CN113759670B - 非平滑opc图形的修正方法 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及半导体集成电路光刻技术领域，具体涉及一种非平滑OPC图形的修正方法。所述非平滑OPC图形的修正方法包括以下步骤：获取OPC图形；识别所述OPC图形的各个实际边缘；判断所述OPC图形的各个实际边缘是否为平滑，确定不平滑的实际边缘为非平滑边缘；计算所述非平滑边缘，偏移对应预设边缘的实际偏移面积；当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，在所述非平滑边缘处规划平滑的目标边缘，所述目标边缘使得所述OPC图形删减的面积与增加的面积最接近；依照所述目标边缘对所述非平滑边缘进行修正。
Description
技术领域
本申请涉及半导体集成电路光刻技术领域，具体涉及一种非平滑OPC图形的修正方法。
背景技术
在半导体光刻制程工艺中，由于光学系统的不完善和干涉、衍射等光学作用，在将掩模版上的图形投影到晶圆光刻胶层上时，在该光刻胶层上形成的图案发生变形，而与掩模版的图形不一致，导致最终成像质量降低，这种现象称之为光学邻近效应(OpticalProximity Effect，OPE)。光学邻近效应引起的光刻胶层图案变形主要表现为图案缺失或图案边缘偏移等特征。
对掩模版上的图形进行适当的修改，以补偿光学邻近效应造成的缺陷，从而在晶圆的光刻胶层上得到与掩模板一致的图案，这种修成称之为光学邻近修正(OpticalProximity Correction，OPC)。
但是相关技术中的OPC图形是根据预设图形库生成的图形，在图形生成过程中，位于图形边缘位置处的数据若出现格点偏移，则会使得所形成的OPC图形的边缘出现缺陷和边缘偏移封不平滑的形态。在对非平滑的OPC图形进行修正时，这些非平滑的边缘会对修整结果造成较大的不利影响。而OPC图形的非平滑边缘数量众多，且偏差较小，靠肉眼难以识别。
发明内容
本申请提供了一种非平滑OPC图形的修正方法，可以解决相关技术中OPC图形的非平滑边缘数量众多，且偏差较小，靠肉眼难以识别的问题。
为了解决背景技术中所述的技术问题，本申请提供一种非平滑OPC图形的修正方法，所述非平滑OPC图形的修正方法包括以下步骤：
获取OPC图形；
识别所述OPC图形的各个实际边缘；
判断所述OPC图形的各个实际边缘是否为平滑，确定不平滑的实际边缘为非平滑边缘；
计算所述非平滑边缘，偏移对应预设边缘的实际偏移面积；
当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，在所述非平滑边缘处规划平滑的目标边缘，所述目标边缘使得所述OPC图形删减的面积与增加的面积最接近；
依照所述目标边缘对所述非平滑边缘进行修正。
可选地，所述判断所述OPC图形的各个实际边缘是否为平滑，确定不平滑的实际边缘为非平滑边缘的步骤，包括：
确定任一实际边缘的端点；
判断所述实际边缘上是否存在除所述端点以外的折点；
当所述实际边缘上存在所述折点，确定所述实际边缘为非平滑边缘。
可选地，所述判断所述实际边缘上是否存在除所述端点以外的折点的步骤：包括：
判断所述实际边缘上是否存在不可导的点；
当所述实际边缘上存在不可导的点，确定所述不可导的点为折点；
判断所述折点是否为所述实际边缘的端点。
可选地，所述计算所述非平滑边缘，偏移对应预设边缘的实际偏移面积的步骤，包括：
确定所述非平滑边缘对应的预设边缘；
计算位于所述非平滑边缘与所述预设边缘之间的区域面积，所述区域面积为所述非平滑边缘的实际偏移面积。
可选地，所述当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，确定在所述非平滑边缘处，使得所述OPC图形删减的面积与增加的面积最接近的平滑边缘为目标边缘的步骤，包括：
当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，确定对所述非平滑边缘平滑化的修正范围；
在所述修正范围中，确定一平滑的目标边缘，使得依照所述目标边缘对所述OPC图形进行删减的面积，与依照所述目标边缘对所述OPC图形进行增加的面积最接近。
可选地，所述确定对所述非平滑边缘平滑化的修正范围的步骤，包括：
确定所述非平滑边缘上的所有折点，和所述非平滑边缘对应的预设边缘；
分别确定位于所述预设边缘的两侧，偏移所述预设边缘的最远的两个折点为第一最远偏移折点和第二最远偏移折点；
确定穿过所述第一最远偏移折点，且平行于所述预设边缘的线条为修正范围的第一边界，确定穿过所述第二最远偏移折点，且平行于所述预设边缘的线条为修正范围的第二边界。
可选地，所述目标边缘位于所述第一边界和所述第二边界之间的平滑边缘。
可选地，所述在所述修正范围中，确定一平滑的目标边缘，使得依照所述目标边缘对所述OPC图形进行删减的面积，与依照所述目标边缘对所述OPC图形进行增加的面积最接近的步骤，包括：
确定位于所述修正范围中的一条平滑线条；
确定所述非平滑边缘与所述平滑线条之间的区域为修正区域，所述修正区域包括位于所述平滑边缘相对两侧的第一修正区域和第二修正区域；
计算所述第一修正区域的区域面积，与所述第二修正区域的区域面积之差；
确定使得所述第一修正区域的区域面积，与所述第二修正区域的区域面积之差最小的平滑边缘为目标边缘。
可选地，所述确定所述非平滑边缘上的所有折点的步骤，包括：
确定所述非平滑边缘上不可导的点为所述非平滑边缘上折点。
本申请技术方案，至少包括如下优点：本申请通过获取OPC图形，识别所述OPC图形的各个实际边缘，判断所述OPC图形的各个实际边缘是否为平滑，确定不平滑的实际边缘为非平滑边缘，计算所述非平滑边缘，偏移对应预设边缘的实际偏移面积，当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，在所述非平滑边缘处规划平滑的目标边缘，所述目标边缘使得所述OPC图形删减的面积与增加的面积最接近，依照所述目标边缘对所述非平滑边缘进行修正。从而能够修正OPC图形不平滑边缘，使其平滑化。
附图说明
为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本申请一实施例提供的非平滑OPC图形的修正方法流程图；
图2a示出了本申请一实施例所获取的一OPC图形；
图2b示出了识别图2a所示OPC图形的实际边缘示意图；
图2c示出了图2b中非平滑边缘A2的实际偏移面积示意图；
图2d示出了图2b中非平滑边缘A2的修正范围示意图；
图2e示出了图2d中非平滑边缘的放大示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
图1示出了本申请一实施例提供的非平滑OPC图形的修正方法流程图，参照图1，可以看出本实施包括依次执行的以下步骤S1至步骤S6：
步骤S1：获取OPC图形。
该OPC图形为要进行光学邻近效应修正的图形，在进行光学邻近效应修正之前，需要这些OPC图形的非平滑边缘进行平滑化修正，以避免后真正进行光学邻近效应修正时这些非平滑边缘对修正结果造成不良影响。
需要说明的是，该OPC图形是根据预设图形库生成的图形，在图形生成过程中，位于图形边缘位置处的数据若出现格点偏移，则会使得所形成的OPC图形的边缘出现缺陷和边缘偏移封不平滑的形态。
图2a示出了本申请一实施例所获取的一OPC图形。
步骤S2：识别所述OPC图形的各个实际边缘。
参照图2b，其示出了识别图2a所示OPC图形的实际边缘示意图，从图2b中可以看出，该OPC图形包括实际边缘A1、实际边缘A2、实际边缘A3和实际边缘A4。其中，实际边缘A1位于端点a0和端点a1之间，实际边缘A2位于端点a1和端点a2之间，实际边缘A3位于端点a2和端点a3之间，实际边缘A4位于端点a3和端点a0之间。
步骤S3：判断所述OPC图形的各个实际边缘是否为平滑，确定不平滑的实际边缘为非平滑边缘。
可选的，判断任一实际边缘是否为平滑的步骤包括：
步骤S32：确定任一实际边缘的端点。
步骤S31：判断所述实际边缘上是否存在除所述端点以外的折点。
可以通过确定该实际边缘上是否存在不可导的点，以判断该实际边缘上是否存在折点，当该实际边缘上存在不可导的点，确定该不可导的点为折点。
步骤S32：当该实际边缘上存在折点，确定该实际边缘为非平滑边缘。
根据上述步骤，确定图2b中的实际边缘A2上存在除端点a1和端点a2以外的折点a11和折点a12。从而确定该实际边缘A2为非平滑边缘。
步骤S4：计算所述非平滑边缘，偏移预设边缘的实际偏移面积；
其中计算该非平滑边缘，偏移预设边缘的实际偏移面的步骤包括：
步骤S41：确定该非平滑边缘对应的预设边缘。
该预设边缘为预设图形库中，用于形成该非平滑边缘的边缘。
步骤S42：计算位于所述非平滑边缘与所述预设边缘之间的区域面积，所述区域面积为所述非平滑边缘的实际偏移面积。
参照图2c，其示出了图2b中非平滑边缘A2的实际偏移面积示意图。其中，非平滑边缘A2与预设边缘A21之间形成区域S1和区域S2，该区域S1和区域S2位该非平滑边缘A2偏移预设边缘A21的偏移区域。该区域S1的区域面积与区域S2的区域面积之和为该非平滑边缘A2偏移预设边缘A21的实际偏移面积。
该实际偏移面积用于判断该非平滑边缘的偏移程度是否适合进行平滑化修正，即若实际偏移面积较小，可以对该实际偏移面积进行平滑化修正；若实际偏移面积较大，对该实际偏移面积进行平滑化修正后的误差较大，因此不适用平滑化修正。
本实施例中，预先存储有预设偏移面积Smax，当实际偏移面积小于预设偏移面积Smax继续后续程序，否则报错。对于图2c所示的区域S1的面积和区域S2面积之和小于预设偏移面积Smax，可以进行后续平滑化修正步骤。
步骤S5：当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，确定在所述非平滑边缘处，使得所述OPC图形删减的面积与增加的面积最接近的平滑边缘为目标边缘。
其中，对于步骤S5，其确定用于修整非平滑边缘的目标边缘的确定步骤包括：
步骤S51：当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，确定对所述非平滑边缘平滑化的修正范围。
本实施例中可以通过依次执行的额以下步骤S511至步骤S513确定对所述非平滑边缘平滑化的修正范围，其中：
步骤S511：确定所述非平滑边缘上的所有折点，和所述非平滑边缘对应的预设边缘。
步骤S512：分别确定位于所述预设边缘的两侧，偏移所述预设边缘的最远的两个折点为第一最远偏移折点和第二最远偏移折点。
步骤S513：确定穿过所述第一最远偏移折点，且平行于所述预设边缘的线条为修正范围的第一边界，确定穿过所述第二最远偏移折点，且平行于所述预设边缘的线条为修正范围的第二边界。
参照图2d，其示出了图2b中非平滑边缘A2的修正范围示意图，从图2d中可以看出，非平滑边缘A2上的所有折点包括：折点a1、折点a11、折点a12和折点a1。其中折点a1和折点a2为端点，折点a11和折点a12位折点。
确定折点a1和折点a2，分别为偏移图2c所示预设边缘A21最远的第一最远偏移折点和第二最远偏移折点。
穿过折点a1做平行于图2c所示预设边缘A21的线条，确定该线条为修正范围e的第一边界e1，穿过折点a2做平行于图2c所示预设边缘A21的线条，确定该线条为修正范围e的第一边界e2。
步骤S52：在所述修正范围中，确定一平滑的目标边缘，使得依照所述目标边缘对所述OPC图形进行删减的面积，与依照所述目标边缘对所述OPC图形进行增加的面积最接近。
本实施例中，在修正范围中确定目标边缘的步骤，包括依次进行的步骤S521至步骤S524，其中：
步骤S521：确定位于所述修正范围中的一条平滑线条。
由图2d可以看出，所确定的修正范围e，本实施例中所要确定的用于修正非平滑边缘A2的目标边缘应当为该修正范围e中的一条平滑线条。
步骤S522：确定所述非平滑边缘与所述平滑线条之间的区域为修正区域，所述修正区域包括位于所述平滑边缘相对两侧的第一修正区域和第二修正区域。
修正范围e中的一条平滑线条与非平滑边缘A2之间形成一些修正区域，在对该非平滑边缘进行修正时，需要基于这些修正区域对原始OPC图形进行增加或删减。
即第一修正区域为需要在原始OPC图形的基础上进行增加的区域、第二修正区域为需要在原始OPC图形的基础上进行删减的区域，或者第一修正区域为需要在原始OPC图形的基础上进行删减的区域、第二修正区域为需要在原始OPC图形的基础上进行删增加的区域。
步骤S523：计算所述第一修正区域的区域面积和，与所述第二修正区域的区域面积和之差。
步骤S524：确定使得所述第一修正区域的区域面积和，与所述第二修正区域的区域面积和之差最小的平滑边缘为目标边缘。
最终确定的目标边缘，需要保证第一修正区域的区域面积和第二修正区域的区域面积最接近，即第一修正区域的区域面积和，与所述第二修正区域的区域面积和之差最小。
可选地，可以通过最小二乘法确定目标边缘的坐标。
参照图2e，其示出了图2d中非平滑边缘的放大示意图。从图2e中可以看出，用于修正该非平滑边缘A2的目标边缘X位于修正范围e中，该目标边缘X与该非平滑边缘A2之间形成四个修正区域，分别是修正区域m1、修正区域m2、修正区域m3和修正区域m4，由于若要按照该目标边缘X对该非平滑边缘A2进行修正，需要对原OPC图形增加修正区域m1和修正区域m3、并删减修正区域m2和修正区域m4，以使得修正后的OPC图形边缘为该目标边缘X。
其中，增加的修正区域m1与修正区域m3的面积和为第一修正区域面积和，删减的修正区域m2和修正区域m4的面积和为第二修正区域面积和，对于该修正范围e中的任一条平滑边缘，该目标边缘X使得第一修正区域面积和，与第二修正区域面积和最接近。
S6：依照所述目标边缘对所述非平滑边缘进行修正。
本申请通过获取OPC图形，识别所述OPC图形的各个实际边缘，判断所述OPC图形的各个实际边缘是否为平滑，确定不平滑的实际边缘为非平滑边缘，计算所述非平滑边缘，偏移对应预设边缘的实际偏移面积，当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，在所述非平滑边缘处规划平滑的目标边缘，所述目标边缘使得所述OPC图形删减的面积与增加的面积最接近，依照所述目标边缘对所述非平滑边缘进行修正。从而能够修正OPC图形不平滑边缘，使其平滑化。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本申请创造的保护范围之中。
Claims (4)
1.一种非平滑OPC图形的修正方法，其特征在于，所述非平滑OPC图形的修正方法包括以下步骤：
获取OPC图形；
识别所述OPC图形的各个实际边缘；
判断所述OPC图形的各个实际边缘是否为平滑，确定不平滑的实际边缘为非平滑边缘；
计算所述非平滑边缘，偏移对应预设边缘的实际偏移面积；
当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，在所述非平滑边缘处规划平滑的目标边缘，所述目标边缘使得所述OPC图形删减的面积与增加的面积最接近；
依照所述目标边缘对所述非平滑边缘进行修正；
其中，所述判断所述OPC图形的各个实际边缘是否为平滑，确定不平滑的实际边缘为非平滑边缘的步骤，包括：
确定任一实际边缘的端点；
判断所述实际边缘上是否存在除所述端点以外的折点；
当所述实际边缘上存在所述折点，确定所述实际边缘为非平滑边缘；
其中，所述计算所述非平滑边缘，偏移对应预设边缘的实际偏移面积的步骤，包括：
确定所述非平滑边缘对应的预设边缘；
计算位于所述非平滑边缘与所述预设边缘之间的区域面积，所述区域面积为所述非平滑边缘的实际偏移面积；
其中，所述当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，在所述非平滑边缘处规划平滑的目标边缘，所述目标边缘使得所述OPC图形删减的面积与增加的面积最接近的步骤，包括：
当所述非平滑边缘的实际偏移面积小于预设偏移面积，确定对所述非平滑边缘平滑化的修正范围；
在所述修正范围中，确定一平滑的目标边缘，使得依照所述目标边缘对所述OPC图形进行删减的面积，与依照所述目标边缘对所述OPC图形进行增加的面积最接近；
所述确定对所述非平滑边缘平滑化的修正范围的步骤，包括：
确定所述非平滑边缘上的所有折点，和所述非平滑边缘对应的预设边缘；
分别确定位于所述预设边缘的两侧，偏移所述预设边缘的最远的两个折点为第一最远偏移折点和第二最远偏移折点；
确定穿过所述第一最远偏移折点，且平行于所述预设边缘的线条为修正范围的第一边界，确定穿过所述第二最远偏移折点，且平行于所述预设边缘的线条为修正范围的第二边界；
所述在所述修正范围中，确定一平滑的目标边缘，使得依照所述目标边缘对所述OPC图形进行删减的面积，与依照所述目标边缘对所述OPC图形进行增加的面积最接近的步骤，包括：
确定位于所述修正范围中的一条平滑边缘；
确定所述非平滑边缘与所述平滑边缘之间的区域为修正区域，所述修正区域包括位于所述平滑边缘相对两侧的第一修正区域和第二修正区域；
计算所述第一修正区域的区域面积，与所述第二修正区域的区域面积之差；
确定使得所述第一修正区域的区域面积，与所述第二修正区域的区域面积之差最小的平滑边缘为目标边缘。
2.如权利要求1所述的非平滑OPC图形的修正方法，其特征在于，所述判断所述实际边缘上是否存在除所述端点以外的折点的步骤：包括：
判断所述实际边缘上是否存在不可导的点；
当所述实际边缘上存在不可导的点，确定所述不可导的点为折点；
判断所述折点是否为所述实际边缘的端点。
3.如权利要求1所述的非平滑OPC图形的修正方法，其特征在于，所述目标边缘为位于所述第一边界和所述第二边界之间的平滑边缘。
4.如权利要求1所述的非平滑OPC图形的修正方法，其特征在于，所述确定所述非平滑边缘上的所有折点的步骤，包括：
确定所述非平滑边缘上不可导的点为所述非平滑边缘上折点。
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