CN113183054A - 一种面板运动装置 - Google Patents

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CN113183054A CN202110305665.3A CN202110305665A CN113183054A CN 113183054 A CN113183054 A CN 113183054A CN 202110305665 A CN202110305665 A CN 202110305665A CN 113183054 A CN113183054 A CN 113183054A
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Abstract

本发明提供了一种面板运动装置,包括底部基座、活动框架、面板固定结构、升降结构和角度调整结构,所述底部基座适于在运动平台处活动;所述面板固定结构与所述活动框架连接,所述升降结构和所述角度调整结构均与所述活动框架连接,所述升降结构适于驱动所述活动框架升降,所述角度调整结构适于驱动所述活动框架在标定基准面上旋转,所述标定基准面与所述活动框架的升降方向垂直;所述底部基座设有柔性连接件,所述活动框架与所述柔性连接件连接。本发明的有益效果:能够对面板的姿态进行更加稳定的调节。

Description

一种面板运动装置
技术领域
本发明涉及面板检测技术领域,具体而言,涉及一种面板运动装置。
背景技术
当面板由上工序进入到前段气浮平台上,前段气浮平台两侧有两排定位胶轮,一侧胶轮固定无法移动,另一侧胶轮连接到气缸,由气缸驱动前后推动胶轮,胶轮接触面板边缘,完成对面板的预定位过程。
相关技术中,在对面板进行预定位后,面板还存在一定程度的倾斜和偏移,以此导致后续的面板检测不准确。通常情况下,采用调整机构对固定面板的结构进行高度和前后角度的调节以对面板的整体姿态进行更加全面的调节,由于在调节时涉及到多个方位的活动,不同方位的调节容易导致结构间出现干涉,从而导致调节不稳定。
发明内容
本发明解决的问题是如何对面板的姿态进行更加稳定的调节。
为解决上述问题,本发明提供一种面板运动装置,包括底部基座、活动框架、面板固定结构、升降结构和角度调整结构,所述底部基座适于在运动平台处活动;所述面板固定结构与所述活动框架连接,所述升降结构和所述角度调整结构均与所述活动框架连接,所述升降结构适于驱动所述活动框架升降,所述角度调整结构适于驱动所述活动框架在标定基准面上旋转,所述标定基准面与所述活动框架的升降方向垂直;所述底部基座设有柔性连接件,所述活动框架与所述柔性连接件连接。
进一步地,所述活动框架包括框架主体和导向结构,所述框架主体与所述面板固定结构、所述升降结构和所述角度调整结构均连接,所述导向结构与所述框架主体和所述底部基座均连接。
进一步地,所述导向结构的数量为多个,至少两个所述导向结构分别位于所述升降结构与所述框架主体的连接处的相对两侧。
进一步地,所述导向结构包括导向杆和与所述导向杆活动配合的气浮轴承,所述导向杆与所述底部基座连接,所述气浮轴承与所述框架主体连接。
进一步地,所述柔性连接件位于所述升降结构与所述框架主体的连接处和所述角度调整结构与所述框架主体的连接处之间,至少一所述导向结构的导向杆与所述柔性连接件连接。
进一步地,所述角度调整结构包括第一驱动电机和与所述第一驱动电机连接的第一偏心轮,所述第一驱动电机与所述活动框架连接,所述第一偏心轮与所述底部基座抵接。
进一步地,所述升降结构包括第二驱动电机和与所述第二驱动电机连接的第二偏心轮,所述第二偏心轮与所述活动框架抵接。
进一步地,所述柔性连接件包括由弹簧钢材质制成的柔性铰链,所述柔性铰链与所述活动框架连接。
进一步地,所述底部基座设有气浮组件,所述气浮组件适于与所述运动平台活动配合。
进一步地,所述底部基座包括第一底板和位于所述第一底板两端的第一侧板和第二侧板,所述柔性连接件位于所述第一底板处,所述气浮组件包括第一侧部气浮和第二侧部气浮,所述第一侧部气浮位于所述第一侧板处,所述第二侧部气浮位于所述第二侧板处,所述运动平台适于位于所述第一侧部气浮和所述第二侧部气浮之间,且所述运动平台与所述第一侧部气浮和所述第二侧部气浮活动配合。
进一步地,所述底部基座还包括第二底板,所述第二底板与所述第一底板相对设置,所述气浮组件还包括第一底部气浮和第二底部气浮,所述第一底部气浮位于所述第一底板处,所述第二底部气浮位于所述第二底板处,所述运动平台适于位于所述第一底部气浮和所述第二底部气浮之间,且所述运动平台与所述第一底部气浮和所述第二底部气浮活动配合。
进一步地,所述面板固定结构包括多个气动吸附条,多个所述气动吸附条并排设置于所述活动框架处。
本发明中,面板运动装置包括升降结构和角度调整结构,升降结构能够驱动活动框架相对底部基座进行升降,进而驱动面板进行升降,另外,角度调整结构能够驱动活动框架相对底部基座进行旋转,进而驱动面板进行角度调整,以能够对面板的姿态进行更加灵活的调整,进而在面板被固定而相对于运动平台活动时,能够令面板的运动方向与面板姿态相匹配,进而使得面板的检测更加准确。其中,底部基座处设有柔性连接件,通过设置柔性连接件,以此在活动框架相对底部基座活动,进行升降和/或角度调节时,活动框架不会对底部基座造成干涉,能够使得面板的姿态调节更加稳定,并且不会对面板运动装置的整体运动造成影响,并避免产生结构形变,以此确保面板运动装置能够稳定运行,进而使得面板的检测更加准确。
附图说明
图1为本发明实施例的面板运动装置的结构示意图;
图2为本发明实施例的面板运动装置与运动平台的结构示意图;
图3为本发明实施例的面板运动装置的爆炸示意图一;
图4为本发明实施例的面板运动装置的爆炸示意图二;
图5为本发明实施例中底部基座的结构示意图;
图6为本发明实施例中角度调整结构与活动框架和底部基座的连接结构示意图;
图7为本发明实施例中的导向结构的结构示意图;
图8为本发明实施例中的升降结构的结构示意图。
附图标记说明:
1-底部基座;1a-柔性铰链;2-活动框架;3-面板固定结构;4-升降结构;5-角度调整结构;6-运动平台;101-第一底板;102-第一侧板;103-第二侧板;104-第二底板;111-第一底部气浮;112-第一侧部气浮;113-第二侧部气浮;114-第二底部气浮;201-框架主体;202-导向结构;212-导向杆;222-气浮轴承;301-气动吸附条;401-第二驱动电机;402-第二偏心轮;403-电机固定座;501-第一驱动电机;502-第一偏心轮;2121-导向杆固定座;2221-气浮轴承固定座。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
在本发明的描述中,需要理解的是,附图中“X”的正向代表左方向,相应地,“X”的反向代表右方向;“Z”的正向代表前方向,相应地,“Z”的反向代表后方向,“Y”的正向代表上方向,相应地,“Y”的反向代表下方向,术语“X”、“Z”、“Y”等指示的方位或位置关系为基于说明书附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
要说明的是,本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中,参考术语“实施例”、“一个实施例”和“一个实施方式”等的描述意指结合该实施例或实施方式描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示实施方式中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实施方式。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或实施方式以合适的方式结合。
参照图1所示,本发明实施例提出了一种面板运动装置,包括底部基座1、活动框架2、面板固定结构3、升降结构4和角度调整结构5,所述底部基座1适于在运动平台6处活动;所述面板固定结构3与所述活动框架2连接,所述升降结构4和所述角度调整结构5均与所述活动框架2连接,所述升降结构4适于驱动所述活动框架2升降,所述角度调整结构5适于驱动所述活动框架2在标定基准面上旋转,所述标定基准面与所述活动框架2的升降方向垂直;所述底部基座1设有柔性连接件,所述活动框架2与所述柔性连接件连接。
当面板由上工序进入到前段气浮平台上,前段气浮平台两侧有两排定位胶轮,一侧胶轮固定无法移动,另一侧胶轮连接到气缸,由气缸驱动前后推动胶轮,胶轮接触面板边缘,完成对面板的预定位过程。相关技术中,在对面板进行预定位后,面板还存在一定程度的倾斜和偏移,以此导致后续的面板检测不准确。通常情况下,采用调整机构对固定面板的结构进行高度和前后角度的调节以对面板的整体姿态进行更加全面的调节,由于在调节时涉及到多个方位的活动,不同方位的调节容易导致结构间出现干涉,从而导致调节不稳定。
参照图1和2所示,本发明实施例中的面板运动装置,其包括底部基座1,底部基座1适于在运动平台6处活动,具体地,底部基座1可通过滑轨结构、滚轮结构或气浮组件等与运动平台6活动配合,从而能够使底部基座1相对于运动平台活动,其中,底部基座1与活动框架2连接,活动框架2连接用于固定面板的面板固定结构3,以此在底部基座1活动时,能连通活动框架2以及面板固定结构3活动,进而带动面板活动,本实施例中,参照图1和2所示,整个面板运动装置能够相对于运动平台6在X方向或X反方向,也即左右方向上作水平运动。
面板运动装置还包括升降结构4和角度调整结构5,升降结构4和角度调整结构5均与活动框架2连接,以能够驱动活动框架2活动,进而对面板固定结构3以及固定的面板的姿态进行调节,具体地,升降结构4能够驱动活动框架2升降,如图1中,具体即驱动活动框架2以及面板固定结构3以能够带动面板在上下方向上进行升降,另外,角度调整结构5能够驱动活动框架2和面板固定结构3进行转动,从而进行面板的角度调整,具体即驱动活动框架2在一个平面内进行转动,本实施例中,该平面即所述标定基准面,该标定基准面与升降方向垂直,当升降方向为上下方向时,标定基准面即为与水平面平行的平面。以此,升降结构4和角度调整结构5即分别能够使面板在上下方向和在水平面处进行调节,可以理解,通过进行升降以及旋转调节的合理控制,能够对活动框架2和面板固定结构3的姿态进行更加灵活的调整,进而在面板被固定而相对于运动平台6活动时,能够令面板的运动方向与面板姿态相匹配,如令面板本身的平行度与运动方向控制在5μ范围内。其中,底部基座1处设有柔性连接件通过设置柔性连接件,以此在活动框架2相对底部基座1活动,如进行升降调节时,活动框架2不会对底部基座1造成干涉,能够使得面板的姿态调节更加稳定,并且不会对面板运动装置的整体运动造成影响,并避免产生结构形变,以此确保面板运动装置能够稳定运行,进而使得面板的检测更加准确。
在本发明的一个可选的实施例中,柔性连接件可以为该结构本身具有柔性,如柔性材料组成的结构,或该结构与其他结构连接时,与其他结构的连接处能够相对进行一定的活动,或该结构为机械组件,该机械组件存在延展性或伸缩性,以此确保提供柔性需求。本实施例中,参照图3和4所示,柔性连接件包括由弹簧钢材质制成的柔性铰链1a,所述柔性铰链1a与所述活动框架2连接。以此,柔性铰链1a具有一定刚性,以及确保能够在面板调节时进行柔性变化,如在升降方向和/或旋转方向上进行柔性变化,从而使得在进行升降或角度调整时不会使活动框架2与底部基座1产生干涉,进而使得面板运动装置能够在左右运动过程中各个结构更加稳定,并且能够对面板的姿态进行更加稳定的调节。
其中,面板固定结构3可包括吸附结构或夹持结构等,以对面板进行固定,在本发明的一个可选的实施例中,所述面板固定结构3包括气动吸附条301,以通过气体形成负压以对面板进行吸附,从而实现面板的固定,以避免在固定面板时对面板造成影响,其中面板固定结构3包括多个气动吸附条301,多个气动吸附条301并排设置于所述活动框架2处,以通过多个气动吸附条301对面板进行更加稳定的吸附。其中,吸附条的真空压力在0.01-0.4mpa之间,以对面板进行稳定的吸附。
在本发明的一个可选的实施例中,用于承载底部基座1的运动平台6可以为大理石材质制成,可以降低加工难度,使得面板在运动时更加稳定,减少面板在运动以及加工中温度对平面度、粗糙度等的影响。
在本发明的一个可选的实施例中,所述活动框架2包括框架主体201和导向结构202,所述框架主体201与所述面板固定结构3和所述升降结构4均连接,所述导向结构202与所述框架主体201和所述底部基座1均连接。
参照图1-4所示,本实施例中,面板运动装置包括导向结构202和框架主体201,框架主体201连接面板固定结构3,以对面板固定结构3进行支撑固定,其中导向结构202的一端与底部基座1连接,导向结构202的另一端与框架主体201连接,从而能够对框架主体201在升降和角度调整时进行导向,进而使得面板的精度调整更加精确。导向结构202可以包括上述的可伸缩转动结构、轨道件或限位槽等,以对升降和/或角度调整进行导向。
本发明的一个可选的实施例中,所述导向结构202的数量为多个,至少两个所述导向结构202分别位于所述升降结构4与所述框架主体201的连接处的相对两侧。
导向结构202的数量可以为多个,以便于进行更加稳定的升降和/或角度调节,具体地,本实施例中,导向结构202的数量为两个,通常情况下,面板具有一定的长度,以此面板固定结构3具有一定的长度与面板进行对应,另外框架主体201与面板固定结构3的长度相匹配以此进行更稳定的固定,本实施例中,升降结构4连接于框架主体201的中部,以对框架主体201的中部进行施力,进而实现稳定升降,两个导向结构202可以分别设置于该连接处相对的两侧,从而对框架主体201两侧进行更加稳定的支撑,并对升降进行更加稳定的导向,以使得调节更加精确。
在本发明的一个可选的实施例中,所述导向结构202包括导向杆212和与所述导向杆212活动配合的气浮轴承222,所述导向杆212与所述底部基座1连接,所述气浮轴承222与所述框架主体201连接。
参照图1、3、4和7所示,本实施例中,框架主体201与底部基座1通过一采用气浮原理构成的导向结构202进行活动配合,该导向结构202具有气浮轴承222和导向杆212,其中导向杆212一端与底部基座1连接,且导向杆212至少部分地插设于所述气浮轴承222内,以此气浮轴承222可以相对于导向杆212长度方向进行活动,其中气浮轴承222与框架主体201连接,具体地,气浮轴承222的一端设有气浮轴承固定座2221,以通过气浮轴承固定座2221与框架主体201螺栓连接,导向杆212的一端设有导向杆固定座2121,以通过导向杆固定座2121与底部基座1螺栓连接,从而能够对框架主体201的活动进行导向,进而能够在面板进行调节时进行导向,可以理解,通过使导向杆212的长度方向与面板所需升降的方向相匹配,如导向杆212竖直设置于底部基座1处,以此即能够对面板的升降进行导向,以此使得面板的姿态调节更加精确稳定。
其中,气浮轴承222的外周均匀分布多个出气孔,并与导向杆212相对,以此实现气浮形式的导向,气浮轴承222的直径可在φ50-φ80mm之间,其产生的气膜厚度可在10-30μ之间。
另外,可以理解,由于气浮轴承222与导向杆212这种不接触形式的活动配合,除框架主体201被带动升降,以使气浮轴承222相对导向杆212长度方向进行活动外,气浮轴承222还能相对导向杆212转动,即在角度调整结构5驱动框架主体201进行角度调整时,可基于气浮轴承222与导向杆212实现框架主体201与底部基座1的转动配合,进而实现更加稳定的转动调节。如图1中,在角度调整结构5驱动框架主体201进行角度调整时,角度调整结构5可输出图中前后方向的力,以对框架主体201进行推或拉,由于气浮轴承222和导向杆212的转动配合,框架主体201即能够相对底部基座1进行转动,由此,在框架主体201转动时,既能够实现面板的转动,以此实现面板的角度调节。
在本发明的一个可选的实施例中,所述柔性连接件位于所述升降结构4与所述框架主体201的连接处和所述角度调整结构5与所述框架主体201的连接处之间,至少一所述导向结构202的所述导向杆212与所述柔性连接件连接。
参照图3和4所示,本实施例中,其中一导向结构202位于升降结构4与所述框架主体201的连接处和所述角度调整结构5与所述框架主体201的连接处之间,以与位于升降结构4与所述框架主体201的连接处和所述角度调整结构5与所述框架主体201的连接处之间的柔性连接件连接,即图3和4中,柔性铰链1a与一导向结构202连接。上述实施例中,导向结构202采用气浮进行导向,并且两个导向结构202用于对面板的升降进行导向,并分别位于升降结构4与框架主体201的连接处之间,由此,本实施例中,一导向结构202与柔性铰链1a连接,具体地,导向结构202的导向杆212与柔性铰链1a连接,以在面板进行角度调整时,该导向结构202能够基于柔性铰链1a的柔性而整体进行一定的活动,相对应地,另一侧的导向结构202基于气浮轴承222与导向杆212的转动配合,即作为框架主体201转动时的转动支点,以此使得框架主体201的转动更加稳定,更好地避免结构间的干涉,从而使得面板的角度调节更加稳定。
在本发明的一个可选的实施例中,所述角度调整结构5包括第一驱动电机501和与所述第一驱动电机501连接的第一偏心轮502,所述第一驱动电机501与所述活动框架2连接,所述第一偏心轮502与所述底部基座1抵接。
参照图1和6所示,本实施例中,角度调整结构5采用第一驱动电机501驱动第一偏心轮502的形式进行角度调整,第一驱动电机501与活动框架2连接,从而角度调整结构5的固定,第一偏心轮502的外周与底部基座1抵接,在第一偏心轮502被驱动转动时,第一偏心轮502的外周与底部基座1产生相对作用力,由于底部基座1的位置相对稳定,此时基于底部基座1的作用,第一驱动电机501即能够对活动框架2施加前后方向的推力,以此进行角度调整,通过偏心轮结构进行角度调节,以能够使得角度调节更加精确。并且由于第一偏心轮502与底部基座1抵接,在进行升降调节时,第一偏心轮502和第一驱动电机501也同时能够进行升降,而不会对底部基座1造成干涉,以此避免结构间的互相影响,使得高度调节和角度调节更加稳定。
在一可选的实施例中,第一偏心轮502的轴向与在进行升降调节时活动框架2升降方向平行,从而由于第一偏心轮502与活动框架2的抵接,在活动框架2升降时,也不会因角度调整结构5产生干涉,以此能够进行稳定的角升降调节。
在本发明的一个可选的实施例中,所述升降结构4包括第二驱动电机401和与所述第二驱动电机401连接的第二偏心轮402,所述第二偏心轮402与所述活动框架2抵接。
参照图1和8所示,本实施例中,升降结构4采用第二偏心轮402构成的偏心轮升降调节结构,通过第二偏心轮402的转动以推动活动框架2在上下方向上进行升降,进而实现面板的稳定升降,并使得面板的高度调节更加精确。
其中,升降结构4可还包括电机固定座403,以通过电机固定座403将第二驱动电机401进行固定,使得第二驱动电机401运行更加稳定,本实施例中,通过电机固定座403将第二驱动电机401与底部基座1固定连接。第二偏心轮402的轴向与在进行角度调节时活动框架2的转动方向的切向平行,从而由于第二偏心轮402与活动框架2抵接,在活动框架2转动时,也不会因升降结构4产生干涉,以此能够进行稳定的角度调节。
在本发明的一个可选的实施例中,所述底部基座1设有气浮组件,所述气浮组件适于与所述运动平台6活动配合。
参照图1-5所示,本实施例中在底部基座1处设置气浮组件,以此通过气动悬浮实现运动平台6对底部基座1的承载,以使得底部基座1能够更加平稳的在运动平台6处活动,进而避免面板的姿态在活动时受到影响。
在另一实施例中,也可采用滑轨结构或滑轮结构实现底部基座1与运动平台6的活动配合。
在本发明的一个可选的实施例中,所述底部基座1包括第一底板101和位于所述第一底板101两端的第一侧板102和第二侧板103,所述柔性连接件位于所述第一底板101处,所述气浮组件包括第一侧部气浮112和第二侧部气浮113,所述第一侧部气浮112位于所述第一侧板102处,所述第二侧部气浮113位于所述第二侧板103处,所述运动平台6适于位于所述第一侧部气浮112和所述第二侧部气浮113之间,且所述运动平台6与所述第一侧部气浮112和所述第二侧部气浮113活动配合。
参照图3-5所示,本实施例中,底部基座1包括设有所述柔性连接件的第一底板101,其适于位于运动平台6上方,以对活动框架2进行承载,第一底板101两端设置有第一侧板102和第二侧板103,另外,气浮组件包括第一侧部气浮112和第二侧部气浮113,第一侧部气浮112和第二侧部气浮113分别位于第一侧板102和第二侧板103处,由此,在底部基座1相对运动平台6活动时,运动平台6能够位于第一侧部气浮112和第二侧部气浮113之间,以此实现一定的夹持限位,在第一侧部气浮112和第二侧部气浮113的作用下,即能够实现面板运动装置在运动平台6处更加稳定地运行。
在本发明的一个可选的实施例中,所述底部基座1还包括第二底板104,所述第二底板104与所述第一底板101相对设置,所述气浮组件还包括第一底部气浮111和第二底部气浮114,所述第一底部气浮111位于所述第一底板101处,所述第二底部气浮114位于所述第二底板104处,所述运动平台6适于位于所述第一底部气浮111和所述第二底部气浮114之间,且所述运动平台6与所述第一底部气浮111和所述第二底部气浮114活动配合。
本实施例中,底部基座1还包括与第一底板101相对的第二底板104,具体地,第一底板101可为多个,第一底板101与至少一第二底板104分别位于第一侧板102的相对两端,以及第一底板101与至少一第二底板104分别位于第二侧板103的相对两端,另外气浮组件还包括第一底部气浮111和第二底部气浮114,第一底部气浮111设置于第一底板101处,第二底部气浮114设置于第二底板104处,并与第一底部气浮111相对,从而在底部基座1相对运动平台6活动时,运动平台6同时能够位于第一底部气浮111和第二底部气浮114之间,以此在多个方位均设置气浮结构,以能够使得面板运动装置在运动平台6处更加稳定地运行。
虽然本发明披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (12)

1.一种面板运动装置,其特征在于,包括底部基座(1)、活动框架(2)、面板固定结构(3)、升降结构(4)和角度调整结构(5),所述底部基座(1)适于在运动平台(6)处活动;所述面板固定结构(3)与所述活动框架(2)连接,所述升降结构(4)和所述角度调整结构(5)均与所述活动框架(2)连接,所述升降结构(4)适于驱动所述活动框架(2)升降,所述角度调整结构(5)适于驱动所述活动框架(2)在标定基准面上旋转,所述标定基准面与所述活动框架(2)的升降方向垂直;所述底部基座(1)设有柔性连接件,所述活动框架(2)与所述柔性连接件连接。
2.根据权利要求1所述的面板运动装置,其特征在于,所述活动框架(2)包括框架主体(201)和导向结构(202),所述框架主体(201)与所述面板固定结构(3)、所述升降结构(4)和所述角度调整结构(5)均连接,所述导向结构(202)与所述框架主体(201)和所述底部基座(1)均连接。
3.根据权利要求2所述的面板运动装置,其特征在于,所述导向结构(202)的数量为多个,至少两个所述导向结构(202)分别位于所述升降结构(4)与所述框架主体(201)的连接处的相对两侧。
4.根据权利要求2所述的面板运动装置,其特征在于,所述导向结构(202)包括导向杆(212)和与所述导向杆(212)活动配合的气浮轴承(222),所述导向杆(212)与所述底部基座(1)连接,所述气浮轴承(222)与所述框架主体(201)连接。
5.根据权利要求4所述的面板运动装置,其特征在于,所述柔性连接件位于所述升降结构(4)与所述框架主体(201)的连接处和所述角度调整结构(5)与所述框架主体(201)的连接处之间,至少一所述导向结构(202)的所述导向杆(212)与所述柔性连接件连接。
6.根据权利要求1-5任一项所述的面板运动装置,其特征在于,所述角度调整结构(5)包括第一驱动电机(501)和与所述第一驱动电机(501)连接的第一偏心轮(502),所述第一驱动电机(501)与所述活动框架(2)连接,所述第一偏心轮(502)与所述底部基座(1)抵接。
7.根据权利要求1-5任一项所述的面板运动装置,其特征在于,所述升降结构(4)包括第二驱动电机(401)和与所述第二驱动电机(401)连接的第二偏心轮(402),所述第二偏心轮(402)与所述活动框架(2)抵接。
8.根据权利要求1-5任一项所述的面板运动装置,其特征在于,所述柔性连接件包括由弹簧钢材质制成的柔性铰链(1a),所述柔性铰链(1a)与所述活动框架(2)连接。
9.根据权利要求1-5任一项所述的面板运动装置,其特征在于,所述底部基座(1)设有气浮组件,所述气浮组件适于与所述运动平台(6)活动配合。
10.根据权利要求9所述的面板运动装置,其特征在于,所述底部基座(1)包括第一底板(101)和位于所述第一底板(101)两端的第一侧板(102)和第二侧板(103),所述柔性连接件位于所述第一底板(101)处,所述气浮组件包括第一侧部气浮(112)和第二侧部气浮(113),所述第一侧部气浮(112)位于所述第一侧板(102)处,所述第二侧部气浮(113)位于所述第二侧板(103)处,所述运动平台(6)适于位于所述第一侧部气浮(112)和所述第二侧部气浮(113)之间,且所述运动平台(6)与所述第一侧部气浮(112)和所述第二侧部气浮(113)活动配合。
11.根据权利要求10所述的面板运动装置,其特征在于,所述底部基座(1)还包括第二底板(104),所述第二底板(104)与所述第一底板(101)相对设置,所述气浮组件还包括第一底部气浮(111)和第二底部气浮(114),所述第一底部气浮(111)位于所述第一底板(101)处,所述第二底部气浮(114)位于所述第二底板(104)处,所述运动平台(6)适于位于所述第一底部气浮(111)和所述第二底部气浮(114)之间,且所述运动平台(6)与所述第一底部气浮(111)和所述第二底部气浮(114)活动配合。
12.根据权利要求1-5任一项所述的面板运动装置,其特征在于,所述面板固定结构(3)包括多个气动吸附条(301),多个所述气动吸附条(301)并排设置于所述活动框架(2)处。
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