CN113725134A - 晶粒的定位方法和定位装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种晶粒的定位方法和定位装置，晶圆包括第一表面和第二表面，该方法包括：将第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，晶粒与标记一一对应；将晶圆设置在光学显微镜的载物台上且第二表面朝上；将标记后的透明件覆盖在第二表面上，使得任意一个晶粒在标记后的透明件的投影覆盖对应的标记；根据标记定位目标晶粒。该定位方法解决了现有技术中晶粒的定位方法效率低下的问题。

Description

晶粒的定位方法和定位装置

技术领域

本申请涉及晶粒定位技术领域，具体而言，涉及一种晶粒的定位方法和定位装置。

背景技术

当使用光学显微镜phemos第二表面抓点时，需将晶圆第一表面朝下，粘在透明玻璃上，通过下面的另一个光学显微镜的镜头看晶圆第一表面，移动晶圆来寻找目标晶粒，但是光学显微镜的镜头的视野范围很窄，因此当通过移动晶圆来寻找目标晶粒时，通常需要花费很长的时间，难度高耗时长，影响工作效率。

在背景技术部分中公开的以上信息只是用来加强对本文所描述技术的背景技术的理解，因此，背景技术中可能包含某些信息，这些信息对于本领域技术人员来说并未形成在本国已知的现有技术。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种晶粒的定位方法和定位装置，以解决现有技术中晶粒的定位方法效率低下的问题。

根据本发明实施例的一个方面，提供了一种晶粒的定位方法，所述第一表面为晶粒所在的表面，晶圆包括第一表面和第二表面，所述方法包括：将所述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，所述晶粒与标记一一对应；将所述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且所述第二表面朝上；将所述标记后的透明件覆盖在所述第二表面上，使得任意一个所述晶粒在所述标记后的透明件的投影覆盖对应的所述标记；根据所述标记定位目标晶粒。

可选地，所述晶粒和对应的所述标记的尺寸相同，且任意两个所述标记的中心的距离与对应的两个所述晶粒的中心的距离相等。

可选地，所述标记包括轮廓标记和编号标记，将所述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，包括：将所述晶粒的轮廓标记在所述透明件上，得到多个所述轮廓标记；将所述晶粒进行编号，得到多个所述编号标记，所述编号标记与所述晶粒一一对应；将第一编号标记标记在第二轮廓标记中，将第二编号标记标记在第一轮廓标记中，所述第一轮廓标记和所述第二轮廓标记相对所述第二表面的对称轴对称，所述第一编号标记为所述第一轮廓标记对应的所述晶粒的所述编号标记，所述第二编号标记为所述第二轮廓标记对应的所述晶粒的所述编号标记。

可选地，根据所述标记定位目标晶粒，包括：根据所述目标晶粒的所述编号移动所述晶圆，使得所述目标晶粒对应的所述标记出现在所述光学显微镜的镜头的视野中。

可选地，在根据所述标记定位目标晶粒之后，所述方法还包括：移动所述标记后的透明件，使得所述标记后的透明件脱离所述第二表面。

可选地，在移动所述标记后的透明件，使得所述标记后的透明件脱离所述第二表面之后，所述方法还包括：去除所述标记后的透明件上的所述标记和所述编号。

可选地，所述透明件为透明薄膜。

根据本发明实施例的另一个方面，提供了一种晶粒的定位装置，晶圆包括第一表面和第二表面，所述装置包括：标记组件，用于将所述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，所述晶粒与标记一一对应；第一移动件，用于将所述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且所述第二表面朝上；第二移动件，用于将所述标记后的透明件覆盖在所述第二表面上，使得任意一个所述晶粒在所述标记后的透明件的投影覆盖对应的所述标记；定位件，用于根据所述标记定位目标晶粒。

可选地，所述标记包括轮廓标记和编号标记，所述标记组件包括：第一标记件，用于将所述晶粒的轮廓标记在所述透明件上，得到多个所述轮廓标记；编号件，用于将所述晶粒进行编号，得到多个所述编号标记，所述编号标记与所述晶粒一一对应；第二标记件，用于将第一编号标记标记在第二轮廓标记中，将第二编号标记标记在第一轮廓标记中，所述第一轮廓标记和所述第二轮廓标记相对所述第二表面的对称轴对称，所述第一编号标记为所述第一轮廓标记对应的所述晶粒的所述编号标记，所述第二编号标记为所述第二轮廓标记对应的所述晶粒的所述编号标记。

可选地，所述定位件包括：第三移动件，用于根据所述目标晶粒的所述编号移动所述晶圆，使得所述目标晶粒对应的所述标记出现在所述光学显微镜的镜头的视野中。

在本发明实施例中，上述晶粒的定位方法中，首先，将上述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，上述晶粒与标记一一对应；然后，将上述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且上述第二表面朝上；之后，将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，使得任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记；最后，根据上述标记定位目标晶粒。该定位方法通过肉眼观察标记，移动晶圆使得目标晶粒对应的标记出现在光学显微镜的镜头视野中，实现定位目标晶粒，相比于现有技术中通过另一个光学显微镜的镜头在晶圆下方观察晶圆的第一表面来定位目标晶粒，肉眼观察的视野远大于另一个光学显微镜的镜头的视野，从而可以快速地定位目标晶粒，解决了现有技术中晶粒的定位方法效率低下的问题。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本申请的一种实施例的晶粒的定位方法的流程图；

图2示出了根据本申请的一种实施例的显微镜在晶圆的第二表面抓点的流程图；

图3示出了根据本申请的一种实施例的晶圆的第一表面的晶粒对应的轮廓标记和编号标记的示意图；

图4示出了根据本申请的一种实施例的标记轮廓标记和编号标记后的透明件的示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

应该理解的是，当元件(诸如层、膜、区域、或衬底)描述为在另一元件“上”时，该元件可直接在该另一元件上，或者也可存在中间元件。而且，在说明书以及权利要求书中，当描述有元件“连接”至另一元件时，该元件可“直接连接”至该另一元件，或者通过第三元件“连接”至该另一元件。

正如背景技术中所说的，现有技术中晶粒的定位方法效率低下，为了解决上述问题，本申请的一种典型的实施方式中，提供了一种晶粒的定位方法和定位装置。

根据本申请的实施例，提供了一种晶粒的定位方法，其中，晶圆包括第一表面和第二表面，上述第一表面为晶粒所在的表面。

图1是根据本申请实施例的晶粒的定位方法的流程图。如图1所示，该方法包括以下步骤：

步骤S101，将上述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，上述晶粒与标记一一对应；

步骤S102，将上述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且上述第二表面朝上，如图2所示；

步骤S103，将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，使得任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记；

步骤S104，根据上述标记定位目标晶粒。

上述晶粒的定位方法中，首先，将上述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，上述晶粒与标记一一对应；然后，将上述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且上述第二表面朝上；之后，将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，使得任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记；最后，根据上述标记定位目标晶粒。该定位方法通过肉眼观察标记，移动晶圆使得目标晶粒对应的标记出现在光学显微镜的镜头视野中，实现定位目标晶粒，相比于现有技术中通过另一个光学显微镜的镜头在晶圆下方观察晶圆的第一表面来定位目标晶粒，肉眼观察的视野远大于另一个光学显微镜的镜头的视野，从而可以快速地定位目标晶粒，解决了现有技术中晶粒的定位方法效率低下的问题。

本申请的一种实施例中，上述晶粒和对应的上述标记的尺寸相同，且任意两个上述标记的中心的距离与对应的两个上述晶粒的中心的距离相等。具体地，上述晶粒和对应的上述标记的尺寸大小相同，且任意两个上述标记的中心的距离与对应的两个上述晶粒的中心的距离相等，即任意两个标记的相对位置与对应的两个上述晶粒的相对位置也相同，即可确保将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，各标记与对应的晶粒对齐后，任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记。

本申请的一种实施例中，上述标记包括轮廓标记和编号标记，将上述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，包括：将上述晶粒的轮廓标记在上述透明件上，得到多个上述轮廓标记；将上述晶粒进行编号，得到多个上述编号标记，上述编号标记与上述晶粒一一对应；将第一编号标记标记在第二轮廓标记中，将第二编号标记标记在第一轮廓标记中，上述第一轮廓标记和上述第二轮廓标记相对上述第二表面的对称轴对称，上述第一编号标记为上述第一轮廓标记对应的上述晶粒的上述编号标记，上述第二编号标记为上述第二轮廓标记对应的上述晶粒的上述编号标记。具体地，将上述晶粒进行编号，得到多个上述编号标记，如图3所示，将第一编号标记标记在第二轮廓标记中，将第二编号标记标记在第一轮廓标记中，即将对称轴左右两侧的编号位置进行镜像互换后整体标记在轮廓标记中，例如，编号1，2标记在编号4，2的晶粒对应的轮廓标记中，编号4，2标记在编号1，2的晶粒对应的轮廓标记中，如图4所示，确保将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上后，轮廓标记中的编号与对齐的晶粒一一对应，进一步降低定位难度，提高定位效率。

本申请的一种实施例中，根据上述标记定位目标晶粒，包括：根据上述目标晶粒的上述编号移动上述晶圆，使得上述目标晶粒对应的上述标记出现在上述光学显微镜的镜头的视野中。具体地，肉眼观察标记以确定目标晶粒对应的标记与镜头视野的标记的相对位置，移动晶圆以使得上述目标晶粒对应的上述标记出现在上述光学显微镜的镜头的视野中，完成定位。

本申请的一种实施例中，在根据上述标记定位目标晶粒之后，上述方法还包括：移动上述标记后的透明件，使得上述标记后的透明件脱离上述第二表面。具体地，完成目标晶粒的定位后，上述标记后的透明件脱离上述第二表面，即可通过显微镜观察目标晶粒对应的第二表面的结构。

本申请的一种实施例中，在移动上述标记后的透明件，使得上述标记后的透明件脱离上述第二表面之后，上述方法还包括：去除上述标记后的透明件上的上述标记和上述编号。具体地，透明件使用完毕后，去除上述标记后的透明件上的上述标记和上述编号，以供回收二次利用，降低成本。

本申请的一种实施例中，上述透明件为透明薄膜。具体地，透明薄膜成本较低，且可回收二次利用，当然，上述透明件也不限于透明薄膜，本领域技术人员可以根据实际情况选择合适的透明件。

本申请实施例还提供了一种晶粒的定位装置，晶圆包括第一表面和第二表面，上述装置包括：

标记组件，用于将上述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，上述晶粒与标记一一对应；

第一移动件，用于将上述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且上述第二表面朝上；

第二移动件，用于将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，使得任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记；

定位件，用于根据上述标记定位目标晶粒。

上述晶粒的定位装置中，标记组件将上述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，上述晶粒与标记一一对应；第一移动件将上述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且上述第二表面朝上，第二移动件将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，使得任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记；定位件根据上述标记定位目标晶粒。该定位装置通过肉眼观察标记，移动晶圆使得目标晶粒对应的标记出现在光学显微镜的镜头视野中，实现定位目标晶粒，相比于现有技术中通过另一个光学显微镜的镜头在晶圆下方观察晶圆的第一表面来定位目标晶粒，肉眼观察的视野远大于另一个光学显微镜的镜头的视野，从而可以快速地定位目标晶粒，解决了现有技术中晶粒的定位方法效率低下的问题。

本申请的一种实施例中，上述晶粒和对应的上述标记的尺寸相同，且任意两个上述标记的中心的距离与对应的两个上述晶粒的中心的距离相等。具体地，上述晶粒和对应的上述标记的尺寸大小相同，且任意两个上述标记的中心的距离与对应的两个上述晶粒的中心的距离相等，即任意两个标记的相对位置与对应的两个上述晶粒的相对位置也相同，即可确保将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，各标记与对应的晶粒对齐后，任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记。

本申请的一种实施例中，上述标记包括轮廓标记和编号标记，上述标记组件包括第一标记件、编号件和第二标记件，上述第一标记件用于将上述晶粒的轮廓标记在上述透明件上，得到多个上述轮廓标记；编号件用于将上述晶粒进行编号，得到多个上述编号标记，上述编号标记与上述晶粒一一对应；第二标记件用于将第一编号标记标记在第二轮廓标记中，将第二编号标记标记在第一轮廓标记中，上述第一轮廓标记和上述第二轮廓标记相对上述第二表面的对称轴对称，上述第一编号标记为上述第一轮廓标记对应的上述晶粒的上述编号标记，上述第二编号标记为上述第二轮廓标记对应的上述晶粒的上述编号标记。具体地，将上述晶粒进行编号，得到多个上述编号标记，如图3所示，将第一编号标记标记在第二轮廓标记中，将第二编号标记标记在第一轮廓标记中，即将对称轴左右两侧的编号位置进行镜像互换后整体标记在轮廓标记中，例如，编号1，2标记在编号4，2的晶粒对应的轮廓标记中，编号4，2标记在编号1，2的晶粒对应的轮廓标记中，如图4所示，确保将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上后，轮廓标记中的编号与对齐的晶粒一一对应，进一步降低定位难度，提高定位效率。

本申请的一种实施例中，上述定位件包括第三移动件，上述第三移动件用于根据上述目标晶粒的上述编号移动上述晶圆，使得上述目标晶粒对应的上述标记出现在上述光学显微镜的镜头的视野中。具体地，肉眼观察标记以确定目标晶粒对应的标记与镜头视野的标记的相对位置，移动晶圆以使得上述目标晶粒对应的上述标记出现在上述光学显微镜的镜头的视野中，完成定位。

本申请的一种实施例中，上述装置还包括第四移动件，第四移动件用于在根据上述标记定位目标晶粒之后，移动上述标记后的透明件，使得上述标记后的透明件脱离上述第二表面。具体地，完成目标晶粒的定位后，上述标记后的透明件脱离上述第二表面，即可通过显微镜观察目标晶粒对应的第二表面的结构。

本申请的一种实施例中，上述装置还包括去除件，上述去除件用于在移动上述标记后的透明件，使得上述标记后的透明件脱离上述第二表面之后，去除上述标记后的透明件上的上述标记和上述编号。具体地，透明件使用完毕后，去除上述标记后的透明件上的上述标记和上述编号，以供回收二次利用，降低成本。

本申请的一种实施例中，上述透明件为透明薄膜。具体地，透明薄膜成本较低，且可回收二次利用，当然，上述透明件也不限于透明薄膜，本领域技术人员可以根据实际情况选择合适的透明件。

从以上的描述中，可以看出，本申请上述的实施例实现了如下技术效果：

1)、本申请的晶粒的定位方法中，首先，将上述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，上述晶粒与标记一一对应；然后，将上述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且上述第二表面朝上；之后，将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，使得任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记；最后，根据上述标记定位目标晶粒。该定位方法通过肉眼观察标记，移动晶圆使得目标晶粒对应的标记出现在光学显微镜的镜头视野中，实现定位目标晶粒，相比于现有技术中通过另一个光学显微镜的镜头在晶圆下方观察晶圆的第一表面来定位目标晶粒，肉眼观察的视野远大于另一个光学显微镜的镜头的视野，从而可以快速地定位目标晶粒，解决了现有技术中晶粒的定位方法效率低下的问题。

2)、本申请的晶粒的定位装置中，标记组件将上述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，上述晶粒与标记一一对应；第一移动件将上述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且上述第二表面朝上，第二移动件将上述标记后的透明件覆盖在上述第二表面上，使得任意一个上述晶粒在上述标记后的透明件的投影覆盖对应的上述标记；定位件根据上述标记定位目标晶粒。该定位装置通过肉眼观察标记，移动晶圆使得目标晶粒对应的标记出现在光学显微镜的镜头视野中，实现定位目标晶粒，相比于现有技术中通过另一个光学显微镜的镜头在晶圆下方观察晶圆的第一表面来定位目标晶粒，肉眼观察的视野远大于另一个光学显微镜的镜头的视野，从而可以快速地定位目标晶粒，解决了现有技术中晶粒的定位方法效率低下的问题。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶粒的定位方法，其特征在于，晶圆包括第一表面和第二表面，所述第一表面为晶粒所在的表面，所述方法包括：

将所述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，所述晶粒与标记一一对应；

将所述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且所述第二表面朝上；

将所述标记后的透明件覆盖在所述第二表面上，使得任意一个所述晶粒在所述标记后的透明件的投影覆盖对应的所述标记；

根据所述标记定位目标晶粒。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶粒和对应的所述标记的尺寸相同，且任意两个所述标记的中心的距离与对应的两个所述晶粒的中心的距离相等。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标记包括轮廓标记和编号标记，将所述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，包括：

将所述晶粒的轮廓标记在所述透明件上，得到多个所述轮廓标记；

将所述晶粒进行编号，得到多个所述编号标记，所述编号标记与所述晶粒一一对应；

将第一编号标记标记在第二轮廓标记中，将第二编号标记标记在第一轮廓标记中，所述第一轮廓标记和所述第二轮廓标记相对所述第二表面的对称轴对称，所述第一编号标记为所述第一轮廓标记对应的所述晶粒的所述编号标记，所述第二编号标记为所述第二轮廓标记对应的所述晶粒的所述编号标记。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，根据所述标记定位目标晶粒，包括：

根据所述目标晶粒的所述编号移动所述晶圆，使得所述目标晶粒对应的所述标记出现在所述光学显微镜的镜头的视野中。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在根据所述标记定位目标晶粒之后，所述方法还包括：

移动所述标记后的透明件，使得所述标记后的透明件脱离所述第二表面。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在移动所述标记后的透明件，使得所述标记后的透明件脱离所述第二表面之后，所述方法还包括：

去除所述标记后的透明件上的所述标记和所述编号。

7.根据权利要求1至6任一项所述的方法，其特征在于，所述透明件为透明薄膜。

8.一种晶粒的定位装置，其特征在于，晶圆包括第一表面和第二表面，所述装置包括：

标记组件，用于将所述第一表面的晶粒位置标记在透明件上，得到标记后的透明件，所述晶粒与标记一一对应；

第一移动件，用于将所述晶圆设置在光学显微镜的载物台上且所述第二表面朝上；

第二移动件，用于将所述标记后的透明件覆盖在所述第二表面上，使得任意一个所述晶粒在所述标记后的透明件的投影覆盖对应的所述标记；

定位件，用于根据所述标记定位目标晶粒。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述标记包括轮廓标记和编号标记，所述标记组件包括：

第一标记件，用于将所述晶粒的轮廓标记在所述透明件上，得到多个所述轮廓标记；

编号件，用于将所述晶粒进行编号，得到多个所述编号标记，所述编号标记与所述晶粒一一对应；

第二标记件，用于将第一编号标记标记在第二轮廓标记中，将第二编号标记标记在第一轮廓标记中，所述第一轮廓标记和所述第二轮廓标记相对所述第二表面的对称轴对称，所述第一编号标记为所述第一轮廓标记对应的所述晶粒的所述编号标记，所述第二编号标记为所述第二轮廓标记对应的所述晶粒的所述编号标记。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述定位件包括：

第三移动件，用于根据所述目标晶粒的所述编号移动所述晶圆，使得所述目标晶粒对应的所述标记出现在所述光学显微镜的镜头的视野中。

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