CN113725127A - Coc蓝膜脱膜装置 - Google Patents

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代克明
卢胜泉
王友辉
陈小玉
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Abstract

本发明公开了COC蓝膜脱膜装置，包括XY轴模组固定座、蓝膜底盘、顶针座和XY调节滑台底座，所述X轴模组固定座顶部设有X轴导轨模组，所述X轴导轨模组顶部设有Y轴模组固定座，所述Y轴模组固定座顶部设有Y轴导轨模组，所述Y轴导轨模组顶部设有蓝膜底板，本发明通过XY手动调节滑台可以调整顶针座X轴以及Y轴方向的位置，通过顶针座电机，带动偏心轮旋转，使得电机转轴有一个上下的偏心行程，通过上下的偏心行程控制顶针座上下微动，通过原点感应片与原点感应器的配合控制顶针座电机的转动角度，从而控制顶针座上下微动的行程，顶针座顶起来让蓝膜轻微往上张开最终让芯片坐落于实心的顶针座下面，为方便吸嘴吸取芯片。

Description

COC蓝膜脱膜装置
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，具体为COC蓝膜脱膜装置。
背景技术
共晶贴片机是一种广泛应用于光电子学，无线和医学行业的自动化设备，它是设计规划用于定位精度的精密元件组装设备，能够有效降低元件组装的人工成本。在COC共晶结束以后需要对带芯片蓝膜盘进行脱膜。
但是，现有的COC蓝膜脱膜装置在使用过程中存在一些弊端，比如：
现有的COC蓝膜脱膜装置在使用过程中，顶针位置难以调节，在进行脱膜时，容易出现定位不准，造成脱膜失败，芯片无法吸取转移，影响生产效率。
发明内容
本发明的目的在于提供COC蓝膜脱膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：COC蓝膜脱膜装置，包括XY轴模组固定座、蓝膜底盘、顶针座和XY调节滑台底座，所述XY轴模组固定座顶部设有X轴模组固定座，所述X轴模组固定座顶部设有X轴导轨模组，所述X轴导轨模组顶部设有Y轴模组固定座，所述Y轴模组固定座顶部设有Y轴导轨模组，所述Y轴导轨模组顶部设有蓝膜底板，所述蓝膜底板内部设有带芯片蓝膜盘，所述XY调节滑台底座顶部设有XY手动调节滑台，所述XY手动调节滑台顶部设有滑台安装板，所述滑台安装板顶部设有顶针固定座，所述顶针固定座顶部设有顶针座，所述顶针固定座一侧设有顶针座电机，所述顶针座电机输出轴外壁位于顶针座下方设有偏心轮。
进一步的，所述X轴导轨模组一端设有X轴电机，所述X轴导轨模组两端设有X轴上下限位感应器，用于X轴导轨模组的两端限位，所述X轴导轨模组靠近X轴电机一端设有X轴原点感应器，用于X轴导轨模组的原点回位。
进一步的，所述Y轴导轨模组一端设有Y轴电机，所述Y轴导轨模组两端设有Y轴上下限位感应器，用于Y轴导轨模组的两端限位，所述Y轴导轨模组靠近Y轴电机一端设有Y轴原点感应器，用于Y轴导轨模组的原点回位。
进一步的，所述蓝膜底板一侧内部设有膜盘固定座，所述蓝膜底板与膜盘固定座之间设有带弹簧销钉，用于将带芯片蓝膜盘安装在膜盘固定座上。
进一步的，所述顶针座电机与顶针固定座之间设有电机固定座，所述顶针座电机一端设有原点感应片，所述电机固定座靠近原点感应片一侧设有原点感应器。
进一步的，所述原点感应片与顶针座电机输出轴安装部位一侧设有夹紧头，用于原点感应片安装稳固。
进一步的，所述原点感应器与电机固定座连接部位设有原点感应器座，用于原点感应器的安装，配合原点感应片使用，便于偏心轮的回位。
进一步的，所述顶针座上方设有顶针帽，用于顶起带芯片蓝膜盘的蓝膜。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明通过设置的顶针座、偏心轮以及XY手动调节滑台，实现了在COC脱膜装置使用时，使用时，将带芯片蓝膜盘安装在蓝膜盘固定座上，通过启动X轴电机和Y轴电机，带芯片蓝膜盘可以在X方向和Y方向的快速移动移动到顶针座上面，通过XY手动调节滑台可以调整顶针座X轴以及Y轴方向的位置，通过顶针座电机，带动偏心轮旋转，使得电机转轴有一个上下的偏心行程，通过上下的偏心行程控制顶针座上下微动，通过原点感应片与原点感应器的配合控制顶针座电机的转动角度，从而控制顶针座上下微动的行程，顶针座顶起来让蓝膜轻微往上张开最终让芯片坐落于实心的顶针座下面，为方便吸嘴吸取芯片，整个装置定位准确，自动化程度高，保证脱膜时顶针座正对芯片，保证芯片的脱膜定位，效率较高。
附图说明
图1为本发明整体轴测图；
图2为本发明整体爆炸图；
图3为本发明顶针座连接结构轴测图；
图4为本发明顶针座连接结构主视图；
图5为本发明图4中A-A处剖视图。
图中：1-XY轴模组固定座；2-X轴模组固定座；3-X轴导轨模组；301-X轴电机；302-X轴上下限位感应器；303-X轴原点感应器；4-Y轴模组固定座；5-Y轴导轨模组；501-Y轴电机；502-Y轴上下限位感应器；503-Y轴原点感应器；6-蓝膜底板；601-膜盘固定座；602-带弹簧销钉；7-带芯片蓝膜盘；8-顶针座电机；801-电机固定座；802-原点感应片；803-原点感应器；9-顶针座；10-顶针固定座；11-XY调节滑台底座；12-XY手动调节滑台；13-滑台安装板；14-偏心轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：COC蓝膜脱膜装置，包括XY轴模组固定座1、蓝膜底盘6、顶针座9和XY调节滑台底座11，XY轴模组固定座1顶部通过螺钉固定连接有X轴模组固定座2，X轴模组固定座2顶部通过螺钉固定连接有X轴导轨模组3，X轴导轨模组3顶部通过滑块滑动连接有Y轴模组固定座4，Y轴模组固定座4顶部通过螺钉固定连接有Y轴导轨模组5，Y轴导轨模组5顶部卡接有蓝膜底板6，蓝膜底板6内部卡接有带芯片蓝膜盘7，XY调节滑台底座11顶通过螺钉固定连接有XY手动调节滑台12，XY手动调节滑台12顶部通过螺钉固定连接有滑台安装板13，滑台安装板13顶部通过螺钉固定连接有顶针固定座10，顶针固定座10顶部通过插接活动连接有顶针座9，顶针固定座10一侧通过螺钉固定连接有顶针座电机8，顶针座电机8输出轴外壁位于顶针座9下方卡接有偏心轮14。
X轴导轨模组3一端通过螺钉固定连接有X轴电机301，X轴导轨模组3两端通过螺钉固定连接有X轴上下限位感应器302，用于X轴导轨模组3的两端限位，X轴导轨模组3靠近X轴电机301一端通过螺钉固定连接有X轴原点感应器303，用于X轴导轨模组3的原点回位，Y轴导轨模组5一端通过螺钉固定连接有Y轴电机501，Y轴导轨模组5两端通过螺钉固定连接有Y轴上下限位感应器502，用于Y轴导轨模组5的两端限位，Y轴导轨模组5靠近Y轴电机501一端通过螺钉固定连接有Y轴原点感应器503，用于Y轴导轨模组5的原点回位。
蓝膜底板6一侧内部卡接有膜盘固定座601，蓝膜底板6与膜盘固定座601之间设有带弹簧销钉602，用于将带芯片蓝膜盘7安装在膜盘固定座601上，顶针座电机8与顶针固定座10之间通过螺钉固定连接有电机固定座801，顶针座电机8一端通过螺钉固定连接有原点感应片802，电机固定座801靠近原点感应片802一侧通过螺钉固定连接有原点感应器803。
原点感应片802与顶针座电机8输出轴安装部位一侧通过螺钉固定连接有夹紧头，用于原点感应片802安装稳固，原点感应器803与电机固定座801连接部位通过螺钉固定连接有原点感应器座，用于原点感应器803的安装，配合原点感应片802使用，便于偏心轮14的回位，顶针座9上方设有顶针帽，用于顶起带芯片蓝膜盘7的蓝膜。
工作原理：在COC脱膜装置使用时，使用时，将带芯片蓝膜盘7安装在蓝膜盘固定座6上，通过启动X轴电机301和Y轴电机501，带芯片蓝膜盘7可以在X方向和Y方向的快速移动移动到顶针座9上面，通过XY手动调节滑台12可以调整顶针座9X轴以及Y轴方向的位置，通过顶针座电机8，带动偏心轮14旋转，使得电机转轴有一个上下的偏心行程，通过上下的偏心行程控制顶针座9上下微动，通过原点感应片802与原点感应器803的配合控制顶针座电机8的转动角度，从而控制顶针座9上下微动的行程，顶针座9顶起来让蓝膜轻微往上张开最终让芯片坐落于实心的顶针座9下面，为方便吸嘴吸取芯片，整个装置定位准确，自动化程度高，保证脱膜时顶针座正对芯片，保证芯片的脱膜定位，效率较高。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.COC蓝膜脱膜装置，包括XY轴模组固定座(1)、蓝膜底盘(6)、顶针座(9)和XY调节滑台底座(11)，所述XY轴模组固定座(1)顶部设有X轴模组固定座(2)，所述X轴模组固定座(2)顶部设有X轴导轨模组(3)，所述X轴导轨模组(3)顶部设有Y轴模组固定座(4)，所述Y轴模组固定座(4)顶部设有Y轴导轨模组(5)，其特征在于：所述Y轴导轨模组(5)顶部设有蓝膜底板(6)，所述蓝膜底板(6)内部设有带芯片蓝膜盘(7)，
所述XY调节滑台底座(11)顶部设有XY手动调节滑台(12)，所述XY手动调节滑台(12)顶部设有滑台安装板(13)，所述滑台安装板(13)顶部设有顶针固定座(10)，所述顶针固定座(10)顶部设有顶针座(9)，所述顶针固定座(10)一侧设有顶针座电机(8)，所述顶针座电机(8)输出轴外壁位于顶针座(9)下方设有偏心轮(14)。
2.根据权利要求1所述的COC蓝膜脱膜装置，其特征在于：所述X轴导轨模组(3)一端设有X轴电机(301)，所述X轴导轨模组(3)两端设有X轴上下限位感应器(302)，所述X轴导轨模组(3)靠近X轴电机(301)一端设有X轴原点感应器(303)。
3.根据权利要求1所述的COC蓝膜脱膜装置，其特征在于：所述Y轴导轨模组(5)一端设有Y轴电机(501)，所述Y轴导轨模组(5)两端设有Y轴上下限位感应器(502)，所述Y轴导轨模组(5)靠近Y轴电机(501)一端设有Y轴原点感应器(503)。
4.根据权利要求1所述的COC蓝膜脱膜装置，其特征在于：所述蓝膜底板(6)一侧内部设有膜盘固定座(601)，所述蓝膜底板(6)与膜盘固定座(601)之间设有带弹簧销钉(602)。
5.根据权利要求1所述的COC蓝膜脱膜装置，其特征在于：所述顶针座电机(8)与顶针固定座(10)之间设有电机固定座(801)，所述顶针座电机(8)一端设有原点感应片(802)，所述电机固定座(801)靠近原点感应片(802)一侧设有原点感应器(803)。
6.根据权利要求5所述的COC蓝膜脱膜装置，其特征在于：所述原点感应片(802)与顶针座电机(8)输出轴安装部位一侧设有夹紧头。
7.根据权利要求5所述的COC蓝膜脱膜装置，其特征在于：所述原点感应器(803)与电机固定座(801)连接部位设有原点感应器座。
8.根据权利要求1所述的COC蓝膜脱膜装置，其特征在于：所述顶针座(9)上方设有顶针帽。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114932090A (zh) * 2022-04-27 2022-08-23 泉州兰姆达仪器设备有限公司 一种激光芯片测试分选机的吸料机构及其工作方法
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