CN113270334A - 用于制造显示装置的装置和方法以及测量微滴的方法 - Google Patents

用于制造显示装置的装置和方法以及测量微滴的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113270334A
CN113270334A CN202011215116.9A CN202011215116A CN113270334A CN 113270334 A CN113270334 A CN 113270334A CN 202011215116 A CN202011215116 A CN 202011215116A CN 113270334 A CN113270334 A CN 113270334A
Authority
CN
China
Prior art keywords
test station
droplet
profile
measuring
surface profile
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202011215116.9A
Other languages
English (en)
Inventor
韩政洹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN113270334A publication Critical patent/CN113270334A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/04—Measuring microscopes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F22/00—Methods or apparatus for measuring volume of fluids or fluent solid material, not otherwise provided for
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/04—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/60—Analysis of geometric attributes
    • G06T7/62—Analysis of geometric attributes of area, perimeter, diameter or volume
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/70—Testing, e.g. accelerated lifetime tests
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108—Industrial image inspection
    • G06T2207/30121—CRT, LCD or plasma display
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108—Industrial image inspection
    • G06T2207/30144—Printing quality
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays

Abstract

本发明公开了用于制造显示装置的装置和方法以及测量微滴的方法。用于制造显示装置的装置包括：至少一个测试台，微滴被设置在至少一个测试台上；至少一个轮廓测量部，与至少一个测试台相邻设置，以测量至少一个测试台的表面轮廓以及设置在至少一个测试台上的微滴的表面轮廓；以及控制器，电连接至至少一个轮廓测量部，以根据至少一个测试台的表面轮廓与设置在至少一个测试台上的微滴的表面轮廓之间的差异来测量微滴的体积。

Description

用于制造显示装置的装置和方法以及测量微滴的方法
相关申请的交叉引用
本申请要求2020年2月14日递交韩国知识产权局的韩国专利申请第10-2020-0018570号的优先权和权益，其全部内容通过引用合并于此。
技术领域
一个或多个实施例涉及方法和装置，并且涉及用于制造显示装置的装置、测量微滴的方法以及制造显示装置的方法。
背景技术
基于移动性的电子设备被广泛使用。作为移动电子设备，除了诸如移动电话的小型电子设备之外，平板个人计算机(PC)近来已经被广泛使用。
这种移动电子设备可以通常包括显示装置，显示装置向用户提供各种功能，即诸如图像或视频的视觉信息。近来，显示装置在电子设备中的重要性正在提高，并且还开发了在展平时可以弯曲成具有特定角度或预定角度的结构。
显示装置可以包括各种层，并且各种工艺可以被用于形成各种层。在有机材料被用在显示装置的各种层中的情况下，有机材料可以被堆叠，或结构可以通过印刷工艺而形成。在印刷工艺期间，诸如显示装置的分辨率的因素可以依赖于如何形成有机材料微滴的图案来确定，并且因此，通常可以预先将有机材料微滴排放到测试台，然后再排放到基板。
应理解，该背景技术部分部分地旨在提供用于理解技术的有用背景。但是，该背景技术部分还可能包括在本文公开的主题的对应有效申请日之前相关领域的技术人员不知道或不了解的思想、概念或认识。
发明内容
一个或多个实施例包括一种测量微滴的方法，通过该方法，微滴的体积可以通过反映至少一个测试台的表面轮廓来精确地测量。
一个或多个实施例可以包括一种用于制造显示装置的方法和装置，通过该方法和装置，可以通过反映如上所述准确测量的微滴的体积来将微滴准确排放到或设置在基板上。
另外的方面将被部分地阐明在随后的描述中，并且部分地根据这些描述显而易见，或者可以通过实践本公开呈现的实施例而获知。
根据一个或多个实施例，用于制造显示装置的装置可以包括：至少一个测试台，微滴可以被设置在至少一个测试台上；至少一个轮廓测量部，与至少一个测试台相邻设置，以测量至少一个测试台的表面轮廓以及设置在至少一个测试台上的微滴的表面轮廓；以及控制器，电连接至至少一个轮廓测量部，以根据至少一个测试台的表面轮廓与设置在至少一个测试台上的微滴的表面轮廓之间的差异来测量微滴的体积。
至少一个轮廓测量部可以包括第一轮廓测量部和第二轮廓测量部，至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，第一轮廓测量部可以测量第一测试台的表面轮廓，并且第二轮廓测量部可以测量第二测试台的表面轮廓。
至少一个轮廓测量部可以包括第一轮廓测量部和第二轮廓测量部，第一轮廓测量部可以测量至少一个测试台的第一区域的表面轮廓，并且第二轮廓测量部可以测量至少一个测试台的第二区域的表面轮廓。
该装置可以进一步包括至少一个尺寸测量部，至少一个尺寸测量部可以测量设置在至少一个测试台上的微滴的尺寸，其中控制器可以根据至少一个测试台的表面轮廓以及由至少一个尺寸测量部测量的微滴的尺寸来测量微滴的体积。
至少一个轮廓测量部可以包括第一轮廓测量部和第二轮廓测量部，并且至少一个尺寸测量部可以包括第一尺寸测量部和第二尺寸测量部。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，第一轮廓测量部和第一尺寸测量部可以分别测量第一测试台的表面轮廓和设置在第一测试台上的微滴的尺寸，并且第二轮廓测量部和第二尺寸测量部可以分别测量第二测试台的表面轮廓和设置在第二测试台上的微滴的尺寸。
第一轮廓测量部和第一尺寸测量部可以分别测量至少一个测试台的第一区域的表面轮廓和设置在第一区域上的微滴的尺寸，并且第二轮廓测量部和第二尺寸测量部可以分别测量至少一个测试台的第二区域的表面轮廓和设置在第二区域上的微滴的尺寸。
至少一个测试台可以包括可供给膜的膜供给器以及可收集膜的膜收集器，微滴可以被设置在膜上。
该装置可以进一步包括微滴排放器，微滴排放器可以将微滴排放到至少一个测试台。
根据一个或多个实施例，测量微滴的方法可以包括：测量至少一个测试台的表面轮廓；将微滴设置在至少一个测试台上；测量设置在至少一个测试台上的微滴的表面轮廓；以及根据至少一个测试台的表面轮廓与设置在至少一个测试台上的微滴的表面轮廓之间的差异来测量微滴的体积。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，并且当测量第一测试台的表面轮廓时，设置在第二测试台上的微滴的表面轮廓可以被测量。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，并且第一测试台的表面轮廓和第二测试台的表面轮廓可以被同时测量。
表面轮廓的测量可以包括：测量至少一个测试台的第一区域的表面轮廓；以及测量至少一个测试台的第二区域的表面轮廓。
微滴的体积的测量可以进一步包括：测量设置在至少一个测试台上的微滴的尺寸；以及根据至少一个测试台的表面轮廓和设置在至少一个测试台上的微滴的尺寸来测量微滴的体积。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，并且当测量第一测试台的表面轮廓时，设置在第二测试台上的微滴的尺寸可以被测量。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，并且设置在第一测试台上的微滴的尺寸和设置在第二测试台上的微滴的尺寸可以被同时测量。
微滴的体积的测量可以进一步包括：测量至少一个测试台的第一区域的表面轮廓和至少一个测试台的第二区域的表面轮廓；以及测量设置在第一区域上的微滴的尺寸和设置在第二区域上的微滴的尺寸。
微滴在至少一个测试台上的设置可以包括：将微滴排放到至少一个测试台的膜；以及收集膜。
根据一个或多个实施例，制造显示装置的方法可以包括：测量至少一个测试台的表面轮廓；将微滴设置在至少一个测试台上；测量设置在至少一个测试台上的液滴的表面轮廓；根据至少一个测试台的表面轮廓与设置在至少一个测试台上的微滴的表面轮廓之间的差异来测量微滴的体积；以及根据测量的微滴的体积，将微滴排放到基板。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，并且当测量第一测试台的表面轮廓时，设置在第二测试台上的微滴的表面轮廓可以被测量。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，并且第一测试台的表面轮廓和第二测试台的表面轮廓可以被同时测量。
表面轮廓的测量可以包括测量至少一个测试台的第一区域的表面轮廓；以及测量至少一个测试台的第二区域的表面轮廓。
排放的微滴的体积的测量可以进一步包括：测量设置在至少一个测试台上的微滴的尺寸；以及根据至少一个测试台的表面轮廓和设置在至少一个测试台上的微滴的尺寸来测量排放的微滴的体积。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，并且当测量第一测试台的表面轮廓时，设置在第二测试台上的微滴的尺寸可以被测量。
至少一个测试台可以包括第一测试台和第二测试台，并且设置在第一测试台上的微滴的尺寸和设置在第二测试台上的微滴的尺寸可以被同时测量。
微滴的体积的测量可以包括：测量至少一个测试台的第一区域的表面轮廓和至少一个测试台的第二区域的表面轮廓；以及测量设置在第一区域上的微滴的尺寸和设置在第二区域上的微滴的尺寸。
微滴在至少一个测试台上的设置可以包括：将微滴排放到至少一个测试台的膜；以及收集膜。
附图说明
根据结合附图进行的以下描述，实施例的上述和其他方面、特征和优点将变得更加显而易见，附图中：
图1是根据实施例的用于制造显示装置的装置的示意性透视图；
图2是根据实施例的用于制造显示装置的装置的液滴测量部的示意性透视图；
图3A是操作图1和图2中所示的用于制造显示装置的装置的方法的示意性透视图；
图3B是图3A中所示的膜的一部分的示意性截面图；
图3C是操作图1和图2中所示的用于制造显示装置的装置的方法的示意性透视图；
图3D是图3C中所示的膜的一部分的示意性截面图；
图3E是操作图1和图2中所示的用于制造显示装置的装置的方法的示意性透视图；
图4是根据实施例的液滴测量部的一部分的示意性透视图；
图5A至图5D是根据实施例的操作图4中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图；
图6A和图6B是根据实施例的操作图4中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图；
图7是根据实施例的液滴测量部的一部分的示意性透视图；
图8A和图8B是根据实施例的操作图7中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图；
图8C是图8B中所示的第一膜的一部分的示意性截面图；
图8D是示出测量微滴的体积的方法的示意性截面图；
图8E和图8F是根据实施例的操作图7中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图；
图9A和图9B是根据实施例的操作图7中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图；
图10是根据实施例的液滴测量部的一部分的示意性透视图；
图11A和图11B是操作图10中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图；
图12是根据实施例的液滴测量部的一部分的示意性透视图；
图13A和图13B是操作图12中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图；
图14是根据实施例的由用于制造显示装置的装置所制造的显示装置的示意性平面图；以及
图15是根据实施例的由用于制造显示装置的装置所制造的显示装置的示意性截面图。
具体实施方式
现在将详细参考实施例，其示例示于附图中，其中相同的附图标记始终指代相同的元件。就这一点而言，实施例可以具有不同的形式，并且不应该被解释为限于本文所阐明的描述。因此，以下通过参考附图仅描述实施例，以解释描述的各个方面。
应理解，虽然实施例涉及液滴，但是微滴不限于液体的微滴，而是在本公开的精神和范围内可以包括其他材料。
为了描述本公开的实施例，可以不提供与描述不相关联的一些部分，并且在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的元件。
本文所使用的术语“和/或”包括所列出的关联项目中的一个或多个的任意和所有组合。在整个公开中，表达“a、b和c中的至少一个”指示仅a、仅b、仅c、a和b两者、a和c两者、b和c两者、a、b和c的全部或其变化。
术语“和”和“或”可以以结合或分离的方式使用，并且可以被理解为等同于“和/或”。在说明书和权利要求中，为说明其含义和解释的目的，短语“至少一个”旨在包括“从…的组中选择的至少一个”的含义。例如，“A和B中的至少一个”可以被理解为是指“A、B或者A和B”。
在下文中，将参考附图详细描述实施例，其中，相同的附图标记始终指相同的元件，并且省略其重复描述。
虽然诸如“第一”和“第二”的术语可以被用于描述各种部件，但是这些部件不必受限于以上术语。以上术语仅被用于区分一个部件和另一部件。例如，下面讨论的第一元件或部件可以被称为第二元件或部件，而不脱离本公开的教导。类似地，第二元件或部件也可以被称为第一元件或部件。
如本文所使用的单数形式“一”和“所述”旨在也包括复数形式，除非上下文清楚地给出其它指示。
应理解，在本说明书中使用术语“包含”、“包括”、“具有”，其指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但是不排除其他特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其任意组合的存在或者添加。
当层、膜、区域、基板或区或元件被称为在另一层、膜、区域、基板或区或元件“上”时，其可以直接在另一层、膜、区域、基板或区或元件上，或者其间可以存在中间层、膜、区域、基板或区或元件。相反，当层、膜、区域、基板或区或元件被称为“直接”在另一层、膜、区域、基板或区或元件“上”时，其间可以不存在中间层、膜、区域、基板或区或元件。进一步，当层、膜、区域、基板或区或元件被称为在另一层、膜、区域、基板或区或元件“下方”时，其可以直接在另一层、膜、区域、基板或区或元件下方，或者其间可以存在中间层、膜、区域、基板或区或元件。相反，当层、膜、区域、基板或区或元件被称为“直接”在另一层、膜、区域、基板或区或元件“下方”时，其间可以不存在中间层、膜、区域、基板或区或元件。进一步，“之上”或“上”可以包括定位在对象上或下方，并且不一定暗示基于重力的方向。
为了易于描述，本文中可以使用空间相对术语“下方”、“下面”、“下”、“上方”或“上”等来描述如图中所示的一个元件或部件与另一个元件或部件之间的关系。应理解，空间相对术语旨在涵盖除了附图中所示的定向之外设备在使用或操作中的不同定向。例如，在图中所示的设备被翻转的情况下，被定位在另一设备“下方”或“下面”的设备可以被置于另一设备“上方”。因此，说明性术语“下方”可以包括下位置和上位置两者。设备还可以以其他方向定向，并因此可以依赖于定向而对空间相对术语进行不同的解释。
为了其更好的理解、清楚和易于描述，在附图中，元件的尺寸和厚度可以被放大。然而，本公开不限于所示出的尺寸和厚度。为了清楚起见，在附图中，层、膜、面板、区域和其他元件的厚度可能被夸大。为了更好地理解和易于描述，在附图中，一些层和区的厚度可能被夸大。
进一步，在说明书中，短语“在平面图中”是指当从上方观察对象部分时，短语“在示意性截面图中”是指当从侧面观察通过垂直切割对象部分而截取的示意性截面时。
另外，术语“重叠”是指第一对象可以在第二对象的上方或下方，或在第二对象的一侧，反之亦然。另外，术语“重叠”可以包括层叠、堆叠、面对、在之上延伸、覆盖或部分覆盖或本领域普通技术人员将领会并理解的任何其他合适的术语。术语“面对”是指第一元件可以直接或间接地与第二元件相对。在第三元件介于第一元件和第二元件之间的情况下，第一元件和第二元件可以被理解为彼此间接相对，但仍然彼此面对。当元件被描述为与另一元件“不重叠”时，这可以包括这些元件彼此间隔开、彼此偏移或在彼此旁边，或者包括本领域普通技术人员将领会并理解的任何其他合适的术语。
当实施例可以被不同地实施时，工艺顺序可以与所描述的顺序不同地执行。例如，两个连续描述的工艺可以基本上同时执行或以与所描述的顺序相反的顺序执行。
应理解，当层、区域或部件被称为“连接”或“耦接”至另一层、区域或部件时，其可以“直接连接”或“直接耦接”至另一层、区域或部件，且/或可以以介于其间的其他层、区域或部件“间接连接”或“间接耦接”至另一层、区域或部件。例如，应理解，当层、区域或部件被称为“电连接”至另一层、区域或部件时，其可以“直接电连接”至另一层、区域或部件，且/或可以以介于其间的其他层、区域或部件“间接电连接”至另一层、区域或部件。
另外，当元件被称为与另一元件“接触”等时，该元件可以与另一元件“电接触”或“物理接触”；或与另一元件“间接接触”或“直接接触”。
在考虑所讨论的测量值和与具体数量的测量值关联的误差(即测量系统的限制)时，本文所用的“大约”或“近似”包括所陈述的值，并且意味着在由本领域普通技术人员所确定的特定值的可接受偏差范围内。例如，“大约”可以意味着在一个或多个标准偏差内，或在所述的值的±30％、±20％、±10％、±5％之内。
在下面的示例中，x轴、y轴和z轴并不限于直角坐标系中的三个轴，并且可以被广义地解释。例如，x轴、y轴和z轴可以互相垂直，或者可以表示可能互相不垂直的不同方向。
如本文中所使用的，术语“单元”表示如在附图中所示并且在说明书中描述的结构或元件。然而，本公开不限于此。术语“单元”不限于附图中所示的单元。
除非另外定义，否则本文使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与实施例所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。另外，进一步应理解，诸如那些在常用词典中所定义的术语应当被解释为具有与其在相关领域的背景中相一致的含义，而不应以理想化的或过于正式的意义来解释，除非本文明确进行了这种定义。
图1是根据实施例的用于制造显示装置的装置1000的示意性透视图。图2是根据实施例的用于制造显示装置的装置1000的液滴测量部5000的示意性透视图。
参考图1和图2，用于制造显示装置的装置1000可以包括载物台1100、第一门架2000、移动部3000、液滴排放器4000、液滴测量部5000和控制器6000。
载物台1100可以包括引导构件1200和基板移动构件1300。载物台1100可以包括可布置显示基板S的对准标记(未示出)。
就这一点而言，显示基板S可以是正在制造的显示装置。显示基板S可以包括例如玻璃或诸如聚醚砜、聚芳酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚酰亚胺、聚碳酸酯(PC)、三乙酸纤维素(TAC)、醋酸丙酸纤维素的聚合物树脂，然而本公开不限于此。
引导构件1200可以以其间的基板移动构件1300彼此间隔开。引导构件1200的长度可以大于显示基板S的边缘的长度。就这一点而言，引导构件1200的长度和显示基板S的边缘的长度可以在图1的方向y上测量。
第一门架2000可以被布置或设置在引导构件1200上。在实施例中，引导构件1200可以包括允许第一门架2000在引导构件1200的长度方向上线性移动的恒定轨道。举例来说，引导构件1200可以包括线性运动轨道。
基板移动构件1300可以被布置或设置在载物台1100上，并且可以包括基板旋转构件1400。基板移动构件1300可以在引导构件1200的长度方向上延伸。例如，参考图1，基板移动构件1300可以在方向y上延伸。基板移动构件1300可以包括可允许基板旋转构件1400线性移动的轨道。举例来说，基板移动构件1300可以包括线性运动轨道。
基板旋转构件1400可以在基板移动构件1300上旋转。在基板旋转构件1400旋转的情况下，布置或设置在基板旋转构件1400上的显示基板S可以旋转。在实施例中，基板旋转构件1400可以关于与载物台1100的可在其上安置显示基板S的表面垂直的旋转轴旋转。在基板旋转构件1400关于与载物台1100的可在其上安置显示基板S的表面垂直的旋转轴旋转的情况下，布置或设置在基板旋转构件1400上的显示基板S也可以关于与载物台1100的可在其上安置显示基板S的表面垂直的旋转轴旋转。
第一门架2000可以被布置或设置在引导构件1200上。例如，第一门架2000可以被布置或设置在以其间的基板移动构件1300彼此间隔开的引导构件1200上。
第一门架2000可以在引导构件1200的长度方向上移动。在实施例中，第一门架2000可以手动地线性移动，或者可以包括例如电机气缸并因此可以自动地线性移动。例如，第一门架2000可以包括沿着线性运动轨道移动的线性运动块，并且因此可以自动地线性移动。
移动部3000以及可以排放液滴的液滴排放器4000可以被布置或设置在第一门架2000上。在实施例中，移动部3000可以在第一门架2000上线性移动。例如，第一门架2000可以包括可允许移动部3000线性移动的恒定轨道。
移动部3000的喷嘴移动单元以及液滴排放器4000的排放器可以以各种方式布置或设置。例如，可以分别提供一个喷嘴移动单元和一个排放器。在这种情况下，可以提供可从排放器排放液滴的至少一个喷嘴头。
作为示例，可以提供至少一个排放器，并且可以提供一个喷嘴移动单元。就这一点而言，在可以提供多个排放器的情况下，可以针对一个喷嘴移动单元布置或设置多个排放器，并且因此，多个排放器可以随着喷嘴移动单元移动而同时移动。
作为示例，可以分别提供喷嘴移动单元和排放器。就这一点而言，可以针对一个喷嘴移动单元布置或设置至少一个排放器。在下文中，为了便于描述，将主要详细描述其中针对一个喷嘴移动单元布置或设置一个排放器的情况。
移动部3000可以包括喷嘴移动单元。在实施例中，移动部3000可以包括第一喷嘴移动单元3000a、第二喷嘴移动单元3000b以及第三喷嘴移动单元3000c。在实施例中，移动部3000可以包括至少一个喷嘴移动单元，或者可以包括四个或更多个喷嘴移动单元。然而，为了便于描述，将主要详细描述其中移动部3000包括第一喷嘴移动单元3000a、第二喷嘴移动单元3000b以及第三喷嘴移动单元3000c的情况。
在实施例中，第一喷嘴移动单元3000a和第二喷嘴移动单元3000b之间的距离可以与第二喷嘴移动单元3000b和第三喷嘴移动单元3000c之间的距离相同。在实施例中，第一喷嘴移动单元3000a和第二喷嘴移动单元3000b之间的距离以及第二喷嘴移动单元3000b和第三喷嘴移动单元3000c之间的距离可以彼此不同。
移动部3000可以在第一门架2000上线性移动。作为示例，移动部3000可以在第一门架2000的长度方向上移动。例如，第一喷嘴移动单元3000a、第二喷嘴移动单元3000b和第三喷嘴移动单元3000c中的至少一个可以沿方向x或方向-x移动。
在实施例中，移动部3000可以手动地线性移动。在实施例中，移动部3000可以包括例如电机气缸，并且因此可以自动地线性移动。例如，移动部3000可以包括沿着线性运动轨道移动的线性运动块。
液滴排放器4000的排放器可以被布置或设置在移动部3000的喷嘴移动单元上。例如，第一排放器4000a可以被布置或设置在第一喷嘴移动单元3000a上。作为示例，第二排放器4000b可以被布置或设置在第二喷嘴移动单元3000b上。作为示例，第三排放器4000c可以被布置或设置在第三喷嘴移动单元3000c上。
液滴排放器4000可以将液滴排放到显示基板S或以下描述的测试台100。就这一点而言，液滴可以是红色、绿色或蓝色墨水，其中颜料颗粒可以被混合在液晶溶液或组合物、取向溶液、或者溶剂中。在实施例中，液滴可以是与有机发光显示装置的发射层对应的聚合物或低分子量有机材料。
第一排放器4000a、第二排放器4000b和第三排放器4000c可以各自具有被独立调节的液滴量。就这一点而言，第一排放器4000a、第二排放器4000b和第三排放器4000c可以各自电连接至控制器6000。因此，第一排放器4000a、第二排放器4000b和第三排放器4000c可以各自具有由控制器6000调节的排放微滴的量。
液滴测量部5000可以测量从液滴排放器4000排放的液滴。作为示例，从液滴排放器4000排放的液滴的体积可以被测量。在液滴排放器4000将液滴排放到显示基板S之前，液滴测量部5000可以测量从液滴排放器4000排放的液滴的体积。在实施例中，液滴测量部5000可以通过测量对象的表面轮廓来测量从液滴排放器4000排放的液滴的体积。对象可以是要被测量的对象，使得对象可以是液滴，但是本公开不限于此。例如，微滴可以是液滴或流体滴。就这一点而言，对象的表面轮廓可以被定义为对象的三维表面形状。对象的表面轮廓表示对象的例如表面、凹槽、突起的弯曲程度。
液滴测量部5000可以包括测试台100、轮廓测量部200以及第二门架300。
测试台100可以被布置或设置在载物台1100上。就这一点而言，测试台100可以被布置或设置在引导构件1200之间。在实施例中，用于制造显示装置的装置1000可以包括至少一个测试台100。例如，用于制造显示装置的装置1000可以包括测试台100。因此，从排放器排放的液滴的量可以被同时测试，并且液滴测试的效率可以提高。
测试台100可以包括膜供给器101和膜收集器102。膜供给器101和膜收集器102可以彼此间隔开。在实施例中，膜供给器101和膜收集器102可以在引导构件1200的长度方向上彼此间隔开。例如，膜供给器101和膜收集器102可以在方向y上彼此间隔开。就这一点而言，膜供给器101和膜收集器102可以连接至地面，例如建筑物的内部，并且因此可以被固定。
膜供给器101可以供给膜103。膜103可以以卷的形式布置或设置在膜供给器101周围。换句话说，膜103可以卷绕在膜供给器101周围。膜供给器101可以包括第一轴101a，并且第一轴101a可以旋转以供给膜103。第一轴101a可以连接至驱动器。因此，第一轴101a可以被驱动器旋转。
膜收集器102可以收集膜103。作为示例，膜收集器102可以收集被膜供给器101供给的膜103。膜103可以以卷的形式布置或设置在膜收集器102周围。例如，排放的液滴在其处已经被测量的膜103可以卷绕在膜收集器102周围。膜收集器102可以包括第二轴102a，并且第二轴102a可以旋转以收集膜103。第二轴102a可以连接至驱动器。因此，第二轴102a可以被驱动器旋转。
膜103可以由膜供给器101供给，并且可以由膜收集器102收集。因此，在排放到膜103的第一部分上的液滴已经被测试的情况下，可以进行替换，使得膜103的第二部分可以面对液滴排放器4000。就这一点而言，膜103可以包括与显示基板S相同或相似的材料。例如，在本公开的精神和范围内，膜103可以是玻璃膜，或者可以包括诸如聚醚砜、聚芳酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚酰亚胺、PC、TAC、醋酸丙酸纤维素等的聚合物树脂。
虽然在实施例中，测试台100包括膜供给器101和膜收集器102，但是在实施例中，测试台100可以包括测试基板。测试基板可以使用机械臂替换。测试基板可以包括与显示基板S或膜103相同或相似的材料。
轮廓测量部200可以测量对象的表面轮廓。例如，轮廓测量部200可以测量对象的三维表面形状。轮廓测量部200可以电连接至控制器6000，以将对象的表面轮廓传输至控制器6000。
在本公开的精神和范围内，轮廓测量部200可以是共焦显微镜或干涉仪显微镜或其他显微镜。共焦显微镜可以是可获得对象在不同深度的多个二维图像并且可基于多个二维图像来重构对象的三维结构的显微镜。在本公开的精神和范围内，共焦显微镜可以是例如彩色共焦显微镜或彩色线共焦显微镜等。干涉仪显微镜可以是可观察并定量地测量对象的微结构的相位改变和不规则性的显微镜。在本公开的精神和范围内，干涉仪显微镜可以是例如激光干涉仪显微镜或白光干涉仪显微镜等。
液滴测量部5000可以包括至少一个轮廓测量部200。例如，液滴测量部5000可以包括轮廓测量部200。因此，从排放器排放的液滴的量可以被同时测试，并且液滴测试的效率可以提高。
轮廓测量部200可以沿以下所述的第二门架300线性移动，并且可以与第二门架300一起线性移动。作为示例，轮廓测量部200可以在第二门架300的长度方向上移动。例如，轮廓测量部200可以在方向x或方向-x上移动。轮廓测量部200可以随着第二门架300移动而与第二门架300一起线性移动。例如，轮廓测量部200可以在方向y或方向-y上与第二门架300一起移动。
第二门架300可以被布置或设置在引导构件1200上。例如，以与第一门架2000类似的方式，第二门架300可以被布置或设置在以其间的测试台100彼此间隔开的引导构件1200上。
第二门架300可以在引导构件1200的长度方向上移动。在实施例中，第二门架300可以手动地线性移动，或者可以包括例如电机气缸并因此可以自动地线性移动。例如，第二门架300可以包括沿着线性运动轨道移动的线性运动块，并且因此可以自动地线性移动。
虽然图1示出连接至第二门架300的轮廓测量部200，但是在实施例中，第一门架2000和第二门架300可以被一体地提供或设置。例如，轮廓测量部200可以与移动部3000间隔开，或者轮廓测量部200可以以与液滴排放器4000类似的方式布置或设置在移动部3000上。然而，为了便于描述，将主要详细描述其中用于制造显示装置的装置1000包括第二门架300并且轮廓测量部200连接至第二门架300的情况。
控制器6000可以通过使用由轮廓测量部200测量的对象的表面轮廓来测量排放到测试台100上的液滴的体积。在实施例中，控制器6000可以通过使用由轮廓测量部200测量的测试台100的表面轮廓以及由轮廓测量部200测量的测试台100上排放的液滴的表面轮廓来测量排放的液滴的体积。
在下文中，将详细描述用于制造显示装置的装置1000的操作、通过使用用于制造显示装置的装置1000来测量液滴的方法以及通过使用用于制造显示装置的装置1000来制造显示装置的方法。
图3A是操作图1和图2中所示的装置1000的方法的示意性透视图。图3B是图3A中所示的膜103的一部分的示意性截面图。图3C是操作图1和图2中所示的装置1000的方法的示意性透视图。图3D是图3C中所示的膜103的一部分的示意性截面图。图3E是操作图1和图2中所示的装置1000的方法的示意性透视图。
参考图3A和图3B，膜103可以被供给。膜103可以由膜供给器101供给。就这一点而言，第一轴101a和第二轴102a可以旋转。
轮廓测量部200可以测量测试台100的表面轮廓。作为示例，膜103的表面轮廓可以被测量。就这一点而言，第二门架300可以在方向y或方向-y上移动，并且第二门架300可以使轮廓测量部200在方向y或方向-y上移动。轮廓测量部200可以面对膜103以测量膜103的表面轮廓。
膜103可以包括基部103A和在基部103A上的一个或多个突起103B。就这一点而言，突起103B表示在基部103A上的细小突出。突起103B可以在基部103A上。虽然图3B示出相邻突起103B之间的距离可以全部相同，但是突起103B之间的距离中的一个可以与突起103B之间的距离中的另一个不同。虽然图3B示出相邻突起103B的高度可以全部相同，但是突起103B中的一个的高度可以与突起103B中的另一个的高度不同。就这一点而言，突起103B的高度可以是从基部103A至突起103B的末端的距离。
在实施例中，在液滴被排放到包括如上所述的突起103B的膜103上的情况下，测量膜103的表面轮廓可以是测量准确的体积。与实施例不同，在不测量膜103的表面轮廓而仅测量排放到膜103上的液滴的量的情况下，由于布置或设置在膜103上的表面的细小凹槽、突起或弯曲程度，可能无法测量准确的液滴体积，并且可能会发生与液滴的实际体积的误差。在实施例中，可以测量膜103的表面轮廓，并且可以通过反映膜103的表面轮廓来测量液滴的准确体积。
参考图3C和图3D，液滴(墨水)可以被排放到测试台100上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对测试台100，并且液滴可以从液滴排放器排放到测试台100上。
排放的液滴(墨水)的表面轮廓可以被测量。轮廓测量部200可以测量排放的液滴(墨水)的表面轮廓。就这一点而言，第二门架300可以在方向y或方向-y上移动，并且第二门架300可以使轮廓测量部200在方向y或方向-y上移动。轮廓测量部200可以面对液滴(墨水)以测量液滴(墨水)的表面轮廓。
控制器(未示出)可以通过在排放的液滴(墨水)的表面轮廓中反映测试台100的表面轮廓来测量排放的液滴(墨水)的体积。作为示例，控制器可以根据设置在测试台100上的液滴(墨水)的表面轮廓与测试台100的表面轮廓之间的差异来测量关于排放的液滴(墨水)所占据的空间的信息。因此，可以测量排放的液滴(墨水)的准确体积。
在实施例中，控制器可以将从液滴测量部获得的排放的液滴(墨水)的准确体积与预设的要从液滴排放器排放的液滴的体积进行比较。例如，控制器可以设置要从第一排放器排放大约1ml的微滴。第一排放器可以在液滴测量部处排放预设的微滴(约1ml)。就这一点而言，在从液滴测量部获得的排放的液滴的准确体积不是大约1ml的情况下，控制器可以改变预设的要从第一排放器排放的液滴的体积。通过重复上述过程，液滴排放器可以排放与初始计划要排放的液滴的体积一样量的液滴。因此，可以精确地控制由液滴排放器排放的液滴的体积。
参考图3E，膜103可以被收集到膜收集器102。就这一点而言，第一轴101a和第二轴102a可以旋转。因此，在膜103中，排放的液滴可以被布置或设置在其处的膜部分可以被收集到膜收集器102，并且新的膜部分可以从膜供给器101供给。上述测量过程可以被重复。
在实施例中，可以测量从液滴排放器排放的液滴(墨水)的准确体积。可以通过反映所测量的液滴(墨水)的体积而将液滴(墨水)排放到或设置在显示基板(未示出)上。用于制造显示装置的装置可以将具有准确体积的液滴排放到显示基板的需要预设体积的液滴的位置。相应地，用于制造显示装置的装置的精度可以提高。因此，可以解决诸如由于在显示基板上的位置滴落的液滴的体积差异而引起斑点的问题。
图4是根据实施例的液滴测量部的一部分的示意性透视图。
参考图4，液滴测量部可以包括测试台(例如，第一测试台110A和第二测试台110B)、轮廓测量部(例如，第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)以及第二门架310。就这一点而言，图4的第二门架310可以与图2的第二门架300相同或相似，并且因此，可以省略其详细描述。应理解，在图4中，第一测试台110A和第二测试台110B可以统称为110。
测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)可以被布置或设置在载物台1100上。就这一点而言，测试台可以包括多个测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)。例如，测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)可以包括第一测试台110A和第二测试台110B。作为示例，测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)可以包括第三测试台或更多的测试台。然而，为了便于描述，将主要详细描述其中测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)包括第一测试台110A和第二测试台110B的情况。
第一测试台110A和第二测试台110B可以彼此间隔开。虽然第一测试台110A和第二测试台110B被示出为在方向x上彼此间隔开，但在实施例中，第一测试台110A和第二测试台110B可以在方向y上彼此间隔开。
第一测试台110A可以包括第一膜供给器111和第一膜收集器112。第一膜113可以由第一膜供给器111供给，并且可以由第一膜收集器112收集。第一膜供给器111可以包括第一供给轴111a，并且第一膜收集器112可以包括第一收集轴112a。第一膜供给器111、第一供给轴111a、第一膜收集器112、第一收集轴112a和第一膜113可以与图2的膜供给器101、第一轴101a、膜收集器102、第二轴102a和膜103相同或相似，并且因此，可以省略其详细描述。
第二测试台110B可以包括第二膜供给器114和第二膜收集器115。第二膜116可以由第二膜供给器114供给，并且可以由第二膜收集器115收集。第二膜供给器114可以包括第二供给轴114a，并且第二膜收集器115可以包括第二收集轴115a。第二膜供给器114、第二供给轴114a、第二膜收集器115、第二收集轴115a和第二膜116可以与图2的膜供给器101、第一轴101a、膜收集器102、第二轴102a和膜103相同或相似，并且因此，可以省略其详细描述。
轮廓测量部(例如第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)可以测量对象的表面轮廓。就这一点而言，轮廓测量部(例如第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)可以包括多个轮廓测量部。例如，轮廓测量部(即第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)可以包括第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212。作为示例，轮廓测量部(例如第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)可以包括第三轮廓测量部或更多的轮廓测量部。但是，为了便于描述，将主要详细描述其中轮廓测量部(例如第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)包括第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212的情况。
在实施例中，第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212可以连接至第二门架310。在实施例中，第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212可以不被布置或设置在同一门架上。例如，第一轮廓测量部211可以被布置或设置在第二门架310上，并且第二轮廓测量部212可以被布置或设置在类似于第二门架310的第三门架上。
第一轮廓测量部211可以与第一测试台110A对应，并且第二轮廓测量部212可以与第二测试台110B对应。第一轮廓测量部211可以在第一测试台110A上方移动。例如，第一轮廓测量部211可以在从第一膜供给器111到第一膜收集器112的方向上移动。第二轮廓测量部212可以在第二测试台110B上方移动。例如，第二轮廓测量部212可以在从第二膜供给器114到第二膜收集器115的方向上移动。
第一轮廓测量部211可以测量第一测试台110A的表面轮廓，并且第二轮廓测量部212可以测量第二测试台110B的表面轮廓。第一轮廓测量部211可以测量排放到或设置在第一测试台110A上的液滴的表面轮廓，并且第二轮廓测量部212可以测量排放到或设置在第二测试台110B上的液滴的表面轮廓。
第一轮廓测量部211可以将第一测试台110A的表面轮廓和排放到或设置在第一测试台110A上的液滴的表面轮廓传输至控制器(未示出)。第二轮廓测量部212可以将第二测试台110B的表面轮廓和排放到或设置在第二测试台110B上的液滴的表面轮廓传输至控制器。
图5A至图5D是根据实施例的操作图4中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图。
参考图5A，第一膜113和第二膜116可以被供给。第一膜113可以由第一膜供给器111供给，并且第二膜116可以由第二膜供给器114供给。就这一点而言，第一供给轴111a和第一收集轴112a可以旋转，并且第二供给轴114a和第二收集轴115a也可以旋转。
第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212可以分别测量第一测试台110A的表面轮廓和第二测试台110B的表面轮廓。虽然图5A示出第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212在相同方向上移动，但是，在实施例中，在第一轮廓测量部211被布置或设置在第二门架310下或下方并且第二轮廓测量部212被布置或设置在第三门架下或下方的情况下，第一轮廓测量部211移动的方向和第二轮廓测量部212移动的方向可以彼此不同。
参考图5B，液滴(墨水)可以被排放到第一测试台110A上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第一测试台110A，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器排放到第一测试台110A上。
排放到第一测试台110A上的液滴(墨水)的表面轮廓可以被测量。第一轮廓测量部211可以测量排放到第一测试台110A上的液滴(墨水)的表面轮廓。
控制器(未示出)可以通过在排放到第一测试台110A上的液滴的表面轮廓中反映第一测试台110A的表面轮廓来测量排放到第一测试台110A上的液滴的体积。
第一膜113可以被收集到第一膜收集器112。就这一点而言，第一供给轴111a和第一收集轴112a可以旋转。因此，在第一膜113中，排放的液滴可以被布置或设置在其处的第一膜部分可以被收集到第一膜收集器112，并且新的第一膜部分可以从第一膜供给器111供给。
液滴(墨水)可以被排放到第二测试台110B上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第二测试台110B，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器排放到第二测试台110B上。
参考图5C，在第一测试台110A的表面轮廓被测量的情况下，排放到第二测试台110B上的液滴(墨水)的表面轮廓可以被测量。第一轮廓测量部211可以测量第一测试台110A的表面轮廓，并且同时，第二轮廓测量部212可以测量排放到第二测试台110B上的液滴(墨水)的表面轮廓。
控制器(未示出)可以通过在排放到第二测试台110B上的液滴的表面轮廓中反映第二测试台110B的表面轮廓来测量排放到第二测试台110B上的液滴的体积。
第二膜116可以被收集到第二膜收集器115。就这一点而言，第二供给轴114a和第二收集轴115a可以旋转。因此，在第二膜116中，排放的液滴可以被布置或设置在其处的第二膜部分可以被收集到第二膜收集器115，并且新的第二膜部分可以从第二膜供给器114供给。
液滴(墨水)可以被排放到第一测试台110A上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第一测试台110A，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器排放到第一测试台110A上。
参考图5D，在排放到第一测试台110A上的液滴(墨水)的表面轮廓被测量的情况下，第二测试台110B的表面轮廓可以被测量。第一轮廓测量部211可以测量排放到第一测试台110A上的液滴(墨水)的表面轮廓，并且同时，第二轮廓测量部212可以测量第二测试台110B的表面轮廓。
第一膜113可以再次被第一膜收集器112收集，液滴(墨水)可以被排放到第二测试台110B上，并且在第一测试台110A的表面轮廓被测量的同时，排放到第二测试台110B上的液滴(墨水)的表面轮廓可以被测量。上述测量过程可以被重复。
如在实施例中，在测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)中的一个的表面轮廓被测量的同时，排放到测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)中的另一个上的液滴的表面轮廓可以被测量，并且因此，测量液滴的体积所需的时间可以减少，并且用于制造显示装置的装置的生产率可以提高。
图6A和图6B是根据实施例的操作图4中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图。
参考图6A，第一膜113和第二膜116可以被供给。第一膜113可以由第一膜供给器111供给，并且第二膜116可以由第二膜供给器114供给。就这一点而言，第一供给轴111a和第一收集轴112a可以旋转，并且第二供给轴114a和第二收集轴115a可以旋转。
第一测试台110A的表面轮廓和第二测试台110B的表面轮廓可以被同时测量。例如，第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212可以同时分别测量第一测试台110A的表面轮廓和第二测试台110B的表面轮廓。
参考图6B，液滴(墨水)可以分别被排放到第一测试台110A和第二测试台110B上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第一测试台110A和第二测试台110B，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器分别排放到第一测试台110A和第二测试台110B上。
排放到第一测试台110A和第二测试台110B上的液滴(墨水)的表面轮廓可以被同时测量。第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212可以同时分别测量排放到第一测试台110A和第二测试台110B上的液滴(墨水)的表面轮廓。
就这一点而言，控制器(未示出)可以通过在排放到第一测试台110A上的液滴的表面轮廓中反映第一测试台110A的表面轮廓来测量排放到第一测试台110A上的液滴的体积。控制器(未示出)可以通过在排放到第二测试台110B上的液滴的表面轮廓中反映第二测试台110B的表面轮廓来测量排放到第二测试台110B上的液滴的体积。
第一膜113可以被收集到第一膜收集器112，并且第二膜116可以被收集到第二膜收集器115。
第一测试台110A的表面轮廓和第二测试台110B的表面轮廓可以被再次同时测量。上述测量过程可以被重复。
如在实施例中，轮廓测量部(例如第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)可以测量测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)的表面轮廓以及排放到测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)上的液滴的表面轮廓，并且因此，测量液滴的体积所需的时间可以减少，并且用于制造显示装置的装置的生产率可以提高。
图7是根据实施例的液滴测量部的一部分的示意性透视图。
参考图7，液滴测量部可以包括测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)、轮廓测量部(例如第一轮廓测量部221和第二轮廓测量部222)以及第二门架321。图7的测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)、轮廓测量部(例如第一轮廓测量部221和第二轮廓测量部222)以及第二门架321可以分别与图4的测试台(例如第一测试台110A和第二测试台110B)、轮廓测量部(例如第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)以及第二门架310相同或相似，并且因此，可以省略其详细描述。应理解，在图7中，第一测试台120A和第二测试台120B可以被统称为120。
在实施例中，液滴测量部可以包括尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)。尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以测量排放到或设置在测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)上的液滴的尺寸。就这一点而言，尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以是照相机，并且排放的液滴的尺寸可以被定义为液滴的半径或直径。作为示例，尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以获得对象的二维图像，并且可以从二维图像测量液滴的半径。就这一点而言，液滴的半径可以利用从液滴的中心到液滴的末端的距离来测量。
液滴测量部可以包括至少一个尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)。在实施例中，液滴测量部可以包括多个尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)。例如，尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以包括第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224。在示例中，尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以包括第三尺寸测量部，或可以包括更多的尺寸测量部。因此，从排放器排放的液滴的量可以被同时测试，并且液滴测试的效率可以提高。在下文中，将主要详细描述其中尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)包括第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224的情况。
尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以连接至与第二门架321相似的第三门架322。在实施例中，第三门架322可以以与第二门架321相同的方式移动。作为示例，第三门架322可以一直以与第二门架321相同的方式移动。在实施例中，第三门架322可以独立于第二门架321移动。在下文中，将主要详细描述其中第三门架322以与第二门架321相同的方式移动的情况。
在实施例中，第一尺寸测量部223可以与第一测试台120A对应，并且第二尺寸测量部224可以与第二测试台120B对应。第一尺寸测量部223可以在第一测试台120A上方移动。例如，第一尺寸测量部223可以在从第一膜供给器121到第一膜收集器122的方向上移动。第二尺寸测量部224可以在第二测试台120B上方移动。例如，第二尺寸测量部224可以在从第二膜供给器124到第二膜收集器125的方向上移动。
第一尺寸测量部223可以测量排放到第一测试台120A上的液滴的尺寸，并且第二尺寸测量部224可以测量排放到第二测试台120B上的液滴的尺寸。
在实施例中，控制器(未示出)可以通过在由尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)测量的液滴的尺寸中反映测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)的表面轮廓来测量液滴的体积。作为示例，尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以连接至控制器，并且由尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)测量的液滴的尺寸可以被传输至控制器。因此，控制器可以通过在液滴的尺寸中反映由轮廓测量部(例如第一轮廓测量部221和第二轮廓测量部222)测量的测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)的表面轮廓来测量排放到或设置在测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)上的液滴的准确尺寸。
图8A和图8B是根据实施例的操作图7中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图。图8C是图8B中所示的第一膜123的一部分的示意性截面图。图8D是示出测量微滴的体积的方法的示意性截面图。图8E和图8F是根据实施例的操作图7中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图。
参考图8A，第一膜123和第二膜126可以被供给。第一膜123可以由第一膜供给器121供给，并且第二膜126可以由第二膜供给器124供给。就这一点而言，第一供给轴121a和第一收集轴122a可以旋转，并且第二供给轴124a和第二收集轴125a可以旋转。
第一轮廓测量部221和第二轮廓测量部222可以分别测量第一测试台120A的表面轮廓和第二测试台120B的表面轮廓。
参考图8B和图8C，液滴(墨水)可以被排放到第一测试台120A上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第一测试台120A，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器排放到第一测试台120A上。
排放到第一测试台120A上的液滴(墨水)的尺寸可以被测量。第一尺寸测量部223可以测量排放到第一测试台120A上的液滴(墨水)的尺寸。
就这一点而言，液滴(墨水)的尺寸的测量可以被定义为液滴(墨水)的半径R的测量。尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以获得对象的二维图像，并且就这一点而言，可以测量液滴(墨水)的半径R。
在假定液滴(墨水)以类似于半球形的形状布置或设置在第一膜123上的情况下，液滴(墨水)的体积可以通过由液滴(墨水)和第一膜123之间的表面能形成的接触角以及由第一尺寸测量部223测量的半径R以算术方法获得，如以下等式1中所示。
[等式1]
Figure BDA0002760062940000211
(其中，V表示液滴(墨水)的体积，θ表示接触角，并且R表示第一膜123的液滴(墨水)的半径。)
控制器(未示出)可以通过在排放到第一测试台120A上的液滴的尺寸中反映第一测试台120A的表面轮廓来测量排放到第一测试台120A上的液滴的体积。
在实施例中，测量第一膜123的表面轮廓可以用于在液滴被排放到第一膜123上的情况下测量准确的体积。与该实施例不同，在液滴(墨水)的体积通过由第一尺寸测量部223测量的半径R以算术方法测量的情况下，由于布置或设置在第一膜123上的表面的细小凹槽、突起或弯曲程度，可能无法测量液滴(墨水)的准确体积，并且可能会发生与液滴的实际体积的误差。在实施例中，第一膜123的表面轮廓可以被测量，并且以算术方法测量的液滴(墨水)的体积可以被校准，并且因此，液滴的准确体积可以被测量。例如，控制器可以从以算术方法测量的液滴(墨水)的体积中减去由突起所占据的体积。可替代地，控制器可以向以算术方法测量的液滴(墨水)的体积加上第一膜123上的细小凹槽所占据的体积。换句话说，控制器可以补偿在测量液滴(墨水)的体积中获得的不符或误差。
参考图8D，第一体积V1可以基于水平表面HS根据微滴的尺寸以算术方法计算，水平表面HS包括微滴的末端与第一膜123的表面相遇的点。填充第一膜123的表面轮廓和水平表面HS之间的空间的第二体积V2也可以被计算。例如，多个凹槽可以基于水平表面HS被提供在第一膜123上，并且微滴可以填充多个凹槽。在这种情况下，第二体积V2可以具有正值。在另一示例中，多个突起可以基于水平表面HS被提供在第一膜123上。在这种情况下，第二体积V2可以具有负值。第一体积V1和第二体积V2可以相加以计算墨水的实际体积VACT。因此，可以准确地确定微滴的体积。
第一膜123可以被收集到第一膜收集器122。就这一点而言，第一供给轴121a和第一收集轴122a可以旋转。因此，在第一膜123中，排放的液滴可以被布置或设置在其处的第一膜部分可以被收集到第一膜收集器122，并且新的第一膜部分可以从第一膜供给器121供给。
参考图8E，液滴(墨水)可以被排放到第二测试台120B上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第二测试台120B，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器排放到第二测试台120B上。
在第一测试台120A的表面轮廓被测量的情况下，排放到第二测试台120B上的液滴(墨水)的尺寸可以被测量。第一轮廓测量部221可以测量第一测试台120A的表面轮廓，并且同时，第二尺寸测量部224可以测量排放到第二测试台120B上的液滴(墨水)的尺寸。
控制器(未示出)可以通过在排放到第二测试台120B上的液滴的尺寸中反映第二测试台120B的表面轮廓来测量排放到第二测试台120B上的液滴的体积。排放到第二测试台120B上的液滴的体积可以以与测量排放到第一测试台120A上的液滴的体积的方法类似的方式获得。
第二膜126可以被收集到第二膜收集器125。就这一点而言，第二供给轴124a和第二收集轴125a可以旋转。因此，在第二膜126中，排放的液滴可以被布置或设置在其处的第二膜部分可以被收集到第二膜收集器125，并且新的第二膜部分可以从第二膜供给器124供给。
此外，液滴(墨水)可以被排放到第一测试台120A上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第一测试台120A，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器排放到第一测试台120A上。
接下来，参考图8F，在排放到第一测试台120A上的液滴(墨水)的尺寸被测量的情况下，第二测试台120B的表面轮廓可以被测量。第一尺寸测量部223可以测量排放到第一测试台120A上的液滴(墨水)的尺寸，并且同时，第二轮廓测量部222可以测量第二测试台120B的表面轮廓。
第一膜123可以再次被收集到第一膜收集器122，液滴(墨水)可以被排放到第二测试台120B上，并且在第一测试台120A的表面轮廓被测量的同时，排放到第二测试台120B上的液滴(墨水)的尺寸可以被测量。上述测量过程可以被重复。
如在实施例中，在测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)中的一个的表面轮廓被测量的同时，排放到测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)中的另一个上的液滴的尺寸可以被测量，并且因此，测量液滴的体积所需的时间可以减少，并且用于制造显示装置的装置的生产率可以提高。
图9A和图9B是根据实施例的操作图7中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图。
参考图9A，第一膜123和第二膜126可以被供给。第一膜123可以由第一膜供给器121供给，并且第二膜126可以由第二膜供给器124供给。就这一点而言，第一供给轴121a和第一收集轴122a可以旋转，并且第二供给轴124a和第二收集轴125a可以旋转。
第一测试台120A的表面轮廓和第二测试台120B的表面轮廓可以被同时测量。例如，第一轮廓测量部221和第二轮廓测量部222可以同时分别测量第一测试台120A的表面轮廓和第二测试台120B的表面轮廓。
参考图9B，液滴(墨水)可以分别被排放到第一测试台120A和第二测试台120B上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第一测试台120A和第二测试台120B，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器分别排放到第一测试台120A和第二测试台120B上。
排放到第一测试台120A和第二测试台120B上的液滴(墨水)的尺寸可以被同时测量。在这种情况下，第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224可以同时分别测量排放到第一测试台120A和第二测试台120B上的液滴(墨水)的尺寸。
就这一点而言，控制器(未示出)可以通过在排放到第一测试台120A上的液滴的尺寸中反映第一测试台120A的表面轮廓来测量排放到第一测试台120A上的液滴的体积。控制器(未示出)可以通过在排放到第二测试台120B上的液滴的尺寸中反映第二测试台120B的表面轮廓来测量排放到第二测试台120B上的液滴的体积。
第一膜123可以被收集到第一膜收集器122，并且第二膜126可以被收集到第二膜收集器125。
第一测试台120A的表面轮廓和第二测试台120B的表面轮廓可以被再次同时测量。上述测量过程可以被重复。
如在实施例中，轮廓测量部(例如第一轮廓测量部221和第二轮廓测量部222)以及尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)可以分别测量测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)的表面轮廓以及排放到测试台(例如第一测试台120A和第二测试台120B)上的液滴的尺寸，并且因此，测量液滴的体积所需的时间可以减少，并且用于制造显示装置的装置的生产率可以提高。
图10是根据实施例的液滴测量部的一部分的示意性透视图。
参考图10，液滴测量部可以包括测试台130、轮廓测量部(例如第一轮廓测量部231和第二轮廓测量部232)以及第二门架330。图10的测试台130可以与图2的测试台100相同或相似，并且因此，可以省略其详细描述。图10的轮廓测量部(例如第一轮廓测量部231和第二轮廓测量部232)以及第二门架330可以与图4的轮廓测量部(例如第一轮廓测量部211和第二轮廓测量部212)以及第二门架310相同或相似，并且因此，可以省略其详细描述。
测试台130可以包括第一区域R1以及与第一区域R1间隔开的第二区域R2。就这一点而言，第一区域R1和第二区域R2可以都被定义为液滴可以被排放到的区域。
在实施例中，第一轮廓测量部231可以与第一区域R1对应，并且第二轮廓测量部232可以与第二区域R2对应。第一轮廓测量部231可以在第一区域R1上方移动。第二轮廓测量部232可以在第二区域R2上方移动。
第一轮廓测量部231可以测量第一区域R1的表面轮廓，并且第二轮廓测量部232可以测量第二区域R2的表面轮廓。第一轮廓测量部231可以测量排放到或设置在第一区域R1上的液滴的表面轮廓，并且第二轮廓测量部232可以测量排放到或设置在第二区域R2上的液滴的表面轮廓。
第一轮廓测量部231可以将第一区域R1的表面轮廓以及排放到或设置在第一区域R1上的液滴的表面轮廓传输至控制器(未示出)。第二轮廓测量部232可以将第二区域R2的表面轮廓以及排放到或设置在第二区域R2上的液滴的表面轮廓传输至控制器。
在实施例中，第一轮廓测量部231和第二轮廓测量部232可以测量排放到一个测试台130上的液滴的表面轮廓。因此，测量液滴的体积所需的时间可以减少，并且用于制造显示装置的装置的生产率可以提高。
图11A和图11B是操作图10中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图。
参考图11A，膜133可以被供给。膜133可以由膜供给器131供给。就这一点而言，第一轴131a和第二轴132a可以旋转。
第一区域R1的表面轮廓和第二区域R2的表面轮廓可以被同时测量。例如，第一轮廓测量部231和第二轮廓测量部232可以同时分别测量第一区域R1的表面轮廓和第二区域R2的表面轮廓。
参考图11B，液滴(墨水)可以被分别排放到第一区域R1和第二区域R2上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第一区域R1和第二区域R2，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器分别排放到第一区域R1和第二区域R2上。
排放到第一区域R1和第二区域R2上的液滴(墨水)的表面轮廓可以被同时测量。第一轮廓测量部231和第二轮廓测量部232可以同时分别测量排放到第一区域R1和第二区域R2上的液滴(墨水)的表面轮廓。
就这一点而言，控制器(未示出)可以通过在排放到第一区域R1上的液滴的表面轮廓中反映第一区域R1的表面轮廓来测量排放到第一区域R1上的液滴的体积。控制器(未示出)可以通过在排放到第二区域R2上的液滴的表面轮廓中反映第二区域R2的表面轮廓来测量排放到第二区域R2上的液滴的体积。
膜133可以被收集到膜收集器132。
第一区域R1的表面轮廓和第二区域R2的表面轮廓可以被再次同时测量。上述测量过程可以被重复。
如在实施例中，轮廓测量部(例如第一轮廓测量部231和第二轮廓测量部232)可以测量第一区域R1的表面轮廓和第二区域R2的表面轮廓以及排放到第一区域R1上的液滴的表面轮廓和排放到第二区域R2上的液滴的表面轮廓，并且因此，测量液滴的体积所需的时间可以减少，并且用于制造显示装置的装置的生产率可以提高。
图12是根据实施例的液滴测量部的一部分的示意性透视图。
参考图12，液滴测量部可以包括测试台140、轮廓测量部(例如第一轮廓测量部241和第二轮廓测量部242)、尺寸测量部(例如第一尺寸测量部243和第二尺寸测量部244)、第二门架341以及第三门架342。测试台140可以包括第一区域R1-1和第二区域R2-1。图12的测试台140、轮廓测量部(例如第一轮廓测量部241和第二轮廓测量部242)、第二门架341、第一区域R1-1以及第二区域R2-1可以与图10的测试台130、轮廓测量部(例如第一轮廓测量部231和第二轮廓测量部232)、第二门架330、第一区域R1以及第二区域R2相同或相似，并且因此，可以省略其详细描述。图12的尺寸测量部(例如第一尺寸测量部243和第二尺寸测量部244)以及第三门架342可以与图7的尺寸测量部(例如第一尺寸测量部223和第二尺寸测量部224)以及第三门架322相同或相似，并且因此，可以省略其详细描述。
在实施例中，第一尺寸测量部243可以与第一区域R1-1对应，并且第二尺寸测量部244可以与第二区域R2-1对应。第一尺寸测量部243可以在第一区域R1-1上方移动。第二尺寸测量部244可以在第二区域R2-1上方移动。
第一尺寸测量部243可以测量排放到或设置在第一区域R1-1上的液滴的尺寸，并且第二尺寸测量部244可以测量排放到或设置在第二区域R2-1上的液滴的尺寸。
第一尺寸测量部243可以将排放到或设置在第一区域R1-1上的液滴的尺寸传输至控制器(未示出)。第二尺寸测量部244可以将排放到或设置在第二区域R2-1上的液滴的尺寸传输至控制器。
在实施例中，第一尺寸测量部243和第二尺寸测量部244可以测量排放到或设置在一个测试台140上的液滴的尺寸。因此，测量液滴的体积所需的时间可以减少，并且用于制造显示装置的装置的生产率可以提高。
图13A和图13B是操作图12中所示的液滴测量部的方法的示意性透视图。
参考图13A，膜143可以被供给。膜143可以由膜供给器141供给。就这一点而言，第一轴141a和第二轴142a可以旋转。
第一区域R1-1的表面轮廓和第二区域R2-1的表面轮廓可以被同时测量。例如，第一轮廓测量部241和第二轮廓测量部242可以同时分别测量第一区域R1-1的表面轮廓和第二区域R2-1的表面轮廓。
参考图13B，液滴(墨水)可以被分别排放到第一区域R1-1和第二区域R2-1上。就这一点而言，液滴排放器(未示出)可以面对第一区域R1-1和第二区域R2-1，并且液滴(墨水)可以从液滴排放器分别排放到第一区域R1-1和第二区域R2-1上。
排放到或设置在第一区域R1-1上的液滴的尺寸以及排放到或设置在第二区域R2-1上的液滴的尺寸可以被同时测量。例如，第一尺寸测量部243和第二尺寸测量部244可以同时分别测量排放到或设置在第一区域R1-1上的液滴的尺寸以及排放到或设置在第二区域R2-1上的液滴的尺寸。
就这一点而言，控制器(未示出)可以通过在排放到第一区域R1-1上的液滴的尺寸中反映第一区域R1-1的表面轮廓来测量排放到第一区域R1-1上的液滴的体积。控制器(未示出)可以通过在排放到第二区域R2-1上的液滴的尺寸中反映第二区域R2-1的表面轮廓来测量排放到第二区域R2-1上的液滴的体积。
膜143可以被收集到膜收集器142。
第一区域R1-1的表面轮廓和第二区域R2-1的表面轮廓可以被再次同时测量。上述测量过程可以被重复。
如在实施例中，轮廓测量部(例如第一轮廓测量部241和第二轮廓测量部242)可以测量第一区域R1-1的表面轮廓和第二区域R2-1的表面轮廓，并且尺寸测量部(例如第一尺寸测量部243和第二尺寸测量部244)可以测量排放到或设置在第一区域R1-1上的液滴的尺寸以及排放到或设置在第二区域R2-1上的液滴的尺寸，并且因此，测量液滴的体积所需的时间可以减少，并且用于制造显示装置的装置的生产率可以提高。
在下文中，将详细描述通过使用上述用于制造显示装置的装置而制造的显示装置。
图14是根据实施例的由用于制造显示装置的装置所制造的显示装置1的示意性平面图。
参考图14，显示装置1可以包括其中可以实现或显示图像的显示区DA和其中可以不实现或显示图像的非显示区NDA。显示装置1可以通过使用从布置或设置在显示区DA中的像素PX发射的光来提供图像。每个像素PX可以发射红光、绿光、蓝光或白光。
可以是可显示图像的装置的显示装置1可以是诸如游戏机、多媒体设备或微型个人计算机(PC)的便携式移动设备。以下描述的显示装置1的示例可以包括例如液晶显示装置、电泳显示装置、有机发光显示装置、无机发光显示装置、场发射显示装置、表面传导电子发射器显示装置、量子点显示装置、等离子体显示装置、阴极射线管显示装置，但是本公开不限于此。在下文中，将有机发光显示装置作为根据实施例的经由用于制造显示装置的装置制造的显示装置1的示例进行描述。然而，本文描述的实施例可以被用于制造上述各种类型的显示装置。
像素PX可以电连接至扫描线SL和数据线DLn中的每一条。扫描线SL可以在方向x上延伸，并且数据线DLn可以在方向y上延伸。
图15是根据实施例的由用于制造显示装置的装置所制造的显示装置的示意性截面图。
参考图15，显示层DL和薄膜封装层TFE可以被布置或设置在基板10上。显示层DL可以包括像素电路层PCL和显示元件层DEL。
基板10可以包括例如玻璃或诸如聚醚砜、聚芳酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚酰亚胺、PC、TAC、醋酸丙酸纤维素的聚合物树脂。
阻挡层(未示出)可以被包括在显示层DL和基板10之间。阻挡层可以是可防止外部异物渗透的阻挡层，其可以具有包括诸如氮化硅(SiNx，x>0)或氧化硅(SiOx，x>0)的无机材料的单层或多层结构。
像素电路层PCL可以被布置或设置在基板10上。图15示出像素电路层PCL包括薄膜晶体管TFT以及布置或设置在薄膜晶体管TFT的部件下或下方和/或上的缓冲层11、第一栅绝缘层13a、第二栅绝缘层13b、层间绝缘层15和平坦化绝缘层17。
缓冲层11可以包括诸如氮化硅、氮氧化硅和氧化硅的无机绝缘材料，并且可以具有包括上述无机绝缘材料的单层或多层结构。
薄膜晶体管TFT可以包括半导体层12，并且半导体层12可以包括多晶硅。可替代地，半导体层12可以包括非晶硅，可以包括氧化物半导体，或者可以包括有机半导体。半导体层12可以包括沟道区12c以及分别布置或设置在沟道区12c两侧的漏区12a和源区12b。栅电极14可以与沟道区12c重叠。
栅电极14可以包括低电阻金属材料。栅电极14可以包括例如包括钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)、钛(Ti)的导电材料，并且可以具有包括上述材料的多层或单层结构。
半导体层12和栅电极14之间的第一栅绝缘层13a可以包括无机绝缘材料，诸如氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al2O3)、氧化钛(TiO2)、氧化钽(Ta2O5)、氧化铪(HfO2)或氧化锌(ZnO2)。
第二栅绝缘层13b可以覆盖栅电极14或与栅电极14重叠。以类似于第一栅绝缘层13a的方式，第二栅绝缘层13b可以包括无机绝缘材料，诸如氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNX)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al2O3)、氧化钛(TiO2)、氧化钽(Ta2O5)、氧化铪(HfO2)或氧化锌(ZnO2)。
存储电容器Cst的上电极Cst2可以被布置或设置在第二栅绝缘层13b上。上电极Cst2可以与上电极Cst2下方的栅电极14重叠。就这一点而言，彼此重叠且其间具有第二栅绝缘层13b的栅电极14和上电极Cst2可以形成存储电容器Cst。例如，栅电极14可以用作存储电容器Cst的下电极Cst1。
如上所述，存储电容器Cst和薄膜晶体管TFT可以彼此重叠。在实施例中，存储电容器Cst可以不与薄膜晶体管TFT重叠。
上电极Cst2可以包括铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、银(Ag)、镁(Mg)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)、钙(Ca)、钼(Mo)、钛(Ti)、钨(W)和/或铜(Cu)，并且可以具有包括上述材料的单层或多层结构。
层间绝缘层15可以覆盖上电极Cst2或与上电极Cst2重叠。层间绝缘层15可以包括氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNX)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al2O3)、氧化钛(TiO2)、氧化钽(Ta2O5)、氧化铪(HfO2)或氧化锌(ZnO2)。层间绝缘层15可以具有包括上述无机绝缘材料的单层或多层结构。
漏电极16a和源电极16b可以都位于或设置在层间绝缘层15上。漏电极16a和源电极16b可以包括高导电材料。漏电极16a和源电极16b可以包括例如包括钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)、钛(Ti)的导电材料，并且可以具有包括上述材料的多层或单层结构。在实施例中，漏电极16a和源电极16b可以具有Ti/Al/Ti的多层结构。
平坦化绝缘层17可以包括有机绝缘材料。平坦化绝缘层17可以包括有机绝缘材料，诸如通用商业聚合物(诸如聚(甲基丙烯酸甲酯)(PMMA)或聚苯乙烯(PS))、具有酚类基团的聚合物衍生物、丙烯酸类聚合物、酰亚胺类聚合物、芳基醚类聚合物、酰胺类聚合物、氟类聚合物、对二甲苯类聚合物、乙烯醇类聚合物和/或其混合物。
显示元件层DEL可以被布置或设置在具有上述结构的像素电路层PCL上。显示元件层DEL可以包括有机发光二极管OLED，并且有机发光二极管OLED的像素电极21可以经由平坦化绝缘层17中的接触孔电连接至薄膜晶体管TFT。
像素PX可以包括有机发光二极管OLED和薄膜晶体管TFT。每个像素PX可以经由有机发光二极管OLED发射例如红光、绿光或蓝光，或者红光、绿光、蓝光或白光。
像素电极21可以包括导电氧化物，诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟(In2O3)、氧化铟镓(IGO)或氧化铝锌(AZO)。在实施例中，像素电极21可以包括反射膜，该反射膜包括银(Ag)、镁(Mg)、铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)或其化合物。在实施例中，像素电极21可以进一步包括在上述反射膜上/下或下方的包括ITO、IZO、ZnO或In2O3的膜。
包括暴露像素电极21的中央部分的开口19OP的像素限定层19可以被布置或设置在像素电极21上。像素限定层19可以包括有机绝缘材料和/或无机绝缘材料。开口19OP可以限定从有机发光二极管OLED发射的光的发射区(在下文中被称为发射区EA)。例如，开口19OP的宽度可以对应于发射区EA的宽度。
发射层22可以被布置或设置在像素限定层19的开口19OP中。发射层22可以包括发射特定或预定颜色的光的聚合物或低分子量有机材料。根据一个或多个实施例，发射层22可以通过使用用于制造显示装置的装置排放液滴来形成。
虽然未示出，但是第一功能层和第二功能层可以分别被布置或设置在发射层22下或下方和发射层22上。第一功能层可以包括例如空穴传输层(HTL)和/或空穴注入层(HIL)。第二功能层可以是布置或设置在发射层22上的部件，并且可以是可选的。第二功能层可以包括电子传输层(ETL)和/或电子注入层(EIL)。第一功能层和/或第二功能层可以是完全覆盖基板10或完全与基板10重叠的公共层，如下面描述的公共电极23。
公共电极23可以包括具有低功函数的导电材料。例如，公共电极23可以包括(半)透明层，(半)透明层包括银(Ag)、镁(Mg)、铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)、锂(Li)、钙(Ca)或其合金。可替代地，公共电极23可以包括在包括上述材料的(半)透明层上的诸如ITO、IZO、ZnO或In2O3的层。
在实施例中，薄膜封装层TFE可以包括至少一个无机封装层和至少一个有机封装层，并且作为实施例，图15示出包括依次一个一个堆叠的第一无机封装层31、有机封装层32和第二无机封装层33的薄膜封装层TFE。
第一无机封装层31和第二无机封装层33可以包括氧化铝、氧化钛、氧化钽、氧化铪、氧化锌、氧化硅、氮化硅和氮氧化硅中的一种或多种无机材料。有机封装层32可以包括聚合物类材料。聚合物类材料的示例可以包括丙烯酸类树脂、环氧类树脂、聚酰亚胺和聚乙烯。在实施例中，有机封装层32可以包括丙烯酸酯。
在实施例中，薄膜封装层TFE可以具有其中基板10和可以是透明构件的上基板可经由密封构件彼此结合以密封基板10和上基板之间的内部空间的结构。就这一点而言，干燥剂或填充剂可以位于或设置在内部空间中。密封构件可以是密封剂，并且在实施例中，密封构件可以包括可由激光固化的材料。例如，密封构件可以是玻璃料。作为示例，密封构件可以包括可以是有机密封剂的聚氨酯类树脂、环氧类树脂或丙烯酸类树脂或者可以是无机密封剂的硅胶。聚氨酯类树脂的示例可以包括聚氨酯丙烯酸酯。在本公开的精神和范围内，丙烯酸类树脂的示例可以包括丙烯酸丁酯、丙烯酸乙基己酯等。密封构件可以包括可由热固化的材料。
包括触摸电极的触摸电极层(未示出)可以被布置或设置在薄膜封装层TFE上，并且光学功能层(未示出)可以被布置或设置在触摸电极层上。触摸电极层可以根据例如触摸事件的外部输入获得坐标信息。光学功能层可以减小从外部向显示装置1入射的光(外部光)的反射率和/或可以提高从显示装置1发射的光的色纯度。在实施例中，光学功能层可以包括相位延迟器和偏振器。相位延迟器可以是膜型或液晶涂层型，并且可以包括λ/2相位延迟器和/或λ/4相位延迟器。偏振器也可以是膜型或液晶涂层型。膜型可以包括伸长型合成树脂膜，并且液晶涂层型可以包括采用特定或预定布置的液晶。相位延迟器和偏振器可以包括保护膜。
在实施例中，光学功能层可以包括黑矩阵和/或滤色器。滤色器可以通过考虑从显示装置1的每个像素发射的光的颜色来布置或设置。滤色器中的每一个可以包括红色、绿色或蓝色的颜料或染料。可替代地，滤色器中的每一个可以包括除了上述颜料或染料之外的量子点。可替代地，一些或预定数量的滤色器可以不包括上述颜料或染料，并且可以包括诸如氧化钛的散射颗粒。根据一个或多个实施例，上述滤色器可以通过使用用于制造显示装置的装置排放微滴来形成。
在实施例中，光学功能层可以包括相消干涉结构。相消干涉结构可以包括彼此布置或设置在不同层上的第一反射层和第二反射层。分别从第一反射层和第二反射层反射的第一反射光和第二反射光可以遭受相消干涉，并且因此，外部光反射率可以降低。
粘合构件可以被布置或设置在触摸电极层和光学功能层之间。作为粘合构件，通用的粘合构件可以没有限制地采用。粘合构件可以是压敏粘合剂(PSA)。
如上所述，根据一个或多个实施例，液滴的体积可以通过反映至少一个测试台的表面轮廓来精确地测量。
根据一个或多个实施例，用于制造显示装置的装置的精度可以提高。另外，用于制造显示装置的装置的效率可以提高。
应理解，本文所描述的实施例应当只被认为是描述意义，而不为限制的目的。在每个实施例内的特征或方面的描述通常应当被认为可用于其他实施例中的其他类似的特征或方面。尽管参考附图描述了一个或多个实施例，但是本领域普通技术人员会理解，可以在不超出所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，进行形式上和细节上的各种改变。

Claims (19)

1.一种用于制造显示装置的装置，所述装置包括：
至少一个测试台，微滴被设置在所述至少一个测试台上；
至少一个轮廓测量部，与所述至少一个测试台相邻设置，以测量所述至少一个测试台的表面轮廓以及设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的表面轮廓；以及
控制器，电连接至所述至少一个轮廓测量部，以根据所述至少一个测试台的所述表面轮廓与设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的所述表面轮廓之间的差异来测量所述微滴的体积。
2.根据权利要求1所述的装置，其中：
所述至少一个轮廓测量部包括第一轮廓测量部和第二轮廓测量部，
所述至少一个测试台包括第一测试台和第二测试台，
所述第一轮廓测量部测量所述第一测试台的表面轮廓，并且
所述第二轮廓测量部测量所述第二测试台的表面轮廓。
3.根据权利要求1所述的装置，其中：
所述至少一个轮廓测量部包括第一轮廓测量部和第二轮廓测量部，
所述第一轮廓测量部测量所述至少一个测试台的第一区域的表面轮廓，并且
所述第二轮廓测量部测量所述至少一个测试台的第二区域的表面轮廓。
4.一种用于制造显示装置的装置，所述装置包括：
至少一个测试台，微滴被设置在所述至少一个测试台上；
至少一个轮廓测量部，与所述至少一个测试台相邻设置，以测量所述至少一个测试台的表面轮廓；
至少一个尺寸测量部，用于测量设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的尺寸；以及
控制器，电连接至所述至少一个轮廓测量部和所述至少一个尺寸测量部，
其中所述控制器根据所述至少一个测试台的所述表面轮廓以及由所述至少一个尺寸测量部测量的所述微滴的所述尺寸来测量所述微滴的体积。
5.根据权利要求4所述的装置，其中：
所述至少一个轮廓测量部包括第一轮廓测量部和第二轮廓测量部，并且
所述至少一个尺寸测量部包括第一尺寸测量部和第二尺寸测量部。
6.根据权利要求5所述的装置，其中：
所述至少一个测试台包括第一测试台和第二测试台，
所述第一轮廓测量部和所述第一尺寸测量部分别测量所述第一测试台的表面轮廓和设置在所述第一测试台上的微滴的尺寸，并且
所述第二轮廓测量部和所述第二尺寸测量部分别测量所述第二测试台的表面轮廓和设置在所述第二测试台上的微滴的尺寸。
7.根据权利要求5所述的装置，其中：
所述第一轮廓测量部和所述第一尺寸测量部分别测量所述至少一个测试台的第一区域的表面轮廓和设置在所述第一区域上的微滴的尺寸，并且
所述第二轮廓测量部和所述第二尺寸测量部分别测量所述至少一个测试台的第二区域的表面轮廓和设置在所述第二区域上的微滴的尺寸。
8.根据权利要求1或4所述的装置，其中，所述至少一个测试台包括：
供给膜的膜供给器，所述微滴被设置在所述膜上；以及
收集所述膜的膜收集器。
9.根据权利要求1或4所述的装置，进一步包括：
微滴排放器，用于将所述微滴排放到所述至少一个测试台。
10.一种测量微滴的方法，所述方法包括：
测量至少一个测试台的表面轮廓；
将微滴设置在所述至少一个测试台上；
测量设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的表面轮廓；以及
根据所述至少一个测试台的所述表面轮廓与设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的所述表面轮廓之间的差异来测量所述微滴的体积。
11.根据权利要求10所述的方法，其中：
所述至少一个测试台包括第一测试台和第二测试台，并且
当测量所述第一测试台的表面轮廓时，设置在所述第二测试台上的微滴的表面轮廓被测量。
12.根据权利要求10所述的方法，其中：
所述至少一个测试台包括第一测试台和第二测试台，并且
所述第一测试台的表面轮廓和所述第二测试台的表面轮廓被同时测量。
13.根据权利要求10所述的方法，其中所述表面轮廓的所述测量包括：
测量所述至少一个测试台的第一区域的表面轮廓；以及
测量所述至少一个测试台的第二区域的表面轮廓。
14.一种测量微滴的方法，所述方法包括：
测量至少一个测试台的表面轮廓；
将微滴设置在所述至少一个测试台上；
测量设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的尺寸；以及
根据所述至少一个测试台的所述表面轮廓和设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的所述尺寸来测量所述微滴的体积。
15.根据权利要求14所述的方法，其中：
所述至少一个测试台包括第一测试台和第二测试台，并且
当测量所述第一测试台的表面轮廓时，设置在所述第二测试台上的微滴的尺寸被测量。
16.根据权利要求14所述的方法，其中：
所述至少一个测试台包括第一测试台和第二测试台，并且
设置在所述第一测试台上的微滴的尺寸和设置在所述第二测试台上的微滴的尺寸被同时测量。
17.根据权利要求14所述的方法，其中，所述微滴的所述体积的所述测量进一步包括：
测量所述至少一个测试台的第一区域的表面轮廓和所述至少一个测试台的第二区域的表面轮廓；以及
测量设置在所述第一区域上的微滴的尺寸和设置在所述第二区域上的微滴的尺寸。
18.根据权利要求10或14所述的方法，其中，所述微滴在所述至少一个测试台上的所述设置包括：
将所述微滴排放到所述至少一个测试台的膜；以及
收集所述膜。
19.一种制造显示装置的方法，所述方法包括：
测量至少一个测试台的表面轮廓；
将微滴设置在所述至少一个测试台上；
测量设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的表面轮廓；
根据所述至少一个测试台的所述表面轮廓与设置在所述至少一个测试台上的所述微滴的所述表面轮廓之间的差异来测量所述微滴的体积；以及
根据测量的所述微滴的所述体积，将所述微滴排放到基板。
CN202011215116.9A 2020-02-14 2020-11-04 用于制造显示装置的装置和方法以及测量微滴的方法 Pending CN113270334A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2020-0018570 2020-02-14
KR1020200018570A KR20210104222A (ko) 2020-02-14 2020-02-14 표시 장치의 제조장치, 액적 측정 방법, 및 표시 장치의 제조방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113270334A true CN113270334A (zh) 2021-08-17

Family

ID=77227811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011215116.9A Pending CN113270334A (zh) 2020-02-14 2020-11-04 用于制造显示装置的装置和方法以及测量微滴的方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11796372B2 (zh)
KR (1) KR20210104222A (zh)
CN (1) CN113270334A (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018204791A1 (en) * 2017-05-05 2018-11-08 Brighton Technologies Llc Method and device for measuring minute volume of liquid

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000153603A (ja) 1998-11-18 2000-06-06 Canon Inc 吐出インク測定装置
CA2442978A1 (en) * 2001-04-04 2002-10-17 Bioprocessors Corp. System and method for dispensing liquids
KR20080061776A (ko) 2006-12-28 2008-07-03 엘지전자 주식회사 잉크젯 헤드에서 분사된 잉크의 드롭량을 균일하게 하는방법, 표시 기판의 패턴 형성 방법 및 장치
KR101073976B1 (ko) 2009-06-29 2011-10-17 주식회사 프로텍 체적 감지형 디스펜서 제어 방법
KR20110065098A (ko) 2009-12-09 2011-06-15 삼성전자주식회사 잉크젯 프린팅 장치의 잉크토출특성조절방법 및 구동방법
KR20120098007A (ko) 2011-02-28 2012-09-05 주식회사 탑 엔지니어링 반도체패키지 제조용 수지도포장치
KR101396216B1 (ko) 2011-11-30 2014-05-19 주식회사 나래나노텍 잉크 접촉각 및 도포 상태 측정 시스템 및 방법, 및 이를 구비한 잉크젯 인쇄 장치
KR102039808B1 (ko) 2012-12-27 2019-11-01 카티바, 인크. 정밀 공차 내로 유체를 증착하기 위한 인쇄 잉크 부피 제어를 위한 기법
CN110315850B (zh) 2014-09-02 2021-09-28 科迪华公司 工业打印系统的液滴参数的快速测量
KR102379011B1 (ko) 2014-12-31 2022-03-29 세메스 주식회사 기판 처리 장치, 토출량 측정 유닛, 그리고 기판 처리 방법
KR101701904B1 (ko) 2015-07-30 2017-02-02 세메스 주식회사 액적 검사 장치 및 방법, 그리고 이를 포함하는 액적 토출 장치 및 방법
JP6737693B2 (ja) 2016-01-13 2020-08-12 Ntn株式会社 微小突起の体積測定方法および液状材料の塗布方法
KR101818695B1 (ko) 2016-03-28 2018-01-16 세메스 주식회사 잉크젯 헤드를 이용한 인쇄 방법
JP6925143B2 (ja) 2017-03-07 2021-08-25 東京エレクトロン株式会社 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
KR102038645B1 (ko) 2017-06-23 2019-10-30 참엔지니어링(주) 토출장치 및 이의 검사방법

Also Published As

Publication number Publication date
US20210255019A1 (en) 2021-08-19
US11796372B2 (en) 2023-10-24
KR20210104222A (ko) 2021-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210296375A1 (en) Apparatus for manufacturing display device and method of manufacturing the display device
US11974490B2 (en) Apparatus for manufacturing a display device
US20210233976A1 (en) Display device
EP3846217A1 (en) Display device
KR20210149283A (ko) 표시 패널 및 이를 포함하는 표시 장치
US20230378084A1 (en) Display device including alignment pattern
CN114447040A (zh) 显示装置
CN113270334A (zh) 用于制造显示装置的装置和方法以及测量微滴的方法
US20210359048A1 (en) Display apparatus and method of manufacturing the same
CN114628617A (zh) 用于制造显示装置的设备和方法
US20220219284A1 (en) Apparatus and method for manufacturing display device
KR20210094198A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20210133370A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
CN113871318A (zh) 显示装置的制造装置
CN219108132U (zh) 用于制造显示装置的装置
KR20220054502A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20240059759A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
US20220149125A1 (en) Display device and method of manufacturing the same
US20220293893A1 (en) Method of manufacturing display apparatus
KR20210102525A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
US20240147821A1 (en) Display apparatus
US20220231102A1 (en) Display device
KR102442611B1 (ko) 커버 윈도우 및 이를 구비하는 디스플레이 장치
KR20230155656A (ko) 표시 장치의 검사 방법 및 표시 장치의 검사 장치
KR20220100149A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20210817