CN113441368B - Cof载带烘烤流道及烘烤方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种COF载带烘烤流道及烘烤方法，包括：两个流道组件，两个流道组件均位于烘烤箱内，两个流道组件上承载有沿第一方向输送的COF载带，两个流道组件相互平行，两个流道组件关于COF载带对称布置，两个流道组件之间的距离小于COF载带的宽度，流道组件的正投影与COF载带的正投影存在交集，流道组件的上表面具有多个凸起部，多个凸起部沿第一方向均匀布置，COF载带的下表面与多个凸起部相接触，相邻两个凸起部与COF载带之间形成通道，通道用以供烘烤箱内的热风通过。本发明的凸起部，减少了与COF载带的接触面积，降低了产生静电的概率；热风从相邻凸起部与COF载带之间的通道流动，避免了热风吹拂COF载带时，热风无法及时溢出，导致COF载带晃动的问题。
Description
技术领域
本发明属于载带制造技术领域，具体涉及一种COF载带烘烤流道及烘烤方法。
背景技术
COF载带是一种柔性线路板，在COF载带制造过程中，通常需要在有金属线路和芯片的一面涂覆胶水，并对胶水进行固化处理。现有技术通常采用烘烤箱对COF载带表面胶水进行固化。COF载带在烘干时保持带料状态进行连续输送，为提高COF载带的成品率，在输送时通常只对COF载带两侧的非工作区进行支撑，同时由于烘烤箱内有流动的热气流，在支撑面积受限的情况下，热气流容易造成COF载带的晃动，进而影响胶水固化效果。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
为此，本发明提出一种COF载带烘烤流道及烘烤方法，该COF载带烘烤流道具有避免COF载带晃动的优点。
根据本发明实施例的COF载带烘烤流道，包括：两个流道组件，两个所述流道组件均位于烘烤箱内，两个所述流道组件上承载有沿第一方向输送的COF载带，两个所述流道组件相互平行，两个所述流道组件关于所述COF载带对称布置，两个所述流道组件之间的距离小于所述COF载带的宽度，所述流道组件的正投影与所述COF载带的正投影存在交集，所述流道组件的上表面具有多个凸起部，多个所述凸起部沿所述第一方向均匀布置，所述COF载带的下表面与多个所述凸起部相接触，相邻两个所述凸起部与所述COF载带之间形成通道，所述通道用以供所述烘烤箱内的热风通过。
本发明的有益效果是，本发明结构简单，通过在流道组件上设置凸起部，减少了与COF载带的接触面积，降低了产生静电的概率；热风从相邻凸起部与COF载带之间的通道流动，避免了热风吹拂COF载带时，热风无法及时溢出，导致COF载带晃动的问题，胶水固化时较为稳定，提高了固化效果。
根据本发明一个实施例，所述流道组件包括：基板，所述基板为直板件，所述基板上靠近所述COF载带的部分形成为支撑区，多个所述凸起部设于所述支撑区上，所述基板上远离所述COF载带的部分形成为导向区；多个导向柱，多个所述导向柱沿所述第一方向均匀设在所述导向区的上表面，所述导向柱与所述COF载带的一侧相抵。
根据本发明一个实施例，所述凸起部的上表面形成为圆弧面，多个所述圆弧面依次相连形成波形面，所述COF载带与所述圆弧面相切。
根据本发明一个实施例，所述导向柱与所述凸起部一一对应，所述导向柱位于所述凸起部的一侧。
根据本发明一个实施例，所述导向柱包括：上圆柱；下圆柱，所述下圆柱固定设于所述上圆柱的下方，所述下圆柱位于所述导向区的上方，所述下圆柱的轴线平行于所述上圆柱的轴线；通孔，所述通孔贯穿所述上圆柱和所述下圆柱，所述通孔与所述上圆柱同轴设置，所述下圆柱与所述通孔不同轴，螺钉穿过所述通孔后与所述基板相连，以将所述导向柱固定在所述导向区上。
根据本发明一个实施例，所述下圆柱外周面与所述通孔内壁之间的最大距离小于所述上圆柱外周面与所述通孔内壁之间的距离。
根据本发明一个实施例，所述上圆柱正投影的一部分落在所述COF载带上。
根据本发明一个实施例，所述凸起部的上表面涂覆有铁氟龙涂料。
一种COF载带烘烤流道的烘烤方法，其特征在于，包括以下步骤，步骤一：根据COF载带的宽度，适当转动导向柱，使下圆柱的外周面与COF载带的边缘相靠近，将COF载带放置在两个流道组件之间，COF载带在凸起部上输送，上圆柱在COF载带上方进行限位；步骤二：设定适当的烘烤温度，将热风同时吹向COF载带的上表面和下表面。
根据本发明一个实施例，所述热风的方向垂直于所述COF载带所在平面，一部分热风从所述通道通过。
本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是根据本发明的COF载带烘烤流道的俯视结构示意图；
图2是根据本发明的COF载带烘烤流道中流道组件的立体结构示意图；
图3是根据本发明的COF载带烘烤流道中流道组件的剖视结构示意图；
图4是根据本发明的COF载带烘烤流道中导向柱的仰视结构示意图；
附图标记：
流道组件1、COF载带2、基板10、凸起部11、导向柱12、上圆柱121、下圆柱122、通孔123。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面参考附图具体描述本发明实施例的COF载带烘烤流道。
如图1至图4所示，根据本发明实施例的COF载带烘烤流道，包括：两个流道组件1，两个流道组件1均位于烘烤箱内，两个流道组件1上承载有沿第一方向输送的COF载带2，两个流道组件1相互平行，两个流道组件1关于COF载带2对称布置，两个流道组件1之间的距离小于COF载带2的宽度，流道组件1的正投影COF载带2的正投影存在交集，流道组件1的上表面具有多个凸起部11，多个凸起部11沿第一方向均匀布置，COF载带2的下表面与多个凸起部11相接触，相邻两个凸起部11与COF载带2之间形成通道，通道用以供烘烤箱内的热风通过。
本发明结构简单，通过在流道组件1上设置凸起部11，减少了与COF载带2的接触面积，降低了产生静电的概率；热风从相邻凸起部11与COF载带2之间的通道流动，避免了热风吹拂COF载带2时，热风无法及时溢出，导致COF载带2晃动的问题，胶水固化时较为稳定，提高了固化效果。
根据本发明一个实施例，流道组件1包括：基板10和多个导向柱12，基板10为直板件，基板10上靠近COF载带2的部分形成为支撑区，多个凸起部11设于支撑区上，基板10上远离COF载带2的部分形成为导向区；多个导向柱12沿第一方向均匀设在导向区的上表面，导向柱12与COF载带2的一侧相抵。流道组件1对COF载带2侧面的非工作区进行支撑，避免在输送时对COF载带2中部的工作区造成损坏。
根据本发明一个实施例，凸起部11的上表面形成为圆弧面，多个圆弧面依次相连形成波形面，COF载带与圆弧面相切。也就是说，COF载带在输送时，将传统的面接触替换为线接触，大幅减少了摩擦产生静电的情况发生，提高了COF载带的质量。
根据本发明一个实施例，导向柱12与凸起部11一一对应，导向柱12位于凸起部11的一侧。
根据本发明一个实施例，导向柱12包括：上圆柱121，下圆柱122和通孔123，下圆柱122固定设于上圆柱121的下方，下圆柱122位于导向区的上方，下圆柱122的轴线平行于上圆柱121的轴线；通孔123贯穿上圆柱121和下圆柱122，通孔123与上圆柱121同轴设置，下圆柱122与通孔123不同轴，螺钉穿过通孔123后与基板10相连，以将导向柱12固定在导向区上。也就是说，下圆柱122与通孔123偏心设置，通过转动导向柱12，改变下圆柱122与凸起部11之间的距离，从而适配不同宽度的COF载带2。
进一步地，下圆柱122外周面与通孔123内壁之间的最大距离小于上圆柱121外周面与通孔123内壁之间的距离。更进一步地，上圆柱121正投影的一部分落在COF载带2上。也就是说，上圆柱121和凸起部11分别对COF载带2的上表面和下表面进行限位，下圆柱122对COF载带2的侧面进行限位，避免COF载带2在受到热风吹拂时发生晃动，COF载带2上的胶水在固化过程中较为稳定，提高了固化效果。
根据本发明一个实施例，凸起部11的上表面涂覆有铁氟龙涂料。铁氟龙涂料可以进一步避免产生静电。
一种COF载带烘烤流道的烘烤方法，其特征在于，包括以下步骤，步骤一：根据COF载带2的宽度，适当转动导向柱12，使下圆柱122的外周面与COF载带2的边缘相靠近，将COF载带2放置在两个流道组件1之间，COF载带2在凸起部11上输送，上圆柱121在COF载带2上方进行限位；步骤二：设定适当的烘烤温度，将热风同时吹向COF载带2的上表面和下表面。进一步地，热风的方向垂直于COF载带2所在平面，一部分热风从通道通过。也就是说，利用热风同时对COF载带2上下表面进行加热，使COF载带2受热均匀，固化更加均匀；同时COF载带2上下表面的热风可以相互抵消，避免由于单面加热造成COF载带2上胶水固化时发生翘曲；COF载带2上下表面的热风均可从侧面排出，避免热风在两个流道组件1之间堆积，造成气流紊乱。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种COF载带烘烤流道，其特征在于，包括：
两个流道组件（1），两个所述流道组件（1）均位于烘烤箱内，两个所述流道组件（1）上承载有沿第一方向输送的COF载带（2），两个所述流道组件（1）相互平行，两个所述流道组件（1）关于所述COF载带（2）对称布置，两个所述流道组件（1）之间的距离小于所述COF载带（2）的宽度，所述流道组件（1）的正投影与所述COF载带（2）的正投影存在交集，所述流道组件（1）的上表面具有多个凸起部（11），多个所述凸起部（11）沿所述第一方向均匀布置，所述COF载带（2）的下表面与多个所述凸起部（11）相接触，相邻两个所述凸起部（11）与所述COF载带（2）之间形成通道，所述通道用以供所述烘烤箱内的热风通过；
所述流道组件（1）包括：
基板（10），所述基板（10）为直板件，所述基板（10）上靠近所述COF载带（2）的部分形成为支撑区，多个所述凸起部（11）设于所述支撑区上，所述基板（10）上远离所述COF载带（2）的部分形成为导向区；
多个导向柱（12），多个所述导向柱（12）沿所述第一方向均匀设在所述导向区的上表面，所述导向柱（12）与所述COF载带（2）的一侧相抵；
所述凸起部（11）的上表面形成为圆弧面，多个所述圆弧面依次相连形成波形面，所述COF载带与所述圆弧面相切；
所述导向柱（12）包括：
上圆柱（121）；
下圆柱（122），所述下圆柱（122）固定设于所述上圆柱（121）的下方，所述下圆柱（122）位于所述导向区的上方，所述下圆柱（122）的轴线平行于所述上圆柱（121）的轴线；
通孔（123），所述通孔（123）贯穿所述上圆柱（121）和所述下圆柱（122），所述通孔（123）与所述上圆柱（121）同轴设置，所述下圆柱（122）与所述通孔（123）不同轴，螺钉穿过所述通孔（123）后与所述基板（10）相连，以将所述导向柱（12）固定在所述导向区上；
所述下圆柱（122）外周面与所述通孔（123）内壁之间的最大距离小于所述上圆柱（121）外周面与所述通孔（123）内壁之间的距离。
2.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道，其特征在于，所述导向柱（12）与所述凸起部（11）一一对应，所述导向柱（12）位于所述凸起部（11）的一侧。
3.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道，其特征在于，所述上圆柱（121）正投影的一部分落在所述COF载带（2）上。
4.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道，其特征在于，所述凸起部（11）的上表面涂覆有铁氟龙涂料。
5.一种根据权利要求1-4中任一所述的COF载带烘烤流道的烘烤方法，其特征在于，包括以下步骤，
步骤一：根据COF载带（2）的宽度，适当转动导向柱（12），使下圆柱（122）的外周面与COF载带（2）的边缘相靠近，将COF载带（2）放置在两个流道组件（1）之间，COF载带（2）在凸起部（11）上输送，上圆柱（121）在COF载带（2）上方进行限位；
步骤二：设定适当的烘烤温度，将热风同时吹向COF载带（2）的上表面和下表面。
6.根据权利要求5所述的COF载带烘烤流道的烘烤方法，其特征在于，所述热风的方向垂直于所述COF载带（2）所在平面，一部分热风从所述通道通过。
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203116455U (zh) * | 2012-12-31 | 2013-08-07 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 柔性载带烘干装置 |
| CN206375020U (zh) * | 2016-10-17 | 2017-08-04 | 深圳市炫硕光电科技有限公司 | 载带输送机构及设有该载带输送机构的编带机 |
| CN211261641U (zh) * | 2019-11-28 | 2020-08-14 | 苏州南鑫自动化设备有限公司 | 一种节能型隧道式烘干炉 |
| CN112055529A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 深圳市瑞微智能有限责任公司 | 一种用于smt贴片机的上料方法及上料组件 |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203116455U (zh) * | 2012-12-31 | 2013-08-07 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 柔性载带烘干装置 |
| CN206375020U (zh) * | 2016-10-17 | 2017-08-04 | 深圳市炫硕光电科技有限公司 | 载带输送机构及设有该载带输送机构的编带机 |
| CN112055529A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 深圳市瑞微智能有限责任公司 | 一种用于smt贴片机的上料方法及上料组件 |
| CN211261641U (zh) * | 2019-11-28 | 2020-08-14 | 苏州南鑫自动化设备有限公司 | 一种节能型隧道式烘干炉 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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