CN113696595A - 具有双作业线的基板贴合机台及其处理系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种具有双作业线的基板贴合机台及其处理系统，具有双作业线的基板贴合机台包括两条贴合作业线、子板送料机构、至少一视觉辨识装置、活动式吸附装置及往返输送机构。每一贴合作业线具有一输送装置用以输送一载具及一吸附载盘。每一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及分歧装置。子板送料机构位于两个输送装置之间，用以输送基板。活动式吸附装置吸附基板到视觉辨识装置，以辨识基板的定位标志，然后移动基板到贴合作业线。往返输送机构能选择地输送吸附载盘进到下游工艺机台，或者回到基板贴合机台。
Description
技术领域
本发明涉及一种具有双作业线的基板贴合机台以及具有双作业线的基板处理系统，尤其涉及一种用于加工处理具有电子线路的基板的设备，并且可以进行两条作业线的处理，还包括一下游工艺机台，例如印刷机台。
背景技术
由于电子技术的不断进步，电子装置内部具有多种具有电子线路的基板。一种基板往往需要多道的制造流程，例如并板、印刷、回焊等。
现有技术为以批次的方式同时处理多个基板，一种方式是将多个基板，或称子板，以粘贴方式将多个基板贴附于一载具，此种方式的载具需要过回焊炉；另一种方式是，以顶针定位具有多个基板的一多联板，此种方式的精度大约达到±50μm，已逐渐不能应付元件小型化后，锡膏印刷精度的需求。
此外，在印刷的过程中，如何避免贴合或印刷机台被闲置，也是本发明欲解决的问题，以免生产效率受到限制。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种具有双作业线的基板贴合机台，通过具有多孔的载具并配合微漏型真空节流阀的方式，以提高贴合的精度。
此外，本发明所要解决的技术问题还在于，针对现有技术的不足提供一种具有双作业线的基板处理系统，通过具有双作业线的基板贴合机台搭配一印刷机台，不仅以具有多孔的载具并配合微漏型真空节流阀的方式，以提高贴合的精度，此外还能在印刷机台工作的同时进行贴合的作业，避免机台被闲置，以提高生产效率。
为了解决上述的技术问题，本发明所采用的其中一技术方案是，提供一种具有双作业线的基板贴合机台，其包括一第一贴合作业线、一第二贴合作业线、一子板送料机构、至少一视觉辨识装置、一活动式吸附装置及一往返输送机构。所述第一贴合作业线具有一第一输送装置及一第一吸附载盘；所述第一吸附载盘位于所述第一输送装置的前方，所述第一输送装置用以输送一第一载具；所述第一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第一载具能拆卸地置于所述第一吸附载盘上。所述第二贴合作业线具有一第二输送装置及一第二吸附载盘；所述第二吸附载盘位于所述第二输送装置的前方，所述第二输送装置用以输送一第二载具，所述第二吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第二载具能拆卸地置于所述第二吸附载盘上。所述子板送料机构位于所述第一输送装置与所述第二输送装置之间，所述子板送料机构用以输送多个基板。所述至少一视觉辨识装置用以辨识每一所述基板的定位标志。所述活动式吸附装置吸附所述基板到所述至少一视觉辨识装置，然后移动所述基板到所述第一贴合作业线或所述第二贴合作业线。所述往返输送机构能选择地输送所述第一吸附载盘或所述第二吸附载盘进到一下游工艺机台，或者回到所述基板贴合机台。
为了解决上述的技术问题，本发明所采用的另外一技术方案是，提供一种具有双作业线的基板处理系统，其包括一基板贴合机台及一印刷机台。所述基板贴合机台包括一第一贴合作业线、一第二贴合作业线、一子板送料机构、至少一视觉辨识装置、一活动式吸附装置及一往返输送机构。所述第一贴合作业线具有一第一输送装置及一第一吸附载盘；所述第一吸附载盘位于所述第一输送装置的前方，所述第一输送装置用以输送一第一载具；所述第一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第一载具能拆卸地置于所述第一吸附载盘上。所述第二贴合作业线具有一第二输送装置及一第二吸附载盘；所述第二吸附载盘位于所述第二输送装置的前方，所述第二输送装置用以输送一第二载具，所述第二吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第二载具能拆卸地置于所述第二吸附载盘上。所述子板送料机构位于所述第一输送装置与所述第二输送装置之间，所述子板送料机构用以输送多个基板。所述至少一视觉辨识装置用以辨识每一所述基板的定位标志。所述活动式吸附装置吸附所述基板到所述至少一视觉辨识装置，然后移动所述基板到所述第一贴合作业线或所述第二贴合作业线。所述往返输送机构能选择地输送所述第一吸附载盘或所述第二吸附载盘进到所述印刷机台，或者回到所述基板贴合机台。
本发明的其中一有益效果在于，本发明所提供具有双作业线的基板贴合机台，其能通过具有多孔的载具并配合微漏型真空节流阀的方案，以提高贴合的精度。此外，本发明所提供的具有双作业线的基板处理系统，其通过配置一印刷机台，不仅可以提高贴合的精度，此外还能在印刷机台工作的同时进行贴合的作业，避免机台被闲置，以提高生产效率。具体的说，本发明的载具可以在锡膏印刷机台印刷完成后，解除真空状态之后，回收吸附载盘再进行另一贴合作业，其中通过所述往返输送机构，可以在进行印刷第一载具上的基板的同时，进行第二条高精密度的贴合作业，达到可进行连续式贴合与印刷的生产方式。
为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
图1为本发明具有双作业线的基板贴合机台的立体图。
图2A为本发明的吸附载盘的放大立体图。
图2B为本发明的吸附载盘的微漏型真空节流阀的剖视图。
图3为本发明具有双作业线的基板贴合机台的俯视图。
图4为本发明的基板贴合机台运送第一载具的示意俯视图。
图5为本发明的基板贴合机台吸附基板的示意俯视图。
图6为本发明的基板贴合机台视觉辨识基板的示意俯视图。
图7为本发明的基板贴合机台视觉辨识基板的示意侧视图。
图8为本发明的基板贴合机台视觉辨识基板的立体图。
图9为本发明的基板贴合机台置放基板的示意俯视图。
图10为本发明的基板贴合机台运送吸附载盘的示意俯视图。
图11为本发明的基板贴合机台运送吸附载盘至印刷机台的示意俯视图。
图12至图14为本发明的基板贴合机台的第二贴合作业的流程示意图。
具体实施方式
以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。
应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种元件或者信号，但这些元件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一元件与另一元件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
请参阅图1至图2A，本发明提供一种具有双作业线的基板贴合机台100，或者简称为基板贴合机台100，其包括一第一贴合作业线L1、一第二贴合作业线L2、一子板送料机构30、一对视觉辨识装置40a、40b、一活动式吸附装置60及一往返输送机构80。本发明利用两条贴合作业线(L1、L2)配合一下游工艺机台900(参图11)，可以节省机台闲置等候的时间，以提高生产率。本发明可节省元件数量，减少装置的闲置时间，提升生产的效率。以下举例说明本发明运作流程的相关细节。
请参阅图1至图3，第一贴合作业线L1具有一第一输送装置20a及一第一吸附载盘10a；第一吸附载盘10a位于第一输送装置20a的前方，第一输送装置20a用以输送一第一载具T1。如图2A及图2B所示，第一吸附载盘10a具有一本体11、多个吸取头12、多个微漏型真空节流阀14及一分歧装置16。所述多个微漏型真空节流阀14相对应地连接于所述多个吸取头12，所述多个微漏型真空节流阀14共同连通至所述分歧装置16。例如，本实施例设有八个吸取头12设于本体11的上表面，八个微漏型真空节流阀14设于本体11的下表面，一个分歧装置16连接八个微漏型真空节流阀14，通过所述分歧装置16连接至抽真空机(图略)，每一吸取头12可吸附定位一个基板C。本体11的上表面两侧各形成一垫高部112，所述第一载具T1能拆卸地置于所述第一吸附载盘10a上，具体的说，第一载具T1置于垫高部112上。补充说明，本发明的“贴合作业”是指以真空方式吸附以合并固定多个基板。本实施例的一个吸附载盘配合一个载具能合并八个基板，完成一次贴合作业。
相似于上述第一贴合作业线L1，本实施例的第二贴合作业线L2具有一第二输送装置20b及一第二吸附载盘10b。所述第二吸附载盘10b位于所述第二输送装置20b的前方，所述第二输送装置20b用以输送一第二载具T2。相似于第一吸附载盘10a，本实施例的第二吸附载盘10b具有本体11、多个吸取头12、多个微漏型真空节流阀14及一分歧装置16，所述多个微漏型真空节流阀14相对应地连接于所述多个吸取头12，所述多个微漏型真空节流阀14共同连通至所述分歧装置16；所述第二载具T2能拆卸地置于所述第二吸附载盘10b上。
参图2B，本发明的其中一项特点在于，吸附载盘(10a、10b)设置多个微漏型真空节流阀(limit vacuum leakage throttle valve)14。具体的说，微漏型真空节流阀14具有一外壳体141、一容置套筒142、一弹簧143及一顶止球体144。容置套筒142设置于外壳体141内，弹簧143收容于容置套筒142内，顶止球体144设置于弹簧143的一端并靠近外壳体141的颈口1412。当机台内的吸取头12真空吸盘或吸着点空吸时，通过弹簧143向上推动顶止球体144抵住外壳体141的颈口1412，微漏型真空节流阀14感应流量会自动关闭，维持系统内一定比例的真空吸力。当吸盘再次接触到工件(如本实施例基板C)时，顶止球体144推动弹簧143而稍微离开外壳体141的颈口1412，微漏型真空节流阀14能自动快速打开吸取工件。本发明应用微漏型真空节流阀14在吸附搬运基板C，本发明不需移动或关闭未使用的吸取头12即可工作，并可以大幅减少真空帮浦使用的马力数，符合节能的趋势。此外，也可简化真空管线的配置，节省成本。上述仅为微漏型真空节流阀的一种可行的例子，但本发明不限制于此。例如，真空吸力的检测及调整机构也可以在微漏型真空节流阀14的侧边，当检测到空吸时，即自动关闭，以维持系统内一定比例的真空吸力。
所述子板送料机构30位于所述第一输送装置20a与所述第二输送装置20b之间，所述子板送料机构30用以输送多个基板C。换句话说，本实施例以一个子板送料机构30配合两条贴合作业线(L1、L2)的第一输送装置20a与第二输送装置20b。
如图3所示，本实施例的基板贴合机台100设有两个视觉辨识装置40a、40b，一个视觉辨识装置40a邻近所述第一输送装置20a，另一个视觉辨识装置40b邻近所述第二输送装置20b。所述视觉辨识装置40a、40b用以辨识每一所述基板C的定位标志，视觉辨识装置40a相同于视觉辨识装置40b。然而本发明不限制于此，本实施例的视觉辨识装置的数量也可以是单个，位置可以设置于子板送料机构30附近。具体的说，单个视觉辨识装置可以位于活动式吸附装置60移动基板C的路线上。例如可以设置于子板送料机构30的前方，且位于第一吸附载盘10a与第二吸附载盘10b之间，辨识后，可以向左移至第一贴合作业线L1或向右移至第二贴合作业线L2。借此，第一贴合作业线L1、与第二贴合作业线L2可以共同使用一个视觉辨识装置。
如图1及图3所示，本发明的基板贴合机台100为着移动活动式吸附装置60，还包括一对纵向轨道Rx及一横向轨道Ry，所述横向轨道Ry滑动地架设于所述一对纵向轨道Rx上，所述活动式吸附装置60滑动地架设于所述横向轨道Ry上。此外，活动式吸附装置60还包括一上视觉装置64，所述上视觉装置64架设于所述活动式吸附装置60。上视觉装置64在吸附对象之前，先获取待吸附对象的图像，以确认其位置。
如图3及图4所示，本发明的第一步骤是用活动式吸附装置60吸附第一载具T1并向上提起，往第一吸附载盘10a移动，并置于第一吸附载盘10a上。图3及图4中的活动式吸附装置60以虚线表示，以清楚显示其吸附的对象，其具体的结构容后说明。本实施例吸附第一载具T1之前，先以上视觉装置64获取第一载具T1的图像并定位。
如图5所示，所述活动式吸附装置60移动到子板送料机构30上方，以吸附一个所述基板C。基板C可以是各种软板、硬板、软硬结合板、IC载板等小尺寸的电子线路板。
如图6所示，然后，活动式吸附装置60将基板C移动到所述视觉辨识装置40a，用以辨识并定位活动式吸附装置60的定位标志。定位的方式，本实施例是光学定位方法。光学定位方法检测所述基板C的X、Y方向偏移与角度，活动式吸附装置60使所述基板C位于待印刷的坐标。
关于活动式吸附装置60的细节，请参阅图7及图8，本实施例的活动式吸附装置60包括一基座61、一对侧壁62及一吸附座板63，由侧面观看，如同方框状。所述一对侧壁62分别连接于所述基座61的两端以及所述吸附座板63的两端，从而形成一视觉辨识空间60S(参图7)。较佳的，吸附座板63的两端以可拆卸的方式各自连接于一对侧壁62，换句话说，吸附座板63可配合不同基板。
请同时参图1，其中所附吸附座板63具有至少两个辨识开口630，所述至少两个辨识开口630贯穿所述吸附座板63且连通至所述视觉辨识空间60S。如图7及图8所示，吸附座板63的底面吸附基板C，所述两个辨识开口630呈对角线设置，可供透视基板C的定位标志。所述活动式吸附装置60吸附所述基板C后，视觉辨识装置40a(或40b)由所述视觉辨识空间60S向下通过所述两个辨识开口630以辨识所述基板C的定位标志。
接着，活动式吸附装置60移动所述基板C到所述第一贴合作业线L1，或第二贴合作业线L2。如图9所示，本实施例，先以第一贴合作业线L1为例，将基板C置于第一载具T1上并对应于其中一个吸取头12的位置。后面将再以所述第二贴合作业线L2为例说明。然后，本实施例重复图5、图6、图9的动作，直到将第一载具T1放满了基板C，本实施例放置八个基板C。但并不限制于此。补充说明，当基板C被贴合于第一载具T1之后，上视觉装置64再进行获取基板C的图像以判断软件计算的贴合位置与实际贴合位置的精度。
如图10及图11所示，放满八个基板C在第一载具T1顶面之后，所述往返输送机构80能选择地输送所述第一吸附载盘10a(或所述第二吸附载盘10b)进到一下游工艺机台900，直到完成下游工艺后，往返输送机构80再将第一吸附载盘10a(或所述第二吸附载盘10b)移回到所述基板贴合机台100。换句话说，往返输送机构80可以从下游工艺机台900(如印刷机台)回收吸附载盘(10a或10b)到基板贴合机台100再利用。本实例施以左边的第一贴合作业线L1为例说明，第一吸附载盘10a与第一载具T1连同八个基板C向中间移动，到子板送料机构30的前方后，向前移动到下游工艺机台900。本实施例的下游工艺机台900为印刷机台，用以印刷锡膏于基板C的上表面。但本发明并不限制于此，下游工艺机台也可以是其他工艺。
如图10及图11所示，具体说明，所述往返输送机构80具有一对横向输送区80a、80b及一纵向输送区80c，所述一对横向输送区分别设于所述第一输送装置20a及所述第二输送装置20b的前方，所述纵向输送区80c位于所述第一贴合作业线L1与所述第二贴合作业线L2之间，且邻近所述下游工艺机台900。横向输送区80a可以是依图10的方位向右或向左传送，横向输送区80b可以是依图10的方位向左或向右传送，纵向输送区80c的方向可以依图10的方向向前或向后传动。然而本实施例不限制于此。例如，横向输送区80a可以是设于第一贴合作业线L1左侧的推拉杆体，横向输送区80b可以是设于第二贴合作业线L2右侧的推拉杆体，纵向输送区80c可以是置于子板送料机构30前方的推拉杆体。上述推拉杆体可以例如气压、液压、或电动方式。
如图11所示，下游工艺机台900可以置放有相对应的运输装置901，另外，可以设有可升降的升降装置902，以将基板C升到涂布锡膏的位置。本实施例的下游工艺机台900为一印刷机台。待印刷完成后，再由运输装置901将第一载具T1连同印刷锡膏后的基板C向外运送出去，另外将第一吸附载盘10a运送回到第一贴合作业线L1(如图12所示)。然而，关于第一吸附载盘10a运送回到第一贴合作业线L1的时间点，视下游工艺机台900完成的时间而定，并不限制在处理第二贴合作业的步骤之前。本实施例可以是在第二载具T2放满基板C之前即可。过程中，活动式吸附装置60即可移到第二贴合作业线L2同时开始另一条的贴合作业，类似第一贴合作业线，活动式吸附装置60吸附第二载具T2并向上提起，往第二吸附载盘10b移动，并置于第二吸附载盘10b上。
如图12所示，活动式吸附装置60移动到子板送料机构30上方，以吸附一个所述基板C。
如图13所示，活动式吸附装置60将基板C向右移动到所述视觉辨识装置40b，用以辨识并定位活动式吸附装置60的定位标志。
如图14所示，活动式吸附装置60将基板C置于第二载具T2上并对应于其中一个吸取头12的位置。然后，重复图12至图14的步骤，直到将第二载具T2放满了基板C。最后，往返输送机构80将第二吸附载盘10b与第二载具T2向外移动到下游工艺机台900。
本发明还提供一种具有双作业线的基板处理系统，其包括基板贴合机台100及印刷机台(即下游工艺机台900)。所述基板贴合机台100包括一第一贴合作业线L1、一第二贴合作业线L2、一子板送料机构30、一对视觉辨识装置40a、40b、一活动式吸附装置60及一往返输送机构80。细节不再重复。本发明的具有双作业线的基板处理系统，通过所述往返输送机构80可以从下游工艺机台900(如印刷机台)回收吸附载盘(10a或10b)到基板贴合机台100再利用，基板处理系统只需两件吸附载盘。
[实施例的有益效果]
本发明的其中一有益效果在于，本发明所提供的一种具有双作业线的基板贴合机台，通过具有多孔的载具并配合微漏型真空节流阀的方式，以提高贴合的精度达±25μm。此外，本发明所提供的一种具有双作业线的基板处理系统，不仅可以提高贴合的精度，此外还能在印刷机台工作的同时进行贴合的作业，避免机台被闲置，以提高生产效率。本发明的载具可以在锡膏印刷机台印刷完成后，解除真空状态之后，回收载具再进行另一贴合作业，其中通过所述往返输送机构，可以在进行印刷第一载具上的基板的同时，进行第二条高精密度的贴合作业，达到可进行连续式贴合与印刷的生产方式。
以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的权利要求，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的权利要求内。
Claims (12)
1.一种具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，包括：
一第一贴合作业线，所述第一贴合作业线具有一第一输送装置及一第一吸附载盘；所述第一吸附载盘位于所述第一输送装置的前方，所述第一输送装置用以输送一第一载具；所述第一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第一载具能拆卸地置于所述第一吸附载盘上；
一第二贴合作业线，所述第二贴合作业线具有一第二输送装置及一第二吸附载盘；所述第二吸附载盘位于所述第二输送装置的前方，所述第二输送装置用以输送一第二载具，所述第二吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第二载具能拆卸地置于所述第二吸附载盘上；
一子板送料机构，所述子板送料机构位于所述第一输送装置与所述第二输送装置之间，所述子板送料机构用以输送多个基板；
至少一视觉辨识装置，所述至少一视觉辨识装置用以辨识每一所述基板的定位标志；
一活动式吸附装置，所述活动式吸附装置吸附所述基板到所述至少一视觉辨识装置，然后移动所述基板到所述第一贴合作业线或所述第二贴合作业线；以及
一往返输送机构，所述往返输送机构能选择地输送所述第一吸附载盘或所述第二吸附载盘进到一下游工艺机台，或者回到所述基板贴合机台。
2.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，还包括一对纵向轨道及一横向轨道，所述横向轨道滑动地架设于所述一对纵向轨道上，所述活动式吸附装置滑动地架设于所述横向轨道上。
3.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，还包括一上视觉装置，所述上视觉装置架设于所述活动式吸附装置。
4.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述活动式吸附装置包括一基座、一对侧壁及一吸附座板，所述一对侧壁分别连接于所述基座的两端以及所述吸附座板的两端，从而形成一视觉辨识空间。
5.如权利要求4所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所附吸附座板具有至少两个辨识开口，所述至少两个辨识开口贯穿所述吸附座板且连通至所述视觉辨识空间，所述吸附座板的底面吸附所述基板，所述至少两个辨识开口呈对角线设置；所述活动式吸附装置吸附所述基板后，所述至少一视觉辨识装置由所述视觉辨识空间向下通过所述至少两个辨识开口辨识所述基板的定位标志。
6.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述基板贴合机台具有两个视觉辨识装置，一个所述视觉辨识装置邻近所述第一输送装置，另一个所述视觉辨识装置邻近所述第二输送装置。
7.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述往返输送机构具有一横向输送区及一纵向输送区，所述横向输送区横向地设于所述第一输送装置及所述第二输送装置的前方，所述纵向输送区位于所述第一贴合作业线与所述第二贴合作业线之间，且邻近所述下游工艺机台。
8.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述微漏型真空节流阀具有一外壳体、一容置套筒、一弹簧及一顶止球体，所述容置套筒设置于所述外壳体内，所述弹簧收容于所述容置套筒内，所述顶止球体设置于所述弹簧的一端并靠近所述外壳体的颈口。
9.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述下游工艺机台为印刷机台。
10.一种具有双作业线的基板处理系统，其特征在于，包括：
一基板贴合机台及一印刷机台：
所述基板贴合机台包括：
一第一贴合作业线，所述第一贴合作业线具有一第一输送装置及一第一吸附载盘；所述第一吸附载盘位于所述第一输送装置的前方，所述第一输送装置用以输送一第一载具；所述第一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第一载具能拆卸地置于所述第一吸附载盘上；
一第二贴合作业线，所述第二贴合作业线具有一第二输送装置及一第二吸附载盘；所述第二吸附载盘位于所述第二输送装置的前方，所述第二输送装置用以输送一第二载具，所述第二吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第二载具能拆卸地置于所述第二吸附载盘上；
一子板送料机构，所述子板送料机构位于所述第一输送装置与所述第二输送装置之间，所述子板送料机构用以输送多个基板；
至少一视觉辨识装置，所述至少一视觉辨识装置用以辨识每一所述基板的定位标志；
一活动式吸附装置，所述活动式吸附装置吸附所述基板到所述至少一视觉辨识装置，然后移动所述基板到所述第一贴合作业线或所述第二贴合作业线；以及
一往返输送机构，所述往返输送机构能选择地输送所述第一吸附载盘或所述第二吸附载盘进到所述印刷机台，或者回到所述基板贴合机台。
11.如权利要求10所述的具有双作业线的基板处理系统，其特征在于，所述活动式吸附装置包括一基座、一对侧壁及一吸附座板，所述一对侧壁分别连接于所述基座的两端以及所述吸附座板的两端，从而形成一视觉辨识空间；其中所附吸附座板具有至少两个辨识开口，所述吸附座板的底面形成多个吸附孔，所述至少两个辨识开口呈对角线设置；所述活动式吸附装置吸附所述基板后，所述至少一视觉辨识装置由所述视觉辨识空间向下通过所述至少两个辨识开口辨识所述基板的定位标志。
12.如权利要求10所述的具有双作业线的基板处理系统，其特征在于，所述微漏型真空节流阀具有一外壳体、一容置套筒、一弹簧及一顶止球体，所述容置套筒设置于所述外壳体内，所述弹簧收容于所述容置套筒内，所述顶止球体设置于所述弹簧的一端并靠近所述外壳体的颈口。
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