CN113728187A - 流路形成区块以及具备流路形成区块的流体控制装置 - Google Patents

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Abstract

一种流路形成区块，具备：第一区块；第二区块，其被安装于第一区块，且具有第一流路以及第二流路；垫片，其被设置于第一区块与第二区块之间，且对第一区块和第二区块之间进行密封，第二区块具有被形成于与垫片对置的面、并将第一流路和第二流路连通的连通部，垫片具有被形成于与连通部对置的位置的凹部。

Description

流路形成区块以及具备流路形成区块的流体控制装置
技术领域
本发明涉及一种流路形成区块及具备流路形成区块的流体控制装置。
背景技术
在日本特开JP2014-152874A中，公开了一种以通过被形成于下部机体的V字流路来将流体控制机器彼此连通的方式而被构成的处理气体(process gas)分流供给装置。
发明内容
在日本特开JP 2014-152874A这样的流体控制装置(处理气体分流供给装置)中，为了将流体控制装置或流路形成区块(下部机体)小型化，当欲使V字流路中的两个流路的间隔变得狭窄时，上述两个流路所成的角度变小。若这样使流路之间的角度变小，则流路折返的部分的有效截面积变小，压力损失变大，流体变得难以流动。
本发明鉴于上述技术问题而作，其目的在于，提供一种即便将流路形成区块或流体控制装置小型化、也能够确保流路的有效截面积的流路形成区块。
本发明的某一方式所涉及的流路形成区块具备：第一区块；第二区块，其被安装于第一区块，且具有第一流路以及第二流路；垫片，其被设置于第一区块与第二区块之间，且对第一区块和第二区块之间进行密封，第二区块具有被形成于与垫片对置的面、并将第一流路和第二流路连通的连通部，垫片具有被形成于与连通部对置的位置的凹部。
根据该方式，第一流路和第二流路除了通过连通部以外，也能够通过凹部而连通。藉此，即便第一流路和第二流路所成的角度变小，也能够确保第一流路和第二流路连接的部分处的流路的有效截面积。藉此，能够将流路形成区块和流体控制装置小型化。
附图说明
图1为本发明的实施方式所涉及的流体控制装置的分解立体图。
图2为本发明的实施方式所涉及的第一区块的立体图。
图3为本发明的实施方式所涉及的流体控制装置的俯视图。
图4为本发明的实施方式所涉及的流体控制装置的侧视图。
图5为沿着图3的V-V线的剖视图。
图6为本发明的实施方式所涉及的流体形成区块的主要部分的部分剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。
本实施方式的流体控制装置100被用于半导体制造装置(CVD装置、溅镀装置、蚀刻装置等)中的处理气体以及冲洗气体(purge gas)的供给单元。
如图1、图3以及图4所示，流体控制装置100具备流路形成区块1、和被安装在流路形成区块1的多个阀装置2、3、4、5、6。阀装置2、3、4、5、6为通过操作压力的供给而工作的气动阀。另外，阀装置2、3、4、5、6可以为常闭型，也可以为常开型。另外，阀装置2、3、4、5、6具有金属膜片以作为阀体。
流路形成区块1具备：作为第一区块的区块10；被安装在区块10的区块20；被安装在区块10的作为第二区块的区块30；被安装在区块10的作为第二区块的区块40；被设置于区块10与区块20、30、40之间且对区块10与区块20、30、40之间进行密封的多个垫片50、51。区块20、30、40通过螺栓60而被安装在区块10。此外，由于区块30以及区块40为相同的结构，因此，以下仅对区块30进行具体说明，省略对于区块40的说明。
区块10由不锈钢(例如、SUS316L)形成。区块10具备：第一安装面11，其安装有区块20、30、40；第二安装面12，其位于与第一安装面11相反的一侧；流路13(参照图2)，其以在区块10的长边方向上贯穿区块10的方式而被形成；收容凹部11a～11l，其被形成在第一安装面11且收容垫片50、51；收容凹部12a～12c(参照图2)，其被形成在第二安装面12且收容垫片(未图示)。
收容凹部11a～11l被形成为从第一安装面11凹陷为圆筒状。在收容凹部11a～11l的底面分别设有形成为圆环状的环状突起14。收容凹部11a～11l形成为相同形状。藉此，能够提高收容凹部11a～11l的加工的作业效率。
如图2所示，区块10更具备：流路13a，其在收容凹部11a的环状突起14的内周侧开口且与流路13连通；流路13b，其在收容凹部11b的环状突起14的内周侧开口且与收容凹部12a连通；流路13c，其在收容凹部11c的环状突起14的内周侧开口且与流路13连通；流路13d，其在收容凹部11d的环状突起14的内周侧开口且与收容凹部12b连通；流路13f，其在收容凹部11f的环状突起14的内周侧开口且与流路13连通；流路13g，其在收容凹部11g的环状突起14的内周侧开口且与流路13连通；流路13h，其在收容凹部11h的环状突起14的内周侧开口且与流路13连通；流路13i，其在收容凹部11i的环状突起14的内周侧开口且与流路13连通；流路13k，其在收容凹部11k的环状突起14的内周侧开口且与收容凹部12c连通；流路13l，其在收容凹部11l的环状突起14的内周侧开口且与流路13连通。此外，流路13a、13g、13h、13l与被安装在第一安装面11的流体机器(未图示)等连通。另外，流路13b、13d、13k与被安装于第二安装面12的其它流路形成区块(未图示)等连通。
区块20由不锈钢(例如、SUS316L)形成。如图5所示，区块20具备：第三安装面21，其被安装在区块10；第四安装面22，其位于与第三安装面21相反的一侧且安装有阀装置2；收容凹部21a、21b，其被形成在第三安装面21且收容垫片50；阀收容部22a，其被形成在第四安装面22且部分地收容阀装置2。
收容凹部21a、21b被形成为从第三安装面21凹陷为圆筒状。在收容凹部21a、21b的底面分别设置有环状突起14。此外，收容凹部21a、21b被形成为与收容凹部11a～11l相同的形状。藉此，能够提高收容凹部21a、21b的加工的作业效率。
在阀收容部22a的底面设置有供阀装置2的作为阀体的膜片2a离座、入座的圆环状的阀座23。在阀收容部22a上形成有阴螺纹，该阴螺纹与被形成在阀装置2的外周部的公螺纹进行螺合。阀装置2通过使被形成在外周部的阳螺纹与被形成在阀收容部22a的阴螺纹螺合，从而被固定于区块20。
区块20还具备：流路24a，其在阀收容部22a的阀座23的内周侧开口且与收容凹部21a连通；流路24b，其在阀收容部22b的阀座23的外周侧开口且与收容凹部21b连通。流路24a经由被形成于垫片50的贯穿孔50a而与流路13b连通。流路24b经由被形成于垫片50的贯穿孔50a而与流路13c连通。
区块30由不锈钢(例如、SUS316L)形成。如图5所示，区块30具备：第五安装面31，其被安装在区块10；第六安装面32，其位于与第五安装面31相反的一侧且安装有阀装置3、4；收容凹部31a～31c，其被形成在第五安装面31且收容垫片50、51；阀收容部32a、32b，其被形成在第六安装面32且部分地收容阀装置3、4。
收容凹部31a～31c被形成为从第五安装面31凹陷为圆筒状。在收容凹部31a～31c的底面分别设置有环状突起14。此外，收容凹部31a～31c被形成为与收容凹部11a～11l相同的形状。藉此，能够提高收容凹部31a～31c的加工的作业效率。
如图5以及图6所示，在阀收容部32a、32b的底面分别设有公作为阀装置3、4的阀体的膜片3a、4a离座、入座的圆环状的阀座33。在阀收容部32a、32b上，形成有与在阀装置3、4的外周部所形成的阳螺纹螺合的阴螺纹。阀装置3、4通过使分别被形成在外周部的阳螺纹与被形成在阀收容部32a、32b的阴螺纹螺合，从而被固定在区块30。
区块30还具备：流路34a，其在阀收容部32a的阀座33的外周侧开口且与收容凹部31b连通；流路34b，其在阀收容部32b的阀座33的外周侧开口且与收容凹部31b连通；流路34c，其在阀收容部32a的阀座33的内周侧开口且与收容凹部31a连通；流路34d，其在阀收容部32b的阀座33的内周侧开口且与收容凹部31c连通；连通部36，其将流路34a与流路34b连通。
流路34a以及流路34b以朝着连通部36彼此靠近的方式，即，以成为大致V字形的方式而被设置。
流路34c经由被形成在垫片50的贯穿孔50a而与流路13d连通。流路34d经由被形成在垫片50的贯穿孔50a而与流路13f连通。
如图6所示，连通部36被形成在与收容凹部31b的垫片51对置的底面35。具体而言，连通部36以在收容凹部31b的环状突起14的内周侧开口的方式而被形成。连通部36例如以成为圆锥形状的方式而被形成。连通部36的形状并不限于此，例如也可以为半球形状。
接着，对垫片50以及垫片51进行说明。垫片50、51为圆板状的金属垫片，例如由不锈钢(例如SUS316L)形成。垫片50以及垫片51以具有相同的直径及厚度的方式而被形成。垫片50、51被设置在由收容凹部11b～11f、11i～11k和收容凹部21a～21b、31a～31c形成的空间内。由于被形成于收容凹部11b～11f、11i～11k的环状突起14和被形成于收容凹部21a、21b、31a～31c的环状突起14咬入，因此，垫片50、51被夹持在区块10及区块20、30、40之间，并且能够防止气体从区块10以及区块20、30、40之间漏出的情况。
垫片50具备在中央贯穿两表面的贯穿孔50a。垫片50将区块10与区块20、30、40之间密封，并且通过贯穿孔50a确保被形成在区块10的流路与被形成在区块20、30、40的流路的连通。
垫片51为不具有贯穿孔的盲型垫片。垫片51具备凹部51a，该凹部51a闭塞连通部36的开口，并且被形成于与连通部36对置的位置。凹部51a被形成为具有与连通部36的开口部大致相同半径的半球形状。形成凹部51a的曲面部51b(参照图6)以将从流路34a向流路34b流动的流体折返地进行引导的方式而被形成。
接着，针对流体控制装置100的作用进行说明。流体控制装置100控制处理气体以及冲洗气体的流动。此外，以下，示出了流体控制装置100的使用方法的一例，但是并不被限定于该使用方法。
第一处理气体以及第二处理气体例如为在晶圆上形成薄膜时所用的气体，并经由流体控制装置100而被供给至腔室(未图示)内。第一处理气体从被安装于与第二安装面12的收容凹部12b对置的位置的其它流路形成区块(未图示)中被供给。从收容凹部12b被供给的第一处理气体经由流路13d、贯穿孔50a、流路34c而被引导至阀装置3(参照图5以及图6)。若阀装置3的膜片3a与阀座33分离，则第一处理气体经由流路34a、连通部36、凹部51a、流路34b而被引导至阀装置4。进而，若阀装置4的膜片4a与阀座33分离，则第一处理气体经由流路34d、贯穿孔50a、流路13f而被引导至流路13。被引导至流路13的第一处理气体经由流路13a、13g、13h、13l而被引导至其它流体机器等，并被供给至腔室(未图示)内。
这样，在流体控制装置100中，阀装置3以及阀装置4在由流路34a～34d形成的流路中被串联地设置。因此，假设在阀装置3以及阀装置4中的一方故障的情况下，能够可靠地阻断经由流路34a～34d而流动的第一处理气体的流动。
第二处理气体与第一处理气体相同，从被安装于与第二安装面12的收容凹部12c对置的位置的其它流路形成区块(未图示)中被供给，并经由阀装置5、6以及流路13i而被引导至流路13(参照图1以及图2)。由于区块30和区块40为相同的结构，因此，虽然并未详细说明，但是阀装置5以及阀装置6也是相对于流路而被串联地设置的。因此，假设在阀装置5以及阀装置6中的一方故障的情况下，能够可靠地阻断第二处理气体的流动。另外，被设置于区块40与区块10之间的垫片51也发挥上述效果。
冲洗气体为惰性气体(例如氮气)。冲洗气体例如在切换第一处理气体以及第二处理气体的供给时，为了对流体控制装置100内进行冲洗而被供给至流体控制装置100内。冲洗气体从被安装于与第二安装面12的收容凹部12a对置的位置的其它流路形成区块(未图示)中被供给。从收容凹部12a中被供给的冲洗气体经由流路13b、贯穿孔50a、流路24a而被引导至阀装置2。若阀装置2的膜片2a与阀座23分离，则冲洗气体经由流路24b、贯穿孔50a、流路13c而被引导至流路13。这样，被引导至流路13的冲洗气体对流路13内进行冲洗。
例如，为了将流体控制装置100小型化，若将阀装置3与阀装置4的距离缩短，则流路34a及流路34b之间的距离缩短，流路34a和流路34b所成的角度变得更小。这样，若流路34a和流路34b所成的角度变小，则从流路34a向流路34b流动时的压力损失(流路阻力)变大。然而，由于流体控制装置100具备被形成于垫片51的凹部51a，因此，不仅通过连通部36，也能够通过凹部51a而使流路34a和流路34b连通。藉此，能够确保流路34a与流路34b的连接部分处的必要的有效截面积。由此，能够以不会妨碍流体的流动的方式而将流体控制装置100小型化。
特别地，在流路34a和流路34b所成的角度为45度以下的情况下，仅通过连通部36将难以确保必要的有效截面积。因此，通过设置凹部51a，能够确保流路34a和流路34b的连接部分处的必要的有效截面积，因此，是有用的。
此外，在流体控制装置100中，由于凹部51a具备以将从流路34a向流路34b流动的流体折返的方式对其进行引导的曲面部51b，因此，能够顺利地从流路34a向流路34b引导流体。
对如上构成的本发明的实施方式的结构、作用、以及效果进行总结说明。
流路形成区块1具备：第一区块(区块10)；第二区块(区块30、40)，其具有被安装于第一区块(区块10)的第一流路(流路34a)以及第二流路(流路34b)；垫片51，其被设置于第一区块(区块10)与第二区块(区块30、40)之间且对第一区块(区块10)与第二区块(区块30、40)之间进行密封，第二区块(区块30、40)具有被形成于与垫片51对置的底面35、并将第一流路(流路34a)和第二流路(流路34b)连通的连通部36，垫片51具有被形成于与连通部36对置的位置的凹部51a。
在该结构中，由于在与连通部36对置的位置形成有凹部51a，因此，除了通过连通部36以外，也能够通过凹部51a使第一流路(流路34a)和第二流路(流路34b)连通。藉此，能够确保第一流路(流路34a)和第二流路(流路34b)的连接部分中的流路的有效截面积。由此，能够以不会妨碍流体的流动的方式而将流路形成区块1小型化。
另外，在流路形成区块1中，第一流路(流路34a)以及第二流路(流路34b)以朝着凹部51a彼此靠近的方式而被形成，凹部51a具有以将从第一流路(流路34a)向第二流路(流路34b)流动的流体折返的方式对其进行引导的曲面部51b。
在该结构中，即便第一流路(流路34a)和第二流路(流路34b)所成的角度变得更小，由于凹部51a具有以将从第一流路(流路34a)向第二流路(流路34b)流动的流体折返的方式对其进行引导的曲面部51b，因此，也能够利用曲面部51b顺利地引导从第一流路(流路34a)向第二流路(流路34b)流动的流体。藉此，能够使第一流路(流路34a)和第二流路(流路34b)的连接部分中的压力损失更进一步降低。
流体控制装置100具备：流路形成区块1；第一阀装置(阀装置3、6)以及第二阀装置(阀装置4、5)，其被安装于第二区块(区块30、40)，第二区块(区块30、40)还具有：第三流路(流路34c)，其通过第一阀装置(阀装置3、6)而与第一流路(流路34a)连通或阻断；第四流路(流路34d)，其通过第二阀装置(阀装置4、5)而与第二流路(流路34b)连通或阻断。
当欲将流体控制装置100小型化时，若将第一阀装置(阀装置3、6)与第二阀装置(阀装置4、5)的距离缩短，则第一流路(流路34a)及第二流路(流路34b)之间的距离也缩短，第一流路(流路34a)和第二流路(流路34b)所成的角度变得更小。这样，若第一流路(流路34a)和第二流路(流路34b)所成的角度变小，则从第一流路(流路34a)向第二流路(流路34b)流动时的压力损失(流路阻力)变大。然而，在流体控制装置100中，由于具备凹部51a，因此，能够确保用以连接第一流路(流路34a)和第二流路(流路34b)的流路的有效截面积。由此，能够以不会妨碍流体的流动的方式而将流体控制装置100小型化。
在流体控制装置100中，第一流路(流路34a)为第一阀装置(阀装置3、6)的出口流路，第二流路(流路34b)为第二阀装置(阀装置4、5)的入口流路，第三流路(流路34c)为第一阀装置(阀装置3、6)的入口流路，第四流路(流路34d)为第二阀装置(阀装置4、5)的出口流路。
在该结构中，由于第一阀装置(阀装置3、6)以及第二阀装置(阀装置4、5)被串联地设置于流路34a～34d，因此，即便第一阀装置(阀装置3、6)以及第二阀装置(阀装置4、5)中的一方故障，也能够可靠地阻断经由流路34a～34d而流动的流体的流动。
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但是，上述实施方式仅仅表示本发明的应用例的一部分，并不是将本发明的技术范围限定于上述实施方式的具体结构的意思。
阀装置2、3、4、5、6例如也可以为通过手动操作来使驱动部工作的阀装置。另外，也可以为通过螺线管进行驱动的阀装置。另外，虽然举例说明了具有金属膜片以作为阀体的阀装置，但阀体可以为任意方式，例如，也可以为具备金属波纹管的提升阀等。
另外，虽然在上述实施方式中，举例说明了将流路34b作为入口流路、并将流路34d作为出口流路的情况，但是，也可以将流路34d作为入口流路，并将流路34b作为出口流路。
虽然在上述实施方式中，举例说明了在区块30上安装阀装置3、4的情况，但并不限于此，也可以应用于安装压力传感器、三通阀等其它流体机器的装置。
另外，虽然在上述实施方式中，举例说明了流路34a和流路34b以朝着凹部51a彼此靠近的方式而被形成的情况，但并不限于此，流路34a和流路34b也可以平行地延伸。
本申请要求基于在2019年4月26日向日本专利局提出的日本特愿2019-086395的优先权，并通过参照的方式在本说明书中引入了该申请的全部内容。

Claims (4)

1.一种流路形成区块，具备：
第一区块；
第二区块，其被安装于所述第一区块，且具有第一流路以及第二流路；
垫片，其被设置于所述第一区块与所述第二区块之间，且对所述第一区块和所述第二区块之间进行密封，
所述第二区块具有被形成于与所述垫片对置的面、并将所述第一流路和所述第二流路连通的连通部，
所述垫片具有被形成于与所述连通部对置的位置的凹部。
2.如权利要求1所述的流路形成区块，其中，
所述第一流路以及所述第二流路以朝着所述凹部彼此靠近的方式而被形成，
所述凹部具有以将从所述第一流路向所述第二流路流动的流体折返的方式对其进行引导的曲面部。
3.一种流体控制装置，具备：
权利要求1或2所记载的流路形成区块；
第一阀装置以及第二阀装置，其被安装于所述第二区块，
所述第二区块还具有：
第三流路，其通过所述第一阀装置而与所述第一流路连通或阻断；
第四流路，其通过所述第二阀装置而与所述第二流路连通或阻断。
4.如权利要求3所述的流体控制装置，其中，
所述第一流路为所述第一阀装置的出口流路，
所述第二流路为所述第二阀装置的入口流路，
所述第三流路为所述第一阀装置的入口流路，
所述第四流路为所述第二阀装置的出口流路。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12044307B2 (en) * 2021-12-15 2024-07-23 Ford Global Technologies, Llc Unitized valve body having connection orifices

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5797268U (zh) * 1980-12-08 1982-06-15
CA2556122A1 (en) * 2005-08-12 2007-02-12 Eaton Corporation Electro-hydraulic manifold assembly with mounted pressure sensors
WO2010038344A1 (ja) * 2008-09-30 2010-04-08 東京エレクトロン株式会社 ガス供給装置
JP2015178892A (ja) * 2013-12-05 2015-10-08 Ckd株式会社 流体供給制御装置
JP2018135840A (ja) * 2017-02-23 2018-08-30 株式会社豊田自動織機 流路切替弁

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6025016Y2 (ja) * 1980-12-16 1985-07-26 横河電機株式会社 ダイアフラム形切換バルブ
US4911195A (en) * 1986-08-27 1990-03-27 Porton Instruments, Inc. Valve block assembly
US5083742A (en) 1990-08-01 1992-01-28 Photovac Incorporated Fluid control valve
JP3863769B2 (ja) * 2001-12-04 2006-12-27 Ｓｍｃ株式会社 電磁弁用マニホールド
US20060060253A1 (en) 2002-10-21 2006-03-23 Ckd Corporation Integrated gas valve
JP4501027B2 (ja) * 2003-08-22 2010-07-14 株式会社フジキン 流体制御装置
WO2006059362A1 (ja) * 2004-11-30 2006-06-08 Ckd Corporation 流体用機器の接続部シール構造
JP5183935B2 (ja) * 2007-02-26 2013-04-17 Ｃｋｄ株式会社 流路ブロックの製造方法
SG176152A1 (en) * 2009-06-10 2011-12-29 Vistadeltek Llc Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates
JP5865692B2 (ja) 2011-12-13 2016-02-17 武蔵エンジニアリング株式会社 流路接続部のシール構造
JP6085492B2 (ja) 2013-02-08 2017-02-22 Ckd株式会社 プロセスガス分流供給装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5797268U (zh) * 1980-12-08 1982-06-15
CA2556122A1 (en) * 2005-08-12 2007-02-12 Eaton Corporation Electro-hydraulic manifold assembly with mounted pressure sensors
WO2010038344A1 (ja) * 2008-09-30 2010-04-08 東京エレクトロン株式会社 ガス供給装置
JP2015178892A (ja) * 2013-12-05 2015-10-08 Ckd株式会社 流体供給制御装置
JP2018135840A (ja) * 2017-02-23 2018-08-30 株式会社豊田自動織機 流路切替弁

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