CN113322435A - 一种导电氧化锆旋转靶材制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，涉及旋转靶材制造技术领域。该一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，包括支撑盘、防护罩，所述防护罩可拆卸设置在支撑盘的外侧；所述支撑盘包括转动盘，所述转动盘的顶部中心位置固定连接有转轴，所述转动盘的顶部且位于转轴的外侧固定连接有环体，所述支撑盘的顶部且靠近环体的内侧壁固定连接有连接耳板，所述连接耳板的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚。通过设置有L型夹紧脚结构，当旋转靶材套设在转轴上，底部压动防护台的时候，防护台受压下移，使L型夹紧脚的外侧的一只脚下压，另一只脚向外侧移动，顶在旋转靶材的内侧壁，实现固定的目的，使用非常的方便。

Description

一种导电氧化锆旋转靶材制造装置

技术领域

本发明涉及旋转靶材制造技术领域，具体为一种导电氧化锆旋转靶材制造装置。

背景技术

溅射镀膜工艺广泛应用于集成电路、磁记录、刀具、平面显示器以及玻璃表面涂层等领域，旋转靶材为溅射镀膜工艺中的重要组成部分。

旋转靶材通常为管体或者环状结构，两端部设置收缩的内径，在旋转靶材制造的时候，需要对靶材基管进行冷喷。

现有的导电氧化锆旋转靶材制造装置结构复杂，只适合大批量生产的时候使用，如果对使用过的单个旋转靶材进行喷涂修复，不方便进行再加工，而且送到原厂加工也不够经济。

发明内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，解决了现有的导电氧化锆旋转靶材制造装置结构复杂，只适合大批量生产的时候使用的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，包括支撑盘、防护罩，所述防护罩可拆卸设置在支撑盘的外侧；

所述支撑盘包括转动盘，所述转动盘的顶部中心位置固定连接有转轴，所述转动盘的顶部且位于转轴的外侧固定连接有环体，所述支撑盘的顶部且靠近环体的内侧壁固定连接有连接耳板，所述连接耳板的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚，所述环体的侧面开设有锥孔，所述L型夹紧脚的一端穿过锥孔向外侧深处，所述L型夹紧脚的另一端斜向上方向延伸，且斜向转轴的方向，所述支撑盘的上方设置有防护台，所述防护台的底部由L型夹紧脚的端部支撑，所述防护台的中部设置有中心孔，所述中心孔的侧面设置有缺口。

优选的，所述L型夹紧脚的数量设置有多个，多个所述L型夹紧脚环形阵列排布。

优选的，所述支撑盘还包括固定底盘，所述固定底盘的顶部中心位置固定连接有固定座，所述固定座的顶部活动连接有转动轴，所述转动轴的侧面固定连接有大齿轮，所述固定底盘的顶部且位于固定座的一侧固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有小齿轮，所述小齿轮与大齿轮啮合传动，所述转动盘的底部与转动轴的顶端固定连接。

优选的，所述固定底盘的顶部且靠近其侧边固定连接有环罩，所述环罩的顶部设置有耐摩擦垫片。

优选的，所述防护罩包括环座，所述环座的顶部固定连接有罩体，所述罩体的一侧面设置有开口，所述开口的内侧滑动连接有滑动框，所述滑动框的顶部与开口的顶部之间、滑动框的底部与开口的底部之间均固定设置有柔性挡帘。

优选的，所述环座的底部固定连接有法兰盘，所述法兰盘的底部设置有耐磨层。

优选的，所述罩体的侧面开设有废料收集口，所述废料收集口的内部可拆卸连接有废料收集框，所述废料收集框与滑动框的位置相对。

优选的，所述滑动框的中部设置有矩形通口。

优选的，所述废料收集框的顶部设置有开口，所述废料收集框的外侧面固定连接有把手，所述废料收集框的内侧面设置有前沿斜口。

工作原理：使用的时候，使用者将固定底盘固定在工作台上（一个平板上），使用者将旋转靶材套在转轴上，底部压在防护台上，使防护台向下进行一定的移动，进而带动L型夹紧脚向外侧延伸的脚受压，使L型夹紧脚向上伸出的脚向外转动（围绕与连接耳板连接的销轴），使其外侧顶在旋转靶材的内侧面，实现固定的目的；

使用者将防护罩套在旋转靶材的外侧面，底部压在防护台上，使防护台受到向下压的力更加的大，进而使L型夹紧脚与旋转靶材的内侧面固定的更加牢固，将喷涂枪对着滑动框的框口处（喷涂枪采用扁平的喷口），使用者启动电机，电机带动小齿轮，进而带动大齿轮转动，进而带动转动盘转动，从而使旋转靶材进行旋转，由于使用者将喷涂枪对着滑动框的框口处，将防护罩的位置进行限制，使防护罩整体不会转动（法兰盘与防护台之间摩擦），使用者上下的进行移动喷涂枪，从而能够实现全方位的进行喷涂，使用非常的方便，而且本结构设计比较合理，整体的装置结构比较简单，适合在小范围加工（单个进行修复）的时候进行使用。

（三）有益效果

本发明提供了一种导电氧化锆旋转靶材制造装置。具备以下有益效果：

1、本发明，通过设置有L型夹紧脚结构，当旋转靶材套设在转轴上，底部压动防护台的时候，防护台受压下移，使L型夹紧脚的外侧的一只脚下压，另一只脚向外侧移动，顶在旋转靶材的内侧壁，实现固定的目的（自动夹紧），使用非常的方便。

2、本发明，通过设置有转动盘，与底座之间通过转动轴活动连接，驱动的方式采用电机带动小齿轮，进而带动大齿轮转动，进而带动转动盘转动，使用的时候能够实现自动转动的目的。

3、本发明，通过设置有防护罩结构，在进行喷涂的时候将防护罩套在旋转靶材的外侧，底部的环座和法兰盘压在防护台上，能够进一步的增加旋转靶材固定的稳定性。

4、本发明，通过设置有滑动框和柔性挡帘结构，能够方便使用者进行喷涂，而且喷涂产生的多余杂质能够被防护罩挡住，进而通过废料收集框收集起来，使用非常的方便。

附图说明

图1为本发明的支撑盘立体示意图；

图2为本发明的支撑盘剖视示意图；

图3为图2中A处放大图；

图4为本发明的支撑盘正视图；

图5为本发明的支撑盘俯视图；

图6为本发明的防护罩立体视图；

图7为本发明的防护罩正视图；

图8为本发明的防护罩剖视图；

图9为本发明的防护罩俯视图。

其中，1、支撑盘；11、固定底盘；12、固定座；13、转动轴；14、转动盘；15、电机；16、小齿轮；17、大齿轮；18、环罩；19、转轴；110、环体；111、连接耳板；112、L型夹紧脚；113、锥孔；114、防护台；115、缺口；2、防护罩；21、环座；22、法兰盘；23、罩体；24、滑动框；25、柔性挡帘；26、废料收集口；27、废料收集框。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一：

如图1-9所示，本发明实施例提供一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，包括支撑盘1、防护罩2，防护罩2可拆卸设置在支撑盘1的外侧，在进行喷涂加工的时候将防护罩2放置在上去，安装工件的时候，需要将防护罩2拆卸下来；

支撑盘1包括转动盘14，转动盘14的顶部中心位置固定连接有转轴19，转轴19起到安装导向的作用，由作用进行出发，可以很容易的进行想到锥体或者其他能够实现导向的结构，转动盘14的顶部且位于转轴19的外侧固定连接有环体110，支撑盘1的顶部且靠近环体110的内侧壁固定连接有连接耳板111，连接耳板111的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚112，环体110的侧面开设有锥孔113，L型夹紧脚112的一端穿过锥孔113向外侧深处，锥孔113外侧比较大，与L型夹紧脚112的一个支杆绕着与连接耳板111连接的销轴转动，内侧摆动的幅度比较小，外侧摆动的幅度比较大，L型夹紧脚112的另一端斜向上方向延伸，且斜向转轴19的方向，为了在自然状态下L型夹紧脚112的另一端斜向上方向延伸，且斜向转轴19的方向，在L型夹紧脚112的侧面与转轴19之间设置弹性绳，将L型夹紧脚112的上方支杆向转轴19方向拉动，支撑盘1的上方设置有防护台114，防护台114的底部由L型夹紧脚112的端部支撑，防护台114向下压动的时候，能够带动L型夹紧脚112的一只脚向下移动（准确说是绕着连接耳板111连接的销轴转动），防护台114的中部设置有中心孔，中心孔的侧面设置有缺口115，缺口115是方便L型夹紧脚112转动，避免发生干涉。

L型夹紧脚112的数量设置有多个，多个L型夹紧脚112环形阵列排布。

支撑盘1还包括固定底盘11，固定底盘11的顶部中心位置固定连接有固定座12，固定座12的顶部活动连接有转动轴13，转动轴13的侧面固定连接有大齿轮17，固定底盘11的顶部且位于固定座12的一侧固定连接有电机15，电机15的输出端固定连接有小齿轮16，小齿轮16与大齿轮17啮合传动，转动盘14的底部与转动轴13的顶端固定连接，整体实现电机15-小齿轮16-大齿轮17-转动轴13的传动关系。

固定底盘11的顶部且靠近其侧边固定连接有环罩18，环罩18的顶部设置有耐摩擦垫片，环罩18的作用就是隔离和防护的作用。

防护罩2包括环座21，环座21的顶部固定连接有罩体23，罩体23的一侧面设置有开口，开口的内侧滑动连接有滑动框24，滑动框24的顶部与开口的顶部之间、滑动框24的底部与开口的底部之间均固定设置有柔性挡帘25。

环座21的底部固定连接有法兰盘22，法兰盘22的底部设置有耐磨层。

罩体23的侧面开设有废料收集口26，废料收集口26的内部可拆卸连接有废料收集框27，废料收集框27与滑动框24的位置相对。

滑动框24的中部设置有矩形通口。

废料收集框27的顶部设置有开口，废料收集框27的外侧面固定连接有把手，废料收集框27的内侧面设置有前沿斜口。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：包括支撑盘（1）、防护罩（2），所述防护罩（2）可拆卸设置在支撑盘（1）的外侧；

所述支撑盘（1）包括转动盘（14），所述转动盘（14）的顶部中心位置固定连接有转轴（19），所述转动盘（14）的顶部且位于转轴（19）的外侧固定连接有环体（110），所述支撑盘（1）的顶部且靠近环体（110）的内侧壁固定连接有连接耳板（111），所述连接耳板（111）的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚（112），所述环体（110）的侧面开设有锥孔（113），所述L型夹紧脚（112）的一端穿过锥孔（113）向外侧深处，所述L型夹紧脚（112）的另一端斜向上方向延伸，且斜向转轴（19）的方向，所述支撑盘（1）的上方设置有防护台（114），所述防护台（114）的底部由L型夹紧脚（112）的端部支撑，所述防护台（114）的中部设置有中心孔，所述中心孔的侧面设置有缺口（115）。

2.根据权利要求1所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：所述L型夹紧脚（112）的数量设置有多个，多个所述L型夹紧脚（112）环形阵列排布。

3.根据权利要求1所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：所述支撑盘（1）还包括固定底盘（11），所述固定底盘（11）的顶部中心位置固定连接有固定座（12），所述固定座（12）的顶部活动连接有转动轴（13），所述转动轴（13）的侧面固定连接有大齿轮（17），所述固定底盘（11）的顶部且位于固定座（12）的一侧固定连接有电机（15），所述电机（15）的输出端固定连接有小齿轮（16），所述小齿轮（16）与大齿轮（17）啮合传动，所述转动盘（14）的底部与转动轴（13）的顶端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：所述固定底盘（11）的顶部且靠近其侧边固定连接有环罩（18），所述环罩（18）的顶部设置有耐摩擦垫片。

5.根据权利要求1所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于，所述防护罩（2）包括环座（21），所述环座（21）的顶部固定连接有罩体（23），所述罩体（23）的一侧面设置有开口，所述开口的内侧滑动连接有滑动框（24），所述滑动框（24）的顶部与开口的顶部之间、滑动框（24）的底部与开口的底部之间均固定设置有柔性挡帘（25）。

6.根据权利要求5所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：所述环座（21）的底部固定连接有法兰盘（22），所述法兰盘（22）的底部设置有耐磨层。

7.根据权利要求5所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：所述罩体（23）的侧面开设有废料收集口（26），所述废料收集口（26）的内部可拆卸连接有废料收集框（27），所述废料收集框（27）与滑动框（24）的位置相对。

8.根据权利要求5所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：所述滑动框（24）的中部设置有矩形通口。

9.根据权利要求5所述的一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，其特征在于：所述废料收集框（27）的顶部设置有开口，所述废料收集框（27）的外侧面固定连接有把手，所述废料收集框（27）的内侧面设置有前沿斜口。

Images