CN113323512A

CN113323512A - 版盒解锁装置及掩模传输版库设备

Info

Publication number: CN113323512A
Application number: CN202010130780.7A
Authority: CN
Inventors: 吴芬; 姜杰; 向军; 庞飞; 郝凤龙
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2020-02-28
Filing date: 2020-02-28
Publication date: 2021-08-31
Anticipated expiration: 2040-02-28
Also published as: CN113323512B

Abstract

本发明提供了一种版盒解锁装置及掩模传输版库设备，版盒解锁装置，包括驱动机构、连杆机构和解锁销钉；驱动机构包括电机和偏心转轮，电机通过偏心转轮偏心连接连杆机构；连杆机构包括若干传动杆和若干解锁杆，解锁杆分别和与其对应设置的传动杆相铰接，偏心转轮和其中一传动杆相连，每一解锁杆上均安装有一解锁销钉；驱动机构用于驱动连杆机构作往复运动，进而带动解锁销钉对版盒进行解锁和关锁；连杆机构与驱动机构之间满足如下关系：

本发明可以保证在非解锁工位断伺服后，版盒解锁装置能够自动恢复至关锁工位，防止版盒在断伺服工况下跌落损伤，提高了外部版库加载掩模版的安全性。

Description

版盒解锁装置及掩模传输版库设备

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种版盒解锁装置及掩模传输版库设备。

背景技术

光刻设备是一种将掩模版上的图案曝光成像到硅片或玻璃基板上的设备，掩模版需要传输到运动台上进行曝光，外部版库是物料与光刻设备的接口，对于昂贵的掩模版来说，与物料的接口设计尤为重要。

在光刻半导体技术领域中，通常使用版盒来存储与保护掩模版，目前常用的6寸掩模版版盒类型有NIKON版盒、CANON和SMIF版盒三种。

不论何种类型的版盒均包括罩壳及基体，而基体又包括底板与设置在底板上的版架，罩壳通过与底板锁定对版架进行密封保护，版架用于存放掩模版。与之对应的，存放、解锁版盒的版库一般有一个垂向升降模组，在版盒罩壳与版盒基体解锁后，通过垂向升降模组实现版盒罩壳部分与版盒基体部分的分离。

外部版库是工厂自动化过程中的物料接口，用户将带有掩模版的版盒支撑板放置在外部版库上，在正常的操作流程中，外部版库检测到版盒后，进而开锁版盒，垂向运动至交接位，从而机械手可以顺利的取走掩模版。

在掩模传输系统中，掩模版版盒解锁装置负责掩模版的取放操作，现有的掩模版版盒解锁装置容易导致版盒在断伺服工况下跌落损伤，影响了掩模版取放的安全性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种版盒解锁装置及掩模传输版库设备，可以提高外部版库加载掩模版的安全性。

为达到上述目的，本发明提供一种版盒解锁装置，包括驱动机构、连杆机构和解锁销钉；

所述驱动机构包括电机和偏心转轮，所述电机通过所述偏心转轮偏心连接所述连杆机构；

所述连杆机构包括设置于同一平面上的若干传动杆和若干解锁杆，所述解锁杆分别和与其对应设置的所述传动杆相铰接，任意相邻的两根所述传动杆之间相互铰接，所述偏心转轮和其中一所述传动杆相连，每一所述解锁杆上均安装有一所述解锁销钉；

所述驱动机构用于驱动所述连杆机构作往复运动，进而带动所述解锁销钉对版盒进行解锁和关锁；

所述连杆机构与所述驱动机构之间满足如下关系：

其中，n为解锁销钉的个数，F₁为所述版盒的锁栓预紧力，L₁为所述解锁杆的驱动力臂，L₂为所述解锁杆的解锁力臂，h为所述偏心转轮的偏心距，M_阻为所述驱动机构的起始阻力。

可选的，所述版盒解锁装置还包括安全挡片，所述安全挡片用于在所述版盒处于未解锁状态时承托所述版盒的版盒底座，所述安全挡片与所述连杆机构相连，在所述驱动机构的作用下，所述连杆机构能够带动所述安全挡片靠近和远离所述版盒底座。

可选的，所述版盒解锁装置还包括用于承载版盒的版盒盖的承载法兰，所述承载法兰安装于所述连杆机构的上方，所述承载法兰上设有与所述解锁销钉相配合的限位孔，所述解锁销钉能够在所述限位孔内往复移动。

可选的，所述承载法兰上设有用于放置版盒盖的凹槽，所述凹槽的底部设有与所述版盒底座相配合的通孔。

可选的，所述偏心转轮包括第一转轮和第二转轮，所述第一转轮的一端与所述电机的转轴同轴连接，所述第一转轮的另一端与所述第二转轮偏心连接；所述驱动机构还包括第三转轮，所述第三转轮与所述第二转轮偏心连接，所述第二转轮位于所述第一转轮和所述第三转轮之间。

可选的，所述解锁装置还包括第一工位传感器和第二工位传感器，所述第一工位传感器用于检测所述驱动机构是否运动至关锁工位，所述第二工位传感器用于检测所述驱动机构是否运动至解锁工位。

可选的，所述驱动机构还包括挡板以及与所述挡板相配合的限位件，所述挡板与所述电机的转轴相连，在所述挡板和所述限位件的作用下，所述电机能够驱动所述偏心转轮往返作180°旋转运动。

可选的，所述驱动机构还包括与所述电机的壳体相连的缓冲件，所述缓冲件用于防止所述挡板与所述限位件之间发生碰撞。

可选的，与所述偏心转轮相连的所述传动杆上设有一连接件，所述偏心转轮与所述连接件相连。

可选的，所述连接件上设有与所述偏心转轮相配合的卡口，所述卡口的开口朝向所述偏心转轮所在位置，所述偏心转轮与所述卡口的两侧壁相连。

可选的，所述连杆机构包括依次相连的第一传动杆、第二传动杆、第三传动杆和第四传动杆，以及依次设置的第一解锁杆、第二解锁杆、第三解锁杆和第四解锁杆，所述第一传动杆与所述第四传动杆之间平行设置，所述第一解锁杆和所述第二解锁杆均与所述第一传动杆相铰接，所述第三传动杆与所述第四传动杆之间通过所述第三解锁杆相铰接，所述第四解锁杆与所述第四传动杆相铰接。

可选的，所述第一解锁杆、第二解锁杆和第四解锁杆均为L型结构，所述第一解锁杆、所述第二解锁杆和所述第四解锁杆均包括相连的第一杆体和第二杆体，所述解锁销钉安装于所述第一杆体上，所述第一杆体和所述第二杆体的连接处设有第一铰链，所述第二杆体上设有第二铰链，所述第一解锁杆和所述第二解锁杆分别通过其上的所述第二铰链与所述第一传动杆相铰接，所述第一解锁杆、第二解锁杆和第四解锁杆分别能够绕着其上的所述第一铰链旋转，所述第四解锁杆通过所述第二铰链与所述第四传动杆相连。

可选的，所述第三解锁杆包括相连的第三杆体和第四杆体，所述解锁销钉安装于所述第四杆体上，所述第三杆体为三角形结构，所述第三杆体与所述第四杆体的连接处设有第三铰链，所述第三杆体上设有第四铰链和第五铰链，所述第三解锁杆通过所述第四铰链与所述第三传动杆相铰接，并通过所述第五铰链与所述第四传动杆相铰接，所述第三解锁杆能够绕着所述第三铰链旋转。

可选的，所述第二传动杆为三角形结构，所述第二传动杆的三个边角处分别设有第六铰链、第七铰链和第八铰链，所述第二传动杆通过所述第六铰链与所述第一传动杆相铰接，并通过所述第七铰链与所述第三传动杆相铰接，所述第二传动杆能够绕着所述第八铰链旋转。

可选的，所述第一铰链与所述第二铰链之间的距离以及所述第三铰链与所述第五铰链之间的距离均等于所述第六铰链与所述第八铰链之间的距离，所述第一解锁杆、所述第二解锁杆以及所述第四解锁杆上的解锁销钉和其上的第一铰链之间的距离均与所述第三解锁杆上的解锁销钉和其上的第三铰链之间的距离相等，所述第三铰链与所述第四铰链之间的距离等于所述第七铰链与所述第八铰链之间的距离。

为达到上述目的，本发明还提供一种掩模传输版库设备，包括上文所述的版盒解锁装置。

与现有技术相比，本发明提供的版盒解锁装置及掩模传输版库设备具有以下优点：

(1)本发明提供的版盒解锁装置包括驱动机构、连杆机构和解锁销钉；其中，所述驱动机构包括电机和偏心转轮，所述电机通过所述偏心转轮偏心连接所述连杆机构；所述连杆机构包括设置于同一平面上的若干传动杆和若干解锁杆，所述解锁杆分别和与其对应设置的所述传动杆相铰接，任意相邻的两根所述传动杆之间相互铰接，所述偏心转轮和其中一所述传动杆相连，每一所述解锁杆上均安装有一所述解锁销钉；所述驱动机构用于驱动所述连杆机构作往复运动，进而带动所述解锁销钉对版盒进行解锁和关锁。由此，通过所述电机可以带动所述偏心转轮偏心旋转，偏心旋转的偏心转轮驱动与其连接的连杆机构同步运动，进而带动所述解锁销钉对版盒进行解锁或关锁。此外，由于所述连杆机构与所述驱动机构之间满足如下关系：

因此可以保证在非解锁工位断伺服后，所述版盒解锁装置能够自动恢复至关锁工位，进而可以防止版盒在断伺服工况下出现跌落损伤的问题，有效提高了外部版库加载掩模版的安全性。

(2)由于本发明提供的掩模传输版库设备包括上文所述的版盒解锁装置，由此其具有上文所述的版盒解锁装置的所有优点，即本发明提供的掩模传输版库设备可以防止版盒在断伺服工况下出现跌落损伤的问题，有效提高了掩模传输版库设备加载掩模版的安全性。

附图说明

图1为本发明一实施方式的版盒解锁装置的整体结构示意图；

图2为本发明一实施方式的版盒解锁装置中的连杆机构与驱动机构之间的连接关系结构示意图；

图3为本发明一实施方式的版盒解锁装置中的驱动机构的结构原理图；

图4为本发明第一种实施方式的版盒解锁装置的结构原理图；

图5为本发明第二种实施方式的版盒解锁装置的结构原理图；

图6为本发明第三种实施方式的版盒解锁装置的结构原理图；

图7为本发明一实施方式的版盒解锁装置中的第四解锁杆的结构示意图；

图8为本发明一实施方式的版盒解锁装置中的驱动机构位于关锁工位时的结构示意图；

图9为本发明一实施方式的版盒解锁装置中的驱动机构位于解锁工位时的结构示意图；

图10为本发明一实施方式的版盒解锁装置中的限位件的安装结构示意图；

图11为本发明一实施方式的版盒解锁装置中的承载法兰的结构示意图。

其中，附图标记如下：

解锁销钉-101，102，103，104；电机-210；第一转轮-220；第二转轮-230；第一传动杆-310；第二传动杆-320；第三传动杆-330；第四传动杆-340；第一解锁杆-410；第二解锁杆-420；第三解锁杆-430；第四解锁杆-440；安全挡片-501，502，503，504；承载法兰-600；凹槽-610；通孔-620；限位孔-630；第三转轮-240；第一工位传感器-251；第二工位传感器-252；挡板-260；限位件-270；缓冲件-280；连接件-350；卡口-351；第一杆体-411,421,441；第二杆体-412,422,442；第一铰链-413，423，443；第二铰链-414，424，444；第三杆体-431；第四杆体-432；第三铰链-433；第四铰链-434；第五铰链-435；第六铰链-321；第七铰链-322；第八铰链-323；基座-700；第一固定座-291；第二固定座-292；连接柱-710。

具体实施方式

以下结合附图1至11和具体实施方式对本发明提出的版盒解锁装置及掩模传输版库设备作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施方式的目的。为了使本发明的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本发明的核心思想在于提供一种版盒解锁装置及掩模传输版库设备，可以提高外部版库加载掩模版的安全性。

为实现上述思想，本发明提供一种版盒解锁装置，请参考图1和图2，其中图1示意性地给出了本发明一实施方式提供的版盒解锁装置的整体结构示意图，图2示意性地给出了本发明一实施方式提供的版盒解锁装置中的连杆机构与驱动机构之间的连接关系结构示意图。如图1和图2所示，所述版盒解锁装置包括驱动机构、连杆机构和解锁销钉，其中，所述解锁销钉与所述连杆机构相连，所述驱动机构用于驱动所述连杆机构作往复运动，进而带动所述解锁销钉对版盒进行解锁和关锁。如图1和图2所示，假设在所述驱动机构的作用下，所述连杆机构顺时针运动时，所述解锁销钉能够对所述版盒进行解锁；则当在所述驱动机构的作用下，所述连杆机构逆时针运动时，所述解锁销钉能够对所述版盒进行关锁。

请参考图2和图3，其中图3示意性地给出了本发明一实施方式提供的版盒解锁装置中的驱动机构的结构原理图，如图2和图3所示，所述驱动机构包括电机210和偏心转轮，所述电机210通过所述偏心转轮偏心连接所述连杆机构。由此，通过所述电机210可以带动所述偏心转轮偏心旋转，偏心旋转的偏心转轮驱动与其连接的连杆机构同步运动，进而带动所述解锁销钉对版盒进行解锁或关锁。优选的，如图1所示，为了便于所述驱动机构和连杆机构的安装，所述版盒解锁装置还包括基座700，所述驱动机构和所述连杆机构均与所述基座700相连。

优选的，如图2所示，为了便于将所述驱动机构与所述基座700相连，所述驱动机构设有第一固定座291，所述第一固定座291与所述基座700相连，所述第一固定座291上设有用于供电机210的转轴穿过的安装孔。

优选的，如图2和图3所示，所述偏心转轮包括第一转轮220和第二转轮230，所述第一转轮220的一端与所述电机210的转轴同轴连接，所述第一转轮220的另一端与所述第二转轮230偏心连接，所述连杆机构与所述第二转轮230相连。由此，通过所述电机210可以带动所述第一转轮220转动，转动的第一转轮220进而带动与其偏心连接的第二转轮230偏心旋转，偏心旋转的第二转轮230驱动与其连接的连杆机构同步运动，进而带动所述解锁销钉对版盒进行解锁或关锁。

请参考图2、图4至图6，其中图4示意性地给出了本发明第一种实施方式提供的版盒解锁装置的结构原理图，图5示意性地给出了本发明第二种实施方式提供的版盒解锁装置的结构原理图，图6示意性地给出了本发明第三种实施方式提供的版盒解锁装置的结构原理图。如图2、图4至图6所示，所述连杆机构包括设置于同一平面上的若干传动杆和若干解锁杆，所述解锁杆分别和与其对应设置的所述传动杆相铰接，任意相邻的两根所述传动杆之间相互铰接，所述偏心转轮和其中一所述传动杆相连，优选的，所述第二转轮230和其中一所述传动杆相连，每一所述解锁杆上均安装有一所述解锁销钉。由此，通过偏心旋转的第二转轮230可以带动与其相连的传动杆同步运动，进而带动其他的传动杆同步运动，运动的传动杆进而带动与其相铰接的解锁杆同步运动，运动的解锁杆从而带动安装于其上的解锁销钉对版盒进行解锁或关锁。

所述连杆机构与所述驱动机构之间满足如下关系：

其中，n为解锁销钉的个数，F₁为所述版盒的锁栓预紧力，L₁为所述解锁杆的驱动力臂，L₂为所述解锁杆的解锁力臂，h为所述偏心转轮的偏心距，优选的，h为所述第一转轮220与所述第二转轮230之间的偏心距，M_阻为所述驱动机构的起始阻力。

由于

由此，可以保证在非解锁工位断伺服后，所述版盒解锁装置能够自动恢复至关锁工位，进而可以防止版盒在断伺服工况下出现跌落损伤的问题，有效提高了外部版库加载掩模版的安全性。

优选的，与所述偏心转轮相连的所述传动杆上设有一连接件350，所述偏心转轮与所述连接件350相连。如图2、图4至图6所示，与所述偏心转轮中的所述第二转轮230相连的所述传动杆上设有一连接件350，所述第二转轮230与所述连接件350相连。由此，通过在与所述偏心转轮中的所述第二转轮230相连的传动杆上设置一连接件350，可以更加便于所述偏心转轮与所述传动杆之间的连接。

优选的，所述连接件350上设有与所述偏心转轮相配合的卡口351，所述卡口351的开口朝向所述偏心转轮所在位置，所述偏心转轮与所述卡口351的两侧壁相连。如图4至图6所示，所述连接件350上设有与所述偏心转轮中的所述第二转轮230相配合的卡口351，所述卡口351的开口朝向所述第二转轮230所在位置，所述第二转轮230与所述卡口351的两侧壁相连。由此，通过在所述连接件350上设置卡口351，可以通过将所述第二转轮230卡入所述卡口351内，以将所述偏心转轮与传动杆进行连接。

优选的，如图2、图4至图6所示，所述连杆机构包括依次相连的第一传动杆310、第二传动杆320、第三传动杆330和第四传动杆340，以及依次设置的第一解锁杆410、第二解锁杆420、第三解锁杆430和第四解锁杆440，所述第一传动杆310与所述第四传动杆340之间平行设置，所述第一解锁杆410和所述第二解锁杆420均与所述第一传动杆310相铰接，所述第三传动杆330与所述第四传动杆340之间通过所述第三解锁杆430相铰接，所述第四解锁杆440与所述第四传动杆340相铰接。由此，此种设置不仅可以简化所述连杆机构的整体结构，同时也更加便于通过所述驱动机构驱动所述连杆机构同步运动，进而带动所述解锁销钉进行解锁或关锁。此时，所述连杆机构与所述驱动机构之间满足如下关系：

如图4和图5所示，在第一种实施方式和第二种实施方式中，所述偏心转轮中的所述第二转轮230均与所述第一传动杆310相连，所不同的是，在第一种实施方式中，所述第二转轮230位于所述第二解锁杆420和所述第二传动杆320之间，在第二种实施方式中，所述第二转轮230位于所述第一解锁杆410和所述第二解锁杆420之间。当所述第一转轮220逆时针转动时，所述第二转轮230随之逆时针偏心旋转，进而带动与之相连的所述第一传动杆310左移，左移的第一传动杆310进而带动与之相铰接的第二传动杆320、第一解锁杆410和第二解锁杆420顺时针转动，顺时针转动的第二传动杆320进而带动与之相铰接的第三传动杆330下移，下移的第三传动杆330进而带动与之相铰接的第三解锁杆430顺时针转动，顺时针转动的第三解锁杆430进而带动与之相铰接的第四传动杆340右移，右移的第四传动杆340进而带动与之相铰接的第四解锁杆440顺时针转动。由此，位于所述第一解锁杆410上的解锁销钉101以及位于所述第二解锁杆420上的解锁销钉102均朝向远离所述第四传动杆340的方向移动，位于第三解锁杆430上的解锁销钉103以及位于第四解锁杆440上的解锁销钉104朝向远离所述第一传动杆310的方向移动，进而实现对版盒的解锁。反之，当所述第一转轮220顺时针转动时，所述第二转轮230随之顺时针偏心旋转，进而驱动所述第一解锁杆410、第二解锁杆420、第三解锁杆430和第四解锁杆440逆时针转动，从而使得位于第一解锁杆410上的解锁销钉101以及位于第二解锁杆420上的解锁销钉102均朝向靠近所述第四传动杆340的方向移动，位于第三解锁杆430上的解锁销钉103以及位于第四解锁杆440上的解锁销钉104朝向靠近所述第一传动杆310的方向移动，以实现对版盒的关锁。

如图6所示，在第三种实施方式中，所述第二转轮230与所述第三传动杆330相连。当所述第一转轮220逆时针转动时，所述第二转轮230随之逆时针偏心旋转，进而带动与之相连的第三传动杆330下移，下移的第三传动杆330进而带动与之相铰接的第三解锁杆430和第二传动杆320顺时针转动，顺时针转动的第二传动杆320进而带动与之相铰接的第一传动杆310左移，左移的第一传动杆310进而带动与之相铰接的第一解锁杆410和第二解锁杆420顺时针转动，顺时针转动的第三解锁杆430进而带动与之相铰接的第四传动杆340右移，右移的第四传动杆340进而带动与之相连的第四解锁杆440顺时针转动。由此，位于所述第一解锁杆410上的解锁销钉101以及位于所述第二解锁杆420上的解锁销钉102均朝向远离所述第四传动杆340的方向移动，位于第三解锁杆430上的解锁销钉103以及位于第四解锁杆440上的解锁销钉104均朝向远离所述第一传动杆310的方向移动，进而实现对版盒的解锁。反之，当所述第一转轮220顺时针转动时，所述第二转轮230随之顺时针偏心旋转，进而驱动所述第一解锁杆410、第二解锁杆420、第三解锁杆430和第四解锁杆440逆时针转动，从而使得位于第一解锁杆410上的解锁销钉101以及位于第二解锁杆420上的解锁销钉102均朝向靠近所述第四传动杆340的方向移动，位于第三解锁杆430上的解锁销钉103以及位于第四解锁杆440上的解锁销钉104均朝向靠近所述第一传动杆310的方向移动，以实现对版盒的关锁。

需要说明的是，如本领域技术人员所能理解的，在其他一些实施方式中，所述第二转轮230还可以与第四传动杆340相连。

优选的，如图4至图6所示，所述第一解锁杆410、第二解锁杆420和第四解锁杆440均为L型结构，所述第一解锁杆410包括相连的第一杆体411和第二杆体412，所述第一杆体411上安装有解锁销钉101，所述第一杆体411和所述第二杆体412的连接处设有第一铰链413，所述第一铰链413与所述基座700相连，所述第二杆体412上设有第二铰链414，所述第一解锁杆410通过所述第二铰链414与所述第一传动杆310相铰接，所述第一解锁杆410能够绕着所述第一铰链413旋转。所述第二解锁杆420包括相连的第一杆体421和第二杆体422，所述第一杆体421上安装有解锁销钉102，所述第一杆体421和所述第二杆体422的连接处设有第一铰链423，所述第一铰链423与所述基座700相连，所述第二杆体412上设有第二铰链424，所述第二解锁杆420通过所述第二铰链424与所述第一传动杆310相铰接，所述第二解锁杆420能够绕着所述第一铰链423旋转。所述第四解锁杆440包括相连的第一杆体441和第二杆体442，所述第一杆体441上安装有解锁销钉104，所述第一杆体441和所述第二杆体442的连接处设有第一铰链443，所述第一铰链443与所述基座700相连，所述第二杆体442上设有第二铰链444，所述第四解锁杆440通过所述第二铰链444与所述第四传动杆340相铰接，所述第四解锁杆440能够绕着所述第一铰链443旋转。由此，此种设置可以进一步简化连杆机构的整体结构，当所述第一传动杆310左移时，可以带动与之相铰接的第一解锁杆410绕着第一铰链413顺时针转动，同时带动与之相铰接的第二解锁杆420绕着第一铰链423顺时针转动，从而使得位于第一解锁杆410上的解锁销钉101以及位于第二解锁杆420上的解锁销钉102均朝向远离所述第四传动杆340的方向移动；当所述第四传动杆340右移时，可以带动与之相铰接的第四解锁杆440绕着第一铰链443顺时针转动，从而使得位于第四解锁杆440上的解锁销钉104朝向远离所述第一传动杆310的方向移动。反之，当所述第一传动杆310右移时，可以带动与之相铰接的第一解锁杆410绕着第一铰链413逆时针转动，同时带动与之相铰接的第二解锁杆420绕着第一铰链423逆时针转动，从而使得位于第一解锁杆410上的解锁销钉101以及位于第二解锁杆420上的解锁销钉102均朝向靠近所述第四传动杆340的方向移动；当所述第四传动杆340左移时，可以带动与之相铰接的第四解锁杆440绕着第一铰链424逆时针转动，从而使得位于第四解锁杆440上的解锁销钉104朝向靠近所述第一传动杆310的方向移动。

优选的，如图4至图6所示，所述第三解锁杆430包括相连的第三杆体431和第四杆体432，所述解锁销钉103安装于所述第四杆体432上，所述第三杆体431为三角形结构，所述第三杆体431与所述第四杆体432的连接处设有第三铰链433，所述第三铰链433与所述基座700相连，所述第三杆体431上设有第四铰链434和第五铰链435，所述第三解锁杆430通过所述第四铰链434与所述第三传动杆330相铰接，并通过所述第五铰链435与所述第四传动杆340相铰接，所述第三解锁杆430能够绕着所述第三铰链433旋转。由此，当所述第三传动杆330下移时，可以带动与之相铰接的第三解锁杆430绕着第三铰链433顺时针转动，从而使得位于第三解锁杆430上的解锁销钉103朝向远离第一传动杆310的方向移动，顺时针转动的第三解锁杆430同时会带动与之相铰接的第四传动杆340右移。反之，当所述第三传动杆330上移时，可以带动与之相铰接的第三解锁杆430绕着第三铰链433逆时针转动，从而使得位于第三解锁杆430上的解锁销钉103朝向靠近第一传动杆310的方向移动，逆时针转动的第三解锁杆430同时会带动与之相铰接的第四传动杆340左移。

优选的，如图4至图6所示，所述第二传动杆320为三角形结构，所述第二传动杆320的三个边角处分别设有第六铰链321、第七铰链322和第八铰链323，所述第二传动杆320通过所述第六铰链321与所述第一传动杆310相铰接，并通过所述第七铰链322与所述第三传动杆330相铰接，所述第二传动杆320能够绕着所述第八铰链323旋转，所述第八铰链323与所述基座700相连。由此，如图4和图5所示，当在驱动机构的作用下，所述第一传动杆310左移时，可以带动与之相铰接的第二传动杆320绕着第八铰链323顺时针转动，顺时针转动的第二传动杆320进而带动与之相铰接的第三传动杆330下移。或者如图6所示，当在驱动机构的作用下，所述第三传动杆330下移时，可以带动与之相铰接的第二传动杆320绕着第八铰链323顺时针转动，顺时针转动的第二传动杆320进而带动与之相铰接的第一传动杆310左移。

如图4至图6所示，所述第一铰链413与所述第二铰链414之间的距离即为所述第一解锁杆410的驱动力臂L₁，所述第一铰链413与所述解锁销钉101之间的距离即为所述第一解锁杆410的解锁力臂L₂；所述第一铰链423与所述第二铰链424之间的距离即为所述第二解锁杆420的驱动力臂L₁，所述第一铰链423与所述解锁销钉102之间的距离即为所述第二解锁杆420的解锁力臂L₂；所述第三铰链433与所述第五铰链435之间的距离即为所述第三解锁杆430的驱动力臂L₁，所述第三铰链433与所述解锁销钉103之间的距离即为所述第三解锁杆430的解锁力臂L₂，所述第三铰链433与所述第四铰链434之间的距离为所述第三解锁杆430的传动力臂L₃；所述第一铰链443与所述第二铰链444之间的距离即为所述第四解锁杆440的驱动力臂L₁，所述第一铰链443与所述解锁销钉104之间的距离即为所述第四解锁杆440的解锁力臂L₂；所述第七铰链322与所述第八铰链323之间的距离为所述第二传动杆320的第一传动力臂L₄，所述第六铰链321与所述第八铰链323之间的距离为所述第二传动杆320的第二传动力臂L₅。所述第一解锁杆410、第二解锁杆420、第三解锁杆430以及第四解锁杆440的驱动力臂和解锁力臂均相等。

优选的，所述第一解锁杆410、第二解锁杆420、第三解锁杆430以及第四解锁杆440的驱动力臂L₁均与所述第二传动杆320的第二传动力臂L₅相等，所述第二传动杆320的第一传动力臂L₄与所述第三解锁杆430的传动力臂L₃相等。由此，此种设置可以确保本发明提供的解锁装置的连杆机构在运动过程中的同步性，从而进一步保证所述解锁销钉在所述连杆机构的带动下，能够顺利实现对版盒的解锁和关锁。

优选的，请参考图2以及图4至图7，如图2以及图4至图7所示，所述版盒解锁装置还包括安全挡片，所述安全挡片用于在所述版盒处于未解锁状态时承托所述版盒的版盒底座，所述安全挡片与所述连杆机构相连，在所述驱动机构的作用下，所述连杆机构能够带动所述安全挡片靠近和远离所述版盒底座。由此，通过设置安全挡片，可以在解锁装置未解锁到位时，通过所述安全挡片可以承托出版盒底座，从而可以防止在未解锁到位时，版盒盖与版盒底座相分离，进而可以进一步提高外部版库加载掩模版的安全性。

优选的，如图4至图6所示，所述第一杆体411上安装有安全挡片501，第一杆体421上安装有安全挡片502，第三杆体431上安装有安全挡片503，第一杆体441上安装有安全挡片504，由此，当所述第一解锁杆410、第二解锁杆420、第三解锁杆430和第四解锁杆440顺时针转动到位时，位于所述第一杆体411上的安全挡片501以及第一杆体421上的安全挡片502均朝向远离第四传动杆340的方向移动，位于第三杆体431上的安全挡片503以及位于第一杆体441上的安全挡片504均朝向靠近远离第一传动杆310的方向移动，由此安全挡片501，502，503，504可以完全与版盒底座相分离，以实现版盒盖与版盒底座完全分离。反之，当所述第一解锁杆410、第二解锁杆420、第三解锁杆430和第四解锁杆440逆时针转动到位时，位于所述第一杆体411上的安全挡片501以及第一杆体421上的安全挡片502均朝向靠近第四传动杆340的方向移动，位于第三杆体431上的安全挡片503以及位于第一杆体441上的安全挡片504均朝向靠近靠近第一传动杆310的方向移动，由此安全挡片501，502，503，504可以承托住版盒底座，有效防止版盒脱落。

优选的，请参考图8和图9，其中图8示意性的给出了本发明一实施方式提供的版盒解锁装置中的驱动机构位于关锁工位时的结构示意图，图9示意性地给出了本发明一实施方式提供的版盒解锁装置中的驱动机构位于解锁工位时的结构示意图，其中图8和图9中的小圆圈表示第一转轮220的旋转中心，F表示连杆机构对所述驱动机构施加的作用力。如图8和图9所示，所述解锁装置还包括第一工位传感器251和第二工位传感器252，所述第一工位传感器251用于检测所述驱动机构是否运动至关锁工位，所述第二工位传感器252用于检测所述驱动机构是否运动至解锁工位。由此，通过所述第一工位传感器251可以检测所述驱动机构是否运动至关锁工位，通过所述第二工位传感器252可以检测所述驱动机构是否运动至解锁工位，从而可以保证第一转轮220能够旋转到位，进一步提高外部版库加载掩模版的安全性。

优选的，如图2所示，为了便于所述第一工位传感器251和所述第二工位传感器252的安装，所述驱动机构还设有第二固定座292，所述第二固定座292与所述基座700相连，所述第一工位传感器251和所述第二工位传感器252均安装于所述第二固定座292上，其中所述第一工位传感器251与关锁工位对应设置，所述第二工位传感器252与解锁工位对应设置。

更为优选的，如图2所示，所述第二固定座292呈L型设置，所述第二固定座292包括相连的竖直板和水平板，所述第一工位传感器251和所述第二工位传感器252均安装于所述水平板上，所述竖直板与所述基座700相连。由此，此种设置可以进一步简化本发明的整体结构，更加便于第一工位传感器251和第二工位传感器252的安装。

优选的，如图2和图3所示，所述驱动机构还包括第三转轮240，所述第三转轮240与所述第二转轮230偏心连接，所述第二转轮230位于所述第一转轮220和所述第三转轮240之间。由于所述驱动机构还包括第三转轮240，由此，当解锁装置的解锁状态处于异常时，可通过人工旋转第三转轮240，以驱动所述解锁销钉对版盒进行关锁，当完成人工关锁后，可以取走版盒，再恢复外部版库，以保证外部版库的正常运行，从而进一步提高外部版库加载掩模版的安全性。

优选的，如图2、图8和图9所示，所述驱动机构还包括挡板260以及与所述挡板260相配合的限位件270，所述挡板260与所述电机210的转轴相连，在所述挡板260和所述限位件270的作用下，所述电机210能够驱动所述偏心转轮往返作180°旋转运动，优选的，所述电机210能够驱动所述第一转轮220往返作180°旋转运动。由此，通过设置挡板260和限位件270，可以对电机210的运行状态进行限制，在电机210的驱动下使得第一转轮220往返作180°旋转运动，从而使得第一转轮220能够旋转到位，进而使得驱动机构能够顺利运动至解锁工位和关锁工位，当所述驱动机构运动至解锁工位时，所述解锁销钉能够对版盒进行解锁，当所述驱动机构运动至关锁工位时，所述解锁销钉能够对版盒进行关锁。

优选的，请参考图2和图10，其中图10示意性地给出了本发明一实施方式的版盒解锁装置中的限位件270的安装结构示意图，如图2和图10所示，所述限位件270安装于所述第一固定座291的底部，所述限位件270位于所述第一工位传感器251和所述第二工位传感器252之间，所述限位件270为一圆柱体结构，所述挡板260的两侧设有能够与所述限位件270相切的斜面，由此，当所述驱动机构运动至关锁工位时，所述挡板260的一侧斜面能够与所述限位件270的一侧相接触，此时在所述限位件270的作用下，所述驱动机构停止旋转。同理，当所述驱动机构运动至解锁工位时，所述挡板260的另一侧斜面能够与所述限位件270的另一侧相接触，此时在所述限位件270的作用下，所述驱动机构停止旋转。

优选的，如图2、图3、图8和图9所示，所述驱动机构还包括与所述电机210的壳体相连的缓冲件280，所述缓冲件280用于防止所述挡板260与所述限位件270之间发生碰撞。由此，通过设置缓冲件280，可以防止所述挡板260与所述限位件270之间发生碰撞，以保证驱动机构的顺利运行。更为优选的，所述缓冲件280可为弹簧。

优选的，如图10所示，为了便于所述缓冲件280的安装，所述基座700上设有一对相对设置的连接柱710，所述缓冲件280的一端与其中的一个连接柱710相连，所述缓冲件280的另一端与另一个连接柱710相连。

优选的，请参考图1和图11，其中图11示意性地给出了本发明一实施方式提供的解锁装置中的承载法兰600的结构示意图，如图1和图11所示，所述版盒解锁装置还包括用于承载版盒的版盒盖的承载法兰600，所述承载法兰600安装于所述连杆机构的上方，所述承载法兰600上设有与所述解锁销钉相配合的限位孔630，所述解锁销钉能够在所述限位孔630内往复移动。由此，当通过所述解锁销钉对版盒进行解锁后，可通过所述承载法兰600对所述版盒盖进行承载，便于所述版盒盖与所述版盒底座之间的分离。此外，通过在所述承载法兰600上设置与所述解锁销钉相配合的限位孔630，可以通过所述限位孔630对所述解锁销钉的运动方向进行限位，以使得所述解锁销钉能够顺利实现对版盒的解锁与关锁。

优选的，如图1和图11所示，所述承载法兰600上设有用于放置版盒盖的凹槽610，所述凹槽610的底部设有与所述版盒底座相配合的通孔620。由此，通过在所述承载法兰600上设置凹槽610，可以更加便于版盒盖的放置，当通过所述解锁销钉对版盒进行解锁后，可通过所述承载法兰600上的凹槽610更加平稳地对所述版盒盖进行承载，从而使得版盒盖能够顺利与所述版盒底座相分离。

为实现上述思想，本发明还提供一种掩模传输版库设备，所述掩模传输版库设备包括上文所述的版盒解锁装置。由此，本发明提供的版盒解锁装置可以保证在非解锁工位断伺服后，所述解锁装置能够自动恢复至关锁工位，从而可以防止版盒在断伺服工况下出现跌落损伤的问题，有效提高了掩模传输版库设备加载掩模版的安全性。

综上所述，与现有技术相比，本发明提供的版盒解锁装置及掩模传输版库设备具有以下优点：

上述描述仅是对本发明较佳实施方式的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims

1.一种版盒解锁装置，其特征在于，包括驱动机构、连杆机构和解锁销钉；

所述连杆机构与所述驱动机构之间满足如下关系：

2.根据权利要求1所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述版盒解锁装置还包括安全挡片，所述安全挡片用于在所述版盒处于未解锁状态时承托所述版盒的版盒底座，所述安全挡片与所述连杆机构相连，在所述驱动机构的作用下，所述连杆机构能够带动所述安全挡片靠近和远离所述版盒底座。

3.根据权利要求1所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述版盒解锁装置还包括用于承载版盒的版盒盖的承载法兰，所述承载法兰安装于所述连杆机构的上方，所述承载法兰上设有与所述解锁销钉相配合的限位孔，所述解锁销钉能够在所述限位孔内往复移动。

4.根据权利要求3所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述承载法兰上设有用于放置版盒盖的凹槽，所述凹槽的底部设有与所述版盒底座相配合的通孔。

5.根据权利要求1所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述偏心转轮包括第一转轮和第二转轮，所述第一转轮的一端与所述电机的转轴同轴连接，所述第一转轮的另一端与所述第二转轮偏心连接；所述驱动机构还包括第三转轮，所述第三转轮与所述第二转轮偏心连接，所述第二转轮位于所述第一转轮和所述第三转轮之间。

6.根据权利要求1所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述解锁装置还包括第一工位传感器和第二工位传感器，所述第一工位传感器用于检测所述驱动机构是否运动至关锁工位，所述第二工位传感器用于检测所述驱动机构是否运动至解锁工位。

7.根据权利要求1所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述驱动机构还包括挡板以及与所述挡板相配合的限位件，所述挡板与所述电机的转轴相连，在所述挡板和所述限位件的作用下，所述电机能够驱动所述偏心转轮往返作180°旋转运动。

8.根据权利要求7所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述驱动机构还包括与所述电机的壳体相连的缓冲件，所述缓冲件用于防止所述挡板与所述限位件之间发生碰撞。

9.根据权利要求1所述的版盒解锁装置，其特征在于，与所述偏心转轮相连的所述传动杆上设有一连接件，所述偏心转轮与所述连接件相连。

10.根据权利要求9所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述连接件上设有与所述偏心转轮相配合的卡口，所述卡口的开口朝向所述偏心转轮所在位置，所述偏心转轮与所述卡口的两侧壁相连。

11.根据权利要求1所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述连杆机构包括依次相连的第一传动杆、第二传动杆、第三传动杆和第四传动杆，以及依次设置的第一解锁杆、第二解锁杆、第三解锁杆和第四解锁杆，所述第一传动杆与所述第四传动杆之间平行设置，所述第一解锁杆和所述第二解锁杆均与所述第一传动杆相铰接，所述第三传动杆与所述第四传动杆之间通过所述第三解锁杆相铰接，所述第四解锁杆与所述第四传动杆相铰接。

12.根据权利要求11所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述第一解锁杆、第二解锁杆和第四解锁杆均为L型结构，所述第一解锁杆、所述第二解锁杆和所述第四解锁杆均包括相连的第一杆体和第二杆体，所述解锁销钉安装于所述第一杆体上，所述第一杆体和所述第二杆体的连接处设有第一铰链，所述第二杆体上设有第二铰链，所述第一解锁杆和所述第二解锁杆分别通过其上的所述第二铰链与所述第一传动杆相铰接，所述第一解锁杆、第二解锁杆和第四解锁杆分别能够绕着其上的所述第一铰链旋转，所述第四解锁杆通过所述第二铰链与所述第四传动杆相连。

13.根据权利要求12所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述第三解锁杆包括相连的第三杆体和第四杆体，所述解锁销钉安装于所述第四杆体上，所述第三杆体为三角形结构，所述第三杆体与所述第四杆体的连接处设有第三铰链，所述第三杆体上设有第四铰链和第五铰链，所述第三解锁杆通过所述第四铰链与所述第三传动杆相铰接，并通过所述第五铰链与所述第四传动杆相铰接，所述第三解锁杆能够绕着所述第三铰链旋转。

14.根据权利要求13所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述第二传动杆为三角形结构，所述第二传动杆的三个边角处分别设有第六铰链、第七铰链和第八铰链，所述第二传动杆通过所述第六铰链与所述第一传动杆相铰接，并通过所述第七铰链与所述第三传动杆相铰接，所述第二传动杆能够绕着所述第八铰链旋转。

15.根据权利要求14所述的版盒解锁装置，其特征在于，所述第一铰链与所述第二铰链之间的距离以及所述第三铰链与所述第五铰链之间的距离均等于所述第六铰链与所述第八铰链之间的距离，所述第一解锁杆、所述第二解锁杆以及所述第四解锁杆上的解锁销钉和其上的第一铰链之间的距离均与所述第三解锁杆上的解锁销钉和其上的第三铰链之间的距离相等，所述第三铰链与所述第四铰链之间的距离等于所述第七铰链与所述第八铰链之间的距离。

16.一种掩模传输版库设备，其特征在于，包括权利要求1至15中任一项所述的版盒解锁装置。