CN113176273A - 一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统，涉及面板缺陷检测技术领域，该自动对焦装置包括音圈电机、第一测距传感器、位置编码器和控制器，第一测距传感器监测光学检测单元到待检测面板表面的距离并将检测数据发送给控制器，从而便于控制器将该距离与光学检测单元最佳成像距离进行对比，得出光学检测单元需要行走的距离；同时，控制器控制音圈电机驱动光学检测单元运动至最佳成像位置，光学检测单元运行过程中，通过位置编码器实时反馈光学检测单元的当前位置信息，从而与第一测距传感器和控制器构成闭环控制，确保光学检测单元能精准、高速运动到最佳成像位置，以确保光学检测单元的成像效果。

Description

一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统

技术领域

本发明涉及面板缺陷检测技术领域，具体而言，涉及一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统。

背景技术

目前，液晶显示面板在制造完成后可能存在缺陷，而通过人眼进行观察是难以获知全部缺陷的，因此，需要通过面板缺陷检测设备来检测面板的缺陷。

现有的面板缺陷检测设备包括气浮平台和光学检测单元，气浮平台用于悬浮支撑待检测面板，光学检测单元用于拍摄待检测面板的图像以分析图像获取面板缺陷，因此，光学检测单元的成像效果显著影响面板缺陷的检测效果；而待检测面板悬浮于气浮平台上时，待检测面板在气浮平台会存在微小的起伏，导致待检测面板与光学检测单元的距离是时刻变化的，从而难以保证光学检测单元与待检测面板的距离为最佳成像距离，进而导致光学检测单元难以获得最佳成像效果。

发明内容

本发明解决的问题是现有的面板缺陷检测设备中，难以保证光学检测单元与待检测面板的距离为最佳成像距离。

为解决上述问题，本发明第一方面提供一种用于面板缺陷检测的自动对焦装置，包括音圈电机、第一测距传感器、位置编码器和控制器，所述音圈电机、所述第一测距传感器和所述位置编码器分别与所述控制器电连接，所述测距传感器用于监测光学检测单元与待检测面板的距离并反馈所述距离给所述控制器，所述位置编码器用于监测所述光学检测单元的位置信息并反馈所述位置信息给所述控制器，所述音圈电机用于驱动所述光学检测单元运动，所述控制器用于根据距离、所述位置信息和预知的所述光学检测单元的最佳成像距离控制所述音圈电机，以使所述音圈电机驱动所述光学检测单元运动至最佳成像位置。

进一步地，该自动对焦装置还包括底板和活动板，所述音圈电机的定子设于所述底板上，所述音圈电机的动子与所述活动板连接，所述活动板适于相对所述底板移动，所述活动板上适于设有所述光学检测单元。

进一步地，所述位置编码器设于所述活动板上，所述第一测距传感器适于设于所述光学检测单元上。

进一步地，该自动对焦装置还包括重力补偿机构，所述重力补偿机构与所述活动板连接，所述重力补偿机构用于输出一个与所述光学检测单元重力方向相反的恒力。

进一步地，所述重力补偿机构为气缸，所述气缸的活塞杆与所述活动板连接，所述气缸的缸筒设于所述底板上。

进一步地，该自动对焦装置还包括导向机构，所述导向机构用于限定所述活动板相对所述底板的移动方向。

进一步地，所述导向机构包括导向活动件和导向固定件，所述导向固定件设于所述底板上，所述导向活动件与所述活动板连接，所述导向活动件适于相对所述导向固定件上沿所述导向固定件的延伸方向移动。

进一步地，所述导向固定件包括两导轨，两所述导轨平行且间隔设置，所述重力补偿机构设于两所述导轨之间。

进一步地，所述导向固定件包括气浮导轨，所述导向活动件与所述气浮导轨间形成气膜间隙，所述气浮导轨设于所述底板上。

进一步地，所述导向活动件包括气浮轴承，所述气浮轴承与所述导向固定件间形成气膜间隙，所述气浮轴承与所述活动板连接。

本发明第二方面提供一种用于面板缺陷检测的自动对焦方法，所述方法应用于如上所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，所述方法包括：

获取光学检测单元与待检测面板的间隔距离；

若所述间隔距离不等于预设的最佳成像距离，获取所述间隔距离与所述最佳成像距离的差值；

根据所述差值控制所述光学检测单元运动至最佳成像位置，其中，在所述光学检测单元运动过程中，控制位置编码器实时反馈所述光学检测单元的位置信息，以根据所述位置信息调整所述光学检测单元的运动过程。

本发明第三方面提供一种面板缺陷检测系统，包括如上所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，以及气浮平台、机架、预定位机构、夹持机构、第一龙门、第二龙门、初检机构和复检机构；

所述气浮平台、所述预定位机构、所述夹持机构、所述第一龙门和所述第二龙门均设于所述机架上，所述气浮平台用于悬浮支撑待检测面板，所述预定位机构用于对所述待检测面板进行预定位，所述夹持机构用于带动预定位后的所述待检测面板在所述气浮平台上运动，所述第一龙门和所述第二龙门上分别设有所述自动对焦装置，所述初检机构设于所述第一龙门上的所述自动对焦装置上，所述复检机构设于所述第二龙门上的所述自动对焦装置上。

本发明的有益效果：通过第一测距传感器监测光学检测单元到待检测面板表面的距离并将检测数据发送给控制器，从而便于控制器将该距离与光学检测单元最佳成像距离进行对比，得出光学检测单元需要行走的距离；同时，通过控制器控制音圈电机驱动光学检测单元运动至最佳成像位置，光学检测单元运动过程中，通过位置编码器实时反馈光学检测单元的当前位置信息，从而与第一测距传感器和控制器构成闭环控制，确保光学检测单元能精准、高速运动到最佳成像位置，以确保光学检测单元的成像效果。

附图说明

图1为本发明实施例的用于面板缺陷检测的自动对焦装置的结构图；

图2为本发明实施例的用于面板缺陷检测的自动对焦装置的仰视图；

图3为本发明实施例的用于面板缺陷检测的自动对焦装置的侧视图；

图4为本发明实施例的面板缺陷检测系统的示意图；

图5为本发明实施例的初检机构与第一龙门的连接结构示意图；

图6为本发明实施例的复检机构与第二龙门的连接结构示意图。

附图标记说明：

1-音圈电机，2-第一测距传感器，3-位置编码器，4-底板，5-活动板，6-重力补偿机构，7-导向机构，701-导向活动件，702-导向固定件，8-光学检测单元，9-待检测面板，10-机架，11-气浮平台，12-第一龙门，13-第二龙门，14-初检机构，15-复检机构，16-自动对焦装置。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

如附图所示，设有XYZ坐标系,X轴正向表示“前”，X轴反向表示“后”,Y轴正向表示“左”，Y轴反向表示“右”，Z轴正向表示“上”，Z轴反向表示“下”。

本实施例的自动对焦装置16主要应用中面板检测设备，面板检测设备包括设于不同龙门上的初检机构14和复检机构15，如图4至图6所示，初检机构14设于第一龙门12上，复检机构15设于第二龙门13上，初检机构14用于对待检测面板进行初检，复检机构15用于对待检测面板进行复检，自动对焦装置16用于对初检机构14和/或复检机构15进行位置调整，其中，第一龙门12和第二龙门13上均可设置自动对焦装置16，然后将初检机构14设于第一龙门12上的自动对焦装置16上，将复检机构15设于第二龙门13上的自动对焦装置16上，从而实现初检机构14和复检机构15的自动对焦。

如图1至图3所示，一种用于面板缺陷检测的自动对焦装置16，包括音圈电机1、第一测距传感器2、位置编码器3和控制器，所述音圈电机1、所述第一测距传感器2和所述位置编码器3分别与所述控制器电连接，所述测距传感器用于监测光学检测单元8与待检测面板9的间隔距离并反馈所述间隔距离给所述控制器，所述位置编码器3用于监测所述光学检测单元8的位置信息并反馈所述位置信息给所述控制器，所述音圈电机1用于驱动所述光学检测单元8运动，所述控制器用于根据所述间隔距离、所述位置信息和预知的所述光学检测单元8的最佳成像距离控制所述音圈电机1，以使所述音圈电机1驱动所述光学检测单元8运动至最佳成像位置，以确保光学检测单元8的成像效果。

其中，光学检测单元8用于拍摄获取待检测面板9的图像，检测光学检测单元8可以为对待检测面板9进行扫描的线阵扫描相机，也可以为对待检测面板9进行复检的面阵扫描相机。

第一测距传感器2实时监测光学检测单元8与待检测面板9的间隔距离并反馈所述间隔距离给控制器，控制器对比所述间隔距离与光学检测单元8的最佳成像距离，其中光学检测单元8的最佳成像距离已经预知且预设于控制器中，当所述间隔距离与光学检测单元8的最佳成像距离不同时，则计算出光学检测单元8需要移动的距离，然后驱动光学检测单元8向上或向下运动，而在运动过程中，位置编码器3实时获取光学检测单元8的位置信息，以获取光学检测单元8的运动距离并反馈给控制器，由此，位置编码器3、第一测距传感器2和控制器构成闭环控制，使光学检测单元8能精准、高速运动到最佳成像位置。

通过第一测距传感器2监测光学检测单元8到待检测面板9表面的间隔距离并将检测数据发送给控制器，从而便于控制器将该间隔距离与光学检测单元8最佳成像距离进行对比，得出光学检测单元8需要行走的距离；同时，通过控制器控制音圈电机1驱动光学检测单元8运动至最佳成像位置，光学检测单元8运动过程中，通过位置编码器3实时反馈光学检测单元8的当前位置信息，从而与第一测距传感器2和控制器构成闭环控制，确保光学检测单元8能精准、高速运动到最佳成像位置。

可选地，如图1所示，该自动对焦装置16还包括底板4和活动板5，所述音圈电机1的定子设于所述底板4上，所述音圈电机1的动子与所述活动板5连接，所述活动板5适于相对所述底板4移动，所述活动板5上适于设有所述光学检测单元8。

具体地，通过将音圈电机1的定子设于底板4上，将音圈电机1的动子与活动板5连接，从而使得音圈电机1可驱动活动板5相对底板4运动，由于光学检测单元8设于活动板5上，因此，音圈电机1通过驱动活动板5来实现对光学检测单元8的驱动。另外，若音圈电机1直接与光学检测单元8连接，则音圈电机1驱动光学检测单元8会直接施力于光学检测单元8，易造成光学检测单元8的变形，进而影响光学检测单元8的成像效果。而本实施例中，音圈电机1通过活动板5与光学检测单元8连接，活动板5的变形不会影响光学检测单元8，且活动板5可与光学检测单元8具有较大的接触面积，光学检测单元8受到驱动时受力较为均匀，光学检测单元8变形较小；同时由于运动部分为活动板5和光学检测单元8这一整体，其刚性大，从而进一步降低了光学检测单元8的变形程度。

可选地，如图1至图3所示，所述位置编码器3设于所述活动板5上，所述第一测距传感器2适于设于所述光学检测单元8上。

具体地，由于活动板5上设有光学检测单元8，因此，活动板5的运动距离为光学检测单元8的运动距离，将位置编码器3设于活动板5上和将位置编码器3设于光学检测单元8上取得的效果相同，而位置编码器3设于光学检测单元8上会压迫光学检测单元8，可能会造成光学检测单元8的局部变形，影响光学检测单元8的成像效果，因此，本实施例中，位置编码器3设于活动板5上。

为了保证成像效果，需要使光学检测单元8的光学镜头与待检测面板9的距离为最佳成像距离，而第一测距传感器2不可能设于与光学镜头相同的位置，因此，为了减小可能的误差，需要第一测距传感器2与光学镜头尽可能接近，因此，将第一测距传感器2设于光学检测单元8上。

本实施例中，可选地，第一测距传感器2也可设于活动板5的相应位置，从而避免第一测距传感器2设于光学检测单元8上造成光学检测单元8的变形。

可选地，该自动对焦装置16还包括重力补偿机构6，所述重力补偿机构6与所述活动板5连接，所述重力补偿机构6用于输出一个与所述光学检测单元8重力方向相反的恒力。

其中，音圈电机1具有高频响应的特性，但存在输出力不足的缺陷，难以驱动大负载的光学检测单元8进行高频往复运动，因此，本实施例中，通过重力补偿机构6弥补音圈电机1输出力不足的缺陷，可大幅减小音圈电机1所需的输出力，既有利于降低音圈电机1的尺寸，同时也可确保音圈电机1能稳定驱动大负载的光学检测单元8进行高频往复运动，确保光学检测单元8图像采集稳定性，并保证光学检测单元8到待检测面板9表面的距离为最佳成像距离。

应用中，优选重力补偿机构6输出的恒力的大小与活动板5及其上的结构整体受到的重力大小相同。

可选地，所述重力补偿机构6为气缸，所述气缸的活塞杆与所述活动板5连接，所述气缸的缸筒设于所述底板4上。本实施例所述的气缸优选为低摩擦气缸，此气缸具有低摩擦、能够进行高频运动的特性。

具体地，气缸包括缸筒和活塞杆，滚筒内设有活塞腔，活塞杆设于活塞腔中，当活塞腔中的气压为恒定气压时，活塞杆受到的推力为恒力，因此，重力补偿机构6为气缸时，能稳定地输出一个恒力作用于活动板5上。

应用中，可通过改变气缸的活塞腔内的气压来改变气缸施加于活动板5上的作用力。

另一实施例中，重力补偿机构6包括电磁铁、磁吸件和第二测距传感器，当电磁铁通电时，电磁铁与磁吸件间具有电磁作用力，磁吸件设于活动板5上，第二测距传感器与电磁铁电连接，第二测距传感器用于测量磁吸件与电磁铁的间隔距离，电磁铁用于根据间隔距离调整输入电磁铁的电流的大小，以使电磁铁和磁吸件间的电磁作用力为一恒力。

可选地，该自动对焦装置16还包括导向机构7，所述导向机构7用于限定所述活动板5相对所述底板4的移动方向。

由于待检测面板9在气浮平台11上上下起伏，因此，为了保证光学检测单元8的成像效果，光学检测单元8应随之上下移动，为了限定光学检测单元8相对底板4的运动轨迹，需要在底板4上设置导向机构，通过导向机构7限定活动板5相对底板4的移动方向，以限定设于活动板5上的光学检测单元8的移动方向。

可选地，所述导向机构7包括导向活动件701和导向固定件702，所述导向固定件702设于所述底板4上，所述导向活动件701与所述活动板5连接，所述导向活动件701适于相对所述导向固定件702沿所述导向固定件702的延伸方向移动。

其中，导向固定件702的延伸方向为上下方向。

具体地，导向固定件702与导向活动件701滑动连接，通过导向固定件702的限制，使得导向活动件701只能上下移动，因此，通过将导向固定件702设于底板4上，将导向活动件701与活动板5连接，从而使得活动板5相对底板4的可移动方向为上下方向，从而限定光学检测单元8的移动方向为上下方向。

可选地，所述导向固定件702包括两导轨，两所述导轨平行且间隔设置，所述重力补偿机构6设于两所述导轨之间。

具体地，通过将重力补偿机构6设于两导轨之间，从而提高了自动对焦装置16整体结构的紧凑度，便于降低自动对焦装置16的体积。

其中，导轨可为下述的气浮导轨。

可选地，所述导向固定件702包括气浮导轨，所述导向活动件701与所述气浮导轨间形成气膜间隙，所述气浮导轨设于所述底板4上。

具体地，因导向活动件701与气浮导轨间形成了气膜间隙，因此，气浮导轨与导向活动件701间的摩檫力较低，相对于传统采用直线导轨的接触式传动方式，有利于降低摩擦磨损，提高使用寿命；另一方面，传统的直线导轨在各定位位置的挠曲变形不一致，导致活动导向件在短距离或长距离定位时，其定位精度不一致，使得光学检测单元8难以准确地运动至最佳成像位置。而气浮导轨具有误差均化作用，可实现活动导向件在短距离或长距离定位时，其定位精度一致，从而提高光学检测单元8对焦过程的准确度。

可选地，所述导向活动件701包括气浮轴承，所述气浮轴承与所述导向固定件702间形成气膜间隙，所述气浮轴承与所述活动板5连接。通过本方式也可达到与上述实施方式相同的效果。

可选地，该自动对焦装置16还包括两个第三测距传感器，所述第三测距传感器用于监测所述第三测距传感器与所述待检测面板9的距离，且两个第三测距传感器与所述活动板5下端边缘的距离相同。

一般在装配时，活动板5会与待检测面板9平行，但自动对焦装置16在使用一段时间后，活动板5可能相对待检测面板9出现倾斜，当倾斜角度超过一定值后，活动板5上的光学检测单元8的成像效果会变差，为此，需要监测活动板5的倾斜角度，以便于后续调整。本实施例中，通过对比两个第三测距传感器测得的距离，从而根据测量数据判断活动板5与待检测面板9是否平行，当第三测距传感器测得的距离不一致的，则可判断活动板5下边缘与面板不平行，并可根据测量数据进行调整，实现对活动板5的角度调整。

本发明另一实施例提供一种用于面板缺陷检测的自动对焦方法，所述方法应用于如上所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置16，所述方法包括：

获取光学检测单元8与待检测面板9的间隔距离；

若所述间隔距离不等于预设的最佳成像距离，获取所述间隔距离与所述最佳成像距离的差值；

根据所述差值控制所述光学检测单元8运动至最佳成像位置，其中，在所述光学检测单元8运动过程中，控制位置编码器3实时反馈所述光学检测单元8的位置信息，以根据所述位置信息调整所述光学检测单元8的运动过程。

其中，对焦的具体过程如下，首先待检测面板9运行到光学检测单元时，第一测距传感器2检测光学检测单元8到待检测面板9表面的距离并将检测数据发送到音圈电机1的控制单元，此时控制单元将该距离L1与光学检测单元8的最佳成像距离L2进行对比，得出光学检测单元8需要行走的距离，进一步的，然后音圈电机1的控制单元驱动音圈电机1带动光学检测单元，通过导向机构迅速运动到最佳成像位置，光学检测单元8运行过程中，通过位置编码器3实时反馈当前位置信息，并与音圈电机3的控制单元构成闭环控制，确保光学检测单元8能精准、高速运动到最佳成像位置。

如图4至图6所示，本发明另一实施例提供一种面板缺陷检测系统，包括如上所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置16，以及气浮平台11、机架10、预定位机构、夹持机构、第一龙门12、第二龙门13、初检机构14和复检机构15。

所述气浮平台11、所述预定位机构、所述夹持机构、所述第一龙门12和所述第二龙门13均设于所述机架10上，所述气浮平台11用于悬浮支撑待检测面板9，所述预定位机构用于对所述待检测面板9进行预定位，所述夹持机构用于带动预定位后的所述待检测面板9在所述气浮平台11上运动，所述第一龙门12和所述第二龙门13上分别设有所述自动对焦装置16，所述初检机构14设于所述第一龙门12上的所述自动对焦装置16上，所述复检机构15设于所述第二龙门13上的所述自动对焦装置16上。

其中，所述初检机构14用于扫描所述待检测面板9并向相应的控制器发送扫描图像，所述控制器用于分析所述扫描图像以确定所述待检测面板9的缺陷点及缺陷点坐标，并将所述缺陷点坐标发送给所述复检机构15，所述复检机构15用于根据所述缺陷点坐标对所述待检测面板9进行复扫，并向所述控制器发送复检图像，所述控制器还用于分析所述复检图像以确定所述缺陷点的缺陷类型。

虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，包括音圈电机(1)、第一测距传感器(2)、位置编码器(3)和控制器，所述音圈电机(1)、所述第一测距传感器(2)和所述位置编码器(3)分别与所述控制器电连接，所述测距传感器用于监测光学检测单元(8)与待检测面板(9)的间隔距离并反馈所述间隔距离给所述控制器，所述位置编码器(3)用于监测所述光学检测单元(8)的位置信息并反馈所述位置信息给所述控制器，所述音圈电机(1)用于驱动所述光学检测单元(8)运动，所述控制器用于根据所述间隔距离、所述位置信息和预设的所述光学检测单元(8)的最佳成像距离控制所述音圈电机(1)，以使所述音圈电机(1)驱动所述光学检测单元(8)运动至最佳成像位置。

2.根据权利要求1所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，还包括底板(4)和活动板(5)，所述音圈电机(1)的定子设于所述底板(4)上，所述音圈电机(1)的动子与所述活动板(5)连接，所述活动板(5)适于相对所述底板(4)移动，所述活动板(5)上适于设有所述光学检测单元(8)。

3.根据权利要求2所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，所述位置编码器(3)设于所述活动板(5)上，所述第一测距传感器(2)适于设于所述光学检测单元(8)上。

4.根据权利要求2所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，还包括重力补偿机构(6)，所述重力补偿机构(6)与所述活动板(5)连接，所述重力补偿机构(6)用于输出一个与所述光学检测单元(8)重力方向相反的恒力。

5.根据权利要求4所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，所述重力补偿机构(6)为气缸，所述气缸的活塞杆与所述活动板(5)连接，所述气缸的缸筒设于所述底板(4)上。

6.根据权利要求4所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，还包括导向机构(7)，所述导向机构(7)用于限定所述活动板(5)相对所述底板(4)的移动方向。

7.根据权利要求6所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，所述导向机构(7)包括导向活动件(701)和导向固定件(702)，所述导向固定件(702)设于所述底板(4)上，所述导向活动件(701)与所述活动板(5)连接，所述导向活动件(701)适于相对所述导向固定件(702)上沿所述导向固定件(702)的延伸方向移动。

8.根据权利要求7所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，所述导向固定件(702)包括两导轨，两所述导轨平行且间隔设置，所述重力补偿机构(6)设于两所述导轨之间。

9.根据权利要求7所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，所述导向固定件(702)包括气浮导轨，所述导向活动件(701)与所述气浮导轨间形成气膜间隙，所述气浮导轨设于所述底板(4)上。

10.根据权利要求7所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，其特征在于，所述导向活动件(701)包括气浮轴承，所述气浮轴承与所述导向固定件(702)间形成气膜间隙，所述气浮轴承与所述活动板(5)连接。

11.一种用于面板缺陷检测的自动对焦方法，其特征在于，所述方法应用于如权利要求1-10任一所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，所述方法包括：

获取光学检测单元(8)与待检测面板(8)的间隔距离；

若所述间隔距离不等于预设的最佳成像距离，获取所述间隔距离与所述最佳成像距离的差值；

根据所述差值控制所述光学检测单元(8)运动至最佳成像位置，其中，在所述光学检测单元(8)运动过程中，控制位置编码器(3)实时反馈所述光学检测单元(8)的位置信息，以根据所述位置信息调整所述光学检测单元(8)的运动过程。

12.一种面板缺陷检测系统，其特征在于，包括如权利要求1-10任一项所述的用于面板缺陷检测的自动对焦装置，以及气浮平台(11)、机架(10)、预定位机构、夹持机构、第一龙门(12)、第二龙门(13)、初检机构(14)和复检机构(15)；

所述气浮平台(11)、所述预定位机构、所述夹持机构、所述第一龙门(12)和所述第二龙门(13)均设于所述机架上，所述气浮平台(11)用于悬浮支撑待检测面板(9)，所述预定位机构用于对所述待检测面板(9)进行预定位，所述夹持机构用于带动预定位后的所述待检测面板(9)在所述气浮平台(11)上运动，所述第一龙门(12)和所述第二龙门(13)上分别设有所述自动对焦装置，所述初检机构(14)设于所述第一龙门(12)上的所述自动对焦装置上，所述复检机构(15)设于所述第二龙门(13)上的所述自动对焦装置上。

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