CN113894126A - 一种用于tft-lcd的pvd设备的自动滚刷机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于TFT‑LCD的PVD设备的自动滚刷机构，包括底座和滚轮，所述底座的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮，所述底座上端的一侧固定有连接板，所述连接板远离底座的一侧固定有底部封板，所述底部封板的顶部等距固定有电机安装板，所述底部封板内壁两侧的两个电机安装板的外侧均等距固定有减速箱，所述减速箱远离电机安装板的一侧固定有第三电机，且第三电机的输出端与减速箱的输入端固定，本发明能够对PVD设备上的托盘底部的杂质进行自动清理，从而能够有效地提高产品的良品率，且能够对清除下来的杂质进行有效的收集，并能够自动进行杂质收集装置的更换工作，极大的降低了更换积尘组件对生产效率带来的影响。

Description

一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构

技术领域

本发明涉及PVD智能设备技术领域，尤其涉及一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构。

背景技术

TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示）的PVD(物理气相沉积:Physical VaporDeposition)制程是指在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜技术。PVD设备则是通过将来料（玻璃）自动放置在轨道TRAY（托盘）上，对来料（玻璃）进行表面镀膜技术的自动化设备。在该制程中，用于放置来料的轨道TRAY是重复循环使用的，日积月累在TRAY的底部轨道上会吸附一些金属颗粒和异物，对TFT-LCD产品有严重的品质隐患，而现有的PVD设备并没有设置相应的用于清扫托盘底部异物的机构，从而容易造成产品加工良品率下降的现象发生。

因此，有必要提供一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构解决上述技术问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明是提供一种能够自动对PVD设备上的TRAY托盘底部的杂质进行清理、从而能够提高产品良率的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构。

本发明提供的一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，包括底座和滚轮，所述底座的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮，所述底座上端的一侧固定有连接板，所述连接板远离底座的一侧固定有底部封板，所述底部封板的顶部等距固定有电机安装板，所述底部封板内壁两侧的两个电机安装板的外侧均等距固定有减速箱，所述减速箱远离电机安装板的一侧固定有第三电机，且第三电机的输出端与减速箱的输入端固定，所述减速箱的输出端固定有毛刷，所述毛刷远离减速箱的一端固定有连接套，六个所述连接套远离毛刷的一端均通过轴承与位于底部封板中部的电机安装板转动连接，所述底部封板远离底座的一侧以及连接板靠近底座的一侧均固定有光电传感器，且两个光电传感器的位置交错设置，所述底部封板呈上大下小的形状设置，所述底部封板的底部对称固定有连接管，两个所述连接管的底部固定有H型支撑板，所述H型支撑板的底部滑动连接有移动框，所述移动框的两侧对称套接有积尘组件，所述底座下端靠近移动框的一侧滑动连接有移动支架，所述移动支架远离底座的一端固定有底部集气盒，且底部集气盒与积尘组件相配合，所述移动支架远离底座的一侧固定有气泵，所述气泵的进气端与底部集气盒的内壁相连通，所述底座的下端靠近移动支架的一侧固定有升降压紧机构，所述升降压紧机构用于将底部集气盒压紧在积尘组件的底部进行灰尘收集工作，所述H型支撑板的顶部固定有平移机构，所述平移机构用于驱动移动框移动进行积尘组件的更换工作，所述气泵的出气端设置有末端过滤机构，用于对气泵排出的气体进行进一步的过滤。

优选的，所述积尘组件包括收集筒、过滤网和卡止檐，所述移动框的两侧对称套接有收集筒，所述收集筒内壁的下端固定有过滤网，所述收集筒上端的外壁固定有卡止檐，所述卡止檐与移动框相配合，且连接管的底部贯穿H型支撑板与下方的一个收集筒的内壁相连通。

优选的，所述升降压紧机构包括第一固定块、转杆、驱动斜盘、被动轮、蜗轮、第二固定块、蜗杆和第一电机，所述底座下端靠近移动支架的一侧固定有第一固定块，所述第一固定块的中部通过轴承转动连接有转杆，所述转杆的底部通过轴承与底座转动连接，所述转杆的中部固定有驱动斜盘，所述移动支架靠近驱动斜盘的一侧通过轴销对称转动连接有被动轮，两个所述被动轮均与驱动斜盘的外壁滚动连接，所述转杆的顶部固定有蜗轮，所述底座的下端靠近蜗轮的一侧位于蜗轮的上方对称固定有第二固定块，两个所述第二固定块之间通过轴承转动连接有蜗杆，所述蜗杆与蜗轮啮合连接，所述底座的下端靠近蜗杆的一侧固定有第一电机，所述蜗杆靠近第一电机的一端与第一电机的输出端固定。

优选的，所述平移机构包括齿条、连接块、转轴、齿轮和第二电机，所述移动框的一侧固定有齿条，所述H型支撑板上表面靠近齿条一侧的中部固定有连接块，所述连接块的中部通过轴承转动连接有转轴，所述转轴靠近齿条的一端固定有齿轮，所述齿轮与齿条啮合连接，所述H型支撑板上表面的中部固定有第二电机，所述转轴靠近第二电机的一端与第二电机的输出端固定。

优选的，所述末端过滤机构包括外螺纹、内螺纹套筒、支撑筒、第一过滤芯和第三橡胶垫圈，所述气泵的出气端贯穿移动支架延伸至移动支架的底部，所述气泵的出气端的外部开设有外螺纹，所述气泵的出气端的下端通外螺纹螺纹连接有内螺纹套筒，所述内螺纹套筒的内壁套接有支撑筒，所述支撑筒的内壁固定有第一过滤芯，所述支撑筒的顶部固定有第三橡胶垫圈，所述第三橡胶垫圈的顶部与气泵的出气端挤压接触。

优选的，所述卡止檐的顶部固定有第一橡胶垫圈，所述第一橡胶垫圈与H型支撑板的底部挤压接触，所述底部集气盒的顶部固定有第二橡胶垫圈，所述第二橡胶垫圈的顶部与收集筒的底部挤压接触。

优选的，所述H型支撑板的一侧固定有第一气压传感器，所述底部集气盒一侧的上端固定有第二气压传感器。

优选的，所述底部集气盒的内壁套接有第二过滤芯。

优选的，所述底座的下端靠近转杆的一侧位于转杆的外侧固定有稳定套，所述转杆与稳定套的内壁转动连接。

优选的，所述H型支撑板的底部对称固定有第一滑轨，所述移动框的顶部对称固定有第一滑条，所述第一滑条与第一滑轨的外壁滑动连接，所述底座的下端靠近移动支架的一侧对称固定有第二滑轨，所述移动支架靠近第二滑轨的一侧对称固定有第二滑条，所述第二滑条与第二滑轨的外壁滑动连接。

与相关技术相比较，本发明提供的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构具有如下有益效果：

本发明提供用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构：

1、本发明提供的一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，在使用的时候通过螺栓之间将底座固定在现有设备上，而在进行产生的加工的时候，当托盘进过两个电机安装板之间之前，通过设置的光电传感器能够自动检测到托盘的移动，进而通过控制器能够控制第三电机运转，从而能够带动毛刷转动，而当托盘从滚轮上滚过，经过毛刷的顶部后，能够通过毛刷对托盘底部的杂质进行有效地清理工作，从而能够有效地提高产品的良品率。

2、本发明提供的一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，本发明通过设置的光电传感器能够在没有产品经过的时候使第三电机停止运转，只有在有产品经过的时候才会启动第三电机，达到了节能环保的效果。

3、本发明提供的一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，本发明通过设置的积尘组件配合气泵和底部集气盒能够便于对毛刷扫动下来的杂质进行收集工作，而同时由于积尘组件设置有两组，且通过将移动框滑动连接在H型支撑板的底部，并通过升降压紧机构和平移机构的配合能够自动移动两个积尘组件的位置，从而能够在一个积尘组件内累积较多的杂质后自动更换下一个积尘组件，从而极大的降低了清理积尘组件内杂质时设备停机的时间，从而能够有效地提高产品的生产效率。

4、本发明通过设置的第一气压传感器和第二气压传感器能够便于检测过滤网两侧的压力差，当过滤网两侧的压力差值达到一定值时，能够将信号传递给控制器，进而通过控制器能够自动控制平移机构和升降压紧机构工作，自动进行积尘组件的更换工作，并能够提醒人们清理积尘组件的内的杂质。

附图说明

图1为本发明提供的整体结构示意图之一；

图2为本发明提供的整体结构示意图之二；

图3为本发明提供的整体结构示意图之三；

图4为本发明提供的积尘组件结构示意图；

图5为本发明提供的升降压紧机构结构示意图之一；

图6为本发明提供的A处放大图；

图7为本发明提供的升降压紧机构结构示意图之二；

图8为本发明提供的平移机构结构示意图；

图9为本发明提供的第二过滤芯位置结构示意图；

图10为本发明提供的末端过滤机构结构示意图；

图11为本发明提供的B处放大图；

图12为现有TFT-LCD的PVD设备制程示意图；

图13为使用了本发明自动滚刷机构的TFT-LCD的PVD设备制程示意图。

图中标号：1、底座；2、滚轮；3、连接板；4、底部封板；5、电机安装板；6、减速箱；7、第三电机；8、毛刷；9、连接套；10、光电传感器；11、连接管；12、H型支撑板；13、移动框；14、积尘组件；141、收集筒；142、过滤网；143、卡止檐；15、移动支架；16、底部集气盒；17、气泵；18、升降压紧机构；181、第一固定块；182、转杆；183、驱动斜盘；184、被动轮；185、蜗轮；186、第二固定块；187、蜗杆；188、第一电机；19、平移机构；191、齿条；192、连接块；193、转轴；194、齿轮；195、第二电机；20、末端过滤机构；201、外螺纹；202、内螺纹套筒；203、支撑筒；204、第一过滤芯；205、第三橡胶垫圈；21、第一橡胶垫圈；22、第二橡胶垫圈；23、第一气压传感器；24、第二气压传感器；25、第二过滤芯；26、稳定套；27、第一滑轨；28、第一滑条；29、第二滑轨；30、第二滑条。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

在具体实施过程中，如图1、图2和图3所示，一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，包括底座1和滚轮2，所述底座1的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮2，所述底座1上端的一侧固定有连接板3，所述连接板3远离底座1的一侧固定有底部封板4，所述底部封板4的顶部等距固定有电机安装板5，所述底部封板4内壁两侧的两个电机安装板5的外侧均等距固定有减速箱6，所述减速箱6远离电机安装板5的一侧固定有第三电机7，且第三电机7的输出端与减速箱6的输入端固定，所述减速箱6的输出端固定有毛刷8，所述毛刷8远离减速箱6的一端固定有连接套9，六个所述连接套9远离毛刷8的一端均通过轴承与位于底部封板4中部的电机安装板5转动连接，所述底部封板4远离底座1的一侧以及连接板3靠近底座1的一侧均固定有光电传感器10，且两个光电传感器10的位置交错设置，所述底部封板4呈上大下小的形状设置，所述底部封板4的底部对称固定有连接管11，两个所述连接管11的底部固定有H型支撑板12，所述H型支撑板12的底部滑动连接有移动框13，所述移动框13的两侧对称套接有积尘组件14，所述底座1下端靠近移动框13的一侧滑动连接有移动支架15，所述移动支架15远离底座1的一端固定有底部集气盒16，且底部集气盒16与积尘组件14相配合，所述移动支架15远离底座1的一侧固定有气泵17，所述气泵17的进气端与底部集气盒16的内壁相连通，所述底座1的下端靠近移动支架15的一侧固定有升降压紧机构18，所述升降压紧机构18用于将底部集气盒16压紧在积尘组件14的底部进行灰尘收集工作，所述H型支撑板12的顶部固定有平移机构19，所述平移机构19用于驱动移动框13移动进行积尘组件14的更换工作，所述气泵17的出气端设置有末端过滤机构20，用于对气泵17排出的气体进行进一步的过滤。

需要说明的是，在使用的时候通过螺栓之间将底座1固定在现有设备上，而在进行产生的加工的时候，当托盘进过两个电机安装板5之间之前，通过设置的光电传感器10能够自动检测到托盘的移动，进而通过控制器能够控制第三电机7运转，从而能够带动毛刷8转动，而当托盘从滚轮2上滚过，经过毛刷8的顶部后，能够通过毛刷8对托盘底部的杂质进行有效地清理工作，从而能够有效地提高产品的良品率，且通过设置的光电传感器10能够在没有产品经过的时候使第三电机7停止运转，只有在有产品经过的时候才会启动第三电机7，达到了节能环保的效果。

参考图4所示，所述积尘组件14包括收集筒141、过滤网142和卡止檐143，所述移动框13的两侧对称套接有收集筒141，所述收集筒141内壁的下端固定有过滤网142，所述收集筒141上端的外壁固定有卡止檐143，所述卡止檐143与移动框13相配合，且连接管11的底部贯穿H型支撑板12与下方的一个收集筒141的内壁相连通，用于收集毛刷8刷下的杂质，当气泵17工作时能够抽动毛刷8处的空气，毛刷8处的空气携带着刷下的杂质进入到收集筒141内，而杂质被过滤网142拦截在收集筒141内，空气则通过过滤网142到达底部集气盒16内。

参考图5、图6和图7所示，所述升降压紧机构18包括第一固定块181、转杆182、驱动斜盘183、被动轮184、蜗轮185、第二固定块186、蜗杆187和第一电机188，所述底座1下端靠近移动支架15的一侧固定有第一固定块181，所述第一固定块181的中部通过轴承转动连接有转杆182，所述转杆182的底部通过轴承与底座1转动连接，所述转杆182的中部固定有驱动斜盘183，所述移动支架15靠近驱动斜盘183的一侧通过轴销对称转动连接有被动轮184，两个所述被动轮184均与驱动斜盘183的外壁滚动连接，所述转杆182的顶部固定有蜗轮185，所述底座1的下端靠近蜗轮185的一侧位于蜗轮185的上方对称固定有第二固定块186，两个所述第二固定块186之间通过轴承转动连接有蜗杆187，所述蜗杆187与蜗轮185啮合连接，所述底座1的下端靠近蜗杆187的一侧固定有第一电机188，所述蜗杆187靠近第一电机188的一端与第一电机188的输出端固定。

需要说明的是，通过设置的升降压紧机构18能够便于将积尘组件14压紧在H型支撑板12的底部，在一个积尘组件14内累积满杂质后，通过平移机构19两个积尘组件14进行移动，当空的积尘组件14到达H型支撑板12的底部后，驱动升降压紧机构18能够将空的积尘组件14压紧在H型支撑板12的底部，从而能够继续进行杂质的收集工作。

参考图8所示，所述平移机构19包括齿条191、连接块192、转轴193、齿轮194和第二电机195，所述移动框13的一侧固定有齿条191，所述H型支撑板12上表面靠近齿条191一侧的中部固定有连接块192，所述连接块192的中部通过轴承转动连接有转轴193，所述转轴193靠近齿条191的一端固定有齿轮194，所述齿轮194与齿条191啮合连接，所述H型支撑板12上表面的中部固定有第二电机195，所述转轴193靠近第二电机195的一端与第二电机195的输出端固定。

需要说明的是，本发明通过设置的积尘组件14配合气泵17和底部集气盒16能够便于对毛刷8扫动下来的杂质进行收集工作，而同时由于积尘组件14设置有两组，且通过将移动框13滑动连接在H型支撑板12的底部，并通过升降压紧机构18和平移机构19的配合能够自动移动两个积尘组件14的位置，从而能够在一个积尘组件14内累积较多的杂质后自动更换下一个积尘组件14，从而极大的降低了清理积尘组件14内杂质时设备停机的时间，从而能够有效地提高产品的生产效率。

参考图10和图11所示，所述末端过滤机构20包括外螺纹201、内螺纹套筒202、支撑筒203、第一过滤芯204和第三橡胶垫圈205，所述气泵17的出气端贯穿移动支架15延伸至移动支架15的底部，所述气泵17的出气端的外部开设有外螺纹201，所述气泵17的出气端的下端通外螺纹201螺纹连接有内螺纹套筒202，所述内螺纹套筒202的内壁套接有支撑筒203，所述支撑筒203的内壁固定有第一过滤芯204，所述支撑筒203的顶部固定有第三橡胶垫圈205，所述第三橡胶垫圈205的顶部与气泵17的出气端挤压接触，能够对从气泵17内排出的气体做最后一次过滤工作，从而能够有效地降低排出的空气中的灰尘杂质的含量。

参考图4和图9所示，所述卡止檐143的顶部固定有第一橡胶垫圈21，所述第一橡胶垫圈21与H型支撑板12的底部挤压接触，所述底部集气盒16的顶部固定有第二橡胶垫圈22，所述第二橡胶垫圈22的顶部与收集筒141的底部挤压接触，能够提高收集筒141与H型支撑板12连接的密封性，且能够提高底部集气盒16与收集筒141之间连接的密封性。

参考图3所示，所述H型支撑板12的一侧固定有第一气压传感器23，所述底部集气盒16一侧的上端固定有第二气压传感器24，能够便于检测过滤网142两侧的压差，从而使得控制器能够明确控制积尘组件14进行更换工作的时间。

参考图9所示，所述底部集气盒16的内壁套接有第二过滤芯25，能够便于对进入到气泵17内的空气进行再一次的过滤。

参考图5所示，所述底座1的下端靠近转杆182的一侧位于转杆182的外侧固定有稳定套26，所述转杆182与稳定套26的内壁转动连接，能够提高转杆182与底座1连接的稳定性。

参考图3和图8所示，所述H型支撑板12的底部对称固定有第一滑轨27，所述移动框13的顶部对称固定有第一滑条28，所述第一滑条28与第一滑轨27的外壁滑动连接，所述底座1的下端靠近移动支架15的一侧对称固定有第二滑轨29，所述移动支架15靠近第二滑轨29的一侧对称固定有第二滑条30，所述第二滑条30与第二滑轨29的外壁滑动连接，能够保证移动框13和移动支架15均能够稳定的滑动。

工作原理：

参考图1-图13，新增自动滚刷机构后的PVD设备的自动滚刷机构放置于SW制程和LL/CH制程之间，使用时，当托盘在设备的输送下到达滚轮2上时，此时托盘的位置正好在一侧的一个光电传感器10前面，通过光电传感器10感知到托盘的位置，进而将信号传递给控制器，通过控制器控制第三电机7转动，进而通过减速箱6带动毛刷8转动，进而托盘从毛刷8的上方经过，通过毛刷8对托盘的底部进行刷动；

而在刷动的同时通过驱动气泵17工作，从而能够带动毛刷8处的空气携带着刷动下来的杂质通过底部封板4下方的两个连接管11进入到收集筒141内，进而杂质被过滤网142阻隔在收集筒141内，而空气经过过滤网142进入到底部集气盒16内，进而在底部集气盒16内经过第二过滤芯25进行再一次的细小颗粒粉尘的吸附，进而经过气泵17排出，而在气泵17的出气端排出的时候再次通过第一过滤芯204进行过滤，最终排出，能够有效地推盘底部的杂质进行清除，且能够有效地对杂质进行收集，避免杂质被扬起在空气中造成空气污染；

而在第一气压传感器23和第二气压传感器24检测的数值差较大时，即可以知道过滤网142上累积了较多的杂质，进而将信号传递给控制器，通过控制器能够控制第一电机188转动，从而能够带动蜗杆187转动，进而能够带动蜗轮185转动，最终驱动涡轮转动180度，从而带动转杆182转动180度，进而带动驱动斜盘183转动，通过驱动斜盘183和被动轮184的配合能够带动移动支架15沿着第二滑轨29向下滑动，从而能够带动移动支架15滑动至所能到达的最低位置，而此时能够带动底部集气盒16下降，进而由于积尘组件14没有收到底部集气盒16的向上的挤压力，进而在重力的作用下，积尘组件14能够沿着移动框13的内壁向下滑动，直至使得第一橡胶垫圈21与H型支撑板12的底面分离，最终使得卡止檐143的底部与移动框13的上表面接触，进而通过驱动第二电机195转动，从而能够带动转轴193转动，从而能够带动齿轮194转动，进而能够带动齿条191移动，最终能够带动移动框13沿着第一滑轨27滑动，从而使得载满杂质的积尘组件14移动至H型支撑板12底部的侧边，进而使空的积尘组件14移动至H型支撑板12下方正中间的位置，进而继续驱动第一电机188转动，再次带动转杆182转动180度，最终驱动移动支架15沿着第二滑轨29向上滑动，且最终带动移动支架15到达所能到达的最高位置，从而使得底部集气盒16上升，将底部集气盒16压紧在收集筒141的底面，并将收集筒141压紧在H型支撑板12的底部，从而完成积尘组件14的自动更换工作，且控制器能够提醒人们对积尘组件14上的杂质进行清理工作；

本发明能够对PVD设备上的托盘底部的杂质进行自动清理，从而能够有效地提高产品的良品率，且能够对清除下来的杂质进行有效的收集，并能够自动进行杂质收集装置的更换工作，极大的降低了更换积尘组件14对生产效率带来的影响。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，包括底座（1）和滚轮（2），所述底座（1）的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮（2），其特征在于，所述底座（1）上端的一侧固定有连接板（3），所述连接板（3）远离底座（1）的一侧固定有底部封板（4），所述底部封板（4）的顶部等距固定有电机安装板（5），所述底部封板（4）内壁两侧的两个电机安装板（5）的外侧均等距固定有减速箱（6），所述减速箱（6）远离电机安装板（5）的一侧固定有第三电机（7），且第三电机（7）的输出端与减速箱（6）的输入端固定，所述减速箱（6）的输出端固定有毛刷（8），所述毛刷（8）远离减速箱（6）的一端固定有连接套（9），六个所述连接套（9）远离毛刷（8）的一端均通过轴承与位于底部封板（4）中部的电机安装板（5）转动连接，所述底部封板（4）远离底座（1）的一侧以及连接板（3）靠近底座（1）的一侧均固定有光电传感器（10），且两个光电传感器（10）的位置交错设置，所述底部封板（4）呈上大下小的形状设置，所述底部封板（4）的底部对称固定有连接管（11），两个所述连接管（11）的底部固定有H型支撑板（12），所述H型支撑板（12）的底部滑动连接有移动框（13），所述移动框（13）的两侧对称套接有积尘组件（14），所述底座（1）下端靠近移动框（13）的一侧滑动连接有移动支架（15），所述移动支架（15）远离底座（1）的一端固定有底部集气盒（16），且底部集气盒（16）与积尘组件（14）相配合，所述移动支架（15）远离底座（1）的一侧固定有气泵（17），所述气泵（17）的进气端与底部集气盒（16）的内壁相连通，所述底座（1）的下端靠近移动支架（15）的一侧固定有升降压紧机构（18），所述升降压紧机构（18）用于将底部集气盒（16）压紧在积尘组件（14）的底部进行灰尘收集工作，所述H型支撑板（12）的顶部固定有平移机构（19），所述平移机构（19）用于驱动移动框（13）移动进行积尘组件（14）的更换工作，所述气泵（17）的出气端设置有末端过滤机构（20），用于对气泵（17）排出的气体进行进一步的过滤。

2.根据权利要求1所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述积尘组件（14）包括收集筒（141）、过滤网（142）和卡止檐（143），所述移动框（13）的两侧对称套接有收集筒（141），所述收集筒（141）内壁的下端固定有过滤网（142），所述收集筒（141）上端的外壁固定有卡止檐（143），所述卡止檐（143）与移动框（13）相配合，且连接管（11）的底部贯穿H型支撑板（12）与下方的一个收集筒（141）的内壁相连通。

3.根据权利要求2所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述升降压紧机构（18）包括第一固定块（181）、转杆（182）、驱动斜盘（183）、被动轮（184）、蜗轮（185）、第二固定块（186）、蜗杆（187）和第一电机（188），所述底座（1）下端靠近移动支架（15）的一侧固定有第一固定块（181），所述第一固定块（181）的中部通过轴承转动连接有转杆（182），所述转杆（182）的底部通过轴承与底座（1）转动连接，所述转杆（182）的中部固定有驱动斜盘（183），所述移动支架（15）靠近驱动斜盘（183）的一侧通过轴销对称转动连接有被动轮（184），两个所述被动轮（184）均与驱动斜盘（183）的外壁滚动连接，所述转杆（182）的顶部固定有蜗轮（185），所述底座（1）的下端靠近蜗轮（185）的一侧位于蜗轮（185）的上方对称固定有第二固定块（186），两个所述第二固定块（186）之间通过轴承转动连接有蜗杆（187），所述蜗杆（187）与蜗轮（185）啮合连接，所述底座（1）的下端靠近蜗杆（187）的一侧固定有第一电机（188），所述蜗杆（187）靠近第一电机（188）的一端与第一电机（188）的输出端固定。

4.根据权利要求3所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述平移机构（19）包括齿条（191）、连接块（192）、转轴（193）、齿轮（194）和第二电机（195），所述移动框（13）的一侧固定有齿条（191），所述H型支撑板（12）上表面靠近齿条（191）一侧的中部固定有连接块（192），所述连接块（192）的中部通过轴承转动连接有转轴（193），所述转轴（193）靠近齿条（191）的一端固定有齿轮（194），所述齿轮（194）与齿条（191）啮合连接，所述H型支撑板（12）上表面的中部固定有第二电机（195），所述转轴（193）靠近第二电机（195）的一端与第二电机（195）的输出端固定。

5.根据权利要求4所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述末端过滤机构（20）包括外螺纹（201）、内螺纹套筒（202）、支撑筒（203）、第一过滤芯（204）和第三橡胶垫圈（205），所述气泵（17）的出气端贯穿移动支架（15）延伸至移动支架（15）的底部，所述气泵（17）的出气端的外部开设有外螺纹（201），所述气泵（17）的出气端的下端通外螺纹（201）螺纹连接有内螺纹套筒（202），所述内螺纹套筒（202）的内壁套接有支撑筒（203），所述支撑筒（203）的内壁固定有第一过滤芯（204），所述支撑筒（203）的顶部固定有第三橡胶垫圈（205），所述第三橡胶垫圈（205）的顶部与气泵（17）的出气端挤压接触。

6.根据权利要求2所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述卡止檐（143）的顶部固定有第一橡胶垫圈（21），所述第一橡胶垫圈（21）与H型支撑板（12）的底部挤压接触，所述底部集气盒（16）的顶部固定有第二橡胶垫圈（22），所述第二橡胶垫圈（22）的顶部与收集筒（141）的底部挤压接触。

7.根据权利要求1所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述H型支撑板（12）的一侧固定有第一气压传感器（23），所述底部集气盒（16）一侧的上端固定有第二气压传感器（24）。

8.根据权利要求7所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述底部集气盒（16）的内壁套接有第二过滤芯（25）。

9.根据权利要求3所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述底座（1）的下端靠近转杆（182）的一侧位于转杆（182）的外侧固定有稳定套（26），所述转杆（182）与稳定套（26）的内壁转动连接。

10.根据权利要求1所述的用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构，其特征在于，所述H型支撑板（12）的底部对称固定有第一滑轨（27），所述移动框（13）的顶部对称固定有第一滑条（28），所述第一滑条（28）与第一滑轨（27）的外壁滑动连接，所述底座（1）的下端靠近移动支架（15）的一侧对称固定有第二滑轨（29），所述移动支架（15）靠近第二滑轨（29）的一侧对称固定有第二滑条（30），所述第二滑条（30）与第二滑轨（29）的外壁滑动连接。

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