CN113824376A - 一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法 - Google Patents

Abstract

一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，涉及一种永磁同步伺服电机齿槽转矩的补偿技术，为了解决现有的齿槽转矩补偿方法中，精确建模运算负担重以及离散查表准确度低的问题。本发明通过对永磁同步伺服电机齿槽转矩的数据进行采集，得到精确齿槽转矩数据，并建立齿槽转矩精确查找表；基于齿槽转矩精确查找表，对永磁同步伺服电机的齿槽转矩进行前馈控制，实现对永磁同步伺服电机的齿槽转矩的补偿。有益效果为既无需精确的永磁同步伺服电机数学模型，进行大量齿槽转矩数据计算，又能避免现有的查找表方法获取齿槽转矩数据的精度较差问题。

Description

一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法

技术领域

本发明涉及一种永磁同步伺服电机齿槽转矩的补偿技术。

背景技术

永磁同步伺服电机具有体积小、结构简单、功率密度大、可靠性高的优点，广泛用于航空航天、工农业生产以及日常生活各个领域；在工业自动化设备，医疗微操作机器人，航天飞行器等行业都需要实现对永磁同步伺服电机的高精度控制。

转矩脉动是影响永磁同步伺服电机高精度控制的主要因素之一，其不仅会带来机械振动和电磁噪音，还会对控制器的性能造成影响，进而降低高精度设备的控制精度及稳定性，极大地限制了永磁同步伺服电机在高精度控制领域的应用；因此，转矩脉动作为衡量伺服电机控制性能的一个重要指标，必须得到有效处理。

齿槽转矩脉动是转矩脉动的主要组成部分，其是在永磁体与电枢槽相互作用的过程中产生的，属于永磁同步伺服电机的本体特性；调整永磁同步伺服电机的结构，例如采用定子斜槽、极槽配合、不等齿宽等方法，可以减小齿槽转矩的影响；这种结构优化的方法不能完全消除齿槽转矩；因此，在伺服电机结构确定的情况下，永磁同步伺服电机的控制算法仍需要进一步被优化，从而减小齿槽转矩脉动的影响，提高永磁同步伺服电机的控制性能。

现有的齿槽转矩补偿方法有两种；一种基于数学模型的方法，其需精确的永磁同步伺服电机数学模型，进行大量齿槽转矩数据计算，运算负担重；另一种基于离散查找表的方法，其查找表数据准确度较低，存在工程可靠性不高的问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有的齿槽转矩补偿方法中，精确建模运算负担重以及离散查表准确度低的问题，提出了一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法。

本发明所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，该补偿方法包括以下步骤：

步骤一、对永磁同步伺服电机齿槽转矩的数据进行采集，得到精确齿槽转矩数据，并建立齿槽转矩精确查找表；

步骤二、基于步骤一建立的齿槽转矩精确查找表，对永磁同步伺服电机的齿槽转矩进行前馈控制，实现对永磁同步伺服电机的齿槽转矩的补偿。

进一步的，步骤一中建立齿槽转矩精确查找表的具体步骤为：

步骤一一、永磁同步伺服电机位置定标；

步骤一二、永磁同步伺服电机运行在速度电流双闭环模式下，输入永磁同步伺服电机转速的第一给定值，对齿槽转矩进行第一次数据采集，建立齿槽转矩第一查找表；

步骤一三、基于步骤一二建立的得到的齿槽转矩第一查找表对永磁同步伺服电机运行的速度进行电流环补偿，并输入永磁同步伺服电机转速的第二给定值，对齿槽转矩进行第二次数据采集，建立齿槽转矩第二查找表；

步骤一四、基于步骤一三建立的得到的齿槽转矩第二查找表对永磁同步伺服电机运行的速度再次进行电流环补偿，并输入永磁同步伺服电机转速的第三给定值，对齿槽转矩进行第三次数据采集，得到精确的齿槽转矩数据；

步骤一五、保存步骤一四中得到的精确的齿槽转矩数据，建立齿槽转矩精确查找表。

进一步的，步骤一一中永磁同步伺服电机位置定标的具体方法为：

在永磁同步伺服电机上设置位置传感器；所述位置传感器为增量式光电编码器；其中，增量式光电编码器的本体设置在永磁同步伺服电机的定子上，增量式光电编码器的码盘设置在永磁同步伺服电机的转子上；

当增量式光电编码器的码盘到达位置参考点时，记录下增量式光电编码器计数值a，并确定该位置为系统的初始零点，得到位置定标公式(1)为：

其中p'_k是定标后的位置，p_k是定标前的增量式光电编码器计数值，a是初次到达位置参考点时的增量式光电编码器计数值，T_tick是增量式光电编码器的最大计数值。

进一步的，步骤一二中建立齿槽转矩第一查找表的具体过程为：

对永磁同步伺服电机速度电流双闭环控制系统输入永磁同步伺服电机转速的第一给定值，在永磁同步伺服电机旋转一周的位置中，取多个采样点，记录每个采样点的q轴电流环对应给定值的交流分量，获得齿槽转矩第一查找表。

进一步的，所述永磁同步伺服电机转速的第二给定值小于永磁同步伺服电机转速的第一给定值。

进一步的，步骤一三中建立齿槽转矩第二查找表的具体步骤为：

步骤一三一、使永磁同步伺服电机处于空载状态，即负载转矩T_l＝0；

步骤一三二：设置转速第二给定值为40rpm，并调整永磁同步伺服电机进入速度电流双闭环控制模式，等待永磁同步伺服电机控制系统进入稳态；

步骤一三三：获取永磁同步伺服电机转动的实时位置，并将实时位置角度数据统一转化到0～360度；

步骤一三四：使用实时位置与查找表索引转换公式(8)，计算实时位置对应的索引值；所述查找表索引转换公式为：

其中，N是查找表的大小，i是该位置对应的索引值，[]是取整符号；

步骤一三五：记录永磁同步伺服电机控制系统中速度环输出值；

步骤一三六：重复步骤一三三至步骤一三五，记录齿槽转矩第一查找表每个索引位置对应的速度环输出值，完成建立齿槽转矩第二查找表。

进一步的，所述永磁同步伺服电机转速的第三给定值小于永磁同步伺服电机转速的第二给定值。

进一步的，步骤一五中建立齿槽转矩精确查找表的具体方法为：

步骤一五一、使伺服电机处于空载状态，即负载转矩T_l＝0；

步骤一五二：获取永磁同步伺服电机转动的实时位置，并将位置角度数据统一转化到0～360度；

步骤一五三：使用步骤一五二获取的实时位置与查找表索引转换公式(8)，计算实时位置索引值；

步骤一五四：使用步骤一三建立的齿槽转矩第二查找表，获取实时位置索引值对应的齿槽转矩值，并将该齿槽转矩值加入电流环；

步骤一五五：设置速度第三给定值为20rpm，并进入速度电流双闭环控制模式，等待控制系统进入稳态；

步骤一五六：记录q轴电流环的电流给定值，用其表征精确齿槽转矩数据；

步骤一五七：重复步骤一五二至步骤一五六，更新齿槽转矩第二查找表每个索引位置对应的q轴电流环的电流给定值，得到齿槽转矩精确查找表。

进一步的，步骤二中对永磁同步伺服电机的齿槽转矩进行前馈控制的具体步骤为：

步骤二一、获取永磁同步伺服电机转动的实时位置；

步骤二二、根据步骤二一得到永磁同步伺服电机转子转动的实时位置，获得实时位置在齿槽转矩精确查找表中的位置索引；

步骤二三、根据步骤二二中获得的位置索引，获取实时位置的索引对应的齿槽转矩精确查找表值；

步骤二四、将步骤二三获取的齿槽转矩精确查找表值与速度环输出值作和，得到电流环的给定值；

步骤二五、将步骤二四得到的电流环的给定值，输入至永磁同步伺服电机闭环控制系统，实现前馈控制。

进一步的，步骤二五中的永磁同步伺服电机闭环控制系统为：位置速度电流三闭环控制或速度电流双闭环控制系统。

本发明的有益效果是：通过变速度及分阶段的闭环控制方法，得到精确的齿槽转矩数据，并将数据通过前馈控制方式补偿进入闭环系统；在高低速控制情况下，该方法都具有较好的控制性能，稳态条件下输出脉动大幅减小；从控制方法上看，与现有的补偿方法相比，本发明既无需精确的永磁同步伺服电机数学模型，进行大量齿槽转矩数据计算，又能避免现有的查找表方法获取齿槽转矩数据的精度较差问题，达到了提高齿槽转矩补偿的精确且降低计算负担的目的；从控制效果来看，本发明补偿速度快，效果好，在工程上易于实现且可靠性高。

附图说明

图1为具体实施方式一中建立齿槽转矩精确查找表的流程图；

图2为具体实施方式一中对永磁同步伺服电机的齿槽转矩进行前馈控制的流程图；

图3为具体实施方式一中齿槽转矩数据示意图；

图4为具体实施方式一中在位置速度电流三闭环下的位置控制下补偿前后对比效果图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1至图4说明本实施方式，本实施方式所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，该补偿方法包括以下步骤：

步骤一、对永磁同步伺服电机齿槽转矩的数据进行采集，得到精确齿槽转矩数据，并建立齿槽转矩精确查找表；

步骤二、基于步骤一建立的齿槽转矩精确查找表，对永磁同步伺服电机的齿槽转矩进行前馈控制，实现对永磁同步伺服电机的齿槽转矩的补偿。

在本实施方式中，步骤一中建立齿槽转矩精确查找表的具体步骤为：

步骤一一、永磁同步伺服电机位置定标；用于获取永磁同步伺服电机的初始位置，并确定初始零点；

步骤一二、永磁同步伺服电机运行在速度电流双闭环模式下，输入永磁同步伺服电机转速的第一给定值，对齿槽转矩进行第一次数据采集，建立齿槽转矩第一查找表；

步骤一三、基于步骤一二建立的得到的齿槽转矩第一查找表对永磁同步伺服电机运行的速度进行电流环补偿，并输入永磁同步伺服电机转速的第二给定值，对齿槽转矩进行第二次数据采集，建立齿槽转矩第二查找表；

步骤一四、基于步骤一三建立的得到的齿槽转矩第二查找表对永磁同步伺服电机运行的速度再次进行电流环补偿，并输入永磁同步伺服电机转速的第三给定值，对齿槽转矩进行第三次数据采集，得到精确的齿槽转矩数据；

步骤一五、保存步骤一四中得到的精确的齿槽转矩数据，建立齿槽转矩精确查找表。

在本实施方式中，步骤一一中永磁同步伺服电机位置定标的具体方法为：

在永磁同步伺服电机上设置位置传感器；所述位置传感器为增量式光电编码器；其中，增量式光电编码器的本体设置在永磁同步伺服电机的定子上，增量式光电编码器的码盘设置在永磁同步伺服电机的转子上；

当增量式光电编码器的码盘到达位置参考点时，记录下增量式光电编码器计数值a，并确定该位置为系统的初始零点，得到位置定标公式(1)为：

其中p'_k是定标后的位置(单位为度)，p_k是定标前的增量式光电编码器计数值，a是初次到达位置参考点时的增量式光电编码器计数值，T_tick是增量式光电编码器的最大计数值。

在本实施方式中，步骤一二中建立齿槽转矩第一查找表的具体过程为：

对永磁同步伺服电机速度电流双闭环控制系统输入永磁同步伺服电机转速的第一给定值，在永磁同步伺服电机旋转一周的位置中，取多个采样点，记录每个采样点的q轴电流环对应给定值的交流分量，获得齿槽转矩第一查找表。

由于伺服电机运行在速度电流双闭环模式下；由永磁同步伺服电机的机械运动方程(2)可知，永磁同步伺服电机的齿槽转矩通过电磁转矩和永磁同步伺服电机转速间接得到；因此，齿槽数据采集的精度主要取决于电磁转矩和伺服电机转速的准确度；

所述永磁同步伺服电机的机械运动方程为：

其中，J为转动惯量，B为阻尼系数，ω为永磁同步伺服电机的机械角速度，T_f是摩擦转矩，T_L是负载转矩，T_cog是齿槽转矩，T_e是电磁转矩；

高速条件下，齿槽转矩对伺服电机转速性能的影响较小，即伺服电机转速波动小；因此，在第一次数据采集时，使用较高的速度给定值，在第一次数据采集时，输入永磁同步伺服电机转速的第一给定值，并认为永磁同步伺服电机处在速度稳态时，满足公式(3)，其m是一个较小的值，认为在0附近，在第一次采集时忽略其影响；

所述公式(3)为：

此时，永磁同步伺服电机的机械运动方程(2)分为两个部分组成：直流分量T_dc和交流分量T_ac，公式分别如(4)和(5)所示；

T_dc＝Bω+T_f+T_L (4)

由公式(4)可知，速度设定值、摩擦转矩和恒定负载转矩统一成一个直流分量处理；

T_ac＝T_cog (5)

由公式(5)可知，交流分量即是待采集的齿槽转矩数据；此外，由系统转矩方程可知，电磁转矩与两相坐标系中的q轴电流成正比；

所述系统转矩方程为：

其中，i_q为q轴电流，p为永磁同步伺服电机极对数，ψ_f为永磁同步伺服电机转子磁链；

因此，通过采集q轴电流环给定值，并去除其直流分量，得到交流分量，即可表征齿槽转矩信息；在永磁同步伺服电机旋转一周的位置中，取多个采样点，记录q轴电流环给定值的交流分量，即得到齿槽转矩第一查找表。

在本实施方式中，所述永磁同步伺服电机转速的第二给定值小于永磁同步伺服电机转速的第一给定值。

在本实施方式中，所述步骤一三是对步骤一二数据采集步骤的进一步优化，具体包含如下部分：

通过齿槽转矩第一查找表，将永磁同步伺服电机实时位置对应的q轴电流补偿值与速度环的输出值相加，作为电流环的给定值，并保证永磁同步伺服电机运行在速度电流双闭环模式下；

由于步骤一二的齿槽转矩第一查找表精确度不高，因此仍需要考虑齿槽转矩对伺服电机转速性能的影响，同时考虑电流环补偿作用，所以选取中速作为速度环给定值；

所述步骤一三中输入的永磁同步伺服电机转速的第二给定值满足公式(7)；

所述公式(7)为：

通过采集q轴电流环给定值，并去除其直流分量，得到交流分量来表征齿槽转矩信息；在永磁同步伺服电机旋转一周的位置中，取足够多个采样点，记录q轴电流环给定值的交流分量，存入齿槽转矩第一查找表，得到转速波动影响更小的采集结果，即得到齿槽转矩第二查找表，因此齿槽转矩第二查找表相比于齿槽转矩第一查找表更精确。

在本实施方式中，步骤一三中建立齿槽转矩第二查找表的具体步骤为：

步骤一三一、使永磁同步伺服电机处于空载状态，即负载转矩T_l＝0；

步骤一三二：设置转速第二给定值为40rpm，避免齿槽转矩对永磁同步伺服电机低速性能的影响，并调整永磁同步伺服电机进入速度电流双闭环控制模式，等待永磁同步伺服电机控制系统进入稳态；判断稳态条件是稳态速度的测量值与给定值之间的偏差值在标幺系统下小于0.0001；

步骤一三三：获取永磁同步伺服电机转动的实时位置，并将实时位置角度数据统一转化到0～360度；例如：角度值380度可转化为20度，因为其在物理位置上相同；

步骤一三四：使用实时位置与查找表索引转换公式(8)，计算实时位置对应的索引值；所述查找表索引转换公式为：

其中，N是查找表的大小，i是该位置对应的索引值，[]是取整符号；

步骤一三五：记录永磁同步伺服电机控制系统中速度环输出值，即q轴电流环的电流给定值来表征齿槽转矩值；

步骤一三六：重复步骤一三三至步骤一三五，记录齿槽转矩第一查找表每个索引位置对应的速度环输出值，完成建立齿槽转矩第二查找表。

在本实施方式中，所述步骤一四是对步骤一三数据采集的进一步优化，包含如下部分：

通过齿槽转矩第二查找表，将永磁同步伺服电机实时位置对应的q轴电流补偿值与速度环的输出值相加，作为电流环的给定值，并保证永磁同步伺服电机运行在速度电流双闭环模式下；

上述步骤一三认为速度波动很小，但其实仍有波动，在中高速条件下，要考虑公式(9)对交流分量，即齿槽转矩数据精确度的影响；

所述公式(9)为：

B·Δω≠0 (9)

其中，Δω为速度波动，看成交流分量；

由于步骤一四得到的齿槽转矩数据更为准确，所以该阶段补偿结果更为精确，高低速性能相似，此时可通过降低速度给定值，因此，设置低速给定值，兼顾采样速度和采样精度两个因素，以5-15rpm为最佳范围；再次按照前述步骤的方法，更新齿槽转矩数据第二查找表。

在本实施方式中，步骤一五中建立齿槽转矩精确查找表的具体方法为：

步骤一五一、使伺服电机处于空载状态，即负载转矩T_l＝0；

步骤一五二：获取永磁同步伺服电机转动的实时位置，并将位置角度数据统一转化到0～360度；例如：角度值380度可转化为20度，因为其在物理位置上相同；

步骤一五三：使用步骤一五二获取的实时位置与查找表索引转换公式(8)，计算实时位置索引值；

步骤一五四：使用步骤一三建立的齿槽转矩第二查找表，获取实时位置索引值对应的齿槽转矩值，并将该齿槽转矩值加入电流环；

步骤一五五：设置速度第三给定值为20rpm，以便提高单位时间内的伺服电机齿槽转矩数据被采集的次数，并进入速度电流双闭环控制模式，等待控制系统进入稳态；

步骤一五六：记录q轴电流环的电流给定值，用其表征精确齿槽转矩数据；

步骤一五七：重复步骤一五二至步骤一五六，更新齿槽转矩第二查找表每个索引位置对应的q轴电流环的电流给定值，得到齿槽转矩精确查找表。

在本实施方式中，步骤二中对永磁同步伺服电机的齿槽转矩进行前馈控制的具体步骤为：

步骤二一、获取永磁同步伺服电机转动的实时位置；

步骤二二、根据步骤二一得到永磁同步伺服电机转子转动的实时位置，获得实时位置在齿槽转矩精确查找表中的位置索引；

步骤二三、根据步骤二二中获得的位置索引，获取实时位置的索引对应的齿槽转矩精确查找表值；

步骤二四、将步骤二三获取的齿槽转矩精确查找表值与速度环输出值作和，得到电流环的给定值；

步骤二五、将步骤二四得到的电流环的给定值，输入至永磁同步伺服电机闭环控制系统，实现前馈控制。

在本实施方式中，步骤二五中的永磁同步伺服电机闭环控制系统为：位置速度电流三闭环控制或速度电流双闭环控制系统。

Claims (10)

1.一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，该补偿方法包括以下步骤：

步骤一、对永磁同步伺服电机齿槽转矩的数据进行采集，得到精确齿槽转矩数据，并建立齿槽转矩精确查找表；

步骤二、基于步骤一建立的齿槽转矩精确查找表，对永磁同步伺服电机的齿槽转矩进行前馈控制，实现对永磁同步伺服电机的齿槽转矩的补偿。

2.根据权利要求1所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，步骤一中建立齿槽转矩精确查找表的具体步骤为：

步骤一一、永磁同步伺服电机位置定标；

步骤一二、永磁同步伺服电机运行在速度电流双闭环模式下，输入永磁同步伺服电机转速的第一给定值，对齿槽转矩进行第一次数据采集，建立齿槽转矩第一查找表；

步骤一三、基于步骤一二建立的得到的齿槽转矩第一查找表对永磁同步伺服电机运行的速度进行电流环补偿，并输入永磁同步伺服电机转速的第二给定值，对齿槽转矩进行第二次数据采集，建立齿槽转矩第二查找表；

步骤一四、基于步骤一三建立的得到的齿槽转矩第二查找表对永磁同步伺服电机运行的速度再次进行电流环补偿，并输入永磁同步伺服电机转速的第三给定值，对齿槽转矩进行第三次数据采集，得到精确的齿槽转矩数据；

步骤一五、保存步骤一四中得到的精确的齿槽转矩数据，建立齿槽转矩精确查找表。

3.根据权利要求2所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，步骤一一中永磁同步伺服电机位置定标的具体方法为：

在永磁同步伺服电机上设置位置传感器；所述位置传感器为增量式光电编码器；其中，增量式光电编码器的本体设置在永磁同步伺服电机的定子上，增量式光电编码器的码盘设置在永磁同步伺服电机的转子上；

当增量式光电编码器的码盘到达位置参考点时，记录下增量式光电编码器计数值a，并确定该位置为系统的初始零点，得到位置定标公式(1)为：

其中p'_k是定标后的位置，p_k是定标前的增量式光电编码器计数值，a是初次到达位置参考点时的增量式光电编码器计数值，T_tick是增量式光电编码器的最大计数值。

4.根据权利要求3所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，步骤一二中建立齿槽转矩第一查找表的具体过程为：

对永磁同步伺服电机速度电流双闭环控制系统输入永磁同步伺服电机转速的第一给定值，在永磁同步伺服电机旋转一周的位置中，取多个采样点，记录每个采样点的q轴电流环对应给定值的交流分量，获得齿槽转矩第一查找表。

5.根据权利要求4所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，所述永磁同步伺服电机转速的第二给定值小于永磁同步伺服电机转速的第一给定值。

6.根据权利要5所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，步骤一三中建立齿槽转矩第二查找表的具体步骤为：

步骤一三一、使永磁同步伺服电机处于空载状态，即负载转矩T_l＝0；

步骤一三二：设置转速第二给定值为40rpm，并调整永磁同步伺服电机进入速度电流双闭环控制模式，等待永磁同步伺服电机控制系统进入稳态；

步骤一三三：获取永磁同步伺服电机转动的实时位置，并将实时位置角度数据统一转化到0～360度；

步骤一三四：使用实时位置与查找表索引转换公式(8)，计算实时位置对应的索引值；

所述查找表索引转换公式为：

其中，N是查找表的大小，i是该位置对应的索引值，[]是取整符号；

步骤一三五：记录永磁同步伺服电机控制系统中速度环输出值；

步骤一三六：重复步骤一三三至步骤一三五，记录齿槽转矩第一查找表每个索引位置对应的速度环输出值，完成建立齿槽转矩第二查找表。

7.根据权利要求6所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，所述永磁同步伺服电机转速的第三给定值小于永磁同步伺服电机转速的第二给定值。

8.根据权利要求7所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，步骤一五中建立齿槽转矩精确查找表的具体方法为：

步骤一五一、使伺服电机处于空载状态，即负载转矩T_l＝0；

步骤一五二：获取永磁同步伺服电机转动的实时位置，并将位置角度数据统一转化到0～360度；

步骤一五三：使用步骤一五二获取的实时位置与查找表索引转换公式(8)，计算实时位置索引值；

步骤一五四：使用步骤一三建立的齿槽转矩第二查找表，获取实时位置索引值对应的齿槽转矩值，并将该齿槽转矩值加入电流环；

步骤一五五：设置速度第三给定值为20rpm，并进入速度电流双闭环控制模式，等待控制系统进入稳态；

步骤一五六：记录q轴电流环的电流给定值，用其表征精确齿槽转矩数据；

步骤一五七：重复步骤一五二至步骤一五六，更新齿槽转矩第二查找表每个索引位置对应的q轴电流环的电流给定值，得到齿槽转矩精确查找表。

9.根据权利要求8所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，步骤二中对永磁同步伺服电机的齿槽转矩进行前馈控制的具体步骤为：

步骤二一、获取永磁同步伺服电机转动的实时位置；

步骤二二、根据步骤二一得到永磁同步伺服电机转子转动的实时位置，获得实时位置在齿槽转矩精确查找表中的位置索引；

步骤二三、根据步骤二二中获得的位置索引，获取实时位置的索引对应的齿槽转矩精确查找表值；

步骤二四、将步骤二三获取的齿槽转矩精确查找表值与速度环输出值作和，得到电流环的给定值；

步骤二五、将步骤二四得到的电流环的给定值，输入至永磁同步伺服电机闭环控制系统，实现前馈控制。

10.根据权利要求9所述的一种永磁同步伺服电机齿槽转矩补偿方法，其特征在于，步骤二五中的永磁同步伺服电机闭环控制系统为：位置速度电流三闭环控制或速度电流双闭环控制系统。

Images