一连接孔，两组齿条板(29)右端分别穿过两组第一连接孔后均与第二叉体(18)左端下侧连接，连接轴(28)可转动穿过第一叉体(17)后并设置连接有手轮(30)；

第一电机(9)固定设置于第一外壳(7)左端，第一螺纹杆(10)左右两端分别与第一外壳(7)内部左右两端可转动连接，第一螺纹管(11)螺装套设于第一螺纹杆(10)外侧壁，第一螺纹管(11)顶端固定设置有第一设置板(31)，第一外壳(7)顶端设置有三组第二长型孔，第一设置板(31)顶端穿过中部第二长型孔后与底板(8)底端中部连接；

第二电机(14)固定设置于第二外壳(13)内部底端，第二螺纹杆(15)固定设置于第二电机(14)输出端，第二螺纹管(16)螺装套设于第二螺纹杆(15)外侧壁上侧，第二螺纹管(16)左端和右端均固定设置有第三设置板，两组第三设置板分别与槽内部左端下侧和右端下侧连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆真空搬运机械装置，其特征在于，旋转机构包括第三电机(32)和两组第二齿轮(33)，两组第二齿轮(33)前后横向设置，第三电机(32)输出端与前侧第二齿轮(33)底端连接，第三电机(32)与槽内部上侧连接，两组第二齿轮(33)啮合设置，后侧第二齿轮(33)顶端固定设置有传动轴，传动轴顶端可转动穿过支撑柱(1)顶端后与第一支撑臂(2)底端左侧连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆真空搬运机械装置，其特征在于，第三限位结构包括两组第一固定板(34)和两组第二固定板(35)，两组第一固定板(34)分别固定设置于第二腔底端前侧和底端后侧，两组第一固定板(34)顶端均设置有滑道，两组滑道内均设置有滑块，两组滑块顶端分别与两组齿条板(29)底端左侧连接，两组第二固定板(35)分别设置于连接轴(28)上侧和下侧，第一叉体(17)右端上下两侧均设置有第二连接孔，两组第二固定板(35)右端分别穿过两组第二连接孔分别与第二叉体(18)上下两侧连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆真空搬运机械装置，其特征在于，第一限位结构包括两组限位轴(36)和两组限位管(37)，两组限位轴(36)左右两端分别与第一外壳(7)内部左右两端连接，两组限位管(37)分别套设于两组限位轴(36)外侧壁，两组限位管(37)顶端均固定设置有第二设置板，两组第二设置板顶端分别穿过前后两组第二长型孔后分别与底板(8)底端前后两侧连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆真空搬运机械装置，其特征在于，第二限位结构设置于第二外壳(13)内部，第二限位结构包括两组限位块(38)，第二外壳(13)内部左侧和右侧均设置有滑槽，两组限位块(38)分别设置于两组滑槽内，两组滑块分别与支撑柱(1)外侧壁左侧和右侧连接。

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