CN113441316A - 一种超薄精密遮光片蚀刻设备 - Google Patents

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Abstract

一种超薄精密遮光片蚀刻设备，属于蚀刻设备相关技术领域，包括基座以及通过升降机构活动设置在所述基座上方的横板，还包括喷淋头，所述喷淋头与蚀刻液储存罐连接用于将蚀刻液均匀喷射至遮光片上的蚀刻位置，在进行遮光片的蚀刻工作时，将带蚀刻的遮光片通过稳固机构安装在所述基座的上方，随后旋转组件工作，驱动喷淋头做圆周运动，在此过程中，触发机构与升降机构工作，触发机构驱动喷淋头在圆周运动的过程中做直线运动，向遮光片的边缘扩散，同时，升降机构将驱动喷淋头逐渐缓缓上升，使得靠近遮光片中央部分的喷射压力大于遮光片边缘的喷射压力，如此一来，保证了最终蚀刻的均匀性。

Description

一种超薄精密遮光片蚀刻设备
技术领域
本发明属于蚀刻设备相关技术领域，具体是涉及一种超薄精密遮光片蚀刻设备。
背景技术
遮光片在光学系统中是用于调控光量的光学元件，外界光线进入镜头时，在镜片之间设置的遮光片可阻挡不需要的光线进入，在光学系统中使用遮光片虽达到了控制光线的效果，在遮光片的生产加工中，蚀刻是必不可少的一项工序。
蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，现有的蚀刻设备，在使用中，通常遮光片的边缘部分的蚀刻速度大于其靠近中央部分的蚀刻速度，如此一来，便容易造成蚀刻不均匀的问题。
发明内容
本发明主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种超薄精密遮光片蚀刻设备。
本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种超薄精密遮光片蚀刻设备，所述超薄精密遮光片蚀刻设备包括基座以及通过升降机构活动设置在所述基座上方的横板，还包括：
喷淋头，所述喷淋头与蚀刻液储存罐连接用于将蚀刻液均匀喷射至遮光片上的蚀刻位置，且连接安装在所述横板下部的旋转组件，所述旋转组件用于驱动喷淋头做圆周运动；
触发机构，所述触发机构设置在所述横板的下方，用于驱动所述喷淋头在圆周运动的过程中做直线运动，以使蚀刻的范围改变；
稳固机构，所述稳固机构设置在所述基座与所述喷淋头之间，用于对待蚀刻的遮光片进行稳固。
作为优选，所述升降机构包括固定安装在所述基座上的固定板、滑动设置在所述固定中且同所述横板固定连接的伸缩板以及安装在所述固定板上的气缸。
作为优选，所述旋转组件包括安装在所述横板上方的驱动设备、设置在所述横板的下方且同所述驱动设备的输出端连接的转轴以及固定安装在所述转轴远离所述驱动设备的一端上的转动板；
所述转动板中滑动设置有一个与所述触发机构连接用于带动所述喷淋头做直线运动的滑板，所述喷淋头则安装在所述滑板上。
作为优选，所述触发机构包括安装在所述横板下方的齿合组件以及安装在所述转动板的下部且与所述齿合组件连接的平移组件；
所述平移组件与所述滑板连接，用于在所述喷淋头做圆周运动的过程中驱动所述滑板带动所述喷淋头朝向遮光片的边缘运动。
作为优选，所述齿合组件包括通过两个垂直板固定安装在所述横板下方的固定环以及
转动安装在所述转动板上的齿轮；
所述固定环的内壁上沿圆周等距设置有多个齿牙，且所述齿轮与所述齿牙配合，所述齿轮转动轴的末端通过锥齿轮组同所述平移组件连接。
作为优选，所述平移组件包括安装在所述转动板下部的丝杆以及套设在所述丝杆上的螺纹套筒；
所述螺纹套筒通过一根连接柱同处于所述转动板中的滑板固定连接，且所述转动板的底部开设有一个供所述连接柱运动的通槽。
作为优选，所述稳固组件包括通过弹性结构活动设置在所述固定板侧部的第一限位件以及固定安装在所述基座上的第二限位件；
所述第一限位件与所述第二限位件完全相同，且二者均呈圆弧形设置，且二者相互配合可在蚀刻的过程中对遮光片进行限位。
作为优选，所述弹性结构包括转动安装在所述固定板上的转动管以及设置在所述转动管中的弹簧以及滑动设置在所述转动管中的伸缩轴；
所述弹簧套设在所述伸缩轴的外周上，且与固定在所述伸缩轴上的一个突出环连接，所述伸缩轴的末端同所述第一限位件固定连接。
本发明具有的有益效果：本发明设计新颖，在进行摄光片的蚀刻工作时，将带蚀刻的遮光片通过稳固机构安装在所述基座的上方，随后旋转组件工作，驱动喷淋头做圆周运动，在此过程中，触发机构与升降机构工作，触发机构驱动喷淋头在圆周运动的过程中做直线运动，向遮光片的边缘扩散，同时，升降机构将驱动喷淋头逐渐缓缓上升，使得靠近遮光片中央部分的喷射压力大于遮光片边缘的喷射压力，如此一来，保证了最终蚀刻的均匀性。
附图说明
图1是本发明的一种结构示意图；
图2是本发明中基座、固定板、伸缩板以及横板的连接关系示意图；
图3是本发明中齿轮与固定环的俯视图；
图4是本发明中转动管的内部结构示意图；
图中：1、基座；2、固定板；3、伸缩板；4、横板；5、喷淋头；6、驱动设备；7、转轴；8、转动板；9、丝杆；10、螺纹套筒；11、锥齿轮组；12、垂直板；13、固定环；14、齿轮；15、滑板；16、转动管；17、伸缩轴；18、第一限位件；19、第二限位件；20、弹簧；21、气缸。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例：一种超薄精密遮光片蚀刻设备，如图1-图4所示，所述超薄精密遮光片蚀刻设备包括基座1以及
通过升降机构活动设置在所述基座1上方的横板4，还包括：
喷淋头5，所述喷淋头5与蚀刻液储存罐连接用于将蚀刻液均匀喷射至遮光片上的蚀刻位置，且连接安装在所述横板4下部的旋转组件，所述旋转组件用于驱动喷淋头5做圆周运动；
触发机构，所述触发机构设置在所述横板4的下方，用于驱动所述喷淋头5在圆周运动的过程中做直线运动，以使蚀刻的范围改变；
稳固机构，所述稳固机构设置在所述基座1与所述喷淋头5之间，用于对待蚀刻的遮光片进行稳固。
需要说明的是，上述所述的喷淋头5中还设置有增压装置，以用于保证其喷射压力。
在本发明实施例中，在进行遮光片的蚀刻工作时，将带蚀刻的遮光片通过稳固机构安装在所述基座1的上方，随后旋转组件工作，驱动喷淋头5做圆周运动，在此过程中，触发机构与升降机构工作，触发机构驱动喷淋头5在圆周运动的过程中做直线运动，向遮光片的边缘扩散，同时，升降机构将驱动喷淋头5逐渐缓缓上升，使得靠近遮光片中央部分的喷射压力大于遮光片边缘的喷射压力，如此一来，保证了最终蚀刻的均匀性。
一种实施例，所述升降机构包括固定安装在所述基座1上的固定板2、滑动设置在所述固定2中且同所述横板4固定连接的伸缩板3以及安装在所述固定板2上的气缸21。
注意的是，上述所述的气缸21也可采用电动伸缩杆或液压缸来进行替换，当然了，可根据实际需求进行选择，本申请对此不做具体限定。
在本发明实施例中，喷淋头5在圆周运动且向遮光片的边缘扩散的过程中，气缸21工作，驱动伸缩板3从固定板2中逐渐地缓缓上升，从而使得喷淋头5的高度逐渐上升，如此一来，使得喷淋头5对遮光片的喷射压力逐渐变小，保证最终蚀刻的均匀性。
一种实施例，所述旋转组件包括安装在所述横板4上方的驱动设备6、设置在所述横板4的下方且同所述驱动设备的输出端连接的转轴7以及固定安装在所述转轴7远离所述驱动设备6的一端上的转动板8；
所述转动板8中滑动设置有一个与所述触发机构连接用于带动所述喷淋头5做直线运动的滑板15，所述喷淋头5则安装在所述滑板15上。
详细地说，上述所述的驱动设备6为输出端可双向驱动的伺服电机，以保证喷淋头5的双向运动。
在本发明实施例中，驱动设备6正向工作时，转轴7带动转动板8、滑板15以及喷淋头5做圆周运动，且在此过程中，触发机构工作，驱动滑板15朝向转动板8的外部滑动，
从而使得喷淋头5朝向遮光片的边缘扩散。
一种实施例，所述触发机构包括安装在所述横板4下方的齿合组件以及安装在所述转动板8的下部且与所述齿合组件连接的平移组件；
所述平移组件与所述滑板15连接，用于在所述喷淋头5做圆周运动的过程中驱动所述滑板15带动所述喷淋头5朝向遮光片的边缘运动。
在本发明实施例中，旋转组件在工作过程中，齿合组件带动平移组件工作，从而平移组件驱动滑板15带动所述喷淋头5朝向遮光片的边缘做直线运动，实现了装置对遮光片扩散式的蚀刻功能。
一种实施例，所述齿合组件包括通过两个垂直板12固定安装在所述横板4下方的固定环13以及转动安装在所述转动板8上的齿轮14；
所述固定环13的内壁上沿圆周等距设置有多个齿牙，且所述齿轮14与所述齿牙配合，所述齿轮14转动轴的末端通过锥齿轮组11同所述平移组件连接。
在本发明实施例中，旋转组件工作时，齿轮14在固定环13中做圆周运动并与其内壁上的齿牙配合而发生转动，如此一来，齿轮14通过锥齿轮组11带动平移组件运动，滑板15带动所述喷淋头5朝向遮光片的边缘做直线运动。
一种实施例，所述平移组件包括安装在所述转动板8下部的丝杆9以及套设在所述丝杆9上的螺纹套筒10；
所述螺纹套筒10通过一根连接柱同处于所述转动板8中的滑板15固定连接，且所述转动板8的底部开设有一个供所述连接柱运动的通槽。
在本发明实施例中，齿合组件运动时，带动所述丝杆9转动，从而螺纹套筒10与之螺纹配合，并通过连接柱带动滑板15朝向转动板8的外部滑动，使得喷淋头5做直线运动。
需要补充的是，上述所述的锥齿轮组11包括与所述齿轮14同轴固定安装的第一锥齿轮和固定在所述丝杆9末端上的第二锥齿轮，且所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮啮合。
一种实施例，所述稳固组件包括通过弹性结构活动设置在所述固定板2侧部的第一限位件18以及固定安装在所述基座1上的第二限位件19；
所述第一限位件18与所述第二限位件19完全相同，且二者均呈圆弧形设置，且二者相互配合可在蚀刻的过程中对遮光片进行限位。
在本发明实施例中，在蚀刻开始之前，将遮光片置于所述第一限位件18与所述第二限位件19之间，弹性结构对所述第一限位件18施加一定的弹力，使得遮光片被稳定的卡放在第一限位件18和第二限位件19之间。
一种实施例，所述弹性结构包括转动安装在所述固定板2上的转动管16以及设置在所述转动管16中的弹簧20以及滑动设置在所述转动管16中的伸缩轴17；
所述弹簧20套设在所述伸缩轴17的外周上，且与固定在所述伸缩轴17上的一个突出环连接，所述伸缩轴17的末端同所述第一限位件18固定连接。
在本发明实施例中，在使用时，向外拉动伸缩轴17，使得第一限位件18与第二限位件19之间的距离变大，此过程中，弹簧20被压缩，随后将遮光片置于第一限位件18与第二限位件19之间，松开伸缩轴17，弹簧20对第一限位件18施加一定弹力，从而，使得遮光片被稳定的卡放在第一限位件18和第二限位件19之间，在遮光片的上面蚀刻结束后，将转动管16转动半周，再对遮光片的下面进行蚀刻，如此一来，保证了上下面蚀刻速率的一致性。
本发明的原理：通过第一限位件18与第二限位件19对遮光片进行稳固，驱动设备6工作，驱动喷淋头5做圆周运动，此过程中，齿轮14与固定环13内壁上的齿牙配合带动丝杆9，丝杆9上的螺纹套筒10带动喷淋头5朝向遮光片的边缘方向扩散，且同时，气缸21驱动喷淋头5的高度逐渐上升，使得靠近遮光片中央部分的喷射压力大于遮光片边缘的喷射压力，如此一来，保证最终蚀刻的均匀性。
最后，应当指出，以上实施例仅是本发明较有代表性的例子。显然，本发明不限于上述实施例，还可以有许多变形。凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均应认为属于本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种超薄精密遮光片蚀刻设备，所述超薄精密遮光片蚀刻设备包括基座(1)以及通过升降机构活动设置在所述基座(1)上方的横板(4)，其特征在于，还包括：
喷淋头(5)，所述喷淋头(5)与蚀刻液储存罐连接用于将蚀刻液均匀喷射至遮光片上的蚀刻位置，且连接安装在所述横板(4)下部的旋转组件，所述旋转组件用于驱动喷淋头(5)做圆周运动；
触发机构，所述触发机构设置在所述横板(4)的下方，用于驱动所述喷淋头(5)在圆周运动的过程中做直线运动，以使蚀刻的范围改变；
稳固机构，所述稳固机构设置在所述基座(1)与所述喷淋头(5)之间，用于对待蚀刻的遮光片进行稳固。
2.根据权利要求1所述的一种超薄精密遮光片蚀刻设备，其特征在于：所述升降机构包括固定安装在所述基座(1)上的固定板(2)、滑动设置在所述固定(2)中且同所述横板(4)固定连接的伸缩板(3)以及安装在所述固定板(2)上的气缸(21)。
3.根据权利要求1所述的一种超薄精密遮光片蚀刻设备，其特征在于：所述旋转组件包括安装在所述横板(4)上方的驱动设备(6)、设置在所述横板(4)的下方且同所述驱动设备的输出端连接的转轴(7)以及固定安装在所述转轴(7)远离所述驱动设备(6)的一端上的转动板(8)；
所述转动板(8)中滑动设置有一个与所述触发机构连接用于带动所述喷淋头(5)做直线运动的滑板(15)，所述喷淋头(5)则安装在所述滑板(15)上。
4.根据权利要求3所述的一种超薄精密遮光片蚀刻设备，其特征在于：所述触发机构包括安装在所述横板(4)下方的齿合组件以及安装在所述转动板(8)的下部且与所述齿合组件连接的平移组件；
所述平移组件与所述滑板(15)连接，用于在所述喷淋头(5)做圆周运动的过程中驱动所述滑板(15)带动所述喷淋头(5)朝向遮光片的边缘运动。
5.根据权利要求4所述的一种超薄精密遮光片蚀刻设备，其特征在于：所述齿合组件包括通过两个垂直板(12)固定安装在所述横板(4)下方的固定环(13)以及转动安装在所述转动板(8)上的齿轮(14)；
所述固定环(13)的内壁上沿圆周等距设置有多个齿牙，且所述齿轮(14)与所述齿牙配合，所述齿轮(14)转动轴的末端通过锥齿轮组(11)同所述平移组件连接。
6.根据权利要求5所述的一种超薄精密遮光片蚀刻设备，其特征在于：所述平移组件包括安装在所述转动板(8)下部的丝杆(9)以及套设在所述丝杆(9)上的螺纹套筒(10)；
所述螺纹套筒(10)通过一根连接柱同处于所述转动板(8)中的滑板(15)固定连接，且所述转动板(8)的底部开设有一个供所述连接柱运动的通槽。
7.根据权利要求2所述的一种超薄精密遮光片蚀刻设备，其特征在于：所述稳固组件包括通过弹性结构活动设置在所述固定板(2)侧部的第一限位件(18)以及固定安装在所述基座(1)上的第二限位件(19)；
所述第一限位件(18)与所述第二限位件(19)完全相同，且二者均呈圆弧形设置，且二者相互配合可在蚀刻的过程中对遮光片进行限位。
8.根据权利要求7所述的一种超薄精密遮光片蚀刻设备，其特征在于：所述弹性结构包括转动安装在所述固定板(2)上的转动管(16)以及设置在所述转动管(16)中的弹簧(20)以及滑动设置在所述转动管(16)中的伸缩轴(17)；
所述弹簧(20)套设在所述伸缩轴(17)的外周上，且与固定在所述伸缩轴(17)上的一个突出环连接，所述伸缩轴(17)的末端同所述第一限位件(18)固定连接。
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