CN113351987B - 一种面板的激光修复方法和激光修复装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 230000008439 repair process Effects 0.000 claims abstract description 257
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 189
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 20
- 238000010923 batch production Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000003203 everyday effect Effects 0.000 description 2
- 230000035876 healing Effects 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0626—Energy control of the laser beam
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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Abstract
本发明公开了一种面板的激光修复方法和激光修复装置。该激光修复方法包括在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试;获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;将各测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与标准修复图案最接近的测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;按照目标激光能量值调节激光能量,对所述面板执行激光修复。本发明解决了现有面板缺陷修复时激光能量值不稳定的问题,不仅能自动调节激光能量值,确保批量生产时激光修复的良率,还能节省人工调节工序,降低调校难度,提高批量修复的效率。
Description
技术领域
本发明实施例涉及激光加工技术领域,尤其涉及一种面板的激光修复方法和激光修复装置。
背景技术
在平板显示面板制造过程中,修复对于良率提升起着非常重要的作用,因此各个工程段都会进行修复,而选用激光是一个常见的修复手段。由于薄膜晶体管或低温多晶硅基板异常,会导致点类和线类不良,在液晶面板成盒或者OLED面板封装后,此类不良只能通过激光透过基板(一般为玻璃基板),对薄膜晶体管或低温多晶硅线路进行加工,利用电路的原理对点类不良与线类不良进行修复。
现有的激光修复设备使用的狭缝尺寸、激光光波类型基本固定,通常是利用激光衰减器调节激光的能量,以达到当前生产条件下的最佳的激光能量值,实现最优的修复效果。然而,由于激光衰减器长时间工作能量值会发生变化,批量生产时容易导致部分产品修复不良,降低产品良率的同时,还会增加重复修复步骤。
发明内容
本发明提供一种面板的激光修复方法和激光修复装置,以实现激光能量的自动测试和调校,确保激光修复的效果,保证批量生产时激光修复的良率。
第一方面,本发明实施例提供了一种面板的激光修复方法,包括:
在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试;
获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;
将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;
按照所述目标激光能量值调节激光能量,对所述面板执行激光修复。
可选地,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,包括:
在标准激光能量范围内以预设阶梯值和预设数量,设置激光能量值数列,并按照所述激光能量值数列,在面板的所述激光测试区的不同位置处分别进行激光修复测试。
可选地,将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比之前,还包括:
获取所述标准修复图案,所述标准修复图案为使用最佳激光能量值成功修复预设面板所形成的修复图案。
可选地,获取在预设的灰度差范围内与所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值之前,还包括:
确定是否存在与所述标准修复图案在预设的灰度差范围内的所述测试修复图案;
若是,获取在预设的灰度差范围内所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;
若否,启动报警程序。
可选地,将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比之前,还包括:
将各所述测试修复图案和所述标准修复图案转换为灰度图像;
将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,包括:
确定和对比所述测试修复图案和所述标准修复图案的灰度值。
可选地,预设的灰度差范围为小于或等于20%。
可选地,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试之前,还包括:
设置激光修复测试参数,所述激光修复测试参数包括激光能量值上下限、激光能量值梯度、激光波长、激光狭缝尺寸、激光修复坐标、激光对焦高度值、镜头倍镜类型、数据保存期限中的至少一种;
在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,包括:
以所述激光修复测试参数,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试。
可选地,所述激光修复测试参数还包括自动测试时间周期;
以所述激光修复测试参数,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,包括:
按照所述自动测试时间周期,自动在所述面板上设置的所述激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试。
可选地,所述激光测试区位于所述面板的非有效显示区域。
第二方面,本发明实施例还提供了一种激光修复装置,包括:
激光修复模块,用于在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,还用于按照目标激光能量值调节激光能量,对所述面板执行激光修复;
图像采集模块,用于获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;
图像对比模块,用于将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值。
本发明实施例中,通过在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试;然后获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;接着,将所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;最后按照所述目标激光能量值调节激光能量,对待修复面板执行激光修复,可以在实际进行面板缺陷修复之前,自动进行激光能量的测试以及调节,确定较优的激光能量值以进行实际的激光修复。本发明实施例解决了现有面板缺陷修复时激光能量值不稳定的问题,不仅能够自动调节激光能量值,确保激光修复的效果,减少重复的修复步骤,保证批量生产时激光修复的良率,还能节省人工调节工序,降低调校难度,提高批量修复的效率。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种面板的激光修复方法的流程图;
图2是本发明实施例提供的一种激光修复装置的结构示意图;
图3是本发明实施例提供的测试修复图案与标准修复图案的灰度值对比示意图;
图4是本发明实施例提供的一种激光修复装置的交互界面示意图;
其中,100-激光修复装置,10-激光修复模块,20-图像采集模块,30-图像对比模块。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
图1是本发明实施例提供的一种面板的激光修复方法的流程图,图2是本发明实施例提供的一种激光修复装置的结构示意图,参考图1和图2,首先,本发明实施例提供的面板的激光修复方法由该激光修复装置执行,其具体可包括:
S110、在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试;
其中,面板为平板显示面板,其在制造过程中容易产生点类不良或线类不良,需要进行激光修复,使点类缺陷熔融或者使线类缺陷熔断等,改善面板缺陷。本实施例中的激光修复方法需要在显示面板中预留激光测试区,以在对面板显示区域的缺陷进行激光修复之前,进行激光能量值的测试调校。可选地,该激光测试区设置在显示面板的非有效显示区域,此时激光能量值的测试过程不会影响显示面板有效显示区域的结构。并且,由于激光测试区直接设置在显示面板上,能够在测试完成后直接对显示区域的缺陷进行修复,无需单独增加测试面板,在完成测试调校后也无需设置更换步骤,相当于实现了激光能量的在线调校和显示面板的在线修复。
该步骤实质是以不同的激光能量值对激光进行测试的过程,主要由激光修复装置100中的激光修复模块10实现。本领域技术人员可以理解,激光修复模块10应包括激光发生器、激光衰减器以及控制激光衰减器调节激光能量值的控制器等,其中激光衰减器负责将激光发生器出射的激光的能量进行调节,以保证激光束以不同激光能量值照射在面板激光测试区的不同位置处进行修复测试。此外,激光修复模块10中还应设置包括用于调节激光出射方向的控制器,以将激光束照射在面板激光测试区的不同位置。该步骤利用激光修复模块10,按照不同的激光能量值将激光照射在面板的激光测试区上进行测试修复,能够在激光测试区上获得不同激光能量值的激光修复图案。
S120、获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;
该步骤为图像获取过程,主要由激光修复装置100中的图像采集模块20执行。该图像采集模块20可包括图像传感器或者由图像传感器组成的相机等。该步骤中采集获得的图像可以是彩色图像,也可以是灰度图像,取决于图像采集模块20的图像采集标准。一般地,为了同时方便用户的观看,可选图像采集模块20为彩色图像采集模块。
S130、将各测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与标准修复图案最接近的测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;
在解释该步骤的实质含义之前,首先需要说明的是,本实施例的激光修复方法目的在于在实际的激光修复之前,利用激光修复装置100的相关硬件以及计算机软件,自动对激光的能量值进行测试,并自动调节激光能量值至最佳激光能量值附近的一定范围内,达到与最佳激光能量值相当的水平,以此进行实际的激光修复,避免激光能量值与最佳值差异过大而影响激光修复效果。在测试完成之前,激光修复装置100自身无法获知最佳的激光能量值。
该步骤由激光修复装置100中的图像对比模块30执行,其实质为软件程序,由计算机软件进行虚拟的图像对比。首先,图案的灰度值对比是指测试修复图案和标准修复图案均存在图像灰度值,图像灰度值一定程度上可以代表激光的修复效果,相近的图像灰度值表示形成该图像对应的激光修复时的激光能量值相近。该步骤则实质是以灰度值的近似程度来确定满足要求的且最接近标准修复图案的测试修复图案,以便以该测试修复图案对应的激光能量值进行实际的面板缺陷修复。
图3是本发明实施例提供的测试修复图案与标准修复图案的灰度值对比示意图,如图3所示左边对应的五个测试修复图案分别为采用不同等级的激光能量值形成的修复图案,右边的图案为标准修复图案,即采用最佳激光能量值成功修复面板形成的修复图案,测试修复图案和标准修复图案实质上均为激光照射形成的光斑图像。通过软件的灰度值对比可知,左边第三个测试修复图案与右边的标准修复图案的灰度值最接近,因此,可确定第三个测试修复图案所对应的激光能量值或激光能量等级,与最佳激光能量值最接近,该第三个测试修复图案对应的激光能量值即为目标激光能量值,可用于后续待修复面板的修复。
需要说明的是,在上述步骤S130之前,本发明实施例提供的面板的激光修复方法还应包括:获取标准修复图案,标准修复图案为使用最佳激光能量值成功修复预设面板所形成的修复图案。可以理解,本实施例在步骤S130中进行灰度值对比,其前提是需要预先获得标准修复图案,该标准修复图案为在已知最佳激光能量值时,提前按照该最佳激光能量值成功修复后所采集的修复图案。此时的修复图案为标准修复图案,可用作本实施例步骤S130的灰度值对比标准。获取标准修复图案的步骤,可以是在整个激光能量调校之前,也可以是只在首次激光能量调校之前。对应地,激光修复装置中可以设置存储模块,用于存储标准修复图案,在每次激光能量调校时读取该标准修复图案以进行灰度值对比。此外,存储模块也可以用于存储每次调校激光能量时不同激光能量值对应的测试修复图案。
S140、按照目标激光能量值调节激光能量,对面板执行激光修复。
其中,目标激光能量值为实际将要在面板显示区域进行缺陷修复所采用的激光能量值,由上述步骤S130可知,该目标激光能量值为预设灰度值范围内灰度值与标准修复图案最接近的测试修复图案对应的激光能量值,也即,该目标激光能量值在测试的多个激光能量值中最接近形成标准修复图案的最佳激光能量值,通过合理设置灰度值范围,能够保证目标激光能量值不仅最接近最佳激光能量值,还能保证其实际的修复效果在最佳修复效果允许的范围附近,以该目标激光能量值进行实际修复时能够保证激光修复效果。
本发明实施例中,通过在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试;然后获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;接着,将各测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与标准修复图案最接近的测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;最后按照目标激光能量值调节激光能量,对面板执行激光修复,可以在实际进行面板缺陷修复之前,自动进行激光能量的测试以及调节,确定较优的激光能量值以进行实际的激光修复。本发明实施例解决了现有缺陷修复所适用的激光能量值不稳定的问题,不仅能够自动调节激光能量值,确保激光修复的效果,减少重复的修复步骤,保证批量生产时激光修复的良率,还能节省人工调节工序,降低调校难度,提高批量修复的效率。
可选地,步骤S110、在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,可具体包括:
S111、在标准激光能量范围内以预设阶梯值和预设数量,设置激光能量值数列,并按照激光能量值数列,在面板的激光测试区的不同位置处分别进行激光修复测试。
其中,标准激光能量范围是预先设置的包含最佳激光能量值的范围,该标准激光能量范围的设置由人为通过经验确定。以预设阶梯值和预设数量设置激光能量值数列,实质是在该标准激光能量范围内设置多个用于测试的激光能量值,通过测试修复图案和标准修复图案的灰度值对比,可以在多个测试的激光能量值中确定与最佳激光能量值最接近的激光能量值,以确定目标激光能量值。此外可选地,可以按照固定的阶梯值设置多个激光能量值,形成激光能量值等差数列。此时,选取的测试用的激光能量值均匀分别在标准激光能量范围内,能够增加目标激光能量值的确定几率。本领域技术人员可以理解,对于确定的目标激光能量值能否尽可能地接近最佳激光能量值,其修复效果能否与最佳修复效果相当,一定程度上取决于该激光能量值数列的设置。对于等差数列而言,其中固定的阶梯值和激光能量值数量,均会影响获得的目标激光能量值与最佳激光能量值的接近程度。
基于步骤S120获得的各测试修复图像能否落入标准修复图像的灰度差范围内存在不确定性,换言之,步骤S110中设置的不同的激光能量值能否落入最佳激光能量值的允许的范围内存在不确定性。因此,需要在步骤S130之前对其进行判定。因此,进一步地,上述激光修复方法的步骤S130中,获取在预设的灰度差范围内与标准修复图案最接近的测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值之前,还应包括:
S131、确定是否存在与标准修复图案在预设的灰度差范围内的测试修复图案;
S1321、若是,获取在预设的灰度差范围内标准修复图案最接近的测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;
S1322、若否,启动报警程序。
其中,报警程序是激光修复装置100中额外增设的报警模块,该报警程序能够在无法确定目标激光能量值时,也即无法进行后续实际的面板缺陷修复时进行报警,由工程师进行确认和设置目标激光能量值,进而执行后续实际的激光修复,通过人为干预继续修复过程。本实施例中当所有的测试修复图案都和标准修复图案具有较大的灰度差,例如灰度差都超过20%以上,此时表明预设阶梯值和预设数量阶梯定义的激光能量范围超出了目标激光能量值,这种情况可能是由于激光发射器已经损坏不足以发射出目标激光能量值,也可能是出现输出偏差,预设阶梯值和预设数量阶梯定义的激光能量范围整体高于目标激光能量值,此时需要报警并通知维护人员进行设备维护和检修。
此外如上所述,在一般情况下,由于图像采集模块20采集的图像为彩色图像,因此,在步骤S130、将各测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比之前,该激光修复方法中还需设置包括:S121、将各测试修复图案和标准修复图案转换为灰度图像。此时,步骤S130、将各测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,可具体包括:确定和对比测试修复图案和标准修复图案的灰度值。
其中,为了使得获得的激光能量值自动调节至最佳激光能量值附近的一定范围内,达到与最佳激光能量值相当的水平,可选地,上述在进行图像的灰度值对比时,预设的灰度差范围可设置小于或等于20%。此时,能够保证获得的目标激光能量值尽可能地接近最佳激光能量值,激光修复效果也尽可能相当于最优的激光修复效果,保证批量生产时激光修复的质量。
为了保证激光修复装置的人性化和交互性,本实施例中可在激光修复装置100中增加交互模块,用于获取用户输入的激光修复测试参数。图4是本发明实施例提供的一种激光修复装置的交互界面示意图,参考图4,具体地,该激光修复装置执行的激光修复方法中,步骤S110、在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试之前,还可包括:
S101、设置激光修复测试参数,激光修复测试参数包括激光能量值上下限、激光能量值梯度、激光波长、激光狭缝尺寸、激光修复坐标、激光对焦高度值、镜头倍镜类型、数据保存期限中的至少一种。
此时,步骤S110、在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,具体包括:以激光修复测试参数,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试。
为方便生产,本实施例提供的激光修复装置100可设置测试控制模块,上述的激光修复测试参数可包括自动测试时间周期。由测试控制模块按照自动测试时间周期,进行自动测试。具体地,上述步骤S101具体包括:按照自动测试时间周期,自动在面板上设置的所述激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试。
举例而言,自动测试时间周期可设置为每天,即在每天的设定时间例如早上八点,激光修复装置100会执行自动激光测试过程,以调校激光能量值。在调校完成后,进行当天的面板的批量激光修复。
基于同一发明构思,本发明实施例还提供了一种激光修复装置,继续参考图2,该激光修复装置100包括:激光修复模块10,用于在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,还用于按照目标激光能量值调节激光能量,对面板执行激光修复;图像采集模块20,用于获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;图像对比模块30,用于将各测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与标准修复图案最接近的测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为所述目标激光能量值。
该激光修复装置100中各模块的功能及其在修复过程中的执行步骤,如上实施例中所述,此处不再赘述。此外,该激光修复装置100由于可执行上述的激光修复方法,因而具备该激光修复方法相同的有益效果,此处同样不再赘述。
注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.一种面板的激光修复方法,其特征在于,包括:
在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试;
获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;
将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;
按照所述目标激光能量值调节激光能量,对面板执行激光修复。
2.根据权利要求1所述的激光修复方法,其特征在于,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,包括:
在标准激光能量范围内以预设阶梯值和预设数量,设置激光能量值数列,并按照所述激光能量值数列,在面板的所述激光测试区的不同位置处分别进行激光修复测试。
3.根据权利要求1所述的激光修复方法,其特征在于,将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比之前,还包括:
获取所述标准修复图案,所述标准修复图案为使用最佳激光能量值成功修复预设面板所形成的修复图案。
4.根据权利要求1所述的激光修复方法,其特征在于,获取在预设的灰度差范围内与所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值之前,还包括:
确定是否存在与所述标准修复图案在预设的灰度差范围内的所述测试修复图案;
若是,获取在预设的灰度差范围内所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为目标激光能量值;
若否,启动报警程序。
5.根据权利要求1所述的激光修复方法,其特征在于,将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比之前,还包括:
将各所述测试修复图案和所述标准修复图案转换为灰度图像;
将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,包括:
确定和对比所述测试修复图案和所述标准修复图案的灰度值。
6.根据权利要求5所述的激光修复方法,其特征在于,预设的灰度差范围为小于或等于20%。
7.根据权利要求1所述的激光修复方法,其特征在于,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试之前,还包括:
设置激光修复测试参数,所述激光修复测试参数包括激光能量值上下限、激光能量值梯度、激光波长、激光狭缝尺寸、激光修复坐标、激光对焦高度值、镜头倍镜类型、数据保存期限中的至少一种;
在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,包括:
以所述激光修复测试参数,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试。
8.根据权利要求7所述的激光修复方法,其特征在于,所述激光修复测试参数还包括自动测试时间周期;
以所述激光修复测试参数,在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,包括:
按照所述自动测试时间周期,自动在所述面板上设置的所述激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试。
9.根据权利要求1所述的激光修复方法,其特征在于,所述激光测试区位于所述面板的非有效显示区域。
10.一种激光修复装置,其特征在于,包括:
激光修复模块,用于在面板上设置的激光测试区的不同位置处按照不同的激光能量值进行激光修复测试,还用于按照目标激光能量值调节激光能量,对所述面板执行激光修复;
图像采集模块,用于获取各激光能量值对应形成的测试修复图案;
图像对比模块,用于将各所述测试修复图案与预先设置的标准修复图案进行灰度值对比,并获取在预设的灰度差范围内与所述标准修复图案最接近的所述测试修复图案,确定该测试修复图案对应的激光能量值为所述目标激光能量值。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110719475.6A CN113351987B (zh) | 2021-06-28 | 2021-06-28 | 一种面板的激光修复方法和激光修复装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110719475.6A CN113351987B (zh) | 2021-06-28 | 2021-06-28 | 一种面板的激光修复方法和激光修复装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113351987A CN113351987A (zh) | 2021-09-07 |
CN113351987B true CN113351987B (zh) | 2023-04-07 |
Family
ID=77536934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110719475.6A Active CN113351987B (zh) | 2021-06-28 | 2021-06-28 | 一种面板的激光修复方法和激光修复装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113351987B (zh) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102171259B1 (ko) * | 2014-06-10 | 2020-10-29 | 삼성전자 주식회사 | 크로스토크 특성을 개선하는 액정 표시 장치 |
CN104991391B (zh) * | 2015-07-30 | 2018-01-30 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示面板的修复方法 |
CN107025651B (zh) * | 2017-04-25 | 2019-06-28 | 苏州德威尔卡光电技术有限公司 | 激光清洗能量的确定方法及装置 |
CN108663374B (zh) * | 2018-05-16 | 2022-02-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示装置的测试方法、测试装置和测试系统 |
CN109676135A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-04-26 | 大连理工大学 | 一种激光增材制造视觉灰度值差异在线监测与缺陷修复装置 |
CN112038267B (zh) * | 2020-09-21 | 2024-02-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种激光能量的调节装置 |
-
2021
- 2021-06-28 CN CN202110719475.6A patent/CN113351987B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113351987A (zh) | 2021-09-07 |
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PB01 | Publication | ||
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