CN113549488A - 一种大尺寸硅片金刚线切割液 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种大尺寸硅片金刚线切割液，所述金刚线切割液中各组分所占的质量份数为：表面活性剂20‑60份、渗透剂10‑40份、消泡剂0.5‑20份、增溶剂5‑30份、乳化剂3‑10份、分散剂0.1‑2份、余量为去离子水。本发明的优点在于：本发明提供的大尺寸硅片切割液具有优异的渗透、润滑、清洗作用，溶水后能形成稳定的水包油体系，高效的分散硅粉能力，可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集，防止形成粘附，堵塞管道并可降低切割液的使用量，并可有效降低硅片清洗和废水处理难度。

Description

一种大尺寸硅片金刚线切割液
技术领域
本发明涉及硅晶体切割技术领域，尤其涉及一种大尺寸硅片金刚线切割液。
背景技术
随着光伏产业的高速发展，太阳能发电成本已大幅下降。硅片作为光伏产业的基础材料，而切片加工是决定硅片品质主要工序，切片时产生的硅片应力、表层及亚表层损伤及崩边等缺陷会严重影响光伏电池的转换效率，而切割液的性能是影响硅片切割效率及质量的关键因素之一。
为降低光伏发电成本，提高生产效率，硅片尺寸由166毫米边长逐步增长到182毫米、210毫米。硅片尺寸的增大，给切片加工带来了新的难题。一方面，金刚线切割区域（硅片边长）增加了20%-30%，现有切割液的渗透深度很难达到；另一方面，大尺寸硅片切割会在切割缝隙内产生更多的硅粉切屑，不利于切割液的渗透和润滑。同时切片加工时间的延长，也对切割液的体系稳定提出了挑战。因此，大尺寸硅片的切片工艺对切割液的性能要求也越来越高，并且大尺寸硅片由于尺寸问题，在切割时会产生大量的硅粉聚集，附着在大尺寸硅片的表面，不易及时排出，对硅片的切割甚至是后期的电池制作都产生影响。而切割大尺寸硅片之后需要清洗，硅粉容易粘附聚集在硅片的表面，不易分散开来，并且如果使用硬水进行洗涤的话，容易对硅片的表面造成影响。
与传统的砂浆磨料加工不同，金刚线切割液主要成分是去离子水，切割完毕后无回收价值，一般由切片加工企业经生物、化学等手段进行无害化处理后排放。随着环保要求越来越高，废水排放成本和难度越来越大，成为制约企业扩产的重要因素之一。因此，减少切割液用量和有机物含量，是提高切割液使用效率、降低使用和处理成本的重要途径。
大尺寸金刚线切割液应具有以下作用：（1）润滑作用。切割液应及时深入地渗入切割缝隙中，并在线网与硅片、线网与硅粉碎屑之间形成润滑保护膜，减小切割阻力，以降低金刚线导致的损伤、线痕和隐裂；（2）冷却作用。切割产生高热量除部分被切割液带走外，余下的热量大部分被晶体硅吸收，高温会导致局部硅片变形。因此，切割液需具备良好的传热冷却性能；（3）分散作用。切割形成的硅粉切屑需要及时分散，避免聚集成团，造成硅片划伤甚至线网断线；（4）清洗作用。切割过程产生的大量碎屑和硅粉，容易形成粘附团聚，因此要求切割液可以包裹碎屑，使其易于脱落清洗；（5）切割液还应具有防锈、抑菌的能力，避免设备在长期使用过程中因腐蚀停机造成生产中断。
在已经公开的文件CN202110226867一种蓝宝石切割液及其制备方法中，在其组分中只有润滑剂中运用到了聚醚，但是消泡剂的组分并不为聚醚类，其复配物表面张力低，抑泡、消泡效果比较差，其在水溶液中的互溶共聚能力较差，渗透性、润滑性和消泡性能都比较差，从而清洗能力也相应的比较弱。
发明内容
为了增加互溶共聚能力，增加渗透性，润滑性，增加切割液的清洗能力，本发明公开了一种大尺寸硅片金刚线切割液。该硅片切割液具有优异的渗透性和润滑性，分散性好，清洗能力强大。同时，该切割液使用添加量较现有产品降低50%，能有效降低使用成本和废水处理难度。
本发明解决的技术问题是：解决现有技术中存在的切割大尺寸硅片时切割液用量大、硅片表面质量差、断线率高、加切率高等问题。
本发明的技术方案为：一种大尺寸硅片金刚线切割液，所述大尺寸硅片金刚线切割液按照质量份数其组成为：表面活性剂20-60份、渗透剂10-40份、消泡剂0.5-20份、增溶剂5-30份、乳化剂3-10份、分散剂0.1-2份、余量为去离子水。
进一步的，所述表面活性剂为一元醇和/或多元醇聚醚；所述一元醇和/或多元醇聚醚为烷基酚聚氧乙烯聚氧丙烯醚、丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙醇聚氧烷基醚、六碳至十二碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或多种复配物，其中六碳至十二碳指的是脂肪醇链中的碳原子数，一元醇或多元醇聚醚具有优良的润滑性、渗透性，同时兼具分散、冷却、清洗的优势，因与同为聚醚型的渗透剂、消泡剂具有更多相同的官能团，故而易于互溶、复配，复配后功效超过各自之和，进一步提高渗透能力，抑制泡沫生成。
进一步的，所述渗透剂为异辛醇聚氧乙烯醚、异构十醇聚氧乙烯醚、异构十三醇聚氧乙烯醚、异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯、异构十醇聚氧乙烯醚磷酸酯、异构十三醇聚氧乙烯醚磷酸酯的一种或几种复配物，异构醇聚氧乙烯醚具有优异的渗透性、溶水性，因与上述脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚具有更多相同的官能团，复配后与上述聚醚形成分子级互溶，结合紧密，故而可以进一步增加脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚的渗透性和分散性，使硅片切割液可以快速渗透至硅片之间，带走切割产生的硅粉。
进一步的，所述消泡剂为十二碳炔二醇聚醚、双子型有机硅聚醚、GP型甘油聚醚，GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚或GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚中的一种或几种，能起到兼顾抑泡和消泡的效果，起泡高度低，消泡速度快，可有效防止使用时泡沫溢出，并避免硅片表面出现的持久气泡引发的脏污、斑点等缺陷，聚醚消泡剂或其复配物表面张力低，抑泡、消泡效果明显，并能长时间持续消泡，其中GP型甘油聚醚，GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚或GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚为聚醚消泡剂。
进一步的，所述增溶剂为二元醇和/或多元醇；所述二元醇和/或多元醇为乙二醇、丙二醇、聚乙二醇、聚丙二醇、二乙二醇、异己二醇中的一种或几种复配物，二元醇或多元醇是优良的非离子型的水溶性聚合物，多元醇与聚醚有大量相同的羟基，且均为直链或短支链型有机物，能够很好的混溶，对极性物质溶解能力强，无毒无挥发性，对生物和环境友好，优选的，所述增溶剂选用相对分子质量低的聚乙二醇，配伍性较好，与所述一元醇或多元醇聚醚配合使用，能提高一元醇聚醚或多元醇聚醚在水中的溶解度，降低硅粉在硅片表面的附着力，将硅粉分散在切割液并中带走硅粉，清洗效果更佳，在不增加聚醚添加量的同时，使聚醚充分溶解混合，一方面避免其附着在硅片表面导致污片，另一方面，可以进一步增加聚醚的润滑、渗透、消泡、清洗作用，因此，在同样性能的条件下，该硅片切割液有机物质用量大幅减少，有效降低硅片清洗和废水处理难度。
进一步的，所述乳化剂为脂肪醇聚氧乙烯缩合物和/或脂肪酸多元醇酯，脂肪醇和脂肪酸作为疏水基团，与多元醇亲水基团酯化后，能够将油相包裹分散在水相中，在聚醚体系中，起到很好的乳化作用。
进一步的，所述脂肪醇聚氧乙烯缩合物为六碳至十五碳直链烷醇聚氧乙烯醚，脂肪酸多元醇酯为失水山梨醇单油酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐单硬脂酸酯、单甘油脂肪酸甘油酯、蔗糖脂肪酸酯中的一种或几种复配物，所述蔗糖脂肪酸酯为蔗糖硬脂酸酯、油酸酯、异丁酸酯中的一种或多种复配物，能够增强乳化效果，采用脂肪酸多元醇酯作为乳化剂，能够充分的溶于聚醚体系中，并形成稳定的水包油微乳滴，可显著增加渗透、润滑性；同时采用水溶性高分子聚电解质作为分散剂，在水溶液中吸附于硅粉表面，利用均匀的电荷分布实现硅粉的有效分散，并具有很好的抗硬水能力，带有电荷的分散剂能吸附在硅粉表面，防止硅粉聚集。
进一步的，所述分散剂为丙烯酸均聚物、膦酰基羧酸共聚物、萘磺酸盐甲醛缩合物、丙烯酸磺酸共聚物中的一种或多种复配物，能够在低添加量的条件下高效分散硅粉切屑，降低加工中的金刚线断线风险。
进一步的，所述硅片切割液还包括防锈剂，以所述硅片切割液的总质量为100份计，所述防锈剂的添加量为0.1-5份，所述防锈剂为油酸三乙醇胺、磺化油、甲基苯并三氮唑或异丙基苯并三氮唑中的一种或几种，加入防锈剂，能有效保护金刚线在潮湿、酸性环境下避免腐蚀，保持金刚线的机械强度和带液能力，降低断线率。
进一步的，所述硅片切割液还包括杀菌剂，以所述硅片切割液的总质量为100份计，所述杀菌剂的添加量0.01-3份，所述杀菌剂为季铵盐类、唑啉类杀菌剂、十二烷基三甲基氯化铵中的一种或多种复配物，加入杀菌剂，抑制细菌的滋生，防止硅片切割液霉变失效，腐败发臭。
本发明涉及到的复配技术的原理为：不同分子量的聚醚，因为具有相同的不饱和烷基，在水溶液中能够互溶共聚，性能相互促进。具有少量亲水基的聚醚分子在水中溶解性差，但渗透性、消泡性好；而具有大量亲水基的聚醚分子溶解性、润滑性好，但渗透性差。两类分子在水中易于形成胶束团簇，具有少量亲水基的聚醚分子在水中充分溶解并渗入加工面狭缝中，同时抑制泡沫的产生，而具有大量亲水基的聚醚分子被前者带入加工面，起到润滑、分散的作用，有利于增加切割能力，排出硅粉碎屑。
炔二醇聚醚、双子型有机硅聚醚及其它聚醚消泡剂兼具大量亲油性基团/支链基团和不饱和硅烷结构，与直链型聚醚复配后，可显著增加水溶性，充分发挥自身的消泡、抑泡能力。
聚醚有很强的分散性，在水中形成胶束团簇后，无需带电荷的分散剂，即可有效分散其它离子和微小粒子/粒子团，有利于分散硅粉碎屑，并有效分散防锈剂、抑菌剂等分子，即减少此类物质的添加量。
有益效果：
本发明提供的一种大尺寸硅片金刚线切割液和现有技术相比具有以下优点：
1. 聚醚类可有效复配，降低总用量，并可将不同性能的聚醚在分子层面结合，充分发挥各自作用；炔二醇聚醚、双子型有机硅聚醚及其它聚醚消泡剂与直链型聚醚有相似的直链结构，与聚醚结合可提高水溶性，大幅提高自身的消泡、抑泡能力；聚醚分子形成的胶体团簇具有很好的分散性，体系无需加入离子型电荷分散剂，即可有效分散防锈、抑菌剂等其他功能性添加剂，使得此类添加剂用量减少，效能提高；
2. 本发明大尺寸硅片金刚线切割液具有强大的清洗能力，由于大尺寸硅片的尺寸问题，在切割的过程中会产生大量的硅粉，附着在大硅片的表面，带有电荷的分散剂能吸附在硅粉表面，防止硅粉聚集，能够在低添加量的条件下高效分散硅粉切屑，降低加工中的金刚线断线风险。采用水溶性高分子聚电解质作为分散剂，在水溶液中吸附于硅粉表面，利用均匀的电荷分布实现硅粉的有效分散，并具有很好的抗硬水能力，可以有效去除硅片表面残留的油性脏污、硅粉团聚结块等，并可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集，防止形成粘附，堵塞管道；
3.炔二醇聚醚、双子型有机硅聚醚，或聚醚消泡剂中的一种或几种复配，具有越多相同基团的不同表面活性剂越易相溶，即以分子的形式融合在一起，避免各自成团，导致团体内部物质无法发挥作用；以上互溶的原料分子会融合成团，成团后在溶液中的“临界胶束浓度”会大大小于每种原料各自的“临界胶束浓度”；因此，若原料选择得当，溶液的表面张力、消泡性等性能将大幅改善，能起到兼顾抑泡和消泡的效果，起泡高度低，消泡速度快，可有效防止使用时泡沫溢出，并避免硅片表面出现的持久气泡引发的脏污、斑点等缺陷；
4. 本发明采用多元醇作为增溶剂，多元醇可与水、聚醚混溶，形成良好的协同作用，在不增加聚醚添加量的同时，使聚醚充分溶解混合，一方面避免其附着在硅片表面导致污片，另一方面，可以进一步增加聚醚的润滑、渗透、消泡、清洗作用，因此，在同样性能的条件下，该硅片切割液有机物质用量大幅减少，有效降低硅片清洗和废水处理难度；
5. 本发明采用脂肪酸多元醇酯作为乳化剂，能够充分的溶于聚醚体系中，并形成稳定的水包油微乳滴，可显著增加渗透、润滑性。同时采用水溶性高分子聚电解质作为分散剂，在水溶液中吸附于硅粉表面，利用均匀的电荷分布实现硅粉的有效分散，并具有很好的抗硬水能力。
6. 本发明大尺寸硅片金刚线切割液具有强大的清洗能力，可以有效去除硅片表面残留的油性脏污、硅粉团聚结块等，并可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集，防止形成粘附，堵塞管道。
7.本发明加入防锈剂，能有效保护金刚线在潮湿、酸性环境下避免腐蚀，保持金刚线的机械强度和带液能力，降低断线率。加入杀菌剂，抑制细菌的滋生，防止硅片切割液霉变失效，腐败发臭。
具体实施方式
以下举例具体实施例对本发明进行说明。需要指出的是，以下实施例只用于对本发明作进一步说明，不代表本发明的保护范围，其他人根据本发明的提示进行的非本质的修改和调整，仍属于本发明的保护范围。
实施例1
本实施例提供一种大尺寸硅片金刚线切割液，按照总质量份数100份计，其组成为：增溶剂聚乙二醇15份，表面活性剂烷基酚聚氧乙烯醚25份，消泡剂炔二醇聚醚12份，消泡剂GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚1.5份，渗透剂异构十三醇聚氧乙烯醚10份，乳化剂失水山梨醇单油酸酯2份，乳化剂聚氧乙烯山梨醇酐单硬脂酸酯5份，分散剂丙烯酸均聚物0.5份，防锈剂甲基苯并三氮唑0.5份，杀菌剂十二烷基三甲基氯化铵1份，依次加入搅拌釜中，搅拌20分钟，再加入余量的去离子水，混合搅拌60分钟，得到大尺寸硅片金刚线切割液。
实施例2
本实施例提供一种大尺寸硅片金刚线切割液，按照总质量份数100份计，其组成为：增溶剂聚乙二醇10份，表面活性剂烯丙醇聚氧烷基醚30份，消泡剂十二碳炔二醇15份，消泡剂GP型甘油聚醚1.5份，渗透剂异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯12份，乳化剂失水山梨醇单油酸酯2份，乳化剂聚氧乙烯山梨醇酐单硬脂酸酯3份，分散剂丙烯酸均聚物0.5份，防锈剂甲基苯并三氮唑0.5份，杀菌剂十二烷基三甲基氯化铵1份，依次加入搅拌釜中，搅拌30分钟，再加入余量的去离子水，混合搅拌60分钟，得到大尺寸硅片金刚线切割液。
实施例3
本实施例提供一种大尺寸硅片金刚线切割液，按照总质量份数100份计，其组成为：丙二醇12份，表面活性剂六碳至八碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚30份，消泡剂炔二醇聚醚13份，消泡剂GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚1.5份，渗透剂异构十三醇聚氧乙烯醚14份，乳化剂单甘油脂肪酸甘油酯1份，乳化剂失水山梨醇单油酸酯5份，分散剂膦酰基羧酸共聚物0.5份，防锈剂甲基苯并三氮唑0.5份，杀菌剂十二烷基三甲基氯化铵1份，依次加入搅拌釜中，搅拌25分钟，再加入余量的去离子水，混合搅拌60分钟，得到大尺寸硅片金刚线切割液。
实施例4
本实施例提供一种大尺寸硅片金刚线切割液，按照总质量份数100份计，其组成为：丙二醇20份，表面活性剂六碳至八碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚25份，消泡剂十二碳炔二醇15份，渗透剂异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯12份，消泡剂GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚3份，乳化剂蔗糖硬脂酸酯、油酸酯、异丁酸酯中的一种或多种复配物3份，分散剂膦酰基羧酸共聚物0.2份，分散剂萘磺酸盐甲醛缩合物0.2份，防锈剂甲基苯并三氮唑0.5份，十二烷基三甲基氯化铵1份，依次加入搅拌釜中，搅拌20分钟，再加入余量的去离子水，混合搅拌60分钟，得到大尺寸硅片金刚线切割液。
实施例5
本实施例提供一种大尺寸硅片金刚线切割液，按照总质量份数100份计，其组成为：增溶剂异己二醇3份，增溶剂二乙二醇4份，表面活性剂丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚25份，表面活性剂烷基酚聚氧乙烯聚氧丙烯醚5份，消泡剂十二碳炔二醇15份，消泡剂GP型甘油聚醚3份，渗透剂异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯15份，乳化剂单甘油脂肪酸甘油酯3份，分散剂丙烯酸磺酸共聚物2份，防锈剂甲基苯并三氮唑0.5份，杀菌剂十二烷基三甲基氯化铵1.5份，依次加入搅拌釜中，搅拌30分钟，再加入余量的去离子水，混合搅拌60分钟，得到大尺寸硅片金刚线切割液。
实施例6
本实施例提供一种大尺寸硅片金刚线切割液，按照总质量份数100份计，其组成为：增溶剂二乙二醇10份，表面活性剂丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚25份，消泡剂十二碳炔二醇18份，消泡剂GP型甘油聚醚2份，渗透剂异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯15份，乳化剂单甘油脂肪酸甘油酯3份，乳化剂蔗糖脂肪酸酯2份，分散剂丙烯酸磺酸共聚物1份，防锈剂甲基苯并三氮唑0.5份，杀菌剂十二烷基三甲基氯化铵1.5份，依次加入搅拌釜中，搅拌30分钟，再加入余量的去离子水，混合搅拌60分钟，得到大尺寸硅片金刚线切割液。
实施例7
本实施例提供一种大尺寸硅片金刚线切割液，按照总质量份数100份计，其组成为：增溶剂异己二醇6份，表面活性剂六碳至八碳脂肪醇聚氧乙烯醚25份，表面活性剂十碳至十二碳脂肪醇聚氧乙烯醚5份，消泡剂十二碳炔二醇10份，消泡剂GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚2.5份，消泡剂GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚1.5份，渗透剂异构十醇聚氧乙烯醚10份，乳化剂单甘油脂肪酸甘油酯2份，分散剂丙烯酸磺酸共聚物2份，防锈剂甲基苯并三氮唑0.5份，杀菌剂十二烷基三甲基氯化铵1.5份，依次加入搅拌釜中，搅拌30分钟，再加入余量的去离子水，混合搅拌60分钟，得到大尺寸硅片金刚线切割液。
对比例1
对以上实施例的样品和对比例样品在同等温度、同等稀释比例条件下测试关键指标，区别在于：对比例样品采用不同于以上实施例的，非全聚醚型的切割液。
对实施例1-7和对比例提供的金刚线切割液的关键指标测试，结果参见表1所示。
Figure DEST_PATH_IMAGE002
由表1可知，经检测证明，本发明提供的金刚线切割液，在关键指标方面，优于对比例，实现了在渗透性、消泡性、表面张力等方面的改进。
对比例2
采用以上实施例的切片设备、工艺方法和同尺寸硅片进行切片对比试验，区别在于：采用不同于以上实施例的，非全聚醚型的切割液；采用对比例切割液供应商推荐的添加量。
对实施例1-7和对比例提供的金刚线切割硅片的方法的效果数据进行检测，结果参见表2所示。
表2 实施例1-7和对比例提供的金刚线切割硅片的方法的效果数据
Figure DEST_PATH_IMAGE004
由表2可知，经实验证明，实施例中运用的182毫米、210毫米的大尺寸硅片，本发明提供的大尺寸硅片金刚线切割液能够有效提高润滑和渗透性能，带有电荷的分散剂能吸附在硅粉表面，防止硅粉聚集，降低加工中的金刚线断线风险，采用水溶性高分子聚电解质作为分散剂，在水溶液中吸附于硅粉表面，利用均匀的电荷分布实现硅粉的有效分散，并具有很好的抗硬水能力，可以有效去除硅片表面残留的油性脏污、硅粉团聚结块等，并可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集，防止形成粘附，改善硅片表面形貌，降低表面缺陷的发生率，并且能够提高清洗效率，极大的降低脏污占比，进而降低断线率、加切率；另外，切割液使用量显著减小，能有效降低使用成本和环境污染处理费用。
需要指出的是，所述实施例为本发明的优选的实施方式，但本发明并不限于上述实施方式，在不背离本发明的实质内容的情况下，本领域技术人员能够做出的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于，所述大尺寸硅片金刚线切割液按照质量份数其组成为：表面活性剂20-60份、渗透剂10-40份、消泡剂0.5-20份、增溶剂5-30份、乳化剂3-10份、分散剂0.1-2份、余量为去离子水。
2.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述表面活性剂为一元醇和/或多元醇聚醚；所述一元醇和/或多元醇聚醚为烷基酚聚氧乙烯聚氧丙烯醚、丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙醇聚氧烷基醚、六碳至十二碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或多种复配物。
3.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述渗透剂为异辛醇聚氧乙烯醚、异构十醇聚氧乙烯醚、异构十三醇聚氧乙烯醚、异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯、异构十醇聚氧乙烯醚磷酸酯、异构十三醇聚氧乙烯醚磷酸酯的一种或几种复配物。
4.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述消泡剂为十二碳炔二醇聚醚、双子型有机硅聚醚、GP型甘油聚醚，GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚或GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚中的一种或几种。
5.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述增溶剂为二元醇和/或多元醇；所述二元醇和/或多元醇为乙二醇、丙二醇、聚乙二醇、聚丙二醇、二乙二醇、异己二醇中的一种或几种复配物。
6.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述乳化剂为脂肪醇聚氧乙烯缩合物和/或脂肪酸多元醇酯。
7.根据权利要求6所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述脂肪醇聚氧乙烯缩合物为六碳至十五碳直链烷醇聚氧乙烯醚，脂肪酸多元醇酯为失水山梨醇单油酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐单硬脂酸酯、单甘油脂肪酸甘油酯、蔗糖脂肪酸酯中的一种或几种复配物，所述蔗糖脂肪酸酯为蔗糖硬脂酸酯、油酸酯、异丁酸酯中的一种或多种复配物。
8.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述分散剂为丙烯酸均聚物、膦酰基羧酸共聚物、萘磺酸盐甲醛缩合物、丙烯酸磺酸共聚物中的一种或多种复配物。
9.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述硅片切割液还包括防锈剂，所述防锈剂为油酸三乙醇胺、磺化油、甲基苯并三氮唑或异丙基苯并三氮唑中的一种或几种，以所述硅片切割液的总质量为100份计，所述防锈剂的添加量为0.1-5份。
10.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液，其特征在于：所述硅片切割液还包括杀菌剂，所述杀菌剂为季铵盐类、唑啉类杀菌剂、十二烷基三甲基氯化铵中的一种或多种复配物，以所述硅片切割液的总质量为100份计，所述杀菌剂的添加量0.01-3份。
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