CN113522887A - 激光清洗方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种激光清洗方法，应用于激光清洗装置，激光清洗装置包括激光清洗头，激光清洗头用于射出激光束；激光清洗方法包括：提供基材，基材上形成有镀层；调节激光清洗头对准镀层，以使激光束在镀层的表面形成光斑；控制激光束在镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，以将镀层与基材分离。本发明通过将该光斑路径覆盖于镀层表面，使得镀层在光斑所带来的热效应作用下脱离基材表面，由于通过设置光斑路径可实现对于基材上特定区域的清洗，并且通过设置光斑重叠率可控制清洗的力度，从而能够改善对于基材上镀层的清洗效果。
Description
技术领域
本发明涉及清洗技术领域，尤其涉及一种激光清洗方法。
背景技术
在当前工业设计领域中，为了满足工件的性能需要，往往需要在工件的表面镀上一层具有特制材料的薄膜。例如，在工件的表面增加镀层，从而提升手感并更好地保护工件。然而，工件的表面上并不是所有区域都需要镀层，例如，某些工件需要与其他工件进行装配，工件之间的装配结合区存在的镀层会影响到装配的精度和效果，因此需要被清除。
在现有技术中，对于镀层的清洗，一般采用机械打磨的方式进行清洗，但机械打磨的方式的加工精度较低，容易出现清洗过度而损伤工件表面以及清洗不够而在工件表面留下残留物的现象。另外，对于工件的边缘或者其他局部区域进行清洗时，还容易出现清洗到其他无需清洗位置的现象。
因此，现有技术存在缺陷，有待改进与发展。
发明内容
本发明提供了一种激光清洗方法，能够改善对于基材的表面镀层的清洗效果。
本发明提供一种激光清洗方法，应用于激光清洗装置，所述激光清洗装置包括激光清洗头，所述激光清洗头用于射出激光束；所述激光清洗方法包括：提供基材，所述基材上形成有镀层；调节所述激光清洗头对准所述镀层，以使所述激光束在所述镀层的表面形成光斑；控制所述激光束在所述镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，以将所述镀层与所述基材分离。
其中，所述调节所述激光清洗头对准所述镀层，以使所述激光束在所述镀层的表面形成光斑，包括：调节所述激光清洗头的倾角，以使所述激光束与所述镀层的表面呈预设角度；沿第一方向调节所述激光清洗头与所述镀层的表面之间的距离，以使所述激光束在所述镀层的表面聚焦形成所述光斑。
其中，所述预设角度的范围为60°～75°。
其中，所述激光清洗装置还包括激光器；在所述控制所述激光束在所述镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的路径之前，还包括：根据所述镀层的状态设置所述激光器及所述激光器清洗头的工艺参数。
其中，所述根据所述镀层的状态设置所述激光器及所述激光器清洗头的工艺参数，包括：根据镀层的状态设置所述激光器的激光重复频率；根据所述激光重复频率设置所述激光清洗头的扫描速度。
其中，所述预设光斑重叠率的范围为30％～50％。
其中，所述激光清洗头包括振镜系统，所述控制所述激光束在所述镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，包括：通过所述振镜系统控制所述激光束沿第二方向在所述镀层的表面移动；沿第三方向移动所述激光清洗头，以使所述激光束沿第三方向在所述镀层的表面移动。
其中，所述光斑的形状为方形。
其中，所述激光清洗头还用于射出指示光，所述指示光与所述激光束共线出射以指示所述光斑路径。
其中，所述激光清洗装置还包括摄像头；在控制所述激光束在所述镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，以将所述镀层与所述基材分离之后，还包括：通过所述摄像头观察所述激光清洗头对所述镀层的清洗效果。
本发明提供的激光清洗方法，能够通过控制激光束在镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，通过将该光斑路径覆盖于镀层表面，使得镀层在光斑所带来的热效应作用下脱离基材表面，由于通过设置光斑路径可实现对于基材上特定区域的清洗，并且通过设置光斑重叠率可控制清洗的力度，从而能够改善对于基材的表面镀层的清洗效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对根据本发明而成的各实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的一种激光清洗方法的流程示意图；
图2是本发明实施例提供的激光清洗装置的结构示意图；
图3本发明实施例提供的激光清洗场景的示意图；
图4本发明实施例提供的另一种激光清洗方法的流程示意图；
图5本发明实施例提供的又一种激光清洗方法的流程示意图；
图6是本发明实施例提供的光斑的形貌示意图；
图7A是本发明实施例提供的一种相邻光斑重叠的示意图；
图7B是本发明实施例提供的另一种相邻光斑重叠的示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
请参阅图1，图1是本发明实施例提供的一种激光清洗方法的流程示意图，该激光清洗方法应用于激光清洗装置。请参阅图2，图2是本发明实施例提供的激光清洗装置100的结构示意图，如图2所示，该激光清洗装置100包括激光清洗头10。请参阅图3，图3是本发明实施例提供的激光清洗场景的示意图，该激光清洗头10用于射出激光束。
如图1所示，该激光清洗方法包括如下步骤：
步骤S101:提供基材，该基材上形成有镀层。
其中，如图3所示，该基材的表面所在区域可以用平面XOY表示，需要清洗的该镀层所在的区域可以用平面acc’a’来表示。在本实施例中，该基材的材质可以为玻璃、陶瓷、亮面金属等材质，该镀层可以是金属材质，例如银、铬等。以该基材的材质选择玻璃，镀层的材质选择银为例，对应基材与镀层组合后的工件可以是建筑玻璃，为了满足建筑玻璃对光、热、电的控制功能，该镀层具有预设厚度范围，该预设厚度范围优选为10～30μm，如图3所示，在本发明实施例中，需要进行清洗的镀层为位于平面acc’a’上的镀层，该平面acc’a’可以位于平面XOY上的边缘处，也即需要从玻璃基材的边缘处清除具有预设宽度D的镀银层，从而使该建筑玻璃可以被安装到建筑物的窗口中。
步骤S102:调节该激光清洗头对准该镀层，以使该激光束在该镀层的表面形成光斑。
其中，如图3所示，该激光清洗头10上的激光出射点为e点，对应的激光束包括ea、eb、ec。以激光清洗头10射出的激光束为ea为例，该激光束ea在镀层的表面(即平面acc’a’)上形成的光斑为对应边角a点，在本实施例中，可通过以a点为清洗起点对需要清洗的镀层区域进行清洗。
请参阅图4，图4是本发明实施例提供的又一种激光清洗方法的流程示意图，如图4所示，该步骤S102可以包括：
步骤S1021:调节该激光清洗头的倾角，以使该激光束与该镀层的表面呈预设角度。
其中，如图3所示，通过调节该激光清洗头10的倾角可以使得从激光清洗头10射出的激光束eb与平面acc’a’呈预设角度α。该激光清洗头10在进行激光清洗时会产生污染颗粒物或烟尘，以该激光清洗头10射出的激光束eb为例，若该激光束eb与平面acc’a’之间的角度为直角，对应清洗镀层所产生的颗粒物的飞溅方向也同为竖直方向，因此，在本实施例中，优选该预设角度α为锐角，可在一定程度上避开清洗过程产生的污染颗粒物或烟尘的阻挡，使得激光束eb直接作用于镀层的表面，使得基材上镀层直接吸收激光入射能量，能够更大程度充分利用激光能量，提升了对应的清洗效果。如图2所示，该激光清洗装置100还包括除尘器50，用于在清洗结束后处理清洗过程中产生的污染颗粒物和烟尘。
需要说明的是，与该激光束eb与平面acc’a’之间的角度为直角的情况相比，本实例中优选该预设角度α为锐角还有利于增大在镀层的表面上形成的光斑面积。例如，当该激光束eb与平面acc’a’之间的角度为直角时，对应形成光斑的形状可以为圆形或者正方形，而该预设角度α为锐角时，对应形成的光斑的形状就变为椭圆形或长方形，故增大了单个光斑的面积，从而提升了清洗效率。但倾斜一定角度色射出激光束的方式将会极大削弱单位面积上的能量密度，以至于该预设角度α的角度小于60°后，清洗效果不是很明显，根据不同角度测试情况，以该预设角度为75°进行清洗时，效率最高，效果较好，因此，该预设角度的范围可以进一步优选为60°～75°。
步骤S1022:沿第一方向调节该激光清洗头与该镀层的表面之间的距离，以使该激光束在该镀层的表面聚焦形成该光斑。
其中，如图3所示，该第一方向为Z方向，该激光清洗装置100还包括机械臂20，通过该机械臂20的作用可以将该激光清洗头10沿Z方向进行平移，以使得该激光清洗头10与该镀层的表面acc’a’之间的垂直距离H发生改变，进而使得该激光清洗头10上的出射点e沿光束方向到该镀层上的距离(也即焦距)。在本实施例中，当该预设角度优选为60°～75°时，优选该垂直距离H的范围为170mm～200mm。如图2所示，该激光清洗装置还包括高度传感器60，用于测量该垂直距离H的具体数值。
步骤S104:控制该激光束在该镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，以将该镀层与该基材分离。
其中，如图3所示，该光斑路径覆盖镀层所在的平面acc’a’。在本实施例中，激光清洗的作用方式主要在于利用镀层与基材对于激光能量的吸收能力不同，以及基材与镀层的热膨胀系数也不相同的特点，使得镀层在光斑路径的作用下，整个镀层区域都发生镀层剥离基材表面的现象。
其中，该激光清洗头10包括振镜系统(图中未示出)。请参阅图4，步骤S104可以包括：
步骤S1041:通过该振镜系统控制该激光束沿第二方向在该镀层的表面移动。
其中，如图3所示，该第二方向为X方向。该振镜系统包括X单轴光学扫描头、电子驱动放大器、光学反射镜片和场镜组成，在该振镜系统中，通过驱动放大电路驱动X单轴光学扫描头，从而控制激光束的偏转，在玻璃上表面形成一条均匀的光斑路径abc，该光斑路径abc的具体形成方式分为两种，第一种是b点为清洗起点，分别以a点和c点作为清洗终点；第二种是a点为清洗起点，经过b点后到达清洗终点c。第一种方式在进行清洗时，对于振镜系统偏转光束的能力要求不高，但需要在激光清洗开始时将激光束对准镀层的中心轴线bb’。第二种方式在进行清洗时，不需要将激光束对准镀层的中心轴线bb’，但由于路径abc较长，因此需要振镜系统具有较强地偏转光束的能力。
需要进一步说明的是，考虑到振镜系统在对激光束进行偏转时具有一定的偏转角分辨率，当需要进行激光清洗的镀层的预设宽度D较小时，对应的偏转角也要求较小，振镜系统的偏转角分辨率很难达到偏转要求，因此，本实施例中优选镀层的预设宽度D不小于10mm。另外，考虑到需要进行激光清洗的镀层的宽度过大时，激光束到镀层之间的距离在清洗过程中波动较大，导致在不同区域的出现清洗力度不同的现象，为了改善这种现象，本实施例中，优选该镀层的预设宽度D不大于60mm。综上，本实施例中，该预设宽度的优选范围为10mm～60mm。
步骤S1042:沿第三方向移动该激光清洗头，以使该激光束沿第三方向在该镀层的表面移动。
其中，如图3所示，该第三方向为Y方向。在本实施例中，可通过机械臂20沿Y方向平移该激光清洗头10，以使该激光束沿Y方向在该镀层的表面移动。例如，以速度V1沿Y方向移动激光束ea，以在Y方向上形成光斑路径aa’。由于机械臂的运动范围有限，因此控制机械臂20带动激光清洗头10移动距离小于300mm。通过振镜系统控制激光束在X方向上对镀层进行清洗，通过机械臂沿Y方向上移动该激光清洗头，使得该激光束可在Y方向上对镀层进行清洗，以完成对镀层所在平面acc’a’的覆盖式清洗。
请参阅图2，其中，该激光清洗装置100还包括激光器30。
如图5所示，在步骤S104之前，还包括：
步骤S103:根据该镀层的状态设置该激光器及该激光器清洗头的工艺参数。
其中，该镀层的状态包括该镀层的材质以及该镀层的厚度。该激光器为脉冲激光器，该脉冲激光器的产生的激光束的波长为1064nm，对应的工艺参数包括：平均功率不大于300W，激光重复频率为20-50kHz，单脉冲能量不大于12.5mJ。该激光清洗头的工艺参数包括：偏转速度为0.1mm/s～15m/s，移动速度V1为1m/min～6m/min。当对应镀层选择材质为银且厚度在10μm～20μm之间时，可设置激光器的激光重复频率、平均功率、单脉冲能量分别为20kHz、100W以及5mJ，可设置激光清洗头的偏转速度和移动速度V1为分别10m/s和6m/min；当对应镀层选择材质为银且厚度在20μm～30μm之间时，可设置激光器的激光重复频率、平均功率、单脉冲能量分别为50kHz、250W以及5mJ，可设置激光清洗头的偏转速度和移动速度V1为分别10m/s和6m/min。
具体的，该脉冲激光器是多膜调Q结构激光器，该激光器中的激光束经过匀化整形后可在镀层的表面形成方形光斑。如图6所示，整个光斑内部能量均匀性一致，通过振镜系统的内场镜聚焦后光斑长、宽均为0.45mm的光斑，且该方形光斑光束质量因子为10，最大单脉冲能量为12.5mJ，频率可调范围在20～50kHz。在本实施例中，由于激光束是以锐角入射的方式到达镀层表面，因此，实际在该镀层表面上形成的光斑为长方形光斑。
请参阅图4，步骤S103具体可以包括：
S1031:根据镀层的状态设置该激光器的激光重复频率。
S1032:根据该激光重复频率设置该激光清洗头的扫描速度。
具体的，通过控制该激光器的激光重复频率以及激光清洗头10的扫描速度，可使得该光斑具有预设光斑重叠率。该扫描速度包括振镜系统在X方向上的偏转速度以及该激光清洗头在Y方向上的移动速度V1。
请参阅图7A,当光斑重叠率(相邻光斑的重叠面积与单个光斑面积的比值)较低时，相邻光斑之间的重叠区域F区所占的面积相对较小，F区集中的能量也较少，因此会导致对应的清洗力度不够，激光清洗扫描区域存在小块未清洗区域(出现线状底纹)，进而出现镀层残留；而光斑重叠率较高时，由于光脉冲的累计热效应，F区集中的能量也较大，因此会导致对应的清洗力度过大，玻璃基材容易出现发黄。因此，综合清洗效果、效率因素的考量，当基材为玻璃，镀层为银时，将镀层清洗干净且基材不出现明显氧化的预设光斑重叠率的优选范围为：30％～60％。
需要说明的是，如图7B所示，若光斑的形状为圆形或椭圆形，相邻光斑之间除了具有重叠区F区外，还存在空隙区K区，因此，对应K区上的镀层就会被清洗掉。而本实施例中，如图7A所示，该光斑的形状为方形光斑，在控制相邻光斑进行重叠时的几乎不存在空隙区，因此，通过方形光斑进行清洗时，不会存在清洗死角，对应的清洗效果较好。
其中，请参阅图2，该激光清洗装置还包括摄像头40。在步骤S104之后，还包括：通过该摄像头观察该激光清洗头对该镀层的清洗效果。
具体的，该摄像头40用于观察该激光清洗头10对该镀层上的清洗效果，例如，观察基材上的镀层是否被清洗干净以及是否被清洗过度而导致基材上出现氧化。另外，该摄像头40还可用于观察该指示光在镀层上的运动轨迹，从而判断光斑路径是否偏离清洗范围。
其中，该激光清洗头10还用于射出指示光，该指示光与该激光束共线出射以指示该光斑路径。
具体的，该指示光可以是红外光，当该指示光与该激光束共线出射时，该指示光在该镀层上的运动轨迹与激光束在该镀层上形成的光斑路径重合。通过该指示光的指示作用可以清楚地反映该激光束在镀层上形成的该光斑路径是否偏离平面acc’a’。
在本实施例中，该激光清洗装置还包括控制器70。当需要对基材的表面进行清洗时，首先，控制器控制机械臂20移动该激光清洗头以调节该激光清洗头10对准镀层，之后该控制器70加载光斑路径对应的CAD图形，之后控制器70开启激光器30并根据该CAD图形控制该激光清洗头10对该镀层进行清洗。
本发明提供的激光清洗方法，能够通过控制激光束在镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，通过将该光斑路径覆盖于镀层表面，使得镀层在光斑所带来的热效应作用下脱离基材表面，由于通过设置光斑路径可实现对于基材上特定区域的清洗，并且通过设置光斑重叠率控制清洗的力度，从而能够改善对于基材的表面镀层的清洗效果。
除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效替换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围。
综上所述，虽然本发明已将优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种激光清洗方法，其特征在于，应用于激光清洗装置，所述激光清洗装置包括激光清洗头，所述激光清洗头用于射出激光束；
所述激光清洗方法包括：
提供基材，所述基材上形成有镀层；
调节所述激光清洗头对准所述镀层，以使所述激光束在所述镀层的表面形成光斑；
控制所述激光束在所述镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，以将所述镀层与所述基材分离。
2.根据权利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，所述调节所述激光清洗头对准所述镀层，以使所述激光束在所述镀层的表面形成光斑，包括：
调节所述激光清洗头的倾角，以使所述激光束与所述镀层的表面呈预设角度；
沿第一方向调节所述激光清洗头与所述镀层的表面之间的距离，以使所述激光束在所述镀层的表面聚焦形成所述光斑。
3.根据权利要求2所述的激光清洗方法，其特征在于，所述预设角度的范围为60°～75°。
4.根据权利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，所述激光清洗装置还包括激光器；在所述控制所述激光束在所述镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的路径之前，还包括：
根据所述镀层的状态设置所述激光器及所述激光器清洗头的工艺参数。
5.根据权利要求4所述的激光清洗方法，其特征在于，所述根据所述镀层的状态设置所述激光器及所述激光器清洗头的工艺参数，包括：
根据镀层的状态设置所述激光器的激光重复频率；
根据所述激光重复频率设置所述激光清洗头的扫描速度。
6.根据权利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，所述预设光斑重叠率的范围为30％～50％。
7.根据权利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，所述激光清洗头包括振镜系统，所述控制所述激光束在所述镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，包括：
通过所述振镜系统控制所述激光束沿第二方向在所述镀层的表面移动；
沿第三方向移动所述激光清洗头，以使所述激光束沿第三方向在所述镀层的表面移动。
8.根据权利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，所述光斑的形状为方形。
9.根据权利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，所述激光清洗头用于射出指示光，所述指示光与所述激光束共线出射以指示所述光斑路径。
10.根据权利要求1所述的激光清洗方法，其特征在于，所述激光清洗装置还包括摄像头；在控制所述激光束在所述镀层的表面上移动以形成具有预设光斑重叠率的光斑路径，以将所述镀层与所述基材分离之后，还包括：
通过所述摄像头观察所述激光清洗头对所述镀层的清洗效果。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114247706A (zh) * | 2022-01-06 | 2022-03-29 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 环形光斑激光器在清洗凹凸槽结构中的应用 |
| CN114657549A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-06-24 | 广东省科学院新材料研究所 | 还原炉钟罩内表面银层的制备方法、还原炉钟罩和还原炉 |
| CN114686870A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-01 | 广东省科学院新材料研究所 | 还原炉底盘表面银层的制备方法、还原炉底盘及还原炉 |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040140298A1 (en) * | 2003-01-21 | 2004-07-22 | Applied Materials Israel Ltd | Iced film substrate cleaning |
| CN103817113A (zh) * | 2014-03-14 | 2014-05-28 | 华中科技大学 | 一种金属表面污物激光清洗系统及方法 |
| CN204074632U (zh) * | 2014-08-04 | 2015-01-07 | 武汉和骏激光技术有限公司 | 一种便携式激光清洗机 |
| CN205236562U (zh) * | 2015-11-27 | 2016-05-18 | 武汉市凯瑞迪激光技术有限公司 | 固体脉冲激光清洗装置 |
| CN108816964A (zh) * | 2018-08-27 | 2018-11-16 | 中国科学院半导体研究所 | 随机激光清洗装置与方法 |
| CN110280536A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-27 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光清洗装置及其清洗方法 |
| CN110434124A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-11-12 | 南京中车浦镇城轨车辆有限责任公司 | 一种铝合金无损探伤液干式激光清洗装置及方法 |
| CN110548730A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-10 | 武汉武钢华工激光大型装备有限公司 | 铝合金阳极氧化膜及表面漆膜复合层激光清洗装置及方法 |
| CN111871964A (zh) * | 2020-06-10 | 2020-11-03 | 中国电力科学研究院有限公司 | 一种用于清洗轴对称结构工件表面的激光清洗装置及方法 |
| CN111940423A (zh) * | 2020-08-07 | 2020-11-17 | 武汉金顿激光科技有限公司 | 一种飞机非导电复合涂层的原位激光清洗方法 |
| CN112371653A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-02-19 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种去除钛合金表面氧化皮的激光清洗方法 |
| CN112676267A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-04-20 | 中国科学院半导体研究所 | 脉冲激光清洗方法 |
-
2021
- 2021-08-23 CN CN202110968050.9A patent/CN113522887A/zh active Pending
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040140298A1 (en) * | 2003-01-21 | 2004-07-22 | Applied Materials Israel Ltd | Iced film substrate cleaning |
| CN103817113A (zh) * | 2014-03-14 | 2014-05-28 | 华中科技大学 | 一种金属表面污物激光清洗系统及方法 |
| CN204074632U (zh) * | 2014-08-04 | 2015-01-07 | 武汉和骏激光技术有限公司 | 一种便携式激光清洗机 |
| CN205236562U (zh) * | 2015-11-27 | 2016-05-18 | 武汉市凯瑞迪激光技术有限公司 | 固体脉冲激光清洗装置 |
| CN108816964A (zh) * | 2018-08-27 | 2018-11-16 | 中国科学院半导体研究所 | 随机激光清洗装置与方法 |
| CN110280536A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-27 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光清洗装置及其清洗方法 |
| CN110434124A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-11-12 | 南京中车浦镇城轨车辆有限责任公司 | 一种铝合金无损探伤液干式激光清洗装置及方法 |
| CN110548730A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-10 | 武汉武钢华工激光大型装备有限公司 | 铝合金阳极氧化膜及表面漆膜复合层激光清洗装置及方法 |
| CN111871964A (zh) * | 2020-06-10 | 2020-11-03 | 中国电力科学研究院有限公司 | 一种用于清洗轴对称结构工件表面的激光清洗装置及方法 |
| CN111940423A (zh) * | 2020-08-07 | 2020-11-17 | 武汉金顿激光科技有限公司 | 一种飞机非导电复合涂层的原位激光清洗方法 |
| CN112371653A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-02-19 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种去除钛合金表面氧化皮的激光清洗方法 |
| CN112676267A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-04-20 | 中国科学院半导体研究所 | 脉冲激光清洗方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114247706A (zh) * | 2022-01-06 | 2022-03-29 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 环形光斑激光器在清洗凹凸槽结构中的应用 |
| CN114247706B (zh) * | 2022-01-06 | 2023-03-10 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 环形光斑激光器在清洗凹凸槽结构中的应用 |
| WO2023130757A1 (zh) * | 2022-01-06 | 2023-07-13 | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 | 环形光斑激光器在清洗凹凸槽结构中的应用 |
| CN114657549A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-06-24 | 广东省科学院新材料研究所 | 还原炉钟罩内表面银层的制备方法、还原炉钟罩和还原炉 |
| CN114686870A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-01 | 广东省科学院新材料研究所 | 还原炉底盘表面银层的制备方法、还原炉底盘及还原炉 |
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