CN113379835B - 检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质 - Google Patents
检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113379835B CN113379835B CN202110730456.3A CN202110730456A CN113379835B CN 113379835 B CN113379835 B CN 113379835B CN 202110730456 A CN202110730456 A CN 202110730456A CN 113379835 B CN113379835 B CN 113379835B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- detection
- detection area
- calibration
- value
- determining
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 480
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 169
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 155
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000012938 design process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/70—Determining position or orientation of objects or cameras
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Studio Devices (AREA)
Abstract
本申请公开了一种检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质，所述校准设备获取不同检测区域的检测图像；确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。所述检测设备通过校准设备获取校准片的不同检测图像，并根据检测图像的图像特征对检测设备中的检测镜头或相机进行调整，从而校准检测镜头的设置高度与相机的俯仰角度，提高检测设备的检测精度。
Description
技术领域
本申请涉及检测技术领域，尤其涉及一种检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质。
背景技术
晶圆检测过程中，检测模块是检测设备的重要组成部分。检测模块在设计的过程中，通常会根据检测需求，选取合适的探测器与检测镜头，并结合整机架构进行开发。为了提高检测设备的检测精度，在对晶圆检测前需要对探测器与检测镜头进行校准，现有技术中，无法直观的对检测镜头的位置以及探测器的俯仰，偏摆角度进行确定，从而使探测器与检测镜头的实际位置与理论位置存在偏差，降低了检测设备的检测精度。
发明内容
本申请实施例提供一种检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质。
第一方面，本申请实施例提供一种检测设备的校准方法，应用于校准设备，所述检测设备包括检测镜头与相机，所述校准设备包括载台与校准片，所述载台用于承载校准件，所述校准件沿第一方向依次包括第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域，每个所述检测区域包括多个校准条纹，所述校准方法包括：
获取不同检测区域的检测图像；
确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；
根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；
根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；
根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。
可选的，所述根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，包括：
根据所述检测图像的像素点的像素值确定所述像素点对应的灰度值；
确定所述检测图像中全部像素点的灰度值中的最大值与最小值；
根据第一公式M＝(Imax－Imin)/(Imax+Imin)，以及所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，其中所述M为所述检测区域的光学评价值，所述Imax为所述检测区域的像素点的灰度值的最大值，所述Imin为所述检测区域的灰度值的最小值。
可选的，所述根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数，包括：
当所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值的差值大于预设差值时，根据预设调整角度对所述相机的俯仰角度进行调整；
确定调整后的所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整角度以及调整前后的第一检测区域以及第三检测区域的光学评价值确定所述相机的调整角度。
可选的，所述根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数，还包括：
当所述第二检测区域的光学评价值小于预设评价值时，根据预设调整高度对所述检测镜头的设置高度进行调整；
确定调整后的所述第二检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整高度以及调整前后的第二检测区域的光学评价值确定所述检测镜头的调整高度。
可选的，所述校准参数包括调整角度与调整高度，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，包括：
根据所述调整角度对所述相机的俯仰角度进行校准；
根据所述调整高度对所述检测镜头的设置高度进行校准。
可选的，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，之后还包括：
获取校准后的每个所述检测区域的光学评价值；
当每个所述检测区域的光学评价值均大于或等于预设评价值时，输出提示信息，所述提示信息包括所述检测设备校准完成的状态信息。
第二方面，本申请实施例提供一种校准装置，所述校准装置包括：
获取单元，用于获取不同检测区域的检测图像；
确定单元，用于确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；
所述确定单元，还用于根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；
所述确定单元，还用于根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；
校准单元，用于根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。
第三方面，本申请实施例提供一种校准设备，所述校准设备包括载台、校准片、调节组件与处理器，所述载台用于承载校准件，所述校准件沿第一方向依次包括第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域，每个所述检测区域包括多个校准条纹，所述处理器用于获取不同检测区域的检测图像；确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。
可选的，每个所述检测区域的检测条纹的尺寸相等。
第四方面，本申请实施例提供一种可读存储介质，存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如上述任一项实施方式所述的方法。
可以看出，在本申请实施例中，所述校准设备获取不同检测区域的检测图像；确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。所述检测设备通过校准设备获取校准片的不同检测图像，并根据检测图像的图像特征对检测设备中的检测镜头或相机进行调整，从而校准检测镜头的设置高度与相机的俯仰角度，提高检测设备的检测精度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请实施例提供的一种校准方法的流程示意图；
图2是本申请实施例提供的一种校准设备的结构示意图；
图3是本申请实施例提供的一种校准装置的结构示意图；
图4是本申请实施例提供的一种校准件的示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
以下分别进行详细说明。
本申请的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”和“第四”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
请参见图1至图4，图1是本申请实施例提供的一种检测设备的校准方法，应用于校准设备，所述校准设备包括载台与校准片，所述载台用于承载校准片，所述校准件沿第一方向依次包括第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域，每个所述检测区域包括多个校准条纹，所述校准设备应用对检测设备进行校准，所述检测设备包括光源、检测镜头以及相机，所述检测镜头与所述相机连接，所述校准设备还包括调节组件，所述调节组件用于对检测镜头与相机进行调节。所述校准方法包括：
步骤10，获取不同检测区域的检测图像；
其中，所述检测设备的光源用于照亮所述校准片，所述相机用于采集所述光源照射到所述校准片后，经过所述校准片反射，并且透射经过所述检测镜头后传输至所述相机的光线以形成检测图像。所述相机的图像采集区域包括所述校准片的每个所述检测区域，并且每个所述检测区域具有与其一一对应的所述检测图像。
其中，为了对光斑进行校准，所述相机能够对不同检测区域的校准条纹进行准确成像，在通过相机获取所述校准条纹的检测图像时，可以根据所述所述检测图像中校准条纹的清晰程度，确定所述相机在不同检测区域的聚焦程度，并根据不同检测区域的聚焦程度对所述检测设备进行调整。
具体的，所述校准件沿第一方向依次包括第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域，所述第二检测区域位于所述第一检测区域与所述第三检测区域之间，所述校准设备通过三个检测区域对应的校准条纹的光学评价值对所述检测设备进行校准，具体的，所述校准设备根据三个检测区域的校准条纹的光学评价值调整所述检测镜头的设置高度以及所述相机的俯仰角度。
步骤20，确定每个所述检测区域的检测图像的像素值。
步骤30，根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；
其中，所述像素值用于表示所述检测图像的平均亮度信息。
在一具体实施方式中，为了避免由于所述相机在采集检测图像时，可能出现的颜色偏差问题，在所述相机采集检测图像后，根据检测图像的像素值对所述检测图像进行灰度处理，并根据灰度处理后的所述检测图像，确定其对应检测区域的光学评价值。
其中，在对检测图像进行灰度处理时，可以首先获取所述检测图像上每个像素点的RGB分量，并根据公式G(x，y)＝R(x，y)*0.299+G(x，y)*0.587+B(x，y)*0.114对每个像素点进行处理，其中，所述G(x，y)为对应(x，y)位置的像素点的灰度值，所述R(x，y)为所述像素点的红色分量，G(x，y)为所述像素点的绿色分量，B(x，y)为所述像素点的蓝色分量。
其中，所述光学评价值用于评价所述检测图像的图像清晰度，具体的，所述光学评价值为检测图像的调制传递函数值。
在一实施方式中，在对所述检测图像进行灰度处理后，所述根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，包括：
根据所述检测图像的像素点的像素值确定所述像素点对应的灰度值；
确定所述检测图像中全部像素点的灰度值中的最大值与最小值；
根据第一公式M＝(Imax－Imin)/(Imax+Imin)，以及所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，其中所述M为所述检测区域的光学评价值，所述Imax为所述检测区域的像素点的灰度值的最大值，所述Imin为所述检测区域的灰度值的最小值。
其中，所述检测图像包括多个像素点，为了方便对每个检测区域的检测图像的图像清晰度进行确定，需要首先确定每个检测区域的检测图像的灰度值，并确定所述检测图像的不同像素点的灰度值的最大值与最小值，具体的，当所述检测图像的灰度值的最大值与最小值相差越大时，表示所述检测图像的清晰度越高，所述光学评价值越高，当所述检测图像的灰度值的最大值与最小值像差越小时，表示所述检测图像越模糊，清晰度越低，所述光学评价值越低。
其中，所述校准参数包括所述相机的调整角度，所述根据所述校准点尺寸确定检测设备的校准参数，包括：
当所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值的差值大于预设差值时候，根据预设调整角度对所述相机的俯仰角度进行调整；
确定调整后的所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整角度以及调整前后的第一检测区域以及第三检测区域的光学评价值确定所述相机的调整角度。
其中，所述调整角度为1度、2度或其他值。
其中，为了方便对所述检测设备进行调整，首先对所述相机的俯仰角度进行调整后，再对所述检测镜头的设置高度进行调整。
其中，所述预设调整角度包括调整方向与调整角度大小，所述调整方向为顺时针调整或逆时针调整，所述调整角度包括1度，2度或其他值。
在对所述相机的俯仰高度进行调节时，可以根据所述校准件的第一检测区域与第三检测区域的光学评价值进行确定，具体的，当第一检测区域与第三检测区域的光学评价值的差值大于预设差值时，表示所述相机对第一检测区域与第三检测区域的聚焦程度不相同，从而造成了第一检测区域与第三检测区域的光学评价值相差较大的情况，至少一个光学评价值小于预设评价值时，表示所述相机在采集第一检测区域与第三检测区域时候的聚焦程度不同，从而因此需要首先通过预设调整角度对所述相机的俯仰角度进行调整。
在对所述相机进行调整过后，再次确定调整后的所述第一检测区域与所述第三检测区域的光学评价值，当第一检测区域与第三检测区域的光学评价值在调整后相比于调整前均增大时，表示所述相机的待调整角度与预设调整角度的方向相同，因此继续按照预设调整角度的方向对所述相机进行调节，并根据预设调整角度以及调整前后的两个检测区域的光学评价值，确定调整角度的大小。
其中，所述根据所述预设调整角度以及调整前后的第一检测区域以及第三检测区域的光学评价值确定所述相机的调整角度的步骤，包括：
根据调整前后的第一检测区域以及第三检测区域的光学评价值的差值的变化量，确定所述调整方向与调整角度。
具体的，根据所述第二公式A＝m0*V0/(V2-V1)确定所述相机的调整角度，其中，A表示所述相机的调整角度，m0表示所述预设调整角度大小，V1表示调整前的第一检测区域与第三检测区域的差值，V2表示调整后的第一检测区域与第三检测区域的差值，V0表示预设差值。
在一实施例中，所述预设差值为0.1，当所述第一检测区域的光学评价值为0.74，所述第三检测区域的光学评价值为0.85时，由于第一检测区域与第三检测区域的光学评价值的差值为0.11，因此大于所述预设差值，表示所述相机在第一检测区域与第三检测区域的聚焦程度相差较大，不满足检测设备的检测要求。具体的，所述预设调整角度为顺时针对所述相机调整1度，对所述相机按照所述预设调整角度进行调整，当调整后，第一检测区域与第三检测区域的光学评价值的差值减小至0.7，表示所述相机的调整方向与所述预设调整角度对应的调整方向相同，因此根据继续根据第二公式确定所述相机的调整角度大小，因此确定所述调整角度大小为2.75度。
在一实施方式中，述根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数，还包括：
当所述第二检测区域的光学评价值小于预设评价值时，根据预设调整高度对所述检测镜头的设置高度进行调整；
确定调整后的所述第二检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整高度以及调整前后的第二检测区域的光学评价值确定所述检测镜头的调整高度。
其中，所述调整高度为1mm、2mm或其他值。
其中，在确定所述相机的俯仰角度后，还需要对所述检测镜头的设置高度进行调整，具体的，通过所述第二检测区域对所述检测镜头的设置高度进行评价，具体的，当所述第二检测区域的光学评价值小于预设评价值时，表示所述相机在采集第二检测区域时出现离焦的情况，因此所述校准设备按照预设调整高度对所述检测镜头的设置高度进行调整，并在调整后再次确定所述第二检测区域的光学评价值，当调整后的第二检测区域的光学评价值大于调整前的第二检测区域的光学评价值时，表示所述检测镜头的调整方向与所述预设调整高度的方向相同，因此可以根据预设调整高度以及调整前后的第二检测区域的光学评价值确定所述检测镜头的调整高度。
在一实施方式中，所述校准参数包括调整角度以及调整高度，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，包括：
根据所述调整角度对所述相机的俯仰角度进行校准；
根据所述调整高度对所述检测镜头的设置高度进行校准。
其中，所述调整角度为1度、2度或其他值。
其中，所述调整高度为1mm、2mm或其他值。
其中，在确定所述调整角度以及所述调整高度后，为了方便对所述检测设备进行检测后，需要首先对所述相机的俯仰角度进行调整，使所述相机在接收第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域的检测图像后，确定的光学评价值相似或相等。在对所述检测镜头的设置高度进行调整，从而整体调整所述第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域的光学评价值。
在一实施方式中，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，之后还包括：
获取校准后的每个所述检测区域的光学评价值；
当每个所述检测区域的光学评价值均大于或等于预设评价值时，输出提示信息，所述提示信息包括所述检测设备校准完成的状态信息。
其中，所述光学评价值用于评价所述检测图像的图像清晰度，当光学评价值越大时，表示所述检测图像越清晰，当光学评价值越小时，表示所述检测图像越模糊。
其中，在对所述检测设备进行校准后，为了对所述检测设备的聚焦程度进行检测，可以再次获取经过校准后的第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域的光学评价值，当三个检测区域的光学评价值均大于预设评价值时，表示所述检测设备当前的摆放位置满足检测要求，因此确认对所述检测设备的校准完成，并输出包括所述检测设备校准完成的状态提示信息。
在一实施例中，所述相机采集第一检测区域的第一图像，第二检测区域的第二图像以及第三检测区域的第三图像，所述校准设备确定所述第一图像的灰度值、所述第二图像的灰度值以及所述第三图像的灰度值，在一具体实施例中，所述第一图像的灰度值的最大值为235，最小值为34，所述第二图像的灰度值的最大值为245，最小值为14，所述第三图像的灰度值的最大值为251，最小值为9，那么所述第一图像的光学评价值为0.75，所述第二图像的光学评价值为0.89，所述第三图像的光学评价值为0.93，当预设评价值为0.9时，此时所述第一图像对应的第一检测区域以及第二图像对应的第二检测区域的光学评价值均小于预设评价值，因此需要对所述相机的俯仰角度进行调整。
其中，所述预设调整角度为顺时针调整1度，当所述相机按照所述预设调整角度进行调整后，再次确定调整后的第一检测区域的光学评价值为0.82，第二检测区域的光学评价值为0.91，由于调整后的第一检测区域的光学评价值大于调整前的第一检测区域的光学评价值，因此表示所述相机的调整角度的方向与预设调整角度的方向相同，根据调整前的光学评价值0.79以及调整后的光学评价值0.82，那么确定所述调整角度为4度。
在另一具体实施例中，所述第一检测区域的光学评价值为0.84，所述第二检测区域的光学评价值为0.82，所述第三检测区域的光学评价值为0.81，为了整体调整三个检测区域的光学评价值，通过调整所述检测镜头的设置高度对三个检测区域的光学评价值进行调整，具体的，所述预设调整高度为向靠近校准片的一侧方向调整1mm，那么在按照预设调整高度对所述检测镜头进行调整后，再次确定调整后的第一检测区域的光学评价值为0.81，第二检测区域的光学评价值为0.79，第三检测区域的光学评价值为0.77，由于调整后的三个检测区域的光学评价值均小于调整前的三个检测区域的光学评价值，因此表示所述相机的调整角度的方向与预设调整角度的方向相反，根据调整前的光学评价值0.84以及调整后的光学评价值0.81，那么确定所述调整方向为远离所述校准件的一侧方向，所述调整高度为3mm。
请参阅图2，图2是本申请实施例提供的一种检测设备的结构示意图，如图所示，所述校准设备包括载台与校准片，所述载台用于承载校准件，所述校准件沿第一方向依次包括第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域，每个所述检测区域包括多个校准条纹，所述校准设备用于对检测设备进行校正，所述检测设备包括光源、检测镜头以及相机，所述检测镜头与所述相机连接，所述光源发出的光线在所述校准件上进行反射，并透射经过所述检测镜头后传输至所述相机后形成检测图像；所述检测设备还包括调节组件，所述调节组件用于根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。所述校准设备还包括处理器、存储器、收发器口以及一个或多个程序，其中，上述一个或多个程序被存储在上述存储器中，并且被配置由上述处理器执行，上述程序包括用于执行以下步骤的指令：
获取不同检测区域的检测图像；
确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；
根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；
根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；
根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。
在本申请的一实现方式中，在根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值方面，上述程序包括具体用于执行以下步骤的指令：
根据所述检测图像的像素点的像素值确定所述像素点对应的灰度值；
确定所述检测图像中全部像素点的灰度值中的最大值与最小值；
根据第一公式M＝(Imax－Imin)/(Imax+Imin)，以及所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，其中所述M为所述检测区域的光学评价值，所述Imax为所述检测区域的像素点的灰度值的最大值，所述Imin为所述检测区域的灰度值的最小值。
在本申请的一实现方式中，在根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数方面，上述程序包括还用于执行以下步骤的指令：
当所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值的差值大于预设差值时，根据预设调整角度对所述相机的俯仰角度进行调整；
确定调整后的所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整角度以及调整前后的第一检测区域以及第三检测区域的光学评价值确定所述相机的调整角度。
在本申请的一实现方式中，在根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数方面，上述程序还用于执行以下步骤的指令：
当所述第二检测区域的光学评价值小于预设评价值时，根据预设调整高度对所述检测镜头的设置高度进行调整；
确定调整后的所述第二检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整高度以及调整前后的第二检测区域的光学评价值确定所述检测镜头的调整高度。
在本申请的一实现方式中，在根据所述校准参数对所述检测设备进行校准方面，上述程序包括还用于执行以下步骤的指令：
根据所述调整角度对所述相机的俯仰角度进行校准；
根据所述调整高度对所述检测镜头的设置高度进行校准。
在本申请的一实现方式中，在根据所述校准参数对所述检测设备进行校准方面，上述程序包括之后还用于执行以下步骤的指令：
获取校准后的每个所述检测区域的光学评价值；
当每个所述检测区域的光学评价值均大于或等于预设评价值时，输出提示信息，所述提示信息包括所述检测设备校准完成的状态信息。
请参阅图3，图3是本申请实施例提供的一种校准装置，应用于校准设备，该装置包括：
获取单元410，用于获取不同检测区域的检测图像；
确定单元420，用于确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；
所述确定单元420，还用于根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；
所述确定单元420，还用于根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；
校准单元430，用于根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。
在本申请的一实现方式中，在根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值方面，所述确定单元420具体用于：
根据所述检测图像的像素点的像素值确定所述像素点对应的灰度值；
确定所述检测图像中全部像素点的灰度值中的最大值与最小值；
根据第一公式M＝(Imax－Imin)/(Imax+Imin)，以及所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，其中所述M为所述检测区域的光学评价值，所述Imax为所述检测区域的像素点的灰度值的最大值，所述Imin为所述检测区域的灰度值的最小值。
在本申请的一实现方式中，在根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数方面，所述确定单元420具体用于：
当所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值的差值大于预设差值时，根据预设调整角度对所述相机的俯仰角度进行调整；
确定调整后的所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整角度以及调整前后的第一检测区域以及第三检测区域的光学评价值确定所述相机的调整角度。
在本申请的一实现方式中，在根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数方面，所述确定单元420还具体用于：
当所述第二检测区域的光学评价值小于预设评价值时，根据预设调整高度对所述检测镜头的设置高度进行调整；
确定调整后的所述第二检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整高度以及调整前后的第二检测区域的光学评价值确定所述检测镜头的调整高度。
在本申请的一实现方式中，在根据所述校准参数对所述检测设备进行校准方面，所述校准单元430具体用于：
根据所述调整角度对所述相机的俯仰角度进行校准；
根据所述调整高度对所述检测镜头的设置高度进行校准。
在本申请的一实现方式中，在根据所述校准参数对所述检测设备进行校准方面，所述确定单元420之后还用于：
获取校准后的每个所述检测区域的光学评价值；
当每个所述检测区域的光学评价值均大于或等于预设评价值时，输出提示信息，所述提示信息包括所述检测设备校准完成的状态信息。
需要说明的是，确定单元420、校准单元430可通过处理器来实现，获取单元410可通过收发器来实现。
本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其中，所述计算机可读存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如上述方法实施例中服务设备所描述的部分或全部步骤。
本申请实施例还提供了一种计算机程序产品，其中，所述计算机程序产品包括存储了计算机程序的非瞬时性计算机可读存储介质，所述计算机程序可操作来使计算机执行如上述方法中服务设备所描述的部分或全部步骤。该计算机程序产品可以为一个软件安装包。
本申请实施例所描述的方法或者算法的步骤可以以硬件的方式来实现，也可以是由处理器执行软件指令的方式来实现。软件指令可以由相应的软件模块组成，软件模块可以被存放于随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、闪存、只读存储器(ReadOnlyMemory，ROM)、可擦除可编程只读存储器(Erasable Programmable ROM，EPROM)、电可擦可编程只读存储器(Electrically EPROM，EEPROM)、寄存器、硬盘、移动硬盘、只读光盘(CD-ROM)或者本领域熟知的任何其它形式的存储介质中。一种示例性的存储介质耦合至处理器，从而使处理器能够从该存储介质读取信息，且可向该存储介质写入信息。当然，存储介质也可以是处理器的组成部分。处理器和存储介质可以位于ASIC中。另外，该ASIC可以位于接入网设备、目标网络设备或核心网设备中。当然，处理器和存储介质也可以作为分立组件存在于接入网设备、目标网络设备或核心网设备中。
本领域技术人员应该可以意识到，在上述一个或多个示例中，本申请实施例所描述的功能可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行所述计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本申请实施例所述的流程或功能。所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线(例如同轴电缆、光纤、数字用户线(DigitalSubscriber Line，DSL))或无线(例如红外、无线、微波等)方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质(例如，软盘、硬盘、磁带)、光介质(例如，数字视频光盘(DigitalVideo Disc，DVD))、或者半导体介质(例如，固态硬盘(Solid State Disk，SSD))等。
以上所述的具体实施方式，对本申请实施例的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本申请实施例的具体实施方式而已，并不用于限定本申请实施例的保护范围，凡在本申请实施例的技术方案的基础之上，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本申请实施例的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种检测设备的校准方法，其特征在于，应用于校准设备，所述检测设备包括光源、检测镜头与相机，所述校准设备包括载台与校准片，所述载台用于承载所述校准片，所述校准片沿第一方向依次包括第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域，每个所述检测区域包括多个校准条纹，所述校准方法包括：
获取不同检测区域的检测图像；所述相机用于采集每个所述检测区域的所述检测图像；所述相机用于采集所述光源照射到所述校准片后，经过所述校准片反射，并且透射经过所述检测镜头后传输至所述相机的光线以形成所述检测图像；
所述相机的图像采集区域包括所述校准片的每个所述检测区域，且每个所述检测区域具有与其一一对应的所述检测图像；
确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；
根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；
根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；
根据所述校准参数对所述检测设备进行校准；
所述根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，包括：
根据所述检测图像的像素点的像素值确定所述像素点对应的灰度值；
确定所述检测图像中全部像素点的灰度值中的最大值与最小值；
根据第一公式M＝(Imax－Imin)/(Imax+Imin)，以及所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，其中所述M为所述检测区域的光学评价值，所述Imax为所述检测区域的像素点的灰度值的最大值，所述Imin为所述检测区域的灰度值的最小值；
所述校准参数包括调整角度与调整高度，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，包括：
根据所述调整角度对所述相机的俯仰角度进行校准；
根据所述调整高度对所述检测镜头的设置高度进行校准。
2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数，包括：
当所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值的差值大于预设差值时，根据预设调整角度对所述相机的俯仰角度进行调整；
确定调整后的所述第一检测区域的光学评价值与所述第三检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整角度以及调整前后的第一检测区域以及第三检测区域的光学评价值确定所述相机的调整角度。
3.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数，还包括：
当所述第二检测区域的光学评价值小于预设评价值时，根据预设调整高度对所述检测镜头的设置高度进行调整；
确定调整后的所述第二检测区域的光学评价值；
根据所述预设调整高度以及调整前后的第二检测区域的光学评价值确定所述检测镜头的调整高度。
4.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，之后还包括：
获取校准后的每个所述检测区域的光学评价值；
当每个所述检测区域的光学评价值均大于或等于预设评价值时，输出提示信息，所述提示信息包括所述检测设备校准完成的状态信息。
5.一种校准装置，其特征在于，所述校准装置包括：
获取单元，用于获取校准片的不同检测区域的检测图像；
确定单元，用于确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；
所述确定单元，还用于根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；
所述确定单元，还用于根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；所述检测设备包括光源、检测镜头与相机；所述相机用于采集不同检测区域的所述检测图像；所述相机用于采集所述光源照射到所述校准片后，经过所述校准片反射，并且透射经过所述检测镜头后传输至所述相机的光线以形成所述检测图像；
所述相机的图像采集区域包括所述校准片的每个所述检测区域，且每个所述检测区域具有与其一一对应的所述检测图像；
校准单元，用于根据所述校准参数对所述检测设备进行校准；
所述确定单元还用于，根据所述检测图像的像素点的像素值确定所述像素点对应的灰度值；
确定所述检测图像中全部像素点的灰度值中的最大值与最小值；
根据第一公式M＝(Imax－Imin)/(Imax+Imin)，以及所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，其中所述M为所述检测区域的光学评价值，所述Imax为所述检测区域的像素点的灰度值的最大值，所述Imin为所述检测区域的灰度值的最小值；
所述校准参数包括调整角度与调整高度，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，包括：
根据所述调整角度对所述相机的俯仰角度进行校准；
根据所述调整高度对所述检测镜头的设置高度进行校准。
6.一种校准设备，其特征在于，所述校准设备包括载台、校准片、调节组件与处理器，所述载台用于承载校准片，所述校准片沿第一方向依次包括第一检测区域、第二检测区域以及第三检测区域，每个所述检测区域包括多个校准条纹，所述处理器用于获取不同检测区域的检测图像；确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；根据所述校准参数对所述检测设备进行校准；所述处理器还用于确定所述检测图像中全部像素点的灰度值中的最大值与最小值；根据第一公式M＝(Imax－Imin)/(Imax+Imin)，以及所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值，其中所述M为所述检测区域的光学评价值，所述Imax为所述检测区域的像素点的灰度值的最大值，所述Imin为所述检测区域的灰度值的最小值；
所述检测设备包括光源、检测镜头与相机，所述相机用于采集每个所述检测区域的所述检测图像；所述相机用于采集所述光源照射到所述校准片后，经过所述校准片反射，并且透射经过所述检测镜头后传输至所述相机的光线以形成所述检测图像；
所述相机的图像采集区域包括所述校准片的每个所述检测区域，且每个所述检测区域具有与其一一对应的所述检测图像；
所述校准参数包括调整角度与调整高度，所述根据所述校准参数对所述检测设备进行校准，包括：
根据所述调整角度对所述相机的俯仰角度进行校准；
根据所述调整高度对所述检测镜头的设置高度进行校准。
7.根据权利要求6所述的校准设备，其特征在于，每个所述检测区域的检测条纹的尺寸相等。
8.一种可读存储介质，其特征在于，存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如权利要求1-4任一项所述的方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110730456.3A CN113379835B (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110730456.3A CN113379835B (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113379835A CN113379835A (zh) | 2021-09-10 |
| CN113379835B true CN113379835B (zh) | 2024-06-04 |
Family
ID=77580015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110730456.3A Active CN113379835B (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113379835B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114255224A (zh) * | 2021-12-21 | 2022-03-29 | 深圳创维数字技术有限公司 | 光学模组调试装置、方法及计算机可读存储介质 |
Citations (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6768509B1 (en) * | 2000-06-12 | 2004-07-27 | Intel Corporation | Method and apparatus for determining points of interest on an image of a camera calibration object |
| CN105008903A (zh) * | 2013-12-13 | 2015-10-28 | 法国圣戈班玻璃厂 | 用于分析衬底的表面的方法和设备 |
| DE102015103785A1 (de) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | Hochschule Offenburg | Verfahren und Vorrichtung zur Kalibration einer Kamera |
| CN106982370A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-07-25 | 武汉科技大学 | 一种多线阵相机检测系统的相机高精度校准标定板及实现校准的方法 |
| CN107770520A (zh) * | 2017-11-13 | 2018-03-06 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种线阵相机辅助对焦方法及装置 |
| CN109427046A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 深圳中科飞测科技有限公司 | 三维测量的畸变校正方法、装置及计算机可读存储介质 |
| CN109525840A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-03-26 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种成像芯片上微弱缺陷的检测方法 |
| CN109580658A (zh) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 纽富来科技股份有限公司 | 检查方法及检查装置 |
| CN110458803A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-11-15 | 深圳市玩瞳科技有限公司 | 基于彩带校准的帧图像偏色和亮度检测方法及装置 |
| CN110519585A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-29 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种应用于图像采集设备的成像校准方法及装置 |
| CN112348815A (zh) * | 2021-01-07 | 2021-02-09 | 新东方教育科技集团有限公司 | 图像处理方法、图像处理装置以及非瞬时性存储介质 |
| CN112365550A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-02-12 | Oppo广东移动通信有限公司 | 显示校准方法和装置、终端、校准系统和存储介质 |
| CN112672039A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-04-16 | 北京集光通达科技股份有限公司 | 一种基于多区域主动变换聚焦方法及设备 |
| CN112669394A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-16 | 凌云光技术股份有限公司 | 一种用于视觉检测系统的自动标定方法 |
| CN112802123A (zh) * | 2021-01-21 | 2021-05-14 | 北京科技大学设计研究院有限公司 | 一种基于条纹虚拟靶标的双目线阵相机静态标定方法 |
| CN112907677A (zh) * | 2019-12-04 | 2021-06-04 | 杭州海康威视数字技术股份有限公司 | 一种单帧图像的相机标定方法、装置及存储介质 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102016125642A1 (de) * | 2016-12-23 | 2018-06-28 | Wipotec Wiege- Und Positioniersysteme Gmbh | Prüfung und/oder Justierung einer Kamera, insbesondere einer digitalen Kamera, mittels eines optischen Prüfnormals |
| CN110447220B (zh) * | 2017-03-21 | 2021-03-09 | 奥林巴斯株式会社 | 校准装置、校准方法、光学装置、摄影装置以及投影装置 |
| EP3619684A4 (en) * | 2017-05-04 | 2021-06-09 | Second Spectrum, Inc. | METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATIC INTRINSIC CAMERA CALIBRATION USING IMAGES OF A PLANAR CALIBRATION PATTERN |
| GB2572956B (en) * | 2018-04-16 | 2021-09-08 | Sony Interactive Entertainment Inc | Calibration system and method |
-
2021
- 2021-06-29 CN CN202110730456.3A patent/CN113379835B/zh active Active
Patent Citations (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6768509B1 (en) * | 2000-06-12 | 2004-07-27 | Intel Corporation | Method and apparatus for determining points of interest on an image of a camera calibration object |
| CN105008903A (zh) * | 2013-12-13 | 2015-10-28 | 法国圣戈班玻璃厂 | 用于分析衬底的表面的方法和设备 |
| DE102015103785A1 (de) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | Hochschule Offenburg | Verfahren und Vorrichtung zur Kalibration einer Kamera |
| CN106982370A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-07-25 | 武汉科技大学 | 一种多线阵相机检测系统的相机高精度校准标定板及实现校准的方法 |
| CN109427046A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 深圳中科飞测科技有限公司 | 三维测量的畸变校正方法、装置及计算机可读存储介质 |
| CN109580658A (zh) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 纽富来科技股份有限公司 | 检查方法及检查装置 |
| CN107770520A (zh) * | 2017-11-13 | 2018-03-06 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种线阵相机辅助对焦方法及装置 |
| CN109525840A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-03-26 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种成像芯片上微弱缺陷的检测方法 |
| CN110458803A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-11-15 | 深圳市玩瞳科技有限公司 | 基于彩带校准的帧图像偏色和亮度检测方法及装置 |
| CN110519585A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-29 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种应用于图像采集设备的成像校准方法及装置 |
| CN112907677A (zh) * | 2019-12-04 | 2021-06-04 | 杭州海康威视数字技术股份有限公司 | 一种单帧图像的相机标定方法、装置及存储介质 |
| CN112365550A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-02-12 | Oppo广东移动通信有限公司 | 显示校准方法和装置、终端、校准系统和存储介质 |
| CN112672039A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-04-16 | 北京集光通达科技股份有限公司 | 一种基于多区域主动变换聚焦方法及设备 |
| CN112669394A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-16 | 凌云光技术股份有限公司 | 一种用于视觉检测系统的自动标定方法 |
| CN112348815A (zh) * | 2021-01-07 | 2021-02-09 | 新东方教育科技集团有限公司 | 图像处理方法、图像处理装置以及非瞬时性存储介质 |
| CN112802123A (zh) * | 2021-01-21 | 2021-05-14 | 北京科技大学设计研究院有限公司 | 一种基于条纹虚拟靶标的双目线阵相机静态标定方法 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 图像的局部自适应Gamma校正;储清翠;王华彬;陶亮;;计算机工程与应用(07);第189-193、208页 * |
| 多线阵相机系统位姿高精度校准方法;刘源泂;周同聚;王兴东;刘钊;;华中科技大学学报(自然科学版)(11);第81-86页 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN113379835A (zh) | 2021-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10698308B2 (en) | Ranging method, automatic focusing method and device | |
| US20160105656A1 (en) | White balance method in multi-exposure imaging system | |
| US9693041B2 (en) | Image capturing device and method for calibrating image deformation thereof | |
| CN113379837B (zh) | 检测设备的角度校正方法、设备及计算机可读存储介质 | |
| US10453188B2 (en) | Methods and devices for improving image quality based on synthesized pixel values | |
| TWI484283B (zh) | 影像計算量測方法、影像計算量測裝置及影像檢查裝置 | |
| TWI363179B (en) | Apparatus,system,and method for image sensor defect identification using blurring techniques | |
| WO2010101945A2 (en) | Calibration techniques for camera modules | |
| WO2021008052A1 (zh) | 3d摄影模组镜头精度的标定方法、装置及设备 | |
| CN106162157A (zh) | 鱼眼摄像头的空间频率响应的测试方法 | |
| CN114757853B (zh) | 平场校正函数的获取方法及系统、平场校正方法及系统 | |
| CN113379835B (zh) | 检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质 | |
| CN109489560B (zh) | 一种线性尺寸测量方法及装置、智能终端 | |
| KR20170074771A (ko) | 라이트필드 카메라들에 의해 캡처된 이미지 상에 야기된 비네팅 효과를 정정하는 방법 및 장치 | |
| US10515442B2 (en) | Image processing apparatus that corrects for lateral chromatic aberration, image capturing apparatus, image processing method, and storage medium | |
| CN109741384B (zh) | 深度相机的多距离检测装置及方法 | |
| TW201404120A (zh) | 測試系統、成像裝置以及測試方法 | |
| KR102344054B1 (ko) | 레퍼런스 타겟을 이용한 다중 광학계 비전 시스템의 진단 방법 | |
| CN102572315A (zh) | 数字影像的斜纹噪声的检测方法 | |
| CN113379834B (zh) | 检测设备的校准方法、装置、设备及计算机可读存储介质 | |
| US20100254624A1 (en) | Method of correcting image distortion | |
| KR20120052593A (ko) | 카메라 모듈 및 그의 렌즈 쉐이딩 교정 방법 | |
| CN112468803B (zh) | 一种摄像模组的曝光标定方法、装置、设备及介质 | |
| CN114268778B (zh) | 白平衡算法中的色温补偿方法、系统及图像采集设备 | |
| CN118042110B (zh) | 一种对焦评估方法及电子设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |