CN113426708A - 晶体半成品外观缺陷选别机 - Google Patents
晶体半成品外观缺陷选别机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113426708A CN113426708A CN202110706412.7A CN202110706412A CN113426708A CN 113426708 A CN113426708 A CN 113426708A CN 202110706412 A CN202110706412 A CN 202110706412A CN 113426708 A CN113426708 A CN 113426708A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed mounting
- plate
- motion module
- connecting plate
- clamping jaw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/34—Sorting according to other particular properties
- B07C5/342—Sorting according to other particular properties according to optical properties, e.g. colour
- B07C5/3422—Sorting according to other particular properties according to optical properties, e.g. colour using video scanning devices, e.g. TV-cameras
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/02—Measures preceding sorting, e.g. arranging articles in a stream orientating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
- B07C5/361—Processing or control devices therefor, e.g. escort memory
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
- B07C5/361—Processing or control devices therefor, e.g. escort memory
- B07C5/362—Separating or distributor mechanisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C2501/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material to be sorted
- B07C2501/0063—Using robots
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
本发明公开了晶体半成品外观缺陷选别机,包括底座,所述底座顶端表面固定安装有视觉检测机构、载盘搬运机构、下料组件、上料组件、不良品放置单元、不良品挑选单元和待检测区,所述视觉检测机构位于底座表面一端,所述下料组件、上料组件位于底座表面另一端;本发明结构简单,操作方便快捷,制作成本低且性能安全可靠,自动化程度高,代替了传统人工检测的不足,能够有效降低作业人员的工作强度,能够有效提高生产效率,并且能满足生产产能,而且现场不会出现混料的情况,使用视觉智能检测取代作业员检测,对外观缺陷与不良挑选判断标准不会存在差异化,从而能够提高检测的精准性。
Description
技术领域
本发明涉及晶体检测技术领域,具体为晶体半成品外观缺陷选别机。
背景技术
晶片是LED最主要的原物料之一,是LED的发光部件,LED最核心的部分,晶片的好坏将直接决定LED的性能,晶片是由是由Ⅲ和Ⅴ族复合半导体物质构成,在LED封装时,晶片来料呈整齐排列在晶片膜上,一般在晶片的生产加工中,需要对晶片的外观缺陷与不良品进行挑选,目前对晶片的外观检测都是由作业人员放置到工作台上通过高倍显微镜直接观察后将不符合作业标准的产品挑选。
但是,这种挑选方法存在以下不足:
1、作业人员工作形成职业病,由于作业人员使用显微镜是直接从物镜中看晶片并大部分时间处于较暗环境下对眼睛伤害非常大;(眼睛长时间看同一角度、同一距离的物体,而且不进行调节或者休息,会导致睫状体疲劳、晶状体变厚或变薄,从而导致视力下降);
2、作业人员对外观缺陷与不良挑选判断标准会存在差异化,由于人眼易疲劳,对最终作业标准的合理性形成较大的不确定性;
3、作业人员工作效率过低,无法满足生产产能,且现场容易混料。
发明内容
本发明的目的在于提供晶体半成品外观缺陷选别机,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:晶体半成品外观缺陷选别机,包括底座,所述底座顶端表面固定安装有视觉检测机构、载盘搬运机构、下料组件、上料组件、不良品放置单元、不良品挑选单元和待检测区,所述视觉检测机构位于底座表面一端,所述下料组件、上料组件位于底座表面另一端,所述不良品放置单元、不良品挑选单元和待检测区位于视觉检测机构和下料组件之间,所述载盘搬运机构位于底座表面一侧。
优选的,所述视觉检测机构包括升降滑台支架,所述升降滑台支架顶端一侧通过升降滑台联接板固定安装有升降滑台,所述升降滑台滑动端通过镜头联接板固定安装有镜头,所述镜头顶端固定安装有相机,所述镜头底端通过光源联接板固定安装有光源。
优选的,所述升降滑台支架底端通过X轴运动模块固定安装有第一X轴运动模块,所述第一X轴运动模块移动端通过Y轴运动模块联接板固定安装有Y轴运动模块,所述Y轴运动模块移动端固定安装有载盘吸附板,所述载盘吸附板顶端表面固定安装有吸盘,且吸盘设有若干个。
优选的,所述载盘搬运机构包括支撑架,所述支撑架一侧表面通过X轴运动模块联接板固定安装有第二X轴运动模块,所述第二X轴运动模块移动端通过Z轴运动模块联接板固定安装有Z轴运动模块,所述Z轴运动模块移动端固定安装有夹爪固定板,所述夹爪固定板底端固定安装有夹爪,所述夹爪底端固定安装有导套固定板,所述导套固定板底端固定安装有导柱,所述导柱底端固定安装有晶片吸嘴,所述导柱外部固定安装有导柱固定板,所述导套固定板与导柱之间固定安装有弹簧。
优选的,所述下料组件包括料架底板和载盘,所述载盘设有若干个,所述料架底板顶端两侧通过螺丝固定安装有料架侧板,两块所述料架侧板一侧表面通过螺丝固定安装有载盘护板。
优选的,所述不良品放置单元包括运动模块联接板顶端固定安装有运动模块,所述运动模块移动端固定安装有夹爪联接板,所述夹爪联接板顶端表面靠近中心处固定安装有固定夹爪,所述固定夹爪顶端固定安装有定位轴支撑板,所述定位轴支撑板顶端表面固定安装有载盘定位轴,所述夹爪联接板顶端靠近边沿处固定安装有载盘支撑板;
其中,所述运动模块联接板与底座之间固定连接。
优选的,所述支撑架底端表面固定安装有运动模块支架,且运动模块支架设有四组,所述运动模块支架底端表面固定安装有支架底板。
优选的,所述料架底板底端表面通过螺丝固定安装有定位轴B,且定位轴B设有三组,三组所述定位轴B外部固定安装有定位套B,所述料架底板底端表面通过螺丝固定安装有定位轴A,所述定位轴A外部固定安装有定位套A。
优选的,所述不良品放置单元、不良品挑选单元和待检测区结构一致。
优选的,所述下料组件和上料组件结构一致。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1.本发明结构简单,操作方便快捷,制作成本低且性能安全可靠,自动化程度高,代替了传统人工检测的不足,能够有效降低作业人员的工作强度。
2.本发明使用视觉智能检测取代作业员检测,对外观缺陷与不良挑选判断标准不会存在差异化,从而能够提高检测的精准性。
3.本发明自动化程度高,代替了传统人工检测的不足,能够有效提高生产效率,并且能满足生产产能,而且现场不会出现混料的情况。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明的正视图;
图3为本发明的俯视图;
图4为本发明的侧视图;
图5为本发明的视觉检测机构结构示意图;
图6为本发明的载盘搬运机构结构示意图;
图7为本发明的载盘搬运机构侧视图;
图8为本发明的不良品放置单元结构示意图;
图9为本发明的下料组件结构示意图;
图10为本发明的A放大结构示意图。
图中:10-底座;20-视觉检测机构;21-升降滑台支架;22-载盘吸附板;23-升降滑台;24-相机;25-镜头;26-光源;27-Y轴运动模块;28-第一X轴运动模块;29-吸盘;30-载盘搬运机构;31-支撑架;311-运动模块支架;312-支架底板;32-第二X轴运动模块;33-Z轴运动模块;34-夹爪固定板;35-夹爪;36-导柱固定板;37-弹簧;38-导套固定板;39-导柱;391-晶片吸嘴;40-下料组件;41-料架底板;42-载盘;43-料架侧板;44-载盘护板;50-上料组件;60-不良品放置单元;61-运动模块;62-定位轴支撑板;63-固定夹爪;64-载盘定位轴;65-载盘支撑板;66-夹爪联接板;67-运动模块联接板;70-不良品挑选单元;80-待检测区。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1:
请参阅图1-10,本发明提供一种技术方案:晶体半成品外观缺陷选别机,包括底座10,所述底座10顶端表面固定安装有视觉检测机构20、载盘搬运机构30、下料组件40、上料组件50、不良品放置单元60、不良品挑选单元70和待检测区80,所述视觉检测机构20位于底座10表面一端,所述下料组件40、上料组件50位于底座10表面另一端,所述不良品放置单元60、不良品挑选单元70和待检测区80位于视觉检测机构20和下料组件40之间,所述载盘搬运机构30位于底座10表面一侧。
其中,所述视觉检测机构20包括升降滑台支架21,所述升降滑台支架21顶端一侧通过升降滑台联接板固定安装有升降滑台23,所述升降滑台23滑动端通过镜头联接板固定安装有镜头25,所述镜头25顶端固定安装有相机24,所述镜头25底端通过光源联接板固定安装有光源26。
进一步地,相机24透过镜头25能够对载盘吸附板22上的晶片进行拍摄。
其中,所述升降滑台支架21底端通过X轴运动模块固定安装有第一X轴运动模块28,所述第一X轴运动模块28移动端通过Y轴运动模块联接板固定安装有Y轴运动模块27,所述Y轴运动模块27移动端固定安装有载盘吸附板22,所述载盘吸附板22顶端表面固定安装有吸盘29,且吸盘29设有若干个。
进一步地,第一X轴运动模块28能够带动Y轴运动模块27进行X轴移动,Y轴运动模块27能够带动载盘吸附板22进行Y轴移动,则能实现对载盘吸附板22的X轴和Y轴移动,并且吸盘29能够实现对晶片载盘的吸附固定。
其中,所述载盘搬运机构30包括支撑架31,所述支撑架31一侧表面通过X轴运动模块联接板固定安装有第二X轴运动模块32,所述第二X轴运动模块32移动端通过Z轴运动模块联接板固定安装有Z轴运动模块33,所述Z轴运动模块33移动端固定安装有夹爪固定板34,所述夹爪固定板34底端固定安装有夹爪35,所述夹爪35底端固定安装有导套固定板38,所述导套固定板38底端固定安装有导柱39,所述导柱39底端固定安装有晶片吸嘴391,所述导柱39外部固定安装有导柱固定板36,所述导套固定板38与导柱39之间固定安装有弹簧37。
进一步地,第二X轴运动模块32能够带动Z轴运动模块33进行X轴移动,Z轴运动模块33能够带动夹爪固定板34进行移动,则能实现对夹爪35的X轴和Z轴移动,夹爪35通过晶片吸嘴391对晶片进行吸附。
其中,所述不良品放置单元60包括运动模块联接板67顶端固定安装有运动模块61,所述运动模块61移动端固定安装有夹爪联接板66,所述夹爪联接板66顶端表面靠近中心处固定安装有固定夹爪63,所述固定夹爪63顶端固定安装有定位轴支撑板62,所述定位轴支撑板62顶端表面固定安装有载盘定位轴64,所述夹爪联接板66顶端靠近边沿处固定安装有载盘支撑板65。
进一步地,运动模块61能够带动夹爪联接板66进行移动,则能带动固定夹爪63进行移动,同时定位轴支撑板62上的载盘定位轴64能够对载盘进行固定。
其中,所述运动模块联接板67与底座10之间固定连接。
其中,所述支撑架31底端表面固定安装有运动模块支架311,且运动模块支架311设有四组,所述运动模块支架311底端表面固定安装有支架底板312。
进一步地,支撑架31通过支架底板312固定安装在底座10上。
其中,所述不良品放置单元60、不良品挑选单元70和待检测区80结构一致。
本实施例中,具体的,待检测区80不良品放置单元60、不良品挑选单元70结构一致,且待检测区80没有运动模块61和运动模块联接板67。
综合以上实施例所述,将装有未检测的晶片的晶片载盘放置到上料组件50中,将装满晶片载盘的上料组件50固定在上料区,将未装有晶片载盘的下料组件40固定在下料区,通过载盘搬运机构30对上料区的上料组件50的晶片载盘取出搬运至待检测区80处做二次定位,通过载盘搬运机构30从待检测区80取出晶片载盘搬运至视觉检测机构20开始视觉智能检测,将视觉检测机构20检测完成后晶片载盘通过载盘搬运机构30取出搬运至不良品挑选单元70,通过载盘搬运机构30将不良品挑选单元70的晶片载盘已确认好的不良晶片取出搬运至不良品放置单元60的晶片载盘中;待不良品挑选单元70的晶片载盘的不良晶片全部搬运完成后通过载盘搬运机构30将不良品挑选单元70的晶片载盘取出搬运至下料区的下料组件40中。
实施例2:
请参阅图1-10,本发明提供一种技术方案:晶体半成品外观缺陷选别机,所述下料组件40包括料架底板41和载盘42,所述载盘42设有若干个,所述料架底板41顶端两侧通过螺丝固定安装有料架侧板43,两块所述料架侧板43内壁表面固定安装有隔条,两块所述料架侧板43一侧表面通过螺丝固定安装有载盘护板44。
进一步地,隔条用于放置晶片载盘42。
其中,所述料架底板41底端表面通过螺丝固定安装有定位轴B,且定位轴B设有三组,三组所述定位轴B外部固定安装有定位套B,所述料架底板底端表面通过螺丝固定安装有定位轴A,所述定位轴A外部固定安装有定位套A。
其中,所述下料组件40和上料组件50结构一致。
综合以上实施例所述,先将晶片载盘42放置于料架侧板43内侧的隔条上,然后通过定位套A和定位套B放置定位,且只有一个方向可以放入,便于对该装置的安装固定。
在本发明所提供的几个实施方式中,应该理解到所揭露的装置可以通过其它的方式实现。所显示或讨论的相互之间的焊接或螺纹连接或缠绕连接可以是通过设备进行辅助完成的,如焊枪实现焊接,用扳手实现螺纹连接等,装置组成部件材料多种多样,例如铝合金、钢和铜等金属材料,通过铸造或者采用机械冲压等方式成型。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
以上所述仅为本发明的实施方式,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.晶体半成品外观缺陷选别机,包括底座(10),其特征在于:所述底座(10)顶端表面固定安装有视觉检测机构(20)、载盘搬运机构(30)、下料组件(40)、上料组件(50)、不良品放置单元(60)、不良品挑选单元(70)和待检测区(80),所述视觉检测机构(20)位于底座(10)表面一端,所述下料组件(40)、上料组件(50)位于底座(10)表面另一端,所述不良品放置单元(60)、不良品挑选单元(70)和待检测区(80)位于视觉检测机构(20)和下料组件(40)之间,所述载盘搬运机构(30)位于底座(10)表面一侧。
2.根据权利要求1所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述视觉检测机构(20)包括升降滑台支架(21),所述升降滑台支架(21)顶端一侧通过升降滑台联接板固定安装有升降滑台(23),所述升降滑台(23)滑动端通过镜头联接板固定安装有镜头(25),所述镜头(25)顶端固定安装有相机(24),所述镜头(25)底端通过光源联接板固定安装有光源(26)。
3.根据权利要求2所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述升降滑台支架(21)底端通过X轴运动模块固定安装有第一X轴运动模块(28),所述第一X轴运动模块(28)移动端通过Y轴运动模块联接板固定安装有Y轴运动模块(27),所述Y轴运动模块(27)移动端固定安装有载盘吸附板(22),所述载盘吸附板(22)顶端表面固定安装有吸盘(29),且吸盘(29)设有若干个。
4.根据权利要求1所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述载盘搬运机构(30)包括支撑架(31),所述支撑架(31)一侧表面通过X轴运动模块联接板固定安装有第二X轴运动模块(32),所述第二X轴运动模块(32)移动端通过Z轴运动模块联接板固定安装有Z轴运动模块(33),所述Z轴运动模块(33)移动端固定安装有夹爪固定板(34),所述夹爪固定板(34)底端固定安装有夹爪(35),所述夹爪(35)底端固定安装有导套固定板(38),所述导套固定板(38)底端固定安装有导柱(39),所述导柱(39)底端固定安装有晶片吸嘴(391),所述导柱(39)外部固定安装有导柱固定板(36),所述导套固定板(38)与导柱(39)之间固定安装有弹簧(37)。
5.根据权利要求1所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述下料组件(40)包括料架底板(41)和载盘(42),所述载盘(42)设有若干个,所述料架底板(41)顶端两侧通过螺丝固定安装有料架侧板(43),两块所述料架侧板(43)一侧表面通过螺丝固定安装有载盘护板(44)。
6.根据权利要求1所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述不良品放置单元(60)包括运动模块联接板(67)顶端固定安装有运动模块(61),所述运动模块(61)移动端固定安装有夹爪联接板(66),所述夹爪联接板(66)顶端表面靠近中心处固定安装有固定夹爪(63),所述固定夹爪(63)顶端固定安装有定位轴支撑板(62),所述定位轴支撑板(62)顶端表面固定安装有载盘定位轴(64),所述夹爪联接板(66)顶端靠近边沿处固定安装有载盘支撑板(65);
其中,所述运动模块联接板(67)与底座(10)之间固定连接。
7.根据权利要求4所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述支撑架(31)底端表面固定安装有运动模块支架(311),且运动模块支架(311)设有四组,所述运动模块支架(311)底端表面固定安装有支架底板(312)。
8.根据权利要求1所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述料架底板(41)底端表面通过螺丝固定安装有定位轴B,且定位轴B设有三组,三组所述定位轴B外部固定安装有定位套B,所述料架底板底端表面通过螺丝固定安装有定位轴A,所述定位轴A外部固定安装有定位套A。
9.根据权利要求1所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述不良品放置单元(60)、不良品挑选单元(70)和待检测区(80)结构一致。
10.根据权利要求1所述的晶体半成品外观缺陷选别机,其特征在于:所述下料组件(40)和上料组件(50)结构一致。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110706412.7A CN113426708A (zh) | 2021-06-24 | 2021-06-24 | 晶体半成品外观缺陷选别机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110706412.7A CN113426708A (zh) | 2021-06-24 | 2021-06-24 | 晶体半成品外观缺陷选别机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113426708A true CN113426708A (zh) | 2021-09-24 |
Family
ID=77754101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110706412.7A Withdrawn CN113426708A (zh) | 2021-06-24 | 2021-06-24 | 晶体半成品外观缺陷选别机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113426708A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114324169A (zh) * | 2022-01-05 | 2022-04-12 | 杭州卓盈智能装备有限公司 | 一种手机镜片缺陷检测半自动平台及检测方法 |
-
2021
- 2021-06-24 CN CN202110706412.7A patent/CN113426708A/zh not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114324169A (zh) * | 2022-01-05 | 2022-04-12 | 杭州卓盈智能装备有限公司 | 一种手机镜片缺陷检测半自动平台及检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109048058B (zh) | 电池激光焊接及检测装置 | |
CN210756322U (zh) | 一种利用数控机床对工件进行加工的自动化生产线 | |
KR100982478B1 (ko) | 반도체 패키지의 절단 및 소팅 시스템 | |
CN113426708A (zh) | 晶体半成品外观缺陷选别机 | |
CN217237794U (zh) | 一种多方位外观检测装置 | |
CN113928852A (zh) | 一种硅晶方棒全自动检测机 | |
CN112595368A (zh) | 智能磨检一体机 | |
CN218823887U (zh) | 玻璃锡面检测翻转装置 | |
CN218311860U (zh) | 装配装置及加工设备 | |
CN116818782A (zh) | 一种用于检测镜头类外观缺陷的aoi检测设备 | |
CN217394069U (zh) | 一种载料装置及全自动激光加工设备 | |
CN112427802A (zh) | 一种激光自动焊接装置 | |
KR20210002187A (ko) | 반도체 제조장치 | |
CN115781373A (zh) | 伺服托盘供料生产线 | |
CN110632078A (zh) | 真空镀膜产品外观缺陷检测及激光打标一体机 | |
CN114148752B (zh) | 片状工件全自动生产线 | |
CN112643467A (zh) | 盖板智能磨检生产线 | |
JPH04169419A (ja) | 板状ワークの搬送装置 | |
CN214585107U (zh) | 一种滚针轴承保持架超声波检测设备 | |
CN214559717U (zh) | 盖板智能磨检生产线 | |
JPH03136734A (ja) | ギヤヘッド交換装置 | |
CN216511317U (zh) | 一种硅晶方棒全自动检测机 | |
CN211453396U (zh) | 一种检测装置 | |
CN214122037U (zh) | 一种检测效率高且全面的磁盘检测机 | |
CN220277630U (zh) | 一种产品外观调位检测组件 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |
Application publication date: 20210924 |
|
WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |