CN113358236B - 一种提高温度测量精度的方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种提高温度测量精度的方法及装置，所述方法包括：根据第一温度传感器和第二温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号和第二模拟信号；将所述第一模拟信号和所述第二模拟信号分别输入第一转换模块和第二转换模块中，获得第一数字信号和第二数字信号；通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中；根据获得的第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；若不存在异常，将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息，进而获得第一预警信息。解决了现有技术中存在温度测量时容易出现温度损耗，从而使得检测的数据产生偏差，增加晶圆工艺损坏率的技术问题。

Description

一种提高温度测量精度的方法及装置

技术领域

本发明涉及半导体干刻蚀设备相关领域，尤其涉及一种提高温度测量精度的方法及装置。

背景技术

干刻蚀设备有许多加热，冷却部件。这些部件对温度的要求比较高，原来只有一路温度检测系统，如果其中的一个温控部件失效，机台主系统监测不到精准的温度，当温度发生偏差时，对晶圆工艺会产生影响，使晶圆报废。不同工艺要求不同的部件温度，通过工艺菜单来控制部件温度，这样要实现对不同温度的实时监控，就需要进一步对部件温度进行准确测量。

但本申请发明人在实现本申请实施例中发明技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：

现有技术中存在温度测量时容易出现温度损耗，从而使得检测的数据产生偏差，对晶圆工艺造成影响的技术问题。

发明内容

本申请实施例通过提供一种提高温度测量精度的方法及装置，解决了现有技术中存在温度测量时容易出现温度损耗，从而使得检测的数据产生偏差，增加晶圆工艺损坏率的技术问题，达到了通过添加转换模块和温度对比模块对测量的数据进行转换实现温度零损耗，提高温度测量精确度，进而对于异常信息完成及时预警的技术效果。

鉴于上述问题，提出了本申请实施例提供一种提高温度测量精度的方法及装置。

第一方面，本申请实施例提供了一种提高温度测量精度的方法，所述方法应用于一种提高温度测量精度的装置，所述装置与第一温度传感器、第二温度传感器通信连接，所述方法包括：根据所述第一温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号；将所述第一模拟信号输入第一转换模块中，获得第一数字信号；根据所述第二温度传感器对所述第一温控部件进行检测，获得第二模拟信号；将所述第二模拟信号输入第二转换模块中，获得第二数字信号；通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中，获得第一比对信息；根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息；将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息；基于所述第一预测信息，获得第一预警信息。

另一方面，本申请还提供了一种提高温度测量精度的装置，所述装置包括：第一获得单元，所述第一获得单元用于根据第一温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号；第一转换单元，所述第一转换单元用于将所述第一模拟信号输入第一转换模块中，获得第一数字信号；第二获得单元，所述第二获得单元用于根据所述第二温度传感器对所述第一温控部件进行检测，获得第二模拟信号；第二转换单元，所述第二转换单元用于将所述第二模拟信号输入第二转换模块中，获得第二数字信号；第一输入单元，所述第一输入单元用于通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中，获得第一比对信息；第一判断单元，所述第一判断单元用于根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；第三获得单元，所述第三获得单元用于若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息；第四获得单元，所述第四获得单元用于将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息；第五获得单元，所述第五获得单元用于基于所述第一预测信息，获得第一预警信息。

第三方面，本发明提供了一种提高温度测量精度的装置，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其中，所述处理器执行所述程序时实现第一方面所述方法的步骤。

本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

由于采用了通过第一温度传感器对晶圆工艺中的第一温控部件的温度信息进行信号检测，从而获得由所述第一温度传感器输出的第一模拟信号，再通过增加的第二温度传感器对晶圆工艺的第一温控部件的温度信息进行信号检测，从而获得由所述第二温度传感器输出的第二模拟信号，再将获得的两个温度模拟量信息输入到转换模块中进行信号的转换从而对应输出相应的数字信号，进一步的，将转换的两个数字信号进行温度对比分析，获得温度比对信息结果，若温度对比无误后再继续进行温度监控，并结合温控部件的多属性信息进行温度变化预测模型的监督神经网络学习，从而能够根据所述温度变化预测模型获得出温度变化的第一预测信息，所述第一预测信息用于对目前温控部件的温度变化情况进行风险预测，从而当所述第一预测信息达到目标预测信息的范围中及时基于预警信息进行对应的操作，达到了通过添加转换模块和温度对比模块对测量的数据进行转换实现温度零损耗，提高温度测量精确度，进而对于异常信息完成及时预警的技术效果。

上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。

附图说明

图1为本申请实施例一种提高温度测量精度的方法的流程示意图；

图2为本申请实施例一种温度对比装置的结构示意图；

图3为本申请实施例一种提高温度测量精度的装置的结构示意图；

图4为本申请实施例示例性电子设备的结构示意图。

附图标记说明：第一温度传感器1，第一转换模块2，电路板3，机台主系统4，第二温度传感器5，第二转换模块6，温度显示表头7，实时对比模块8，第一获得单元11，第一转换单元12，第二获得单元13，第二转换单元14，第一输入单元15，第一判断单元16，第三获得单元17，第四获得单元18，第五获得单元19，总线300，接收器301，处理器302，发送器303，存储器304，总线接口305。

具体实施方式

本申请实施例通过提供一种提高温度测量精度的方法及装置，解决了现有技术中存在温度测量时容易出现温度损耗，从而使得检测的数据产生偏差，增加晶圆工艺损坏率的技术问题，达到了通过添加转换模块和温度对比模块对测量的数据进行转换实现温度零损耗，提高温度测量精确度，进而对于异常信息完成及时预警的技术效果。下面，将参考附图详细的描述根据本申请的示例实施例。显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是本申请的全部实施例，应理解，本申请不受这里描述的示例实施例的限制。

申请概述

干刻蚀设备有许多加热，冷却部件。这些部件对温度的要求比较高，原来只有一路温度检测系统，如果其中的一个温控部件失效，机台主系统监测不到精准的温度，当温度发生偏差时，对晶圆工艺会产生影响，使晶圆报废。不同工艺要求不同的部件温度，通过工艺菜单来控制部件温度，这样要实现对不同温度的实时监控，就需要进一步对部件温度进行准确测量。但现有技术中存在温度测量时容易出现温度损耗，从而使得检测的数据产生偏差，对晶圆工艺造成影响的技术问题。

针对上述技术问题，本申请提供的技术方案总体思路如下：

本申请实施例提供了一种提高温度测量精度的方法，其中，所述方法应用于一种提高温度测量精度的装置，所述装置与第一温度传感器、第二温度传感器通信连接，所述方法包括：根据所述第一温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号；将所述第一模拟信号输入第一转换模块中，获得第一数字信号；根据所述第二温度传感器对所述第一温控部件进行检测，获得第二模拟信号；将所述第二模拟信号输入第二转换模块中，获得第二数字信号；通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中，获得第一比对信息；根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息；将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息；基于所述第一预测信息，获得第一预警信息。

在介绍了本申请基本原理后，下面将结合说明书附图来具体介绍本申请的各种非限制性的实施方式。

实施例一

如图1所示，本申请实施例提供了一种提高温度测量精度的方法，其中，所述方法应用于一种提高温度测量精度的装置，所述装置与第一温度传感器、第二温度传感器通信连接，如图2所示，所述方法基于温度对比装置结构完成对应控制，其中，所述温度对比装置结构包括第一温度传感器1，第一转换模块2，电路板3，机台主系统4，第二温度传感器5，第二转换模块6，温度显示表头7，实时对比模块8，所述方法包括：

步骤S100：根据所述第一温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号；

具体而言，温度传感器(temperature transducer)是指能感受温度并转换成可用输出信号的传感器，按测量方式可分为接触式和非接触式两大类，按照传感器材料及电子元件特性分为热电阻和热电偶两类，其中，所述第一温度传感器不限于具体类别，可用于多种类别进行对应连接。所述第一温控部件为进行晶圆工艺加工时进行部件温度控制的对应具体部件信息，所述第一模拟信号是基于所述第一温度传感器进行传感器监测获得的输出信号传感器，举例来说，当所述第一温度传感器为电压型，传感器会输出一个0-10V的模拟量信号，一般在最低度的时候，传感器会输出0V，最高温度会输出10V左右进而能够基于获得的信号完成对应分析。

步骤S200：将所述第一模拟信号输入第一转换模块中，获得第一数字信号；

具体而言，所述第一转换模块为进行模拟信号转换的模块，由于所述第一温度传感器输出的所述第一模拟信号需要与PLC模块进行连接，从而完成相关的程序控制和计算，所述第一转换模块就是将所述第一模拟信号输入到所述第一转换模块中获得所述第一数字信号，进而PLC能够根据转换的所述第一数字信号进行进一步的数据计算和控制，其中，由于温度的模拟信号非常敏感，且对应的摄氏度能够达到零点零几伏的极小的数字，因此对于采集到的数据通过进行信号的转换能够做到使得温度的损耗降到最低，实现零损耗，且所述第一转换模块还可以将处理后的数字信号再转换为模拟信号显示再所述温度显示表头上，进而达到了通过添加转换模块实现数据的准确传输和控制过程，达到了基于信号输出的层面上实现高精度准确传输的技术效果。

步骤S300：根据所述第二温度传感器对所述第一温控部件进行检测，获得第二模拟信号；

步骤S400：将所述第二模拟信号输入第二转换模块中，获得第二数字信号；

具体而言，所述第二温度传感器为新增的温度传感器，且所述第一温度传感器与所述第二温度传感器的属性类别相同，其中，由于所述第二温度传感器为在同一个部件上加装的另一个传感器，从而能够基于对另一个传感器相对的输出信号进行二次检测获得所述第二模拟信号，进一步的，再通过所述第二转换模块对所述第二模拟信号进行对应转换以获得所述第二数字信号，其中，由于所述第一数字信号和所述第二数字信息都是对同一部件再同一时间的信号转换结果，其中，转换的过程遵循线性分配的原则，完成比例微分积分控制，进而能够通过对两个数字信号信进行进一步的分析，达到了准确采集传输信号，提高分析数据全面性和准确性的技术效果。

步骤S500：通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中，获得第一比对信息；

具体而言，所述第一温度对比模型是通过构建数据对比规则从而获得的对应计算模型，进一步的，由于所述第一数字信号和所述第二数字信号为两个温度传感器进行对应信号转换后获得的数字信号信息，因此所述第一数字信号和所述第二数字信号存在数据属性和类别都相匹配的性能，从而根据其转换的数据完成对比的温度对比过程，其中，所述第一温度比对模型存储与对比模块中，当需要进行温度对比分析时将所述第一温度对比模型从所述对比模块中进行调用，详细来说，数字信号是将对应的数字通过A/D转换，将获得的对应摄氏度数据转换成0-32767之间的一个数，从而根据传输的信号的完成对应的对比，所述第一对比信息为两个数据之间的数据偏差信息，进而基于所述第一比对信息能够对比对结果进行进一步的流程分析。

步骤S600：根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；

步骤S700：若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息；

具体而言，由于所述第一比对信息表示为所述第一数据信号和所述第二数字信号之间的数据偏差，其中，产生的数据偏差可以基于数据信号的曲线建立完成偏差数据的计算，也可以基于具体的数据特征完成对应的计算，当所述第一比对信息中的偏差信息超出预设目标误差时，则表示所述第一温控部件存在异常，当所述第一比对信息中的偏差信息未超出预设目标误差时，则表示所述第一温控部件不存在异常，对比无误，从而再通过获得所述第一温控部件的多属性信息完后才能进一步的具体分析，再继续进行相关晶圆工艺的进行，达到了有效跟踪监控数据，提高测量准确度的技术效果。

步骤S800：将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息；

具体而言，根据所述第一温控部件的多属性信息进行细化的筛选数据，并根据监督学习进行准确分析获得对应的准确温度变化预测信息，进一步的，当所述第一预测信息中的对应的数据越高，表示所述第一温控部件的温度出现异常，所以需要对应的采取相应措施对具体的数据进行机器学习，完成不间断识别，所述第一温控部件的多属性信息输入训练模型中进行温度变化预测的学习，从而获得所述第一预测信息，详细来说，所述第一预测信息能够对所述第温控部件的温度变化进行数据化的准确预测标识，从而便于计算机搭建的平台进行相关数据的处理，进而达到了获得具有数学逻辑特征的预测信息，进一步达到了数据智能化训练，提高数据精度的技术效果。

步骤S900：基于所述第一预测信息，获得第一预警信息。

具体而言，基于所述第一预测信息完成相应的预警，当所述第一预测信息中表示所述第一温控部件的变化的对应信息出现异常时，即温度控件的相关属性信息会对应将测量结果产生一定的影响，因此，需要基于对所述第一预测信息中的信息完成具体的分析，进而对应计算其异常的风险系数，用对应的风险系数完成预警，所述第一预警信息用于对主系统发出预警信息，其中，所述第一预警信息中包括了预警的频率、预警的类别和预警的信号传输方式等各个信息，举例来说，通过第一温度传感器1和第二温度传感器5对温控部件进行温度模拟信号的测量，将第一温度传感器1获得的模拟信号输入到第一转换模块2中转换为数字信号，将第二温度传感器5获得的模拟信号输入到第二转换模块6中转换为数字信号，从而将转换的两个数字信号输入到实时对比模块8中进行温度对比，将温度比对分析的结果传输到机台主系统中进行预警互锁控制，其中，第一转换模块2将数字信号转换为模拟信号输入到电路板3中，第二转换模块6将数字信号再转换为模拟信号输入到温度显示表头7中，由于直接拉出模拟信号会使原来的温度产生偏差，从而加装的转换模块能够基于模拟信号敏感的特性根据所述第一预警信息对异常信息完成及时预警，实现温度零损耗，降低晶圆损坏率的技术效果。

进一步而言，所述通过所述第一比对信息判断所述第一温控部件，本申请实施例步骤S600还包括：

步骤S610：若所述第一温控部件存在异常，获得第一通断信号；

步骤S620：获得第一互锁装置的第一互锁规则信息；

步骤S630：所述第一通断信号基于所述第一互锁规则信息对所述第一互锁装置执行通断操作；

步骤S640：当所述第一互锁装置通断操作执行完成，获得第二预警信息，其中，所述第二预警信息和所述第一预警信息不相同。

具体而言，经判断当所述第一比对信息中的误差信息不处于目标预设误差中，表示目前测量的所述第一温控部件的温度处于异常状态，进而获得第一通断信号，其中，所述第一通断信号用于对第一互锁装置进行控制，互锁装置为一种用于控制电路安全的互锁装置，其互锁装置包括两个连接点，分别连接于电路板和机台，所述第一互锁规则为所述第一互锁装置中的互锁规则，比如当连接的两个部分处于某种状态时表示此时完成自动互锁，从而保证了设备的安全性和操作安全性，因此，通断信号接入机台主系统的互锁装置，当实时对比模块发现温度不一致时，机台主系统的互锁装置断开，机台停止工作并发出报警，且所述第二预警信息和所述第一预警信息不相同，即发出的预警频率、预警类别、预警方式等都有所不同，达到了而对于异常信息的分情况预警，进而达到了有效、及时预警的技术效果。

进一步而言，所述若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息，本申请实施例步骤S700还包括：

步骤S710：获得所述第一温控部件的第一功能信息；

步骤S720：基于所述第一功能信息对所述多属性信息进行关联度分析，获得多关联指数；

步骤S730：获得第一预设关联指数；

步骤S740：基于对所述多关联指数进行筛选，获得关联指数大于所述第一预设关联指数N个关联指数，其中，N大于1且小于等于所述多关联指数的总数量；

步骤S750：将所述N个关联指数对应的属性信息作为所述温度变化预测模型的输入信息。

具体而言，通过获得所述第一温控部件在电路板中的有效控制功能从而确定其温度相关的多个关联属性信息，比如电压、电流、环境、电阻、材料等关联信息，进而再对多个属性进行温度关联影响紧密度的进一步的具体分析，其中，所述多关联指数是对多个属性信息进行关联度分析获得的对应数据，所述第一预设关联指数是通过对具体的数据信息进行具体的提前计算获得的对应目标数据信息，其中，所述第一预设关联指数是对所有属性信息进行进一步筛选的对应数据，即通过第一预设公式获得所述第一预设关联指数，其中，所述第一预设公式为：

其中，γ为所述第一预设关联指数；m为所有属性信息的最小差；M为所有属性信息的最大差；μ为标准化计算系数；k表示所有属性信息的总数量；

表示所有属性信息的平均值，从而达到了通过计算获得的所述第一预设关联指数对所有的信息进行细化筛选，从而对数据进行进一步处理，并筛选大于所述第一预设关联指数N个关联指数作为模型的训练数据进行监督学习和智能化数据的分析处理，从而使得模型在进行预测的时候能够减少训练数据的数据量，并且保持训练模型性能的技术效果，完成数据的智能化处理。

进一步而言，本申请实施例步骤S730还包括：

步骤S731：通过对所述N个关联指数对应的属性信息进行分析，建立第一拟合变化曲线；

步骤S732：根据所述第一拟合变化曲线，获得第一曲线变化速率，所述第一曲线变化速率为曲线的增长速率；

步骤S733：根据所述第一曲线变化速率，获得第一预测节点；

步骤S734：获得所述第一预测节点，获得第二预测信息；

步骤S735：根据所述第一预测信息和所述第二预测信息，获得第一预警反应阈值。

具体而言，由于所述N个关联指数对应的属性信息都是经过具体的数据计算完后的筛选，从而使得所述N个关联指数所对应的属性信息都具有较大的关联性，进一步的，通过对筛选的数据进行进一步的细化处理从而完成对应曲线的拟合，其中，所述第一拟合变化曲线是对所有属性信息对应的数据变化进行综合分析的曲线，再对所述第一拟合变化曲线进行曲线增长速率的不断分析，获得所述第一曲线变化速率，进一步的，所述第一曲线变化速率可以通过设置多个节点进行每个节点的求导或者微分处理，从而获得其对应的代表信息。所述第一预测节点为所述第一拟合曲线超出预设目标值的曲线交点所对应的节点，进而获得其对应的预测信息，从而能够结合模型的预测信息和曲线的预测信息完成综合的分析，以最终获得的综合预测信息设置对应的预警反应阈值，达到了通过对反应阈值的动态调整，达到及时预警的技术效果。

进一步而言，本申请实施例S735还包括：

步骤S7351：获得第一预设时间段的第一预警频率；

步骤S7352：判断所述第一预警频率是否处于预设预警频率阈值中；

步骤S7353：若所述第一预警频率不处于预设预警频率，获得第一采集指令；

步骤S7354：根据所述第一采集指令对所有预警信息进行分析，获得第一主影响部件；

步骤S7355：根据第一替换指令对所述第一主影响部件进行替换。

具体而言，所述第一预警频率为采集到预设时间中所有的预警信息的预警频次，进一步的，判断其预警的频率是否过于异常或过于频繁通过预设频率预警进行，进而当所述第一预警频率不处于所述预设预警频率时，表示目前容易出现异常信息存在使用隐患，进而对所有的预警条件进行分析获取其频次最高的主影响部件，进而基于采取相关措施完成检修后确定该部件是否需要替换，从而达到了对温控部件进行跟踪监控，提高预警质量，降低晶圆工艺损坏率的技术效果。

进一步而言，所述将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息，本申请实施例步骤S800还包括：

步骤S810：根据所述N个关联指数对应的属性信息，构建所述温度变化预测模型；

步骤S820：所述温度变化预测模型通过多组训练数据训练至收敛获得，其中，所述多组训练数据中的每组数据均包括所述N个关联指数对应的属性信息和作为用于标识预测温度变化的标识信息；

步骤S830：获得所述温度变化预测模型的输出结果，所述输出结果包括所述第一预测信息，所述第一预测信息用于对温度的变化情况进行预测。

具体而言，将所述第一预测信息作为监督数据输入每一组训练数据中进行监督学习，所述温度变化预测模型是以神经网络模型为基础建立的模型，而神经网络是大量的神经元之间相互连接构成的一种运算模型，网络的输出则依照网络的连接方式的一种逻辑策略表达。进一步而言，所述训练的过程实质为监督学习的过程，所述多组训练数据中的每组均包括所述N个关联指数对应的属性信息和作为用于标识预测温度变化的标识信息，所述温度变化预测模型进行不断的自我修正、调整，直至获得的输出结果与所述标识信息一致，结束本组数据监督学习，进行下一组数据监督学习。当所述温度变化预测模型的输出信息达到预定的准确率/达到收敛状态时，则监督学习过程结束，达到了通过所述温度变化预测模型的训练使得输出所述第一预测信息更加准确，达到了数据智能化分析的技术效果。

综上所述，本申请实施例所提供的一种提高温度测量精度的方法及装置具有如下技术效果：

1、由于采用了通过第一温度传感器对晶圆工艺中的第一温控部件的温度信息进行信号检测，从而获得由所述第一温度传感器输出的第一模拟信号，再通过增加的第二温度传感器对晶圆工艺的第一温控部件的温度信息进行信号检测，从而获得由所述第二温度传感器输出的第二模拟信号，再将获得的两个温度模拟量信息输入到转换模块中进行信号的转换从而对应输出相应的数字信号，进一步的，将转换的两个数字信号进行温度对比分析，获得温度比对信息结果完成对应预警的方式，达到了通过添加转换模块和温度对比模块对测量的数据进行转换实现温度零损耗，提高温度测量精度的技术效果。

2、由于采用了结合温控部件的多属性信息，并完成N个多属性信息筛选从而进行温度变化预测模型的监督神经网络学习，从而能够根据所述温度变化预测模型获得出温度变化的第一预测信息，进而达到了实现温度准确预报，提前作出应对，降低晶圆损坏率技术效果。

3、由于采用了通过对关联度进行进一步计算分析，确定预设关联度公式计算的方式，达到了联合数学特性和逻辑性，提高数据计算准确率和可靠性，进而提高测量精度的技术效果。

实施例二

基于与前述实施例中一种提高温度测量精度的方法同样发明构思，本发明还提供了一种提高温度测量精度的装置，如图3所示，所述装置包括：

第一获得单元11，所述第一获得单元11用于根据第一温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号；

第一转换单元12，所述第一转换单元12用于将所述第一模拟信号输入第一转换模块中，获得第一数字信号；

第二获得单元13，所述第二获得单元13用于根据所述第二温度传感器对所述第一温控部件进行检测，获得第二模拟信号；

第二转换单元14，所述第二转换单元14用于将所述第二模拟信号输入第二转换模块中，获得第二数字信号；

第一输入单元15，所述第一输入单元15用于通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中，获得第一比对信息；

第一判断单元16，所述第一判断单元16用于根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；

第三获得单元17，所述第三获得单元17用于若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息；

第四获得单元18，所述第四获得单元18用于将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息；

第五获得单元19，所述第五获得单元19用于基于所述第一预测信息，获得第一预警信息。

进一步的，所述装置还包括：

第六获得单元，所述第六获得单元用于若所述第一温控部件存在异常，获得第一通断信号；

第七获得单元，所述第七获得单元用于获得第一互锁装置的第一互锁规则信息；

第八获得单元，所述第八获得单元用于所述第一通断信号基于所述第一互锁规则信息对所述第一互锁装置执行通断操作；

第九获得单元，所述第九获得单元用于当所述第一互锁装置通断操作执行完成，获得第二预警信息，其中，所述第二预警信息和所述第一预警信息不相同。

进一步的，所述装置还包括：

第十获得单元，所述第十获得单元用于获得所述第一温控部件的第一功能信息；

第十一获得单元，所述第十一获得单元用于基于所述第一功能信息对所述多属性信息进行关联度分析，获得多关联指数；

第十二获得单元，所述第十二获得单元用于获得第一预设关联指数；

第十三获得单元，所述第十三获得单元用于基于对所述多关联指数进行筛选，获得关联指数大于所述第一预设关联指数N个关联指数，其中，N大于1且小于等于所述多关联指数的总数量；

第一操作单元，所述第一操作单元用于将所述N个关联指数对应的属性信息作为所述温度变化预测模型的输入信息。

进一步的，所述装置还包括：

第一构建单元，所述第一构建单元用于通过对所述N个关联指数对应的属性信息进行分析，建立第一拟合变化曲线；

第十四获得单元，所述第十四获得单元用于根据所述第一拟合变化曲线，获得第一曲线变化速率，所述第一曲线变化速率为曲线的增长速率；

第十五获得单元，所述第十五获得单元用于根据所述第一曲线变化速率，获得第一预测节点；

第十六获得单元，所述第十六获得单元用于获得所述第一预测节点，获得第二预测信息；

第十七获得单元，所述第十七获得单元用于根据所述第一预测信息和所述第二预测信息，获得第一预警反应阈值。

进一步的，所述装置还包括：

第十八获得单元，所述第十八获得单元用于获得第一预设时间段的第一预警频率；

第二判断单元，所述第二判断单元用于判断所述第一预警频率是否处于预设预警频率阈值中；

第十九获得单元，所述第十九获得单元用于若所述第一预警频率不处于预设预警频率，获得第一采集指令；

第二十获得单元，所述第二十获得单元用于根据所述第一采集指令对所有预警信息进行分析，获得第一主影响部件；

第二十一获得单元，所述第二十一获得单元用于根据第一替换指令对所述第一主影响部件进行替换。

进一步的，所述装置还包括：

第二构建单元，所述第二构建单元用于根据所述N个关联指数对应的属性信息，构建所述温度变化预测模型；

第二十二获得单元，所述第二十二获得单元用于所述温度变化预测模型通过多组训练数据训练至收敛获得，其中，所述多组训练数据中的每组数据均包括所述N个关联指数对应的属性信息和作为用于标识预测温度变化的标识信息；

第二十三获得单元，所述第二十三获得单元用于获得所述温度变化预测模型的输出结果，所述输出结果包括所述第一预测信息，所述第一预测信息用于对温度的变化情况进行预测。

前述图1实施例一中的一种提高温度测量精度的方法的各种变化方式和具体实例同样适用于本实施例的一种提高温度测量精度的装置，通过前述对一种提高温度测量精度的方法的详细描述，本领域技术人员可以清楚的知道本实施例中一种提高温度测量精度的装置的实施方法，所以为了说明书的简洁，在此不再详述。

示例性电子设备

下面参考图4来描述本申请实施例的电子设备。

图4图示了根据本申请实施例的电子设备的结构示意图。

基于与前述实施例中一种提高温度测量精度的方法的发明构思，本发明还提供一种提高温度测量精度的装置，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现前文所述第一种提高温度测量精度的方法的任一方法的步骤。

其中，在图4中，总线架构(用总线300来代表)，总线300可以包括任意数量的互联的总线和桥，总线300将包括由处理器302代表的一个或多个处理器和存储器304代表的存储器的各种电路链接在一起。总线300还可以将诸如外围设备、稳压器和功率管理电路等之类的各种其他电路链接在一起，这些都是本领域所公知的，因此，本文不再对其进行进一步描述。总线接口305在总线300和接收器301和发送器303之间提供接口。接收器301和发送器303可以是同一个元件，即收发机，提供用于在传输介质上与各种其他装置通信的单元。

处理器302负责管理总线300和通常的处理，而存储器304可以被用于存储处理器302在执行操作时所使用的数据。

本发明实施例提供的一种提高温度测量精度的方法，其中，所述方法应用于一种提高温度测量精度的装置，所述装置与第一温度传感器、第二温度传感器通信连接，所述方法包括：根据所述第一温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号；将所述第一模拟信号输入第一转换模块中，获得第一数字信号；根据所述第二温度传感器对所述第一温控部件进行检测，获得第二模拟信号；将所述第二模拟信号输入第二转换模块中，获得第二数字信号；通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中，获得第一比对信息；根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息；将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息；基于所述第一预测信息，获得第一预警信息。解决了现有技术中存在温度测量时容易出现温度损耗，从而使得检测的数据产生偏差，增加晶圆工艺损坏率的技术问题，达到了通过添加转换模块和温度对比模块对测量的数据进行转换实现温度零损耗，提高温度测量精确度，进而对于异常信息完成及时预警的技术效果。

本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(装置)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种提高温度测量精度的方法，所述方法应用于一种提高温度测量精度的装置，所述装置与第一温度传感器、第二温度传感器通信连接，所述方法包括：

根据所述第一温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号；

将所述第一模拟信号输入第一转换模块中，获得第一数字信号；

根据所述第二温度传感器对所述第一温控部件进行检测，获得第二模拟信号；

将所述第二模拟信号输入第二转换模块中，获得第二数字信号；

通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中，获得第一比对信息；

根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；

若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息；

将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息；

基于所述第一预测信息，获得第一预警信息；

所述若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息，所述方法还包括：

获得所述第一温控部件的第一功能信息；

基于所述第一功能信息对所述多属性信息进行关联度分析，获得多关联指数；

获得第一预设关联指数；

基于对所述多关联指数进行筛选，获得关联指数大于所述第一预设关联指数的N个关联指数，其中，N大于1且小于等于所述多关联指数的总数量；

将所述N个关联指数对应的属性信息作为所述温度变化预测模型的输入信息；

所述获得第一预设关联指数，所述方法还包括：

通过第一预设公式获得所述第一预设关联指数，其中，所述第一预设公式为：

其中，γ为所述第一预设关联指数；

m为所有属性信息的最小差；

M为所有属性信息的最大差；

μ为标准化计算系数；

k表示所有属性信息的总数量；

表示所有属性信息的平均值。

2.如权利要求1所述的方法，所述根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常，所述方法还包括：

若所述第一温控部件存在异常，获得第一通断信号；

获得第一互锁装置的第一互锁规则信息；

所述第一通断信号基于所述第一互锁规则信息对所述第一互锁装置执行通断操作；

当所述第一互锁装置通断操作执行完成，获得第二预警信息，其中，所述第二预警信息和所述第一预警信息不相同。

3.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括：

通过对所述N个关联指数对应的属性信息进行分析，建立第一拟合变化曲线；

根据所述第一拟合变化曲线，获得第一曲线变化速率，所述第一曲线变化速率为曲线的增长速率；

根据所述第一曲线变化速率，获得第一预测节点；

获得所述第一预测节点，获得第二预测信息；

根据所述第一预测信息和所述第二预测信息，获得第一预警反应阈值。

4.如权利要求3所述的方法，所述方法还包括：

获得第一预设时间段的第一预警频率；

判断所述第一预警频率是否处于预设预警频率阈值中；

若所述第一预警频率不处于预设预警频率，获得第一采集指令；

根据所述第一采集指令对所有预警信息进行分析，获得第一主影响部件；

根据第一替换指令对所述第一主影响部件进行替换。

5.如权利要求1所述的方法，所述将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息，所述方法还包括：

根据所述N个关联指数对应的属性信息，构建所述温度变化预测模型；

所述温度变化预测模型通过多组训练数据训练至收敛获得，其中，所述多组训练数据中的每组数据均包括所述N个关联指数对应的属性信息和作为用于标识预测温度变化的标识信息；

获得所述温度变化预测模型的输出结果，所述输出结果包括所述第一预测信息，所述第一预测信息用于对温度的变化情况进行预测。

6.一种提高温度测量精度的装置，所述装置用于实现如权利要求1所述的方法，其中，所述装置包括：

第一获得单元，所述第一获得单元用于根据第一温度传感器对第一温控部件进行检测，获得第一模拟信号；

第一转换单元，所述第一转换单元用于将所述第一模拟信号输入第一转换模块中，获得第一数字信号；

第二获得单元，所述第二获得单元用于根据第二温度传感器对所述第一温控部件进行检测，获得第二模拟信号；

第二转换单元，所述第二转换单元用于将所述第二模拟信号输入第二转换模块中，获得第二数字信号；

第一输入单元，所述第一输入单元用于通过将所述第一数字信号和所述第二数字信号输入第一温度对比模型中，获得第一比对信息；

第一判断单元，所述第一判断单元用于根据所述第一比对信息判断所述第一温控部件是否存在异常；

第三获得单元，所述第三获得单元用于若所述第一温控部件不存在异常，获得所述第一温控部件的多属性信息；

第四获得单元，所述第四获得单元用于将所述第一温控部件的多属性信息输入温度变化预测模型中，获得第一预测信息；

第五获得单元，所述第五获得单元用于基于所述第一预测信息，获得第一预警信息；

第十获得单元，所述第十获得单元用于获得所述第一温控部件的第一功能信息；

第十一获得单元，所述第十一获得单元用于基于所述第一功能信息对所述多属性信息进行关联度分析，获得多关联指数；

第十二获得单元，所述第十二获得单元用于获得第一预设关联指数；

第十三获得单元，所述第十三获得单元用于基于对所述多关联指数进行筛选，获得关联指数大于所述第一预设关联指数的N个关联指数，其中，N大于1且小于等于所述多关联指数的总数量；

第一操作单元，所述第一操作单元用于将所述N个关联指数对应的属性信息作为所述温度变化预测模型的输入信息。

7.一种提高温度测量精度的装置，所述装置用于实现如权利要求1所述的方法，所述装置包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其中，所述处理器执行所述程序时实现权利要求1-5任一项所述方法的步骤。

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