CN113378507B - 掩模数据切割方法和装置、设备及存储介质 - Google Patents

掩模数据切割方法和装置、设备及存储介质 Download PDF

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Abstract

本申请公开了一种掩模数据切割方法，该方法通过遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角，对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦，从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形，其中，独立弦为不与其他弦相交的弦，则不进行切割，将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过每条射线之间的交点将射线划分为多个段，从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段，其中，候选段为与凹角相接的段，通过切割段将掩模切割为多个矩形。引入了对切割后得到的细条矩形的考虑，以及考虑真正对关键尺寸误差有影响的细条矩形的长度而不是数量来提升掩模版曝光良率，从而提升了效率。

Description

掩模数据切割方法和装置、设备及存储介质
技术领域
本公开涉及半导体集成电路设计和数据处理技术领域，尤其涉及一种掩模数据切割方法和装置、设备及存储介质。
背景技术
掩模版是光刻工艺中不可缺少的重要部件，市场上被大量使用的可变形电子束书写工具(Variable-Shaped Beam Writing Tool) 一次只能在掩模版上曝光一个大小可变的矩形，因此设计好的掩模版上的多边形必须通过fracturing被切割为一系列大小不一的矩形后才能作为VSB工具的输入。
随着摩尔定律带来的集成电路晶体管器件密度的持续提升,关键尺寸(CriticalDimension)的不断微缩，以及光学临近效应矫正(Optical Proximity Correction)等分辨率增强技术(Resolution Enhancement Technology)更为广泛的应用，mask fracturing也迎来了新的挑战。第一个主要的挑战是要尽量避免掩模版上多边形边缘处被切割出细条状矩形（Sliver），因为尺寸较小的矩形在被VSB工具曝光后更容易导致关键尺寸误差；第二个挑战需要尽可能减少被切割出的矩形数量，因为VSB工具一次性只能曝光一个矩形，每次曝光所需要的时间大致相等，而掩模的制备成本又与制备时长成正比，所以更少的矩形也就意味着更低的成本。
现有的mask fracturing技术在理论上可以实现最终切割后矩形数量的最小化，然后通过一种贪婪的基于增益的段选择算法，尽可能最小化sliver的数量，不过该技术运行效率较低。
发明内容
有鉴于此，本公开提出了一种掩模数据切割方法，包括：
遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角；
对每一个所述多边形内的凹角进行匹配得到多个弦；
从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形；其中，所述独立弦为不与其他所述弦相交的弦；
将所述子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至所述子多边形的边缘处，通过相交的所述射线之间的交点将所述射线划分为多个段；
从多个所述段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段；其中，所述候选段为与所述凹角相接的所述段；
通过所述切割段将所述掩模切割为多个矩形。
在一种可能的实现方式中，遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角包括：
计算所述多边形中相邻的两条边的方向向量的外积；其中，外积为垂直于所述两条边所构成平面的垂直向量；
根据所述垂直向量的方向确定所述两条边之间的角是否为所述凹角。
在一种可能的实现方式中，对每一个所述多边形内的凹角进行匹配得到多个弦包括：
若两个所述凹角有相同的横坐标或纵坐标，则连接两个所述凹角的相同坐标的边；
将两个所述相同坐标的边之间的线段作为所述弦。
在一种可能的实现方式中，从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形包括：
从多个所述弦中使用最大匹配问题方法进行筛选得到所述独立弦；
使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形；
在一种可能的实现方式中，从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形，还包括：
若所述独立弦与同方向的所述多边形的边缘的最小距离小于预设阈值，则不进行切割。
在一种可能的实现方式中，将所述子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至所述子多边形的边缘处，通过相交的所述射线之间的交点将所述射线划分为多个段包括：
查找与所述段在所述射线的方向上的相连段；
查找与所述段起点相同的垂直段；
查找与所述段的方向平行的相邻段，其中，所述相邻段与所述段的距离小于预设阈值，所述相连段、所述垂直段和所述相邻段均为划分得到的所述段。
在一种可能的实现方式中，从多个所述段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段包括：
计算所述候选段的增益和权重；其中，所述权重为选择当前所述候选段后会引入的细条矩形的长边长度，所述细条矩形的宽度小于所述预设阈值，所述增益为当前所述候选段的所述垂直段的权重减去当前所述候选段的权重；
依据所述候选段的增益从大到小创建一个堆；其中，所述堆存放所述候选段的名字和所述候选段的增益；
建立所述候选段的字典；其中，所述字典用于记录所述段的增益和所述段是否被访问；
依据所述堆和所述字典得到所述切割段。
在一种可能的实现方式中，依据所述堆和所述字典得到所述切割段包括：
查看所述堆的顶部的段对应的字典；
若所述字典中为没有被访问过，则取出所述顶部的段作为所述切割段，并在所述顶部的段的字典中标记为已访问；
将所述顶部的段的垂直段的字典中标记为已访问；
将所述顶部的段的垂直段的所有相连段的字典中标记为已访问；
在所述顶部的段的相邻段的字典中更新所述顶部的段的相邻段的增益；
将所述顶部的段的相连段放入所述堆中。
根据本公开的另一方面，提供了一种掩模数据切割装置，其特征在于，包括遍历模块、凹角匹配模块、弦切割模块、段划分模块、切割段选择模块和掩模切割模块；
所述遍历模块，被配置为遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角；
所述凹角匹配模块，被配置为对每一个所述多边形内的凹角进行匹配得到多个弦；
所述弦切割模块，被配置为从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形；其中，所述独立弦为不与其他所述弦相交的弦；
所述段划分模块，被配置为将所述子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至所述子多边形的边缘处，通过每条所述射线之间的交点将所述射线划分为多个段；
所述切割段选择模块，被配置为从多个所述段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段；其中，所述候选段为与所述凹角相接的所述段；
所述掩模切割模块，被配置为通过所述切割段将所述掩模切割为多个矩形。
根据本公开的另一方面，提供了一种掩模数据切割设备，其特征在于，包括：
处理器；
用于存储处理器可执行指令的存储器；
其中，所述处理器被配置为执行所述可执行指令时实现前面任一所述的方法。
根据本公开的另一方面，提供了一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，其特征在于，所述计算机程序指令被处理器执行时前面任一所述的方法。
通过遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角，对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦，从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形，其中，独立弦为不与其他弦相交的弦，则不进行切割，将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过每条射线之间的交点将射线划分为多个段，从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段，其中，候选段为与凹角相接的段，通过切割段将掩模切割为多个矩形。引入了对切割后得到的细条矩形（external sliver）的考虑，以及考虑真正对关键尺寸误差有影响的细条矩形（external sliver）的长度而不是数量来提升掩模版曝光良率，从而提升了效率。
根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚。
附图说明
包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本公开的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本公开的原理。
图1示出本公开实施例的掩模数据切割方法的流程图；
图2示出本公开实施例的掩模数据切割方法的弦的示意图；
图3示出本公开实施例的掩模数据切割方法的独立弦的示意图；
图4示出本公开实施例的掩模数据切割方法的段的示意图；
图5示出本公开实施例的掩模数据切割方法的另一流程图；
图6示出本公开实施例的掩模数据切割装置的框图；
图7示出本公开实施例的掩模数据切割设备的框图。
具体实施方式
以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。
另外，为了更好的说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨。
图1示出根据本公开一实施例的掩模数据切割方法的流程图。如图1所示，该掩模数据切割方法包括：
步骤S100，遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角，步骤S200，对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦，步骤S300，从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形，其中，独立弦为不与其他弦相交的弦，步骤S400，将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过每条射线之间的交点将射线划分为多个段，步骤S500，从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段，其中，候选段为与凹角相接的段，步骤S600，通过切割段将掩模切割为多个矩形。
通过遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角，对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦，从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形，其中，独立弦为不与其他弦相交的弦，则不进行切割，将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过每条射线之间的交点将射线划分为多个段，从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段，其中，候选段为与凹角相接的段，通过切割段将掩模切割为多个矩形。引入了对切割后得到的细条矩形（external sliver）的考虑，以及考虑真正对关键尺寸误差有影响的细条矩形（external sliver）的长度而不是数量来提升掩模版曝光良率，从而提升了效率。
具体的，参见图1，执行步骤S100，遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角，其中，掩模的边为竖直或水平。
在一种可能的实现方式中，参见图5，执行步骤S001，输入掩模（mask），执行步骤S002，遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角，其中包括：计算多边形中相邻的两条边的方向向量的外积，其中，外积为垂直于两条边所构成平面的垂直向量，根据垂直向量的方向确定两条边之间的角是否为凹角，其中，凹角的角度为270°。举例来说，在一个不规则的掩模图像中，有9个为270°的凹角。
进一步的，参见图1，执行步骤S200，对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦，其中，拥有相同的横坐标或者纵坐标的两个凹角可以进行匹配。
在一种可能的实现方式中，参见图5，执行步骤S003，对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦包括：若两个凹角有相同的横坐标或纵坐标，则连接两个凹角的相同坐标的边，将两个相同坐标的边之间的线段作为弦。举例来说，参见图2，在一个不规则的掩模图像中，有9个为270°的凹角，其中，第一凹角的横边与第二凹角的横边在同一条直线上的（拥有相同的横坐标），则第一凹角和第二凹角可以进行匹配，将第一凹角的横边与第二凹角的横边中间生成一个弦，这样，匹配完所有凹角生成多个弦。
进一步的，参见图1，执行步骤S300，从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形，其中，独立弦为不与其他弦相交的弦。
在一种可能的实现方式中，参见图5，执行步骤S004，从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形包括：从多个弦中使用最大匹配问题方法进行筛选得到独立弦。想要最小化矩形的数量，需要用尽可能多的互不相交的独立弦进行切割。如果把每一条弦看作是一个节点，相交的弦看作是对应节点间存在一条边，那么找到最多的独立弦问题可以转换为找到弦所构成的图的最大子集，通常这个问题是NP-hard的，然而由于只存在水平或者竖直的两种弦，所以弦所构成的图是一个二分图，而找到二分图的最大子集问题，根据柯尼希定理，可以通过准换为最大匹配问题得到有效解决。举例来说，参见图3，在所有弦中根据最大匹配问题的解决方法去掉某一些弦，得到独立弦，参见图5，执行步骤S005，使用独立弦将掩模切割，得到多个子多边形，在切割过程中，若独立弦与掩模的边缘的距离小于人为设置的预设阈值，则不进行切割。因为本次切割可能会引入多余的细条矩形（external sliver）。
进一步的，参见图1，执行步骤S400，将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过相交的射线之间的交点将射线划分为多个段。
在一种可能的实现方式中，参见图5，执行步骤S006，将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过每条射线之间的交点将射线划分为多个段包括：查找与段在射线的方向上的相连段，查找与段起点相同的垂直段，查找与段的方向平行的相邻段，其中，相邻段与段的距离小于预设阈值。举例来说，针对每一个子多边形，从切割后剩下的凹角处引出水平和竖直的两条射线至多边形边缘处停止，每两条相交的射线在多边形内部会形成一个节点，每个节点都可以看作会发射出一条水平与竖直的短射线至下一个节点，这种短射线被称之为段。在本步骤中，参见图4，需要找到所有的段，标记为e，然后找到与每一条段直接相连的相连段N(e)，以及与e来自于同一个节点的相垂直的垂直段C(e)。针对每一条段，参见图5，执行步骤S007，还需要找到这条段的所有与段方向相同的相邻段A(e)，相邻段意味着这两条段距离相近，也就是说是距离小于预设阈值。
进一步的，参见图1，执行步骤S500，从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段，其中，候选段为与凹角相接的段。
在一种可能的实现方式中，参见图5，执行步骤S008，从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段包括：计算候选段的增益和权重，其中，权重为选择当前候选段后会引入的细条矩形（external sliver）的长边长度，细条矩形（external sliver）的宽度小于预设阈值，增益为当前候选段的垂直段的权重减去当前候选段的权重，参见图5，执行步骤S009，依据候选段的增益从大到小创建一个堆，其中，堆存放候选段的名字和候选段的增益，建立候选段的字典，其中，字典用于记录段的增益和段是否被访问，依据堆和字典得到切割段。举例来说，将所有与凹角直接相邻的段设为候选段，如果当前子多边形存在M个凹角，则初始候选段的数量为2M。计算所有候选段的权重和增益，权重等于选择该段后会引入的细条矩形（external sliver）的长度，增益等于当前段的C(e)的权重减去当前段权重，物理意义为选择当前段后可以潜在减少的细条矩形（external sliver）的长度。因此若想要减少细条矩形（external sliver）的长度，应当尽可能选取增益较大的段。
在一种可能的实现方式中，参见图5，执行步骤S010，依据堆和字典得到切割段包括：查看堆的顶部的段对应的字典，若字典中为没有被访问过，则取出顶部的段作为切割段，并在顶部的段的字典中标记为已访问，将顶部的段的垂直段的字典中标记为已访问，将顶部的段的垂直段的所有相连段的字典中标记为已访问，在顶部的段的相邻段的字典中更新顶部的段的相邻段的增益，将顶部的段的相连段放入堆中。举例来说：当堆不为空时，每次取出堆顶增益最大的段，若该段没有被访问过，而且堆中所储存的增益与字典中所储存的最新增益相等，则选择该段，并将该段从堆中取出。接下来在字典中中标记该段e和该段的C(e)以及C(e)的所有N(e)为已访问；并且在字典中更新所有相邻段A(e)的增益；另外如果e的N(e)存在，则将段N(e)放入最大堆中并准备开始下一次段选择，直到选择完成。
进一步的，参见图1，执行步骤S600，通过切割段将掩模切割为多个矩形。
当选择完成后，所有被选择出来的段会将多边形切割为我们所需的矩形，但是段信息，也就是段的坐标并不能直接为VSB设备所用，参见图5，执行步骤S011，还需要通过扫描线算法将结果转换为独立的被切割出的矩形才能作为VSB的输入。
本技术所使用的扫描线算法处理每一个多边形时，首先会找到多边形所有的水平边缘，以及所有水平的经过段选择算法所找到的段，组成一个只含有水平线段的集合；然后对该集合内的线段进行排序，排序规则为先按照纵坐标升序排序，对拥有相同纵坐标的线段再进行左边端点横坐标的升序排序。
线段准备完成后，先建立一个空的线段集合记作L(e)，然后对排序后的所有线段依次进行扫描，每扫描完纵坐标相同的一组线段后，判断它们与L(e)中的所有线段是否能组成矩形输出，若能输出矩形，则对构成矩形的线段进行更新。具体的，将边缘线段计数为1，内部切割线段计数为2，若线段间相互匹配能构成矩形，即横坐标有重叠，则记录下矩形信息，并将参与构建矩形的线段计数减一，若某条线段计数为0，则将它从L(e)或者正在扫描的线段组中移。一组线段扫描完成，并且输出所有矩形信息，更新线段计数并挪除相应线段后，将该组线段的剩余部分放入L(e)中，并开始对下一组具有相同纵坐标的线段进行扫描，直到L(e)为空，则结束扫描。参见图5，执行步骤S012，最后将扫描线算法用于段选择后的结果到VSB设备有效输入的转换。
需要说明的是，尽管以上述各个步骤作为示例介绍了本公开的掩模数据切割方法如上，但本领域技术人员能够理解，本公开应不限于此。事实上，用户完全可根据个人喜好和/或实际应用场景灵活设定掩模数据切割方法，只要达到所需功能即可。
这样，通过遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角，对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦，从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形，其中，独立弦为不与其他弦相交的弦，则不进行切割，将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过每条射线之间的交点将射线划分为多个段，从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段，其中，候选段为与凹角相接的段，通过切割段将掩模切割为多个矩形。引入了对切割后得到的细条矩形（external sliver）的考虑，以及考虑真正对关键尺寸误差有影响的细条矩形（external sliver）的长度而不是数量来提升掩模版曝光良率，从而提升了效率。
进一步的，根据本公开的另一方面，还提供了一种掩模数据切割装置100。由于本公开实施例的用于服务端的掩模数据切割装置100的工作原理与本公开实施例的掩模数据切割方法的原理相同或相似，因此重复之处不再赘述。参见图6，本公开实施例的掩模数据切割装置100包括遍历模块110、凹角匹配模块120、弦切割模块130、段划分模块140、切割段选择模块150和掩模切割模块160；
遍历模块110，被配置为遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角；
凹角匹配模块120，被配置为对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦；
弦切割模块130，被配置为从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形，其中，独立弦为不与其他弦相交的弦；
段划分模块140，被配置为将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过每条射线之间的交点将射线划分为多个段；
切割段选择模块150，被配置为从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段，其中，候选段为与凹角相接的段；
掩模切割模块160，被配置为通过切割段将掩模切割为多个矩形。
更进一步地，根据本公开的另一方面，还提供了一种掩模数据切割设备200。参阅图7，本公开实施例掩模数据切割设备200包括处理器210以及用于存储处理器210可执行指令的存储器220。其中，处理器210被配置为执行可执行指令时实现前面任一所述的掩模数据切割方法。
此处，应当指出的是，处理器210的个数可以为一个或多个。同时，在本公开实施例的掩模数据切割设备200中，还可以包括输入装置230和输出装置240。其中，处理器210、存储器220、输入装置230和输出装置240之间可以通过总线连接，也可以通过其他方式连接，此处不进行具体限定。
存储器220作为一种计算机可读存储介质，可用于存储软件程序、计算机可执行程序和各种模块，如：本公开实施例的掩模数据切割方法所对应的程序或模块。处理器210通过运行存储在存储器220中的软件程序或模块，从而执行掩模数据切割设备200的各种功能应用及数据处理。
输入装置230可用于接收输入的数字或信号。其中，信号可以为产生与设备/终端/服务器的用户设置以及功能控制有关的键信号。输出装置240可以包括显示屏等显示设备。
根据本公开的另一方面，还提供了一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器210执行时实现前面任一所述的掩模数据切割方法。
以上已经描述了本公开的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。

Claims (8)

1.一种掩模数据切割方法，其特征在于，包括：
遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角；
对每一个所述多边形内的凹角进行匹配得到多个弦；
从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形；其中，所述独立弦为不与其他所述弦相交的弦；
将所述子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至所述子多边形的边缘处，通过相交的所述射线之间的交点将所述射线划分为多个段；
从多个所述段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段；其中，所述候选段为与所述凹角相接的所述段；
通过所述切割段将所述掩模切割为多个矩形；
其中，遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角包括：
计算所述多边形中相邻的两条边的方向向量的外积；其中，外积为垂直于所述两条边所构成平面的垂直向量；
根据所述垂直向量的方向确定所述两条边之间的角是否为所述凹角；
其中，对每一个所述多边形内的凹角进行匹配得到多个弦包括：
若两个所述凹角有相同的横坐标或纵坐标，则连接两个所述凹角的相同坐标的边；
将两个所述相同坐标的边之间的线段作为所述弦；
其中，从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形，还包括：
若所述独立弦与同方向的所述多边形的边缘的最小距离小于预设阈值，则不进行切割。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于其中，从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形包括：
从多个所述弦中使用最大匹配问题方法进行筛选得到所述独立弦；
使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至所述子多边形的边缘处，通过相交的所述射线之间的交点将所述射线划分为多个段包括：
查找与所述段在所述射线的方向上的相连段；
查找与所述段起点相同的垂直段；
查找与所述段的方向平行的相邻段，其中，所述相邻段与所述段的距离小于预设阈值，所述相连段、所述垂直段和所述相邻段均为划分得到的所述段。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，从多个所述段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段包括：
计算所述候选段的增益和权重；其中，所述权重为选择当前所述候选段后会引入的细条矩形的长边长度，所述细条矩形的宽度小于所述预设阈值，所述增益为当前所述候选段的所述垂直段的权重减去当前所述候选段的权重；
依据所述候选段的增益从大到小创建一个堆；其中，所述堆存放所述候选段的名字和所述候选段的增益；
建立所述候选段的字典；其中，所述字典用于记录所述段的增益和所述段是否被访问；
依据所述堆和所述字典得到所述切割段。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，依据所述堆和所述字典得到所述切割段包括：
查看所述堆的顶部的段对应的字典；
若所述字典中为没有被访问过，则取出所述顶部的段作为所述切割段，并在所述顶部的段的字典中标记为已访问；
将所述顶部的段的垂直段的字典中标记为已访问；
将所述顶部的段的垂直段的所有相连段的字典中标记为已访问；
在所述顶部的段的相邻段的字典中更新所述顶部的段的相邻段的增益；
将所述顶部的段的相连段放入所述堆中。
6.一种掩模数据切割装置，其特征在于，包括遍历模块、凹角匹配模块、弦切割模块、段划分模块、切割段选择模块和掩模切割模块；
所述遍历模块，被配置为遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角；
所述凹角匹配模块，被配置为对每一个所述多边形内的凹角进行匹配得到多个弦；
所述弦切割模块，被配置为从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形；其中，所述独立弦为不与其他所述弦相交的弦；
所述段划分模块，被配置为将所述子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至所述子多边形的边缘处，通过每条所述射线之间的交点将所述射线划分为多个段；
所述切割段选择模块，被配置为从多个所述段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段；其中，所述候选段为与所述凹角相接的所述段；
所述掩模切割模块，被配置为通过所述切割段将所述掩模切割为多个矩形；
其中，遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角包括：
计算所述多边形中相邻的两条边的方向向量的外积；其中，外积为垂直于所述两条边所构成平面的垂直向量；
根据所述垂直向量的方向确定所述两条边之间的角是否为所述凹角；
其中，对每一个所述多边形内的凹角进行匹配得到多个弦包括：
若两个所述凹角有相同的横坐标或纵坐标，则连接两个所述凹角的相同坐标的边；
将两个所述相同坐标的边之间的线段作为所述弦；
其中，从多个所述弦中筛选独立弦，使用所述独立弦对所述多边形进行切割得到子多边形，还包括：
若所述独立弦与同方向的所述多边形的边缘的最小距离小于预设阈值，则不进行切割。
7.一种掩模数据切割设备，其特征在于，包括：
处理器；
用于存储处理器可执行指令的存储器；
其中，所述处理器被配置为执行所述可执行指令时实现权利要求1至5中任意一项所述的方法。
8.一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，其特征在于，所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1至5中任意一项所述的方法。
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