CN113351446A - 一种用于gbg结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，包括滑动机体，所述滑动机体的底部开设有与超导太赫兹辐射源和衬底的组合体形状相匹配的涂胶槽，所述涂胶槽的底部从前至后依次固定安装有涂胶机构、塑形机构、抚平机构和吹气口。一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，涂胶机构的吸气头在前进过程中对涂抹轮位置的气体抽出，使涂抹轮在接近真空的环境下涂抹，以减少气泡的产生，而抽出的气体在抽气泵的作用下在外气腔中传输，气流带动位于外气腔内部的风动叶片转动，带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶与超导太赫兹源之间的气泡。

Description

一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置

技术领域

本发明涉及超导太赫兹源制备领域，特别涉及一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置。

背景技术

GBG结构超导太赫兹源在制备过程中需要经过第一次解理、第一次蒸金、第一光刻、第一次离子刻蚀、翻面、第二次解理、第二次蒸金、第二次光刻、第二次离子刻蚀和引电极的步骤，在翻面的过程中，需要将绝缘胶涂抹在样品表面并盖上衬底（如图1所示）；我们实验室在进行样品表面绝缘胶涂抹时发现了一些问题，首先，由于超导太赫兹源（如图1所示）特殊的形状，需要在超导太赫兹源的五个面涂抹相同厚度的绝缘胶，同时需要五个面的绝缘胶均与超导太赫兹源紧密接触，而使用现有设备在进行绝缘胶涂抹的过程中，由于绝缘胶是胶体状态，在涂抹后盖合衬底时受力的作用无法保持其原有的形状，进而可能导致样品结构发生形变，最后现有的涂抹装置在涂抹的过程中极易在绝缘胶与样品连接部位产生微小气泡，在加热后气泡体积变大也会引起样品结构发生形变，利用现有技术无法解决该问题，为此我们提出一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，通过设置的涂胶机构、塑形机构和抚平机构配合使用，涂胶机构的吸气头在前进过程中对涂抹轮位置的气体抽出，使涂抹轮在接近真空的环境下涂抹，以减少气泡的产生，而抽出的气体在抽气泵的作用下在外气腔中传输，气流带动位于外气腔内部的风动叶片转动，风动叶片通过传动杆与一号锥齿轮传动，而一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合，二号锥齿轮带动凸轮转动，从而带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶与超导太赫兹源之间的气泡；通过设置的涂胶槽与超导太赫兹源的形状相匹配，涂胶机构、塑形机构和抚平机构的形状均与超导太赫兹源的形状相匹配，这样在抽气、塑形和涂胶过程中，可使绝缘胶均匀的涂抹在太赫兹辐射源的表面，而在涂胶槽的尾端两侧均匀设置有吹气口，外气腔内传输的气体通过加热器的加热有吹气口吹出，将两侧面的绝缘胶开始逐渐固化，而上侧的绝缘胶保持胶体状态，这样防止在盖上层衬底时，因为用力不均匀导致绝缘胶发生变形，起到保护样品的作用，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：本发明的客体是一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置。

一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，包括滑动机体，所述滑动机体的底部滚动连接有底轮，所述滑动机体的上方固定安装有推把，所述滑动机体的底部开设有与超导太赫兹辐射源和衬底的组合体形状相匹配的涂胶槽，所述滑动机体的上表面固定安装有气泵和加热器，所述气泵的输出端与加热器连接，所述涂胶槽的底部从前至后依次固定安装有涂胶机构、塑形机构、抚平机构和吹气口。

本发明进一步的改进在于，所述涂胶机构的形状与超导太赫兹辐射源匹配，所述涂胶机构的外侧固定安装有外罩，所述外罩的背对塑形机构的一侧固定安装有吸气头，所述涂胶机构的内部固定安装有滑腔，所述滑腔的内部转动连接有涂抹轮，所述吸气头的输出端与气泵连接。

通过以上结构可实现：涂胶机构、塑形机构和抚平机构的形状均与超导太赫兹源的形状相匹配，这样在抽气、塑形和涂胶过程中，可使绝缘胶均匀的涂抹在太赫兹辐射源的表面，而在涂胶槽的尾端两侧均匀设置有吹气口，外气腔内传输的气体通过加热器的加热有吹气口吹出，将两侧面的绝缘胶开始逐渐固化，而上侧的绝缘胶保持胶体状态，这样防止在盖上层衬底时，因为用力不均匀导致绝缘胶发生变形，起到保护样品的作用。

本发明进一步的改进在于，所述塑形机构的外表面固定安装有外气腔，所述外气腔的内部设置有风动叶片，所述外气腔的输入端与加热器连接，所述风动叶片随着加热器输入气流而发生转动，所述塑形机构的内侧设置有推平板，所述风动叶片的转动带动推平板上下滑动。

通过以上结构可实现：抽出的气体在抽气泵的作用下在外气腔中传输，气流带动位于外气腔内部的风动叶片转动，风动叶片通过传动杆与一号锥齿轮传动，而一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合，二号锥齿轮带动凸轮转动，从而带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶与超导太赫兹源之间的气泡。

本发明进一步的改进在于，所述推平板的底部固定安装有防粘垫，所述推平板的上表面固定安装有一号连杆，所述一号连杆的上端转动连接有连接轴，所述连接轴的端部转动连接有连接架，所述连接架的上端固定安装有凸轮，所述塑形机构的中部固定安装有限位环，所述限位环的左侧设置有二号锥齿轮，所述二号锥齿轮的中部通过连轴与凸轮固定连接。

本发明进一步的改进在于，所述风动叶片的中部固定安装有传动杆，所述传动杆的底端固定安装有一号锥齿轮，所述外气腔与塑形机构的连接处固定安装有限位套，所述传动杆与限位套活动套接，所述一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合传动。

通过以上结构可实现：抽出的气体在抽气泵的作用下在外气腔中传输，气流带动位于外气腔内部的风动叶片转动，风动叶片通过传动杆与一号锥齿轮传动，而一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合，二号锥齿轮带动凸轮转动，从而带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶与超导太赫兹源之间的气泡。

本发明进一步的改进在于，所述吹气口位于涂胶槽的内沿的两侧，所述吹气口的输入端与外气腔的输出端连接。

本发明进一步的改进在于，所述滑动机体的上表面中部固定安装有储胶箱，所述储胶箱的输出端延伸至涂胶机构的内部，所述吸气头的输入端对外罩内部进行抽气。

通过以上结构可实现：涂胶机构的吸气头在前进过程中对涂抹轮位置的气体抽出，使涂抹轮在接近真空的环境下涂抹，以减少气泡的产生。

本发明进一步的改进在于，一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，使用步骤如下：

A：将装置放置在合适使用的区域，将超导太赫兹辐射源和衬底的组合体固定在实验台面上，将实验用的精确机械臂与滑动机体上表面的推把固定连接，吸气头的输入端对外罩内部进行抽气，控制精确机械臂推动滑动机体在实验台面上滑动对超导太赫兹辐射源进行涂胶，储胶箱的输出端延伸至涂胶机构的内部向涂抹轮供胶，涂抹轮对超导太赫兹辐射源表面均匀涂抹绝缘胶；

B：在完成A步骤后，涂胶机构的吸气头在前进过程中对涂抹轮位置的气体抽出，使涂抹轮在接近真空的环境下涂抹，以减少气泡的产生，而抽出的气体在抽气泵的作用下在外气腔中传输，气流带动位于外气腔内部的风动叶片转动，风动叶片通过传动杆与一号锥齿轮传动，而一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合，二号锥齿轮带动凸轮转动，凸轮通过连接架、连接轴和一号连杆带动推平板上下运动，从而带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶与超导太赫兹源之间的气泡；

C：在完成B步骤的同时，涂胶机构、塑形机构和抚平机构的形状均与超导太赫兹辐射源的形状相匹配，这样在抽气、塑形和涂胶过程中，可使绝缘胶均匀的涂抹在超导太赫兹辐射源的表面，而在涂胶槽的尾端两侧均匀设置有吹气口，外气腔内传输的气体通过加热器的加热有吹气口吹出，将两侧面的绝缘胶开始逐渐固化，而上侧的绝缘胶保持胶体状态，这样防止在盖上层衬底时，因为用力不均匀导致绝缘胶发生变形，起到保护样品的作用；

D：在完成C步骤后，盖上上层的衬板后进行下一步操作。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、通过设置的涂胶机构、塑形机构和抚平机构配合使用，涂胶机构的吸气头在前进过程中对涂抹轮位置的气体抽出，使涂抹轮在接近真空的环境下涂抹，以减少气泡的产生，而抽出的气体在抽气泵的作用下在外气腔中传输，气流带动位于外气腔内部的风动叶片转动，风动叶片通过传动杆与一号锥齿轮传动，而一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合，二号锥齿轮带动凸轮转动，从而带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶与超导太赫兹源之间的气泡，具有较好的实用性和创造性。

2、通过设置的涂胶槽与超导太赫兹源的形状相匹配，涂胶机构、塑形机构和抚平机构的形状均与超导太赫兹辐射源的形状相匹配，这样在抽气、塑形和涂胶过程中，可使绝缘胶均匀的涂抹在超导太赫兹辐射源的表面，而在涂胶槽的尾端两侧均匀设置有吹气口，外气腔内传输的气体通过加热器的加热有吹气口吹出，将两侧面的绝缘胶开始逐渐固化，而上侧的绝缘胶保持胶体状态，这样防止在盖上层衬底时，因为用力不均匀导致绝缘胶发生变形，起到保护样品的作用，具有较好的实用性和创造性。

附图说明

图1为本发明一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置的涂抹成品示意图。

图2为本发明一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置的整体结构示意图。

图3为本发明一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置的涂胶机构的内部示意图。

图4为本发明一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置的结构爆炸示意图。

图5为本发明一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置的塑形机构的内部示意图。

图6为本发明一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置的凸轮与推平板连接示意图。

图中：1、衬底；2、超导太赫兹辐射源；3、绝缘胶；4、滑动机体；5、底轮；6、气泵；7、加热器；8、推把；9、储胶箱；10、涂胶槽；11、涂胶机构；12、塑形机构；13、抚平机构；14、吹气口；1101、吸气头；1102、滑腔；1103、涂抹轮；1104、外罩；1201、外气腔；1202、风动叶片；1203、传动杆；1204、限位套；1205、一号锥齿轮；1206、二号锥齿轮；1207、限位环；1208、凸轮；1209、连接架；1210、一号连杆；1211、推平板；1212、防粘垫；1213、连接轴。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“一号”、“二号”、“三号”、“四号”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例1

如图2-6所示，一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶（3）涂抹装置，用于对图1所示的超导太赫兹辐射源（2）进行涂胶作业，包括滑动机体（4），滑动机体（4）的底部滚动连接有底轮（5），滑动机体（4）的上方固定安装有推把（8），滑动机体（4）的底部开设有与超导太赫兹辐射源（2）和衬底（1）的组合体形状相匹配的涂胶槽（10），滑动机体（4）的上表面固定安装有气泵（6）和加热器（7），气泵（6）的输出端与加热器（7）连接，涂胶槽（10）的底部从前至后依次固定安装有涂胶机构（11）、塑形机构（12）、抚平机构（13）和吹气口（14）。

在本实施例中，涂胶机构（11）的形状与超导太赫兹辐射源（2）匹配，涂胶机构（11）的外侧固定安装有外罩（1104），外罩（1104）的背对塑形机构（12）的一侧固定安装有吸气头（1101），涂胶机构（11）的内部固定安装有滑腔（1102），滑腔（1102）的内部转动连接有涂抹轮（1103），吸气头（1101）的输出端与气泵（6）连接。

在本实施例中，塑形机构（12）的外表面固定安装有外气腔（1201），外气腔（1201）的内部设置有风动叶片（1202），外气腔（1201）的输入端与加热器（7）连接，风动叶片（1202）随着加热器（7）输入气流而发生转动，塑形机构（12）的内侧设置有推平板（1211），风动叶片（1202）的转动带动推平板（1211）上下滑动。

在本实施例中，推平板（1211）的底部固定安装有防粘垫（1212），推平板（1211）的上表面固定安装有一号连杆（1210），一号连杆（1210）的上端转动连接有连接轴（1213），连接轴（1213）的端部转动连接有连接架（1209），连接架（1209）的上端固定安装有凸轮（1208），塑形机构（12）的中部固定安装有限位环（1207），限位环（1207）的左侧设置有二号锥齿轮（1206），二号锥齿轮（1206）的中部通过连轴与凸轮（1208）固定连接。

在本实施例中，风动叶片（1202）的中部固定安装有传动杆（1203），传动杆（1203）的底端固定安装有一号锥齿轮（1205），外气腔（1201）与塑形机构（12）的连接处固定安装有限位套（1204），传动杆（1203）与限位套（1204）活动套接，一号锥齿轮（1205）与二号锥齿轮（1206）啮合传动。

在本实施例中，吹气口（14）位于涂胶槽（10）的内沿的两侧，吹气口（14）的输入端与外气腔（1201）的输出端连接。

在本实施例中，滑动机体（4）的上表面中部固定安装有储胶箱（9），储胶箱（9）的输出端延伸至涂胶机构（11）的内部，吸气头（1101）的输入端对外罩（1104）内部进行抽气。

通过本实施例可实现：通过设置的涂胶机构（11）、塑形机构（12）和抚平机构（13）配合使用，涂胶机构（11）的吸气头（1101）在前进过程中对涂抹轮（1103）位置的气体抽出，使涂抹轮（1103）在接近真空的环境下涂抹，以减少气泡的产生，而抽出的气体在抽气泵（6）的作用下在外气腔（1201）中传输，气流带动位于外气腔（1201）内部的风动叶片（1202）转动，风动叶片（1202）通过传动杆（1203）与一号锥齿轮（1205）传动，而一号锥齿轮（1205）与二号锥齿轮（1206）啮合，二号锥齿轮（1206）带动凸轮（1208）转动，从而带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶（3）与超导太赫兹源之间的气泡。

实施例2

如图2-6所示，一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶（3）涂抹装置，用于对图1所示的超导太赫兹辐射源（2）进行涂胶作业，包括滑动机体（4），滑动机体（4）的底部滚动连接有底轮（5），滑动机体（4）的上方固定安装有推把（8），滑动机体（4）的底部开设有与超导太赫兹辐射源（2）和衬底（1）的组合体形状相匹配的涂胶槽（10），滑动机体（4）的上表面固定安装有气泵（6）和加热器（7），气泵（6）的输出端与加热器（7）连接，涂胶槽（10）的底部从前至后依次固定安装有涂胶机构（11）、塑形机构（12）、抚平机构（13）和吹气口（14）。

在本实施例中，涂胶机构（11）的形状与超导太赫兹辐射源（2）匹配，涂胶机构（11）的外侧固定安装有外罩（1104），外罩（1104）的背对塑形机构（12）的一侧固定安装有吸气头（1101），涂胶机构（11）的内部固定安装有滑腔（1102），滑腔（1102）的内部转动连接有涂抹轮（1103），吸气头（1101）的输出端与气泵（6）连接。

在本实施例中，塑形机构（12）的外表面固定安装有外气腔（1201），外气腔（1201）的内部设置有风动叶片（1202），外气腔（1201）的输入端与加热器（7）连接，风动叶片（1202）随着加热器（7）输入气流而发生转动，塑形机构（12）的内侧设置有推平板（1211），风动叶片（1202）的转动带动推平板（1211）上下滑动。

在本实施例中，推平板（1211）的底部固定安装有防粘垫（1212），推平板（1211）的上表面固定安装有一号连杆（1210），一号连杆（1210）的上端转动连接有连接轴（1213），连接轴（1213）的端部转动连接有连接架（1209），连接架（1209）的上端固定安装有凸轮（1208），塑形机构（12）的中部固定安装有限位环（1207），限位环（1207）的左侧设置有二号锥齿轮（1206），二号锥齿轮（1206）的中部通过连轴与凸轮（1208）固定连接。

在本实施例中，风动叶片（1202）的中部固定安装有传动杆（1203），传动杆（1203）的底端固定安装有一号锥齿轮（1205），外气腔（1201）与塑形机构（12）的连接处固定安装有限位套（1204），传动杆（1203）与限位套（1204）活动套接，一号锥齿轮（1205）与二号锥齿轮（1206）啮合传动。

在本实施例中，吹气口（14）位于涂胶槽（10）的内沿的两侧，吹气口（14）的输入端与外气腔（1201）的输出端连接。

在本实施例中，滑动机体（4）的上表面中部固定安装有储胶箱（9），储胶箱（9）的输出端延伸至涂胶机构（11）的内部，吸气头（1101）的输入端对外罩（1104）内部进行抽气。

通过本实施例可实现：通过设置的涂胶槽（10）与超导太赫兹辐射源（2）的形状相匹配，涂胶机构（11）、塑形机构（12）和抚平机构（13）的形状均与超导太赫兹辐射源（2）的形状相匹配，这样在抽气、塑形和涂胶过程中，可使绝缘胶（3）均匀的涂抹在超导太赫兹辐射源（2）的表面，而在涂胶槽（10）的尾端两侧均匀设置有吹气口（14），外气腔（1201）内传输的气体通过加热器（7）的加热有吹气口（14）吹出，将两侧面的绝缘胶（3）开始逐渐固化，而上侧的绝缘胶（3）保持胶体状态，这样防止在盖上层衬底（1）时，因为用力不均匀导致绝缘胶（3）发生变形，起到保护样品的作用，具有较好的实用性和创造性。

需要说明的是，本发明为一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶（3）涂抹装置，在使用时，首先，将装置放置在合适使用的区域，将超导太赫兹辐射源（2）和衬底（1）的组合体固定在实验台面上，将实验用的精确机械臂与滑动机体（4）上表面的推把（8）固定连接，吸气头（1101）的输入端对外罩（1104）内部进行抽气，控制精确机械臂推动滑动机体（4）在实验台面上滑动对超导太赫兹辐射源（2）进行涂胶，储胶箱（9）的输出端延伸至涂胶机构（11）的内部向涂抹轮（1103）供胶，涂抹轮（1103）对超导太赫兹辐射源（2）表面均匀涂抹绝缘胶（3），其次，涂胶机构（11）的吸气头（1101）在前进过程中对涂抹轮（1103）位置的气体抽出，使涂抹轮（1103）在接近真空的环境下涂抹，以减少气泡的产生，而抽出的气体在抽气泵（6）的作用下在外气腔（1201）中传输，气流带动位于外气腔（1201）内部的风动叶片（1202）转动，风动叶片（1202）通过传动杆（1203）与一号锥齿轮（1205）传动，而一号锥齿轮（1205）与二号锥齿轮（1206）啮合，二号锥齿轮（1206）带动凸轮（1208）转动，凸轮（1208）通过连接架（1209）、连接轴（1213）和一号连杆（1210）带动推平板（1211）上下运动，从而带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶（3）与超导太赫兹源之间的气泡，然后，涂胶机构（11）、塑形机构（12）和抚平机构（13）的形状均与超导太赫兹辐射源（2）的形状相匹配，这样在抽气、塑形和涂胶过程中，可使绝缘胶（3）均匀的涂抹在超导太赫兹辐射源（2）的表面，而在涂胶槽（10）的尾端两侧均匀设置有吹气口（14），外气腔（1201）内传输的气体通过加热器（7）的加热有吹气口（14）吹出，将两侧面的绝缘胶（3）开始逐渐固化，而上侧的绝缘胶（3）保持胶体状态，这样防止在盖上层衬底（1）时，因为用力不均匀导致绝缘胶（3）发生变形，起到保护样品的作用，最后，盖上上层的衬板后进行下一步操作。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，包括滑动机体，所述滑动机体的底部滚动连接有底轮，所述滑动机体的上方固定安装有推把，其特征在于：所述滑动机体的底部开设有与超导太赫兹辐射源和衬底的组合体形状相匹配的涂胶槽，所述滑动机体的上表面固定安装有气泵和加热器，所述气泵的输出端与加热器连接，所述涂胶槽的底部从前至后依次固定安装有涂胶机构、塑形机构、抚平机构和吹气口。

2.根据权利要求1所述的一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，其特征在于：所述涂胶机构的形状与超导太赫兹辐射源匹配，所述涂胶机构的外侧固定安装有外罩，所述外罩的背对塑形机构的一侧固定安装有吸气头，所述涂胶机构的内部固定安装有滑腔，所述滑腔的内部转动连接有涂抹轮，所述吸气头的输出端与气泵连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，其特征在于：所述塑形机构的外表面固定安装有外气腔，所述外气腔的内部设置有风动叶片，所述外气腔的输入端与加热器连接，所述风动叶片随着加热器输入气流而发生转动，所述塑形机构的内侧设置有推平板，所述风动叶片的转动带动推平板上下滑动。

4.根据权利要求3所述的一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，其特征在于：所述推平板的底部固定安装有防粘垫，所述推平板的上表面固定安装有一号连杆，所述一号连杆的上端转动连接有连接轴，所述连接轴的端部转动连接有连接架，所述连接架的上端固定安装有凸轮，所述塑形机构的中部固定安装有限位环，所述限位环的左侧设置有二号锥齿轮，所述二号锥齿轮的中部通过连轴与凸轮固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，其特征在于：所述风动叶片的中部固定安装有传动杆，所述传动杆的底端固定安装有一号锥齿轮，所述外气腔与塑形机构的连接处固定安装有限位套，所述传动杆与限位套活动套接，所述一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合传动。

6.根据权利要求1所述的一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，其特征在于：所述吹气口位于涂胶槽的内沿的两侧，所述吹气口的输入端与外气腔的输出端连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，其特征在于：所述滑动机体的上表面中部固定安装有储胶箱，所述储胶箱的输出端延伸至涂胶机构的内部，所述吸气头的输入端对外罩内部进行抽气。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种用于GBG结构超导太赫兹源制备的绝缘胶涂抹装置，其特征在于：使用步骤如下：

A：将装置放置在合适使用的区域，将超导太赫兹辐射源和衬底的组合体固定在实验台面上，将实验用的精确机械臂与滑动机体上表面的推把固定连接，吸气头的输入端对外罩内部进行抽气，控制精确机械臂推动滑动机体在实验台面上滑动对超导太赫兹辐射源进行涂胶，储胶箱的输出端延伸至涂胶机构的内部向涂抹轮供胶，涂抹轮对超导太赫兹辐射源表面均匀涂抹绝缘胶；

B：在完成A步骤后，涂胶机构的吸气头在前进过程中对涂抹轮位置的气体抽出，使涂抹轮在接近真空的环境下涂抹，以减少气泡的产生，而抽出的气体在抽气泵的作用下在外气腔中传输，气流带动位于外气腔内部的风动叶片转动，风动叶片通过传动杆与一号锥齿轮传动，而一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合，二号锥齿轮带动凸轮转动，凸轮通过连接架、连接轴和一号连杆带动推平板上下运动，从而带动退平板在胶体表面均匀拍打，使胶体与超导太赫兹源连接紧密，有效减少在涂抹过程中绝缘胶与超导太赫兹源之间的气泡；

C：在完成B步骤的同时，涂胶机构、塑形机构和抚平机构的形状均与超导太赫兹辐射源的形状相匹配，这样在抽气、塑形和涂胶过程中，可使绝缘胶均匀的涂抹在超导太赫兹辐射源的表面，而在涂胶槽的尾端两侧均匀设置有吹气口，外气腔内传输的气体通过加热器的加热有吹气口吹出，将两侧面的绝缘胶开始逐渐固化，而上侧的绝缘胶保持胶体状态，这样防止在盖上层衬底时，因为用力不均匀导致绝缘胶发生变形，起到保护样品的作用；

D：在完成C步骤后，盖上上层的衬板后进行下一步操作。

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