CN113620384A - 一种oled清洗水的过滤设备及过滤方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于水处理技术领域，公开了一种OLED清洗水的过滤设备及过滤方法，该OLED清洗水的过滤设备包括废液收集罐、微滤膜循环装置、纳滤膜循环装置和回用装置，废液收集罐用于收集未处理的OLED清洗水；微滤膜循环装置用于对废液收集罐内的OLED清洗水进行一次过滤；纳滤膜循环装置用于对一次过滤后的OLED清洗水进行二次过滤；回用装置用于收集二次过滤后的OLED清洗水；该OLED清洗水的过滤设备能够过滤掉OLED清洗水中的纳米颗粒，从而提升OLED清洗水的洁净程度，进而避免OLED清洗水导致产品不良率的现象出现，提升了清洗作业的良品率。

Description

一种OLED清洗水的过滤设备及过滤方法

技术领域

本发明涉及水处理技术领域，尤其涉及一种OLED清洗水的过滤设备及过滤方法。

背景技术

OLED前端制程中，针对TFT玻璃基板的清洗通常采用刷洗、高压喷淋清洗、二流体清洗、超声波清洗等方法，可以将玻璃基板表面的玻璃粉、研磨粉等杂质清洗干净，满足下一道工序需求。随着加工工艺的越来越精细化，对清洗的要求也越来越高，特别是对清洗后基板表面的微颗粒残留要求越来越严格，同时对清洗水中的微颗粒要求也越来越严格。

现阶段，为了节省纯水的使用量，清洗水主要以水箱滤芯过滤循环进入前一道工序为主，通过滤芯过滤去除较大颗粒物，但是随着循环的次数增加，清洗水中的纳米颗粒会越来越多，从而导致清洗基板的不良。随着面板清洗要求的越来越高，对微米颗粒、甚至纳米颗粒的残留要求也越来越高，所以现有的膜过滤已经无法满足需求。由于清洗液中含有不同尺度的颗粒物，传统的方法主要是选择不同尺寸的膜来进行过滤，针对尺寸越小的颗粒物，截留能力很差。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供一种OLED清洗水的过滤装置，以将OLED清洗水中的纳米颗粒进行过滤。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供一种OLED清洗水的过滤设备，包括：

废液收集罐，用于收集未处理的OLED清洗水；

微滤膜循环装置，用于对所述废液收集罐内的OLED清洗水进行一次过滤；

纳滤膜循环装置，用于对一次过滤后的OLED清洗水进行二次过滤；

回用装置，用于收集二次过滤后的OLED清洗水。

作为优选，所述纳滤膜循环装置包括纳滤膜结构，所述纳滤膜结构包括：

纳滤膜组件，用于过滤OLED清洗水中的纳米颗粒。

作为优选，所述纳滤膜组件还包括：

中空管，所述中空管的一端与所述回用装置相连通，所述中空管的另一端被封闭，所述纳滤膜组件套设于所述中空管上；

导流管，绕设于所述纳滤膜组件；一次过滤后的OLED清洗水能够从所述导流管的底部的进水口进入，再从所述导流管的顶部的出水口流出，所述导流管上设置有多个第一孔，所述导流管内的OLED清洗水能够从多个所述第一孔经所述纳滤膜组件流入所述中空管。

作为优选，所述导流管呈螺旋状，且所述导流管的螺旋方向与所述导流管内的OLED清洗水的流动方向相反。

作为优选，所述导流管上设置还有多个第二孔，所述导流管内的纳米颗粒因离心力向远离所述中空管的方向移动，并从多个所述第二孔排出所述导流管。

作为优选，所述中空管的管壁上设置有多个第三孔，所述纳滤膜组件过滤后的OLED清洗水通过多个所述第三孔进入所述中空管。

作为优选，所述OLED清洗水的过滤设备还包括：

第一循环泵，所述第一循环泵用于未处理的OLED清洗水加压并注入到所述微滤膜循环装置内；

第二循环泵，所述第二循环泵用于将一次过滤后的OLED清洗水加压并注入到所述纳滤膜循环装置内。

作为优选，所述OLED清洗水的过滤设备还包括：

压力检测组件，用于检测OLED清洗水的压力；

压力调节组件，用于调节OLED清洗水的流量或压力；

温度检测组件，用于检测OLED清洗水的温度。

作为优选，所述纳滤膜循环装置还包括纳滤滤液储液罐，用于收集二次过滤后的OLED清洗水。

根据本发明的另一个方面，提供一种OLED清洗水的过滤方法，采用OLED清洗水的过滤设备进行过滤，所述过滤方法包括如下步骤：

S1、使用微滤膜循环装置对OLED清洗水进行一次过滤；

S2、使用纳滤膜循环装置对OLED清洗水进行二次过滤；

S3、回用步骤S2中的二次过滤后的OLED清洗水。

本发明的有益效果：

本发明提出的OLED清洗水的过滤设备包括废液收集罐、微滤膜循环装置、纳滤膜循环装置和回用装置，废液收集罐用于收集未处理的OLED清洗水；微滤膜循环装置用于对废液收集罐内的OLED清洗水进行一次过滤；纳滤膜循环装置用于对一次过滤后的OLED清洗水进行二次过滤；回用装置用于收集二次过滤后的OLED清洗水；该OLED清洗水的过滤设备能够过滤掉OLED清洗水中的纳米颗粒，从而提升OLED清洗水的洁净程度，进而避免OLED清洗水导致产品不良率的现象出现，提升了清洗作业的良品率。

附图说明

图1是本发明提出的OLED清洗水的过滤设备的示意图；

图2是本发明提出的纳滤膜结构的示意图。

图中：

1、纳滤膜组件；2、中空管；3、导流管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

实施例一

本实施例提供一种OLED清洗水的过滤设备包括废液收集罐、微滤膜循环装置、纳滤膜循环装置和回用装置，废液收集罐用于收集未处理的OLED清洗水；微滤膜循环装置用于对废液收集罐内的OLED清洗水进行一次过滤，以去除颗粒直径大于10微米的颗粒物；纳滤膜循环装置用于对一次过滤后的OLED清洗水进行二次过滤；回用装置用于收集二次过滤后的OLED清洗水；该OLED清洗水的过滤设备能够过滤掉OLED清洗水中的纳米颗粒，从而提升OLED清洗水的洁净程度，进而避免OLED清洗水导致产品不良率的现象出现，提升了清洗作业的良品率。

具体地，OLED清洗水的过滤设备还包括冲冲洗废水收集罐；进一步地，微滤膜循环装置包括微滤膜结构和微滤滤液储液罐，微滤滤液储液罐用于收集一次过滤后的OLED清洗水，纳滤膜循环装置包括纳滤膜结构和纳滤滤液储液罐，纳滤滤液储液罐用于收集二次过滤后的OLED清洗水，回用装置包括回用液收集罐；如图1所示，废液收集罐内的未过滤的OLED清洗水进入微滤膜结构进行一次过滤，一次过滤后的OLED清洗水进入微滤滤液储液罐进行储存，同时一次过滤产生的废液进入冲洗废水收集罐；然后，微滤滤液储液罐内的一次过滤后的OLED清洗水进入纳滤膜结构进而二次过滤，二次过滤后的OLED清洗水进入纳滤滤液储液罐进行储存，同时二过滤产生的废液进入冲洗废水收集罐；最后，纳滤滤液储液罐内的二次过滤后的OLED清洗水进入回用液收集罐进行储存，以待用；可以想到的是，各部件之间通过管路进行连通。

需要提到的是，纳滤滤液储液罐内的少部分二次过滤后的OLED清洗水会再次参与一次过滤和二次过滤，以稀释待过滤的OLED清洗水，从而防止颗粒物阻塞管路。

如图2所示，纳滤膜结构包括纳滤膜组件1、中空管2和导流管3，纳滤膜组件1套设于中空管2上，纳滤膜组件1用于过滤OLED清洗水中的纳米颗粒；中空管2的一端与回用装置相连通，中空管2的另一端被封闭；导流管3绕设于纳滤膜组件1上，并绕成螺旋状，且导流管3的螺旋方向与导流管3内的OLED清洗水的流动方向相反；一次过滤后的OLED清洗水能够从导流管3的底部的进水口进入，再从导流管3的顶部的出水口流出；导流管3上设置有多个第一孔，且多个第一孔设置于导流管3的靠近纳滤膜组件1的侧壁上，导流管3内的OLED清洗水能够从多个第一孔经纳滤膜组件1流入中空管2；需要提到的是，导流管3上设置还有多个第二孔(也称尖孔)，且多个第二孔沿螺旋方向设置于导流管3的底部，导流管3内的纳米颗粒因OLED清洗水的水流所产生的离心力向远离中空管2的方向移动，并从多个第二孔排出导流管3。

该纳滤膜循环装置能够通过纳滤膜组件1过滤一部分纳米颗粒，还能通过导流管3内水流产生的离心力与剪切力过滤一部分纳米颗粒，未经过二次过滤的OLED清洗水能够通过导流管3顶部的出水口流出，并再次从导流管3底部的进水口流如，以进行二次过滤。

优选地，中空管2的管壁上设置有多个第三孔，纳滤膜组件1过滤后的OLED清洗水通过多个第三孔进入中空管2。

需要说明的是，本实施例中的第一孔、第二孔和第三孔的孔径根据具体使用情况进行设定，在此不对其孔径大小进行限定。

为了给未处理的OLED清洗水提供压力，该OLED清洗水的过滤设备还设置了第一循环泵和第二循环泵，第一循环泵用于未处理的OLED清洗水加压并注入到微滤膜循环装置内；第二循环泵用于将一次过滤后的OLED清洗水加压并注入到纳滤膜循环装置内。

为了实现对该OLED清洗水的过滤设备的实时监测和控制，该OLED清洗水的过滤设备还设置了压力检测组件、压力调节组件和温度检测组件，压力检测组件用于检测OLED清洗水的压力；压力调节组件用于调节OLED清洗水的流量或压力；温度检测组件用于检测OLED清洗水的温度。

可选地，压力检测组件采用压力表；压力调节组件采用压力调节阀，操作人员可通过该压力调节阀调节OLED清洗水的过滤设备管路中水压的大小，以调节管路内水的流速，从而实现对纳米颗粒分离率和分离速率的控制；温度检测组件采用温度仪。

实施例二

本实施例提供一种OLED清洗水的过滤方法，采用实施例一中的OLED清洗水的过滤设备进行过滤，所述过滤方法包括如下步骤：

S1、使用微滤膜循环装置对OLED清洗水进行一次过滤；

S2、使用纳滤膜循环装置对OLED清洗水进行二次过滤；

S3、回用步骤S2中的二次过滤后的OLED清洗水。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，包括：

废液收集罐，用于收集未处理的OLED清洗水；

微滤膜循环装置，用于对所述废液收集罐内的OLED清洗水进行一次过滤；

纳滤膜循环装置，用于对一次过滤后的OLED清洗水进行二次过滤；

回用装置，用于收集二次过滤后的OLED清洗水。

2.根据权利要求1所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述纳滤膜循环装置包括纳滤膜结构，所述纳滤膜结构包括：

纳滤膜组件(1)，用于过滤OLED清洗水中的纳米颗粒。

3.根据权利要求2所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述膜组件还包括：

中空管(2)，所述中空管(2)的一端与所述回用装置相连通，所述中空管(2)的另一端被封闭，所述纳滤膜组件(1)套设于所述中空管(2)上；

导流管(3)，绕设于所述纳滤膜组件(1)；一次过滤后的OLED清洗水能够从所述导流管(3)的底部的进水口进入，再从所述导流管(3)的顶部的出水口流出，所述导流管(3)上设置有多个第一孔，所述导流管(3)内的OLED清洗水能够从多个所述第一孔经所述纳滤膜组件(1)流入所述中空管(2)。

4.根据权利要求3所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述导流管(3)呈螺旋状，且所述导流管(3)的螺旋方向与所述导流管(3)内的OLED清洗水的流动方向相反。

5.根据权利要求4所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述导流管(3)上设置还有多个第二孔，所述导流管(3)内的纳米颗粒因离心力向远离所述中空管(2)的方向移动，并从多个所述第二孔排出所述导流管(3)。

6.根据权利要求5所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述中空管(2)的管壁上设置有多个第三孔，所述纳滤膜组件(1)过滤后的OLED清洗水通过多个所述第三孔进入所述中空管(2)。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，还包括：

第一循环泵，所述第一循环泵用于未处理的OLED清洗水加压并注入到所述微滤膜循环装置内；

第二循环泵，所述第二循环泵用于将一次过滤后的OLED清洗水加压并注入到所述纳滤膜循环装置内。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，还包括：

压力检测组件，用于检测OLED清洗水的压力；

压力调节组件，用于调节OLED清洗水的流量或压力；

温度检测组件，用于检测OLED清洗水的温度。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述纳滤膜循环装置还包括纳滤滤液储液罐，用于收集二次过滤后的OLED清洗水。

10.一种OLED清洗水的过滤方法，其特征在于，采用如权利要求1-9中任一项所述的OLED清洗水的过滤设备进行过滤，所述过滤方法包括如下步骤：

S1、使用微滤膜循环装置对OLED清洗水进行一次过滤；

S2、使用纳滤膜循环装置对OLED清洗水进行二次过滤；

S3、回用步骤S2中的二次过滤后的OLED清洗水。

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