CN113735421A - 一种石英坩埚制造方法和成型装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种石英坩埚制造方法和成型装置，涉及太阳能光伏技术领域，提供包括顶部筒体和坩埚底部的坩埚模具，在坩埚坯体形成过程中，在坩埚模具与水平面成第一夹角、坩埚模具以第一转速转动时，使原材料在顶部筒体的内壁上形成第一坯体，在坩埚模具与水平面成第二夹角、坩埚模具以第二转速转动时，使原材料在模具底部的内壁上形成第二坯体，通过第一坯体和第二坯体组成的坩埚坯体制造得到石英坩埚，可以避免原材料在重力作用下向坩埚模具底部的中心位置滑落，提高坩埚坯体成型率，进而提高石英坩埚的制造效率。

Description

一种石英坩埚制造方法和成型装置

技术领域

本发明涉及太阳能光伏技术领域，特别是涉及一种石英坩埚制造方法和成型装置。

背景技术

在采用直拉法生产单晶硅的过程中，需将多晶硅原材料置于石英坩埚内、加热形成熔融的多晶硅溶液，由熔融的多晶硅熔液拉晶得到单晶硅棒。石英坩埚作为单晶硅制造过程中的主要容器，在单晶硅的生产过程中起着至关重要的作用。

现有技术中，主要采用电弧法生产石英坩埚，首先在倾斜、旋转的模具内倒入原材料(例如石英砂)，采用成型件，通过模具的旋转，在模具的内壁上形成坩埚坯体，然后通过石墨电极放出的高温电弧对坩埚坯体进行灼烧，经过一定时间的熔制得到坩埚毛坯，对坩埚毛坯进行切割和清洗，得到石英坩埚。

坩埚模具包括侧壁和底部，在坩埚坯体形成过程中，原材料在重力作用下容易滑落到底部的中心位置，难以形成完整的坩埚坯体，导致坩埚坯体的成型率较低，降低了石英坩埚的制造效率。

发明内容

本发明提供一种石英坩埚制造方法和成型装置，旨在解决石英坩埚制造过程中，原材料容易向坩埚模具底部的中心位置滑落，导致坩埚坯体的成型率较低，降低了石英坩埚的制造效率的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种石英坩埚制造方法，包括：

提供坩埚模具、成型件及原材料，所述坩埚模具包括相连接的顶部筒体和模具底部，所述顶部筒体具有开口，所述模具底部远离所述开口；

在坩埚模具的轴线与水平面成第一夹角、以及所述坩埚模具绕所述轴线以第一转速旋转的情况下，通过所述成型件使所述原材料在所述顶部筒体的内壁上形成第一坯体；

在所述轴线与水平面成第二夹角、以及所述坩埚模具绕所述轴线以第二转速旋转的情况下，通过所述成型件使所述原材料在所述模具底部的内壁上形成第二坯体；

通过所述第一坯体和所述第二坯体组成的坩埚坯体制造得到石英坩埚。

可选的，提供的所述原材料包括第一原料和第二原料；

形成所述第一坯体前，向所述坩埚模具中加入所述第一原料，使所述第一原料形成所述第一坯体；

形成所述第二坯体前，向所述坩埚模具中加入所述第二原料，使所述第二原料形成所述第二坯体。

可选的，所述第一夹角大于等于45度、且小于等于75度，以及所述第一转速大于等于60转每分钟、且小于等于75转每分钟。

可选的，所述第二夹角大于所述第一夹角，所述第二转速大于等于50转每分钟、且小于等于60转每分钟。

可选的，所述模具底部为锥形筒体。

可选的，所述顶部筒体的内壁与所述锥形筒体的内壁采用圆弧过渡连接、且所述锥形筒体底部的内侧为圆弧曲面。

可选的，所述成型件包括第一构件、第二构件和定位件；

所述第一构件的一端与所述第二构件的第一端连接，所述定位件安装于所述第二构件的第二端；所述定位件与所述锥形筒体的底部配合，以使所述第一构件与所述顶部筒体的内壁配合，成型得到所述第一坯体，以及使所述第二构件与所述锥形筒体的内壁配合，成型得到锥形筒状的所述第二坯体。

可选的，所述第一构件靠近所述顶部筒体的一侧形成有第一直壁，所述第二构件靠近所述锥形筒体的一侧形成有第二直壁，所述第一直壁与所述第二直壁相交、且成预设夹角。

可选的，所述第一直壁与所述第二直壁采用圆弧段过渡连接。

第二方面，本发明实施例提供了一种成型装置，包括如上述实施例所述的坩埚模具和成型件。

在本发明实施例中，坩埚模具包括相连接的顶部筒体和模具底部，在坩埚坯体形成过程中，在坩埚模具与水平面成第一夹角、坩埚模具以第一转速转动时，使原材料在顶部筒体的内壁上形成第一坯体，在坩埚模具与水平面成第二夹角、坩埚模具以第二转速转动时，使原材料在模具底部的内壁上形成第二坯体，通过第一坯体和第二坯体组成的坩埚坯体制造得到石英坩埚，可以避免原材料在重力作用下向坩埚模具底部的中心位置滑落，提高坩埚坯体成型率，进而提高石英坩埚的制造效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本发明实施例中的一种石英坩埚制造方法的步骤流程图；

图2示出了本发明实施例中的一种坩埚模具的结构示意图；

图3示出了本发明实施例中的一种坩埚模具的倾斜示意图；

图4示出了本发明实施例中的一种成型件的结构示意图；

图5示出了本发明实施例中的另一种石英坩埚制造方法的步骤流程图。

附图标记说明：

201-顶部筒体，202-模具底部，203-轴线，204-水平面，205-第一夹角，206-真空孔，207-圆弧连接段，208-圆弧曲面，401-第一构件，402-第二构件，4021-圆弧段，403-定位件，404-把手。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参照图1，图1示出了本发明实施例中的一种石英坩埚制造方法的步骤流程图，该方法可以应用于石英坩埚的制造，可以包括：

步骤101，在坩埚模具的轴线与水平面成第一夹角、以及坩埚模具绕轴线以第一转速旋转的情况下，通过成型件使原材料在顶部筒体的内壁上形成第一坯体。

本实施例中，提供坩埚模具、成型件及原材料，通过坩埚模具与成型件的配合，使原材料在坩埚模具的内壁上形成坩埚坯体。坩埚模具包括相连接的顶部筒体和模具底部。如图2所示，图2示出了本发明实施例中的一种坩埚模具的结构示意图，坩埚模具包括顶部筒体201和模具底部202，顶部筒体201的一端与模具底部202固定连接，顶部筒体201远离模具底部202的另一端设置有开口，顶部筒体201和模具底部202组成一端开口的坩埚模具。

其中，坩埚模具安装在成型装置中，成型装置包括倾斜机构和转动机构，倾斜机构用于调整坩埚模具的倾斜角度，转动机构用于驱动坩埚模具饶轴线转动。成型装置的具体结构可参考现有技术，本实施例对此不做限制。

在石英坩埚的制造过程中，首先可以通过倾斜机构使坩埚模具呈倾斜状态，如图3所示，图3示出了本发明实施例中的一种坩埚模具的倾斜示意图，通过倾斜机构可以使坩埚模具的轴线203与水平面204之间成第一夹角205，第一夹角205例如可以为50度、60度和70度，第一夹角的具体值可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。同时，可以通过转动机构驱动坩埚模具转动，使坩埚模具绕轴线203以第一转速转动，第一转速例如可以为60转每分钟、65转每分钟和70转每分钟，第一转速的具体值可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。

本实施例中，在坩埚模具的轴线与水平面成第一夹角、以及坩埚模具绕轴线以第一转速旋转的情况下，可以通过加料装置向坩埚模具内加入原材料，如将原材料石英砂加入至顶部筒体201的内壁上。其中，向坩埚模具内加入原材料的过程，以及原材料的组成成分可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。

参照图4，图4示出了本发明实施例中的一种成型件的结构示意图，成型件包括第一构件401、第二构件402和定位件403，第一构件401的一端与第二构件402的第一端连接，定位件403安装在第二构件402的第二端。相应的，坩埚模具的底部(即模具底部202的底部)可以设置定位孔，在加入原材料之后，保持第一夹角不变、坩埚模具以第一转速转动，定位件403与定位孔配合，在坩埚模具的转动过程中，通过成型件使原材料在顶部筒体201的内壁上形成第一坯体。通过成型件使原材料在顶部筒体的内壁上形成第一坯体的过程可参考现有技术，本实施例对此不做限制。

步骤102，在轴线与水平面成第二夹角、以及坩埚模具绕轴线以第二转速旋转的情况下，通过成型件使原材料在模具底部的内壁上形成第二坯体。

本实施例中，在形成第一坯体之后，可以通过倾斜机构使坩埚模具的轴线203与水平面204成第二夹角，并通过转动机构使坩埚模具绕轴线以第二转速转动。第二夹角例如可以为80度、85度和90度，第二转速例如可以为50转每分钟或55转每分钟，第二夹角和第二转速的具体值可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。

参考步骤101，在坩埚模具以第二转速转动过程中，成型件与坩埚模具配合，使剩余的原材料在模具底部202的内壁上形成第二坯体。通过成型件在模具底部的内壁上形成第二坯体的过程可参考现有技术，本实施例对此不做限制。

步骤103，通过第一坯体和第二坯体组成的坩埚坯体制造得到石英坩埚。

本实施例中，第一坯体和第二坯体组成坩埚坯体，在形成坩埚坯体之后，可以将成型装置移至熔制室，控制熔制室的真空度，通过石墨电极产生的高温电弧对坩埚坯体进行熔制，得到坩埚毛坯。在得到坩埚毛坯后，对坩埚毛坯进行切割和清洗得到石英坩埚。具体通过坩埚坯体制造得到石英坩埚的过程可参考现有技术，本实施例对此不做限制。

本发明实施例中，坩埚模具包括相连接的顶部筒体和模具底部，在坩埚坯体形成过程中，在坩埚模具与水平面成第一夹角、坩埚模具以第一转速转动时，使原材料在顶部筒体的内壁上形成第一坯体，在坩埚模具与水平面成第二夹角、坩埚模具以第二转速转动时，使原材料在模具底部的内壁上形成第二坯体，通过第一坯体和第二坯体组成的坩埚坯体制造得到石英坩埚，可以避免原材料在重力作用下向坩埚模具底部的中心位置滑落，提高坩埚坯体成型率，进而提高石英坩埚的制造效率。

参照图5，图5示出了本发明实施例中的另一种石英坩埚制造方法的步骤流程图，该方法可以应用于石英坩埚的制造，可以包括：

步骤501，在坩埚模具的轴线与水平面成第一夹角、以及坩埚模具绕轴线以第一转速旋转的情况下，向坩埚模具中加入第一原料，通过成型件使第一原料在顶部筒体的内壁上形成第一坯体。

本实施例中，可分步向坩埚模具内加入原材料，原材料包括形成第一坯体所用的第一原料，以及形成第二坯体所用的第二原料。具体的，在坩埚模具的轴线与水平面成第一夹角、以及坩埚模具绕轴线以第一转速旋转的情况下，可以只向顶部筒体201的内壁加入第一原料，通过第一原料形成第一坯体。具体形成第一坯体的过程可参考上述举例，本实施例对此不做赘述。

可选的，第一夹角大于等于45度、且小于等于75度，以及第一转速大于等于60转每分钟、且小于等于75转每分钟。

结合上述举例，可以调节倾斜机构，使第一夹角大于等于45度、且小于等于75度，第一夹角例如45度、50度、60度、70度和75度，以及调节转动机构，使第一转速大于等于60转每分钟、且小于等于75转每分钟，第一转速例如60转每分钟、65转每分钟、68转每分钟和70转每分钟。在第一坯体的形成过程中，坩埚模具倾斜至第一夹角，并以第二转速转动，可以避免原材料(第一原料)在重力作用下向坩埚模具底部的中心位置滑落，提高坩埚坯体成型率，进而提高石英坩埚的制造效率。

在实际应用中，当模具底部为如图2所示的锥形筒体时，在形成第一坯体的过程中，坩埚模具内的原材料在重力作用下容易向锥形筒体的底部滑落，难以形成第一坯体，使得第一坯体的成型率较低。调节第一夹角位于45度至75度之间，以及调节第一转速位于60转每分钟至75转每分钟之间，可以避免原材料向锥形筒体的底部滑落，提高第一坯体的成型率。

步骤502，在坩埚模具的轴线与水平面成第二夹角、以及坩埚模具绕轴线以第二转速旋转的情况下，向坩埚模具中加入第二原料，通过成型件使第二原料在模具底部的内壁上形成第二坯体。

本实施例中，在形成第一坯体，调节倾斜机构，使坩埚模具的轴线与水平面成第二夹角、以及调节转动机构，使坩埚模具绕轴线以第二转速旋转的情况下，可以向坩埚模具内加入第二原料，如直接将第二原料加入至模具底部202的内壁上。在坩埚模具的转动过程中，通过成型件使第二原料在模具底部的内壁上形成第二坯体。

可选的，第二夹角大于第一夹角，第二转速大于等于50转每分钟、且小于等于60转每分钟。

本实施例中，在形成第二坯体的过程中，可以调节坩埚模具，使第二夹角大于第一夹角，第二转速位于50转每分钟至60转每分钟之间，例如调节第二转速为50转每分钟、55转每分钟、60转每分钟，可以避免原材料向锥形筒体的底部滑落。

步骤503，通过第一坯体和第二坯体组成的坩埚坯体制造得到石英坩埚。

本发明实施例中，在石英坩埚的坯体形成过程中，设置第一夹角大于等于45度、且小于等于75度，以及设置第一转速大于等于60转每分钟、且小于等于75转每分钟，在第一坯体的形成过程中，坩埚模具倾斜至第一夹角，并以第二转速转动，可以避免原材料在重力作用下向坩埚模具底部的中心位置滑落，提高坩埚坯体成型率，进而提高石英坩埚的制造效率。同时，在形成第一坯体时，只加入形成第一坯体所用的第一原料，可以避免加入过多的原材料，降低原材料的重量，防止原材料向底部滑落，从而提高第一坯体的稳定性。

需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本申请实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本申请实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定都是本申请实施例所必须的。

参照图2，本实施例提供一种坩埚模具，坩埚模具的底部为锥形筒体。

如图2所示，坩埚模具包括顶部筒体201和模具底部202，顶部筒体201为圆筒形状，模具底部202为锥形筒体。锥形筒体为内部中空的锥体、并且锥体的底面设置有用于与顶部筒体201连接的开口。顶部筒体201的一端与锥形筒体202设置开口的一端连接，顶部筒体201远离锥形筒体202的一端形成有开口，顶部筒体201和锥形筒体202构成一端开口的坩埚模具。坩埚模具可以由石墨或者其他耐高温的材料制成。

结合上述举例，当坩埚模具的底部为锥形筒体时，在石英坩埚制造过程中，可以在顶部筒体201的内壁上形成圆筒形状的第一坯体，以及在锥形筒体202的内壁上形成锥形筒状的第二坯体，从而可以制造得到具有锥形筒状的底部的石英坩埚。坩埚模具的使用方法可参考上述举例，本实施例对此不做赘述。

可选的，顶部筒体的内壁与锥形筒体的内壁采用圆弧过渡连接、且锥形筒体底部的内侧为圆弧曲面。

如图2所示，顶部筒体201的内壁和模具底部202的内壁之间可以设置有圆弧连接段207，使顶部筒体201的内壁与模具底部202的内壁采用圆弧过渡连接。当顶部筒体201的内壁和模具底部202的内壁通过圆弧过渡连接时，制造得到的石英坩埚的侧壁内侧和底部内侧之间的连接位置为圆弧状，当石英坩埚的侧壁内侧和底部内侧采用圆弧过渡时，可以降低硅料与石英坩埚内壁的摩擦力度，延长坩埚的使用期限。

如图2所示，锥形筒体202的底部的内侧可以为圆弧曲面208，使锥形筒体202的底部的内侧为圆弧状，从而可以使制造得到的石英坩埚的底部为圆弧曲面。在石英坩埚的使用过程中，当石英坩埚的底部为圆弧曲面时，可以增大石英坩埚底部的受力面积，提高石英坩埚的稳定性，并且圆弧曲面可以避免石英坩埚的底部与其他物体硬接触，提高石英坩埚的耐用性。实际使用时，也可以将锥形筒体的外壁设置为圆弧状，以提高坩埚模具的稳定性。

可选的，锥形筒体底部的内侧可以为球面或椭球面。

本实施例中，锥形筒体底部的内侧可以为球面或椭球面，球面或椭球面可以进一步增大坩埚模具内壁的面积，从而增加制造得到的石英坩埚的底部的面积，提高石英坩埚的稳定性。

可选的，坩埚模具上可以间隔设置多个真空孔206。结合图3所示，真空孔206可以绕轴线203，均匀的设置在顶部筒体201和模具底部202上，真空孔的具体结构和使用方法可参考现有技术，本实施例对此不做限制。

本实施例中，坩埚模具的底部为锥形筒体，通过具有锥形筒体的坩埚模具，可以制造得到具有锥形筒体状的底部的石英坩埚。

参照图4，本实施例提供一种成型件，成型件包括第一构件、第二构件和定位件。

如图4所示，第一构件401的一端与第二构件402的第一端连接，定位件403安装于第二构件402的第二端。定位件403与锥形筒体202的底部配合，以使第一构件401与顶部筒体201的内壁配合，成型得到第一坯体，以及使第二构件402与锥形筒体202的内壁配合，成型得到锥形筒状的第二坯体。

本实施例中，第一构件401和第二构件402可以笔直的圆柱体、棱柱或平板，或者其他的结构。第二构件402的第一端和第二端为相对的两端，第二构件402的第一端用于连接第一构件401，第二端用于连接定位件403。定位件403可以设置在第二构件402靠近模具底部202内壁的一侧，以方便定位件与模具底部202配合。定位件403远离第二构件402的一端可以设置锥形尖头，锥形尖头用于与坩埚模具的底部配合，以固定成型件。同时，可以在第一构件远离第二构件的一端设置把手404，以方便提拉成型件。

结合上述举例，定位件403用于与锥形筒体202配合，第一构件与第二构件的连接处成一定角度，通过第一构件401在顶部筒体201的内壁上形成第一坯体，通过第二构件402在锥形筒体202的内壁上形成第二坯体。同时，可以使第二构件402靠近锥形筒体的一侧为直线或平面，从而可以使第二构件402成型得到的第二坯体为锥形筒状的坯体。第一构件、第二构件和定位件的具体结构和形状可以根据需求设置，只需可以使得第二构件成型得到的第二坯体为锥形筒状的坯体即可。成型件和坩埚模具配合，形成第一坯体和第二坯体的过程可参考上述举例，本实施例对此不做赘述。

示例的，第一构件401靠近顶部筒体201的一侧形成有第一直壁，第二构件402靠近锥形筒体202的一侧形成有第二直壁，第一直壁与第二直壁相交、且成预设夹角。

例如图4所示，第一构件401和第二构件402均为圆柱体，第一构件401的轴线和第二构件402的轴线相交、且成预设角度，第一构件401靠近顶部筒体201的一侧为直线(第一直壁)，第二构件402靠近锥形筒体202的一侧也为直线(第二直壁)。在石英坩埚的制造过程中，坩埚模具旋转，在第二构件402的作用下，可以使坩埚模具内的原材料在锥形筒体202的内壁上成型得到第二坯体。预设角度的大小可以根据需求设置，本实施对此不做限制。

可选的，第二构件的第二端设置有圆弧段，圆弧段与坩埚模具配合，使第二坯体的底部为圆弧曲面。

结合上述举例，第二构件402的第二端可以设置有圆弧段4021，圆弧段4021与锥形筒体202的内壁配合，使得成型得到的第二坯体的底部为圆弧曲面，进一步的可以使制造得到的石英坩埚的底部为圆弧曲面，当石英坩埚的底部为圆弧曲面时，可以增加石英坩埚的底部的受力面积，提高石英坩埚的稳定性，并且圆弧曲面可以避免石英坩埚的底部与其他物体硬接触，提高石英坩埚的耐用性。

可选的，第一直壁与第二直壁采用圆弧段过渡连接。

结合上述举例，可以使第一构件401靠近顶部筒体201内壁的一侧与第二构件402靠近锥形筒体202内壁的一侧采用圆弧过渡连接，当第一构件401与第二构件402采用圆弧过渡连接时，可以使制造得到的石英坩埚的侧壁和底部的连接位置为圆弧状，当侧壁和底部采用圆弧过渡时，可以降低硅料与石英坩埚内壁的摩擦力度，延长坩埚的使用期限。

本实施例中，成型件与坩埚模具配合，可以制造得到具有锥形筒状的石英坩埚。

本实施例还提供一种成型装置，包括如上述实施例所述的坩埚模具和成型件。

本实施例中，成型装置用于成型得到坩埚坯体，成型装置可以包括如上述实施例所述的坩埚模具和成型件，以及倾斜机构和转动机构。

其中，成型装置还可以包括用于向坩埚模具内加入原材料的加料机构，加料机构可以包括加料量控制模块，加料量控制模块用于控制加料过程中的加料量。加料机构还可以包括加料量计算模块，加料量计算模块用于根据坯体的形状、坯体的厚度计算加料过程中的加料量。结合上述举例，加料量计算模块可以计算加料过程中，向坩埚模具中加入的总的原材料的质量。加料量计算模块可以计算加料过程中，向坩埚模具中加入的第一原料的质量和第二原料的质量。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。

上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本发明的保护之内。

Claims (10)

1.一种石英坩埚制造方法，其特征在于，包括：

提供坩埚模具、成型件及原材料，所述坩埚模具包括相连接的顶部筒体和模具底部，所述顶部筒体具有开口，所述模具底部远离所述开口；

在坩埚模具的轴线与水平面成第一夹角、以及所述坩埚模具绕所述轴线以第一转速旋转的情况下，通过所述成型件使所述原材料在所述顶部筒体的内壁上形成第一坯体；

在所述轴线与水平面成第二夹角、以及所述坩埚模具绕所述轴线以第二转速旋转的情况下，通过所述成型件使所述原材料在所述模具底部的内壁上形成第二坯体；

通过所述第一坯体和所述第二坯体组成的坩埚坯体制造得到石英坩埚。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

提供的所述原材料包括第一原料和第二原料；

形成所述第一坯体前，向所述坩埚模具中加入所述第一原料，使所述第一原料形成所述第一坯体；

形成所述第二坯体前，向所述坩埚模具中加入所述第二原料，使所述第二原料形成所述第二坯体。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一夹角大于等于45度、且小于等于75度，以及所述第一转速大于等于60转每分钟、且小于等于75转每分钟。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第二夹角大于所述第一夹角，所述第二转速大于等于50转每分钟、且小于等于60转每分钟。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述模具底部为锥形筒体。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述顶部筒体的内壁与所述锥形筒体的内壁采用圆弧过渡连接、且所述锥形筒体底部的内侧为圆弧曲面。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述成型件包括第一构件、第二构件和定位件；

所述第一构件的一端与所述第二构件的第一端连接，所述定位件安装于所述第二构件的第二端；所述定位件与所述锥形筒体的底部配合，以使所述第一构件与所述顶部筒体的内壁配合，成型得到所述第一坯体，以及使所述第二构件与所述锥形筒体的内壁配合，成型得到锥形筒状的所述第二坯体。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一构件靠近所述顶部筒体的一侧形成有第一直壁，所述第二构件靠近所述锥形筒体的一侧形成有第二直壁，所述第一直壁与所述第二直壁相交、且成预设夹角。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第一直壁与所述第二直壁采用圆弧段过渡连接。

10.一种成型装置，其特征在于，包括如权利要求5或6所述的坩埚模具、以及如权利要求7-9任一项所述的成型件。

Images