CN113880429A - 一种无碱基板玻璃及其减薄方法 - Google Patents

一种无碱基板玻璃及其减薄方法 Download PDF

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Abstract

一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括58.9％～62.5％的SiO2，14.2％～18.4％的Al2O3，4.3％～13.7％的B2O3，1.4％～1.9％的MgO、4.1％～7.6％的CaO、1.0％～2.1％的SrO、0～8.3％的BaO，和0.1％～0.2％的SnO2。其减薄方法包括以下步骤，将上述无碱基板玻璃浸入氢氟酸、冰醋酸表面活性剂以及余量的水组成的化学侵蚀液中，使无碱基板玻璃减薄至0.4mm～0.5mm，将该无碱基板玻璃取出，超声清洗烘干；然后置于磨抛机的研磨盘上，机械抛光，使所述无碱基板玻璃减薄至0.3mm～0.35mm，得到柔性基板玻璃。该无碱基板玻璃成分合理，制得无碱玻璃的比模量值适中，使玻璃具有较好的柔韧性，其减薄方法操作便捷，通过化学刻蚀减薄以及机械抛光减薄两种方式的结合，对本发明中得到的厚度为0.7mm的无碱基板玻璃进行减薄，得到表面光滑，具备可弯曲性能的柔性基板玻璃。

Description

一种无碱基板玻璃及其减薄方法
技术领域
本发明属于可弯曲基板玻璃制造领域，涉及一种无碱基板玻璃及其制备方法。
背景技术
随着生活水平的提高，人们对电子显示器件的要求朝着轻薄化、智能化、柔性化的方向发展，尤其是近年来热度比较高的电子穿戴设备、可弯曲智能手机以及真实感较强的曲面显示技术，对电子显示基础的超薄玻璃赋予了新的柔韧的性能要求。根据柔性显示产品来看，其显示屏可以分为四种，即具备纸张画质的柔性显示器、具备微弯曲特性的柔性显示器、可折叠显示器以及卷曲式的柔性显示器。后两种柔性显示器对所用玻璃的柔韧性要求非常高，而前两种柔性显示器则要求所用玻璃具备微弯曲性能。
目前市场主流的基板玻璃厚度是0.5～0.7mm，厚度较厚且脆性较大，不适合应用在可弯曲柔性显示器上，但当玻璃的厚度薄到一定程度时，玻璃具有了柔软性，可以弯曲，可以折叠。因此通常需要对比较厚的基板玻璃进行减薄处理，常用的减薄方法分为化学刻蚀减薄以及机械抛光减薄，现有的基板玻璃因其表面硬度较大，采用机械磨抛非常耗时，因此多采用化学刻蚀减薄，即通过喷淋装置喷射化学刻蚀液以减薄玻璃，但这种方法会使玻璃表面蚀刻不均匀导致玻璃表面不光滑，影响产品性能。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种无碱基板玻璃及其减薄方法，该无碱基板玻璃配方合理，硬度适中，易于化学刻蚀减薄以及机械抛光减薄，减薄后得到表面光滑，具有良好柔韧性的可弯曲玻璃。
本发明是通过以下技术方案来实现：
一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括如下组分：58.9％～62.5％的SiO2，14.2％～18.4％的Al2O3，4.3％～13.7％的B2O3，1.4％～1.9％的MgO、4.1％～7.6％的CaO、1.0％～2.1％的SrO、0～8.3％的BaO，以及0.1％～0.2％的SnO2。
优选地，所述MgO、CaO、SrO及BaO的总质量百分数为9.4％～16.4％。
一种无碱基板玻璃的减薄方法，包括以下步骤，
S1：将上述任一项无碱基板玻璃浸入化学侵蚀液中10～30min，使所述无碱基板玻璃减薄至第一厚度，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗，并烘干；所述第一厚度为0.4mm～0.5mm；所述化学侵蚀液包含质量浓度为25％～35％的氢氟酸、10％～15％的冰醋酸、3％～5％的表面活性剂以及余量的水。
S2：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，进行机械抛光20min～60min，使所述无碱基板玻璃减薄至第二厚度，得到柔性基板玻璃；所述第二厚度为0.3mm～0.35mm。
优选地，所述表面活性剂包含十二烷基磺酸钠、十二烷基硫酸钠和十二烷基苯磺酸钠中的至少一种。
优选地，所述磨抛机的研磨盘上设置有若干凹槽，所述凹槽之间相互贯通设置；所述凹槽底部设置有用于连接真空设备的孔洞；磨抛时，待处理的玻璃完全覆盖所述凹槽；所述凹槽的深度为5mm～10mm。
优选地，步骤S1之后还包括重复所述步骤S1至少1次，使所述无碱基板玻璃减薄至第一厚度。
优选地，所述步骤S2之后还包括重复步骤S1和步骤S2至少1次，使所述无碱基板玻璃减薄至第二厚度。
优选地，所述减薄后无碱玻璃的比模量为30～31GPa/(g/cm3)，弹性模量为71～77GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36×10-7℃～37×10-7/℃。
与现有技术相比，本发明具有以下有益的技术效果：
本发明提供一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括58.9％～62.5％的SiO2，14.2％～18.4％的Al2O3，4.3％～13.7％的B2O3，1.4％～1.9％的MgO、4.1％～7.6％的CaO、1.0％～2.1％的SrO、0～8.3％的BaO，以及0.1％～0.2％的SnO2。SiO2是玻璃中的网络形成体，它以硅氧四面体[SiO4]的结构形成不规则的连续网络，构成玻璃骨架。SiO2可以降低玻璃的热膨胀系数，提高玻璃的应变点，防止在使用过程中由于热处理导致的玻璃尺寸变化。但SiO2含量过高时，玻璃的高温粘度将增加，容易使玻璃熔化困难而导致气泡等缺陷影响玻璃基体，因此本发明中SiO2的质量百分含量控制在58.9％～62.5％，使玻璃具有较低的热膨胀系数，及易于成型的温度，不会产生因玻璃液粘度太大导致的气泡等缺陷；Al2O3为中间体氧化物，当玻璃中氧原子不足时，铝的配位状态是铝氧八面体[AlO6]，处于网络间隙；当玻璃中有多余的氧原子时，铝的配位状态为铝氧四面体[AlO4]，进入玻璃结构，起到补网作用，增加玻璃的稳定性，降低热膨胀系数。但Al2O3含量过多时，玻璃容易失透。因此本发明中Al2O3的质量百分含量控制在14.2％～18.4％，即避免了玻璃的析晶温度升高，又兼顾了玻璃的高热稳定性。B2O3在玻璃中既是成型剂又起到助熔的作用，它以硼氧三角体[BO3]和硼氧四面体[BO4]为结构单元，与硅氧四面体[SiO4]共同组成网络结构；B2O3在高温时能降低玻璃的粘度，起到助熔作用。若B2O3含量太少则助熔作用不明显，含量太多则会使玻璃的热稳定性降低，因此本发明中B2O3的质量百分含量控制在4.3％～13.7％，既起到了助熔作用，又不影响玻璃的热稳定性。适当提高B2O3的含量，可使玻璃的硬度适中，易于机械磨抛；碱土金属氧化物MgO、CaO、SrO及BaO属于网络外体氧化物，高温时，金属阳离子能够在玻璃液中自由的移动，可以极化氧原子而使原本的玻璃网络断裂，因而使玻璃粘度减小。在低温时金属阳离子又能够使较小的原子团聚集，从而增大了玻璃液的低温黏度。因此，碱土金属氧化物起到高温降粘，低温助成型的作用。对于碱土金属氧化物而言，随着离子半径的增大，玻璃的密度和热膨胀系数会递增。玻璃中CaO含量过多时，会使玻璃料性变短，不利于成型，且会使玻璃的析晶倾向变大，使用MgO替代部分CaO可以降低玻璃的析晶倾向，并调整料性，使玻璃利于成型。SrO和BaO虽然会增加玻璃的应变点，但其离子半径较大，含量过多则会大幅度的增加玻璃的密度及热膨胀系数，降低玻璃的热稳定性。因此，基于上述理论，本发明中MgO的质量百分含量控制在1.4％～1.9％，CaO的质量百分含量控制在4.1％～7.6％，SrO的质量百分含量控制在1％～2.1％，BaO的质量百分含量控制在0～8.3％；SnO2是替代有毒物氧化砷而作为澄清剂的一种原料，有利于玻璃熔制过程中气泡的排出，但含量过多则容易形成结石，因此本发明中的SnO2的质量百分含量控制在0.1％～0.2％。通过以上成分含量的调整，使制得无碱玻璃的比模量值适中，即，使玻璃具有较好的柔韧性。
进一步，MgO、CaO、SrO及BaO的总质量百分含量为9.4％～16.4％，使玻璃具有更加优异的柔韧性。
本发明还提供一种无碱基板玻璃的减薄方法，该方法操作便捷，通过化学刻蚀减薄以及机械抛光减薄两种方式的结合，对本发明中得到的厚度为0.7mm的无碱基板玻璃进行减薄，得到表面光滑，具备可弯曲性能的柔性基板玻璃。通过化学刻蚀可以使无碱玻璃的厚度达到0.4mm～0.5mm，通过机械抛光的使玻璃的厚度达到0.3mm～0.35mm，有效实现玻璃厚度的降低，使其可弯曲，具有良好柔韧性，满足使用的要求。
进一步的，采用了十二烷基磺酸钠、十二烷基硫酸钠和十二烷基苯磺酸钠阴离子表面活性剂作为添加剂，可在玻璃表面形成亲水阴离子层，提高玻璃的润湿性，增大化学刻蚀剂与玻璃的接触面，提升化学刻蚀的效果。
进一步的，在机械抛光减薄过程中，磨盘上设置有若干凹槽，凹槽之间相互贯通，凹槽的深度为5mm～10mm。磨抛时，基板玻璃完全遮盖凹槽并通过真空吸附在磨盘上，根据玻璃厚度的不同，调节真空压力，防止吸力太大导致的玻璃破碎。
进一步的，化学刻蚀过程可以重复进行，有效利用化学刻蚀，使玻璃的厚度快速地达到所需的第一厚度。
进一步的，可以多次重复化学刻蚀和机械抛光，直至达到所需要的第二厚度，以提升机械抛光的效率。
进一步的，减薄后无碱玻璃的比模量为30～31GPa/(g/cm3)，弹性模量为71～77GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36×10-7℃～37×10-7/℃。具备良好的柔韧性及可操作性性，使其应用范围更加广泛。
附图说明
图1为本发明中磨抛机上的磨盘结构示意图；
图2为本发明中无碱玻璃的制备及其减薄的过程。
图中：凹槽1，孔洞2，待磨抛的玻璃3。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明做进一步的详细说明，所述是对本发明的解释而不是限定。
本发明通过以下方法制备无碱基板玻璃：
(1)按氧化物配比计算所需各原料的重量，并准确称取。
(2)将称取的配合料在混料机中混合均匀，倒入铂金坩埚，并放入高温实验炉内，以10℃/min的速率升至1000℃，保温30min，再以5℃/min的速率升至1350℃，保温1h，再以5℃/min的速率升至1650℃，保温4h后，将玻璃液倒入已预热的模具中，形成形状规则的块状玻璃，并放入已升至720℃的退火炉中，以0.5℃/min的速率降至400℃，再以2℃/min的速率降至室温。
(3)退火后的玻璃块在线切割机上切成0.7mm的薄片，依次使用酒精及纯水对0.7mm的玻璃薄片进行超声波清洗，随后在105℃的烘箱中烘干，制得厚度为0.7mm的无碱基板玻璃。
本发明机械抛光减薄中，将玻璃置于磨抛机的研磨盘上进行磨抛处理，具体过程如下：如图1所示，本发明的磨盘上设置有多个深度为5mm～10mm的凹槽1，凹槽1之间相互贯通，凹槽内还设置有孔洞2，孔洞2用于连接抽真空设备。磨抛时，待磨抛的玻璃3置于凹槽1的上部，并完全遮盖凹槽，启动抽真空设备，根据玻璃的厚度，调节真空压力，防止吸力太大导致的玻璃破碎，使待磨抛的玻璃3通过真空作用吸附在磨盘上。凹槽1包括水平的若干条矩形槽体和垂直的若干条矩形槽体，水平槽体与垂直槽体贯通相交设置。所述凹槽具有相互垂直的两条对称轴。孔洞2设置在两条对称轴的相交点。可以保证玻璃在磨抛过程中各部位受力的均一性，避免玻璃破碎。本实施例中，水平槽体为4条，垂直槽体为1条。
实施例1
一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括如下组分：60.4％的SiO2，17.1％的Al2O3，12.8％的B2O3，1.4％的MgO、6.7％的CaO、1.2％的SrO、0％的BaO，以及0.1％的SnO2。
通过本发明无碱基板玻璃的制备方法制得厚度为0.7mm的无碱基板玻璃。
一种无碱基板玻璃的减薄方法，对本实施例中的无碱基板玻璃通过以下步骤进行减薄，
S1：化学刻蚀减薄：将本实施例中的无碱基板玻璃浸入包含有质量浓度为25％氢氟酸、10％冰醋酸、3％十二烷基磺酸钠的化学刻蚀液中侵蚀30min，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗烘后，使用螺旋测微仪测量厚度，直到玻璃片厚度达到0.5mm。
S2：机械抛光减薄：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，机械抛光60min后使用螺旋测微仪测试玻璃片厚度，直至玻璃片厚度达到0.35mm，得到柔性基板玻璃。
上述经减薄后无碱玻璃的比模量为31.1GPa/(g/cm3)，弹性模量为74GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36.8×10-7℃，密度为2.38g/cm3。其原料用量及产品性能见表1。
实施例2
一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括如下组分：61.2％的SiO2，18.4％的Al2O3，10.3％的B2O3，1.4％的MgO、7.5％的CaO、1.0％的SrO、0％的BaO，以及0.2％的SnO2。
通过本发明无碱基板玻璃的制备方法制得厚度为0.7mm的无碱基板玻璃。
一种无碱基板玻璃的减薄方法，对本实施例中的无碱基板玻璃通过以下步骤进行减薄，
S1：化学刻蚀减薄：将本实施例中的无碱基板玻璃浸入包含有质量浓度为27％氢氟酸、11.5％冰醋酸、3.2％十二烷基硫酸钠的化学刻蚀液中侵蚀28.5min，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗烘后，重复S1步骤1次，使用螺旋测微仪测量厚度，直到玻璃片厚度达到0.45mm。
S2：机械抛光减薄：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，机械抛光50min后使用螺旋测微仪测试玻璃片厚度，直至玻璃片厚度达到0.35mm，得到柔性基板玻璃。
上述经减薄后无碱玻璃的比模量为30.8GPa/(g/cm3)，弹性模量为73GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36.5×10-7℃，密度为2.37g/cm3。其原料用量及产品性能见表1。
实施例3
一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括如下组分：60.8％的SiO2，18.3％的Al2O3，4.3％的B2O3，1.9％的MgO、4.1％的CaO、2.1％的SrO、8.3％的BaO，以及0.2％的SnO2。
通过本发明无碱基板玻璃的制备方法制得厚度为0.7mm的无碱基板玻璃。
一种无碱基板玻璃的减薄方法，对本实施例中的无碱基板玻璃通过以下步骤进行减薄，
S1：化学刻蚀减薄：将本实施例中的无碱基板玻璃浸入包含有质量浓度为26.8％氢氟酸、12％冰醋酸、3.8％十二烷基苯磺酸钠的化学刻蚀液中侵蚀27min，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗烘后，使用螺旋测微仪测量厚度，直到玻璃片厚度达到0.44mm。
S2：机械抛光减薄：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，机械抛光45min后，重复步骤S1和步骤S2一次，并使用螺旋测微仪测试玻璃片厚度，直至玻璃片厚度达到0.35mm，得到柔性基板玻璃。
上述经减薄后无碱玻璃的比模量为30.2GPa/(g/cm3)，弹性模量为76.7GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36.3×10-7℃，密度为2.54g/cm3。其原料用量及产品性能见表1。
实施例4
一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括如下组分：59.2％的SiO2，17.1％的Al2O3，13.2％的B2O3，1.5％的MgO、7.5％的CaO、1.0％的SrO、0.4％的BaO，以及0.1％的SnO2。
通过本发明无碱基板玻璃的制备方法制得厚度为0.7mm的无碱基板玻璃。
一种无碱基板玻璃的减薄方法，对本实施例中的无碱基板玻璃通过以下步骤进行减薄，
S1：化学刻蚀减薄：将本实施例中的无碱基板玻璃浸入包含有质量浓度为28.2％氢氟酸、12.5％冰醋酸、4.4％十二烷基磺酸钠和十二烷基硫酸钠的化学刻蚀液中侵蚀25min，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗烘后，使用螺旋测微仪测量厚度，直到玻璃片厚度达到0.45mm。
S2：机械抛光减薄：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，机械抛光40min后，重复步骤S1和步骤S2一次，并使用螺旋测微仪测试玻璃片厚度，直至玻璃片厚度达到0.33mm，得到柔性基板玻璃。
上述经减薄后无碱玻璃的比模量为30GPa/(g/cm3)，弹性模量为71.1GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36.4×10-7℃，密度为2.39g/cm3。其原料用量及产品性能见表1。
实施例5
一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括如下组分：58.9％的SiO2，17.1％的Al2O3，13.7％的B2O3，1.4％的MgO、7.5％的CaO、1.1％的SrO、0.2％的BaO，以及0.1％的SnO2。
通过本发明无碱基板玻璃的制备方法制得厚度为0.7mm的无碱基板玻璃。
一种无碱基板玻璃的减薄方法，对本实施例中的无碱基板玻璃通过以下步骤进行减薄，
S1：化学刻蚀减薄：将本实施例中的无碱基板玻璃浸入包含有质量浓度为33.5％氢氟酸、13.6％冰醋酸、4.8％十二烷基硫酸钠和十二烷基苯磺酸钠的化学刻蚀液中侵蚀20min，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗烘后，重复S1步骤1次，使用螺旋测微仪测量厚度，直到玻璃片厚度达到0.42mm。
S2：机械抛光减薄：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，机械抛光40min后使用螺旋测微仪测试玻璃片厚度，直至玻璃片厚度达到0.34mm，得到柔性基板玻璃。
上述经减薄后无碱玻璃的比模量为30.1GPa/(g/cm3)，弹性模量为71.9GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为37.1×10-7℃，密度为2.39g/cm3。其原料用量及产品性能见表1。
实施例6
一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括如下组分：60.7％的SiO2，17.1％的Al2O3，12.7％的B2O3，1.4％的MgO、6.7％的CaO、1.1％的SrO、0.2％的BaO，以及0.1％的SnO2。
通过本发明无碱基板玻璃的制备方法制得厚度为0.7mm的无碱基板玻璃。
一种无碱基板玻璃的减薄方法，对本实施例中的无碱基板玻璃通过以下步骤进行减薄，
S1：化学刻蚀减薄：将本实施例中的无碱基板玻璃浸入包含有质量浓度为34％氢氟酸、14％冰醋酸、4.8％十二烷基磺酸钠和十二烷基苯磺酸钠的化学刻蚀液中侵蚀15min，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗烘后，使用螺旋测微仪测量厚度，直到玻璃片厚度达到0.42mm。
S2：机械抛光减薄：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，机械抛光40min后使用螺旋测微仪测试玻璃片厚度，直至玻璃片厚度达到0.3mm，得到柔性基板玻璃。
上述经减薄后无碱玻璃的比模量为30.5GPa/(g/cm3)，弹性模量为72.5GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36.7×10-7℃，密度为2.38g/cm3。其原料用量及产品性能见表1。
实施例7
一种无碱基板玻璃，以质量百分数计，包括如下组分：62.5％的SiO2，14.2％的Al2O3，12.8％的B2O3，1.4％的MgO、7.6％的CaO、1.2％的SrO、0.2％的BaO，以及0.1％的SnO2。
通过本发明无碱基板玻璃的制备方法制得厚度为0.7mm的无碱基板玻璃。
一种无碱基板玻璃的减薄方法，对本实施例中的无碱基板玻璃通过以下步骤进行减薄，
S1：化学刻蚀减薄：将本实施例中的无碱基板玻璃浸入包含有质量浓度为35％氢氟酸、15％冰醋酸、5％十二烷基磺酸钠的化学刻蚀液中侵蚀10min，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗烘后，使用螺旋测微仪测量厚度，直到玻璃片厚度达到0.4mm。
S2：机械抛光减薄：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，机械抛光20min后，重复步骤S1和步骤S2一次，并使用螺旋测微仪测试玻璃片厚度，直至玻璃片厚度达到0.3mm，得到柔性基板玻璃。
上述经减薄后无碱玻璃的比模量为30.8GPa/(g/cm3)，弹性模量为73.2GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36.9×10-7℃，密度为2.38g/cm3。其原料用量及产品性能见表1。
本发明提供了一种适合化学刻蚀减薄的无碱基板玻璃及其减薄方法，并采用简单的设备对基板玻璃进行化学刻蚀减薄及机械抛光减薄，得到透明且表面光滑的可弯曲基板玻璃，适合应用于具有微弯曲特性的柔性显示器。，如图2所示，具体为：
(1)按配比称取各原料，各原料所占的质量百分比包括：58.9％～62.5％的SiO2、14.2％～18.4％的Al2O3、4.3％～13.7％的B2O3、1.4％～1.9％的MgO、4.1％～7.6％的CaO、1.0％～2.1％的SrO、0～8.3％的BaO，以及0.1％～0.2％的SnO2。
(2)将称取的配合料混合均匀，在铂金坩埚内进行加热熔融保温后，倒入已预热的模具中，形成形状规则的块状玻璃，并在退火炉中缓慢冷却进行精退火。
(3)退火后的玻璃块在线切割机上切成薄片，依次使用酒精及纯水对玻璃薄片进行超声波清洗，随后在烘箱中烘干。
(4)将烘干后的玻璃薄片在侵蚀液中进行化学刻蚀减薄，每隔30min将玻璃片取出清洗烘干后，使用螺旋测微仪测量厚度，直到玻璃片厚度达到一定目标值。
(5)随后将刻蚀减薄后的干净玻璃片置于磨抛机上进行研磨抛光减薄，每隔1h使用螺旋测微仪测试玻璃片厚度，直至玻璃片厚度达到目标值。
表1本发明的提供的实施例1～7，分别是玻璃组分及制备出的玻璃板参数性能。
Figure BDA0003285679080000121

Claims (8)

1.一种无碱基板玻璃，其特征在于，以质量百分数计，包括如下组分：58.9％～62.5％的SiO2，14.2％～18.4％的Al2O3，4.3％～13.7％的B2O3，1.4％～1.9％的MgO、4.1％～7.6％的CaO、1.0％～2.1％的SrO、0～8.3％的BaO，以及0.1％～0.2％的SnO2。
2.根据权利要求1所述的一种无碱基板玻璃，其特征在于，所述MgO、CaO、SrO及BaO的总质量百分数为9.4％～16.4％。
3.一种无碱基板玻璃的减薄方法，其特征在于，包括以下步骤，
S1：将权利要求1-2中所述任一项无碱基板玻璃浸入化学侵蚀液中10～30min，使所述无碱基板玻璃减薄至第一厚度，将该无碱基板玻璃取出，利用酒精和纯水进行超声清洗，并烘干；所述第一厚度为0.4mm～0.5mm；所述化学侵蚀液包含质量浓度为25％～35％的氢氟酸、10％～15％的冰醋酸、3％～5％的表面活性剂以及余量的水；
S2：将S1中化学刻蚀减薄后的玻璃片置于磨抛机的研磨盘上，进行机械抛光20min～60min，使所述无碱基板玻璃减薄至第二厚度，得到柔性基板玻璃；所述第二厚度为0.3mm～0.35mm。
4.根据权利要求3所述的一种无碱基板玻璃的减薄方法，其特征在于，所述表面活性剂包含十二烷基磺酸钠、十二烷基硫酸钠和十二烷基苯磺酸钠中的至少一种。
5.根据权利要求3所述的一种无碱基板玻璃的减薄方法，其特征在于，所述磨抛机的研磨盘上设置有若干凹槽，所述凹槽之间相互贯通设置；所述凹槽底部设置有用于连接真空设备的孔洞；磨抛时，待处理的玻璃完全覆盖所述凹槽；所述凹槽的深度为5mm～10mm。
6.根据权利要求3所述的一种无碱基板玻璃的减薄方法，其特征在于，步骤S1之后还包括重复所述步骤S1至少1次，使所述无碱基板玻璃减薄至第一厚度。
7.根据权利要求3所述的一种无碱基板玻璃的减薄方法，其特征在于，所述步骤S2之后还包括重复步骤S1和步骤S2至少1次，使所述无碱基板玻璃减薄至第二厚度。
8.根据权利要求3所述的一种无碱基板玻璃的减薄方法，其特征在于，所述减薄后无碱玻璃的比模量为30～31GPa/(g/cm3)，弹性模量为71～77GPa，30～380℃范围内的热膨胀系数为36×10-7℃～37×10-7/℃。
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