CN113169724A - 弹性波装置 - Google Patents

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CN113169724A CN201980080668.2A CN201980080668A CN113169724A CN 113169724 A CN113169724 A CN 113169724A CN 201980080668 A CN201980080668 A CN 201980080668A CN 113169724 A CN113169724 A CN 113169724A
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Abstract

提供一种能够使谐振特性提高的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支承基板、声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)。在声反射层(3)中，高声阻抗层(31)以及低声阻抗层中的至少一个为导电层。在将由IDT电极(5)的电极指间距(P1)决定的弹性波的波长设为λ，将多个第1电极指(53)的前端的包络线(L1)与多个第2电极指(54)的前端的包络线(L2)之间的区域设为交叉区域(55)时，在从支承基板的厚度方向的俯视下，导电层(高声阻抗层31)至少与交叉区域(55)重复，在多个第1电极指(53)延伸的方向上从多个第1电极指(53)的前端到导电层的端部(高声阻抗层31的端部31A)为止距离(d1)大于0且为12λ以下。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明一般地涉及弹性波装置，更详细地涉及具备压电体层的弹性波装置。
背景技术
以往，已知具备支承基板、声反射层、压电体层以及IDT(InterdigitalTransducer，叉指换能器)电极的弹性波装置(例如，参照专利文献1)。
声反射层形成在支承基板上。压电体层形成在声反射层上。IDT电极形成在压电体层的上表面。
声反射层具有低声阻抗层和声阻抗比低声阻抗层高的高声阻抗层。
在专利文献1中，作为高声阻抗层的声阻抗与低声阻抗层的声阻抗之比即声阻抗比最大的材料的组合，公开了W(钨)和SiO2(氧化硅)的组合。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2012/086441号
发明内容
发明要解决的课题
在专利文献1公开的弹性波装置中，例如，在声反射层包含由钨形成的导电层(高声阻抗层)的情况下，存在如下的问题，即，由于在IDT电极与导电层之间产生的寄生电容，谐振特性会下降。
本发明的目的在于，提供一种能够使谐振特性提高的弹性波装置。另外，所谓谐振特性的提高，是指使传播损耗降低，实现谐振特性的Q值、阻抗比的提高。
用于解决课题的技术方案
本发明的一个方式涉及的弹性波装置具备支承基板、声反射层、压电体层以及IDT电极。所述声反射层形成在所述支承基板上。所述压电体层形成在所述声反射层上。所述IDT电极形成在所述压电体层上。所述声反射层具有至少一个高声阻抗层以及至少一个低声阻抗层。所述低声阻抗层的声阻抗比所述高声阻抗层的声阻抗低。在所述声反射层中，所述高声阻抗层以及所述低声阻抗层中的至少一个为导电层。所述IDT电极具有第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指以及多个第2电极指。所述第2汇流条与所述第1汇流条对置。所述多个第1电极指与所述第1汇流条连接并向所述第2汇流条侧延伸。所述多个第2电极指与所述第2汇流条连接并向所述第1汇流条侧延伸。在将由所述IDT电极的电极指间距决定的弹性波的波长设为λ，将所述多个第1电极指的前端的包络线与所述多个第2电极指的前端的包络线之间的区域设为交叉区域时，在从所述支承基板的厚度方向的俯视下，所述导电层至少与所述交叉区域重复，在所述多个第1电极指延伸的方向上从所述多个第1电极指的所述前端到所述导电层的端部为止距离大于0且为12λ以下。
发明效果
在本发明的一个方式涉及的弹性波装置中，能够使谐振特性提高。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
图2是关于同上的弹性波装置的图1的X1-X1线剖视图。
图3是关于同上的弹性波装置的图1的X2-X2线剖视图。
图4是弹性波装置的阻抗-频率特性的说明图。
图5是示出IDT电极的第1电极指的前端与导电层的端部的距离和相对带宽×Q值的关系的曲线图。
图6是示出IDT电极的交叉区域的交叉宽度和相对带宽×Q值的关系的曲线图。
图7是本发明的一个实施方式的一个变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
图8是同上的弹性波装置的等效电路图。
具体实施方式
以下，参照附图对实施方式涉及的弹性波装置进行说明。
在以下的实施方式等中参照的图1～图3以及图7均为示意性的图，图中的各构成要素的大小、厚度各自之比未必反映了实际的尺寸比。
(1)弹性波装置的整体结构
以下，参照图1～图3对实施方式涉及的弹性波装置1进行说明。
实施方式涉及的弹性波装置1例如是利用板波作为弹性波的弹性波装置。弹性波装置1具备支承基板2、声反射层3、压电体层4以及IDT电极5。声反射层3形成在支承基板2上。压电体层4形成在声反射层3上。IDT电极5形成在压电体层4上。声反射层3具有至少一个(例如，两个)高声阻抗层31和至少一个(例如，三个)低声阻抗层32。低声阻抗层32的声阻抗比高声阻抗层31的声阻抗低。此外，弹性波装置1还包含电绝缘层6。电绝缘层6形成在支承基板2上，并包围声反射层3。在弹性波装置1中，包含声反射层3和电绝缘层6的中间层7介于支承基板2与压电体层4之间。弹性波装置1还具备两个反射器8。两个反射器8在弹性波装置1的沿着弹性波的传播方向的方向上分别在IDT电极5的一侧以及另一侧各设置有一个。
(2)弹性波装置的各构成要素
接着，参照附图对弹性波装置1的各构成要素进行说明。
(2.1)支承基板
如图2所示，支承基板2对包含声反射层3、压电体层4以及IDT电极5的层叠体9进行支承。层叠体9还包含上述的电绝缘层6。
支承基板2具有第1主面21以及第2主面22。第1主面21以及第2主面22相互对置。支承基板2的俯视形状(从厚度方向D1观察支承基板2时的外周形状)为长方形，但是并不限于此，例如也可以为正方形。
支承基板2例如为硅基板。支承基板2的厚度最好为10λ(λ：由电极指间距P1决定的弹性波的波长)μm以上且180μm以下，作为一个例子，例如为120μm。在支承基板2为硅基板的情况下，第1主面21的面方位例如能够采用(100)面、(111)面、(551)面。弹性波的传播方位能够不受硅基板的面方位的限制而进行设定。
支承基板2的材料并不限于Si(硅)，例如，也可以是铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)、石英、玻璃。
(2.2)声反射层
如图2所示，声反射层3形成在支承基板2的第1主面21上。声反射层3在支承基板2的厚度方向D1上与IDT电极5对置。
声反射层3具有抑制由IDT电极5激励出的弹性波泄漏到支承基板2的功能。弹性波装置1通过具备声反射层3，由此能够提高弹性波能量向压电体层4内以及激励出弹性波的IDT电极5内的封闭效果。因此，与不具备声反射层3的情况相比，弹性波装置1能够降低损耗并提高Q值。
声反射层3具有如下的层叠构造，即，多个(三个)低声阻抗层32和多个(两个)高声阻抗层31在支承基板2的厚度方向D1上每隔一层交替地排列。低声阻抗层32的声阻抗比高声阻抗层31的声阻抗低。
以下，为了便于说明，在声反射层3中，也有时将两个高声阻抗层31按靠近支承基板2的第1主面21的顺序依次称为第1高声阻抗层311、第2高声阻抗层312。此外，也有时将三个低声阻抗层32按靠近支承基板2的第1主面21的顺序依次称为第1低声阻抗层321、第2低声阻抗层322、第3低声阻抗层323。
在声反射层3中，从支承基板2侧起依次排列有第1低声阻抗层321、第1高声阻抗层311、第2低声阻抗层322、第2高声阻抗层312以及第3低声阻抗层323。因此，声反射层3能够分别在第3低声阻抗层323和第2高声阻抗层312的界面、第2高声阻抗层312和第2低声阻抗层322的界面、第2低声阻抗层322和第1高声阻抗层311的界面、第1高声阻抗层311和第1低声阻抗层321的界面对来自压电体层4的弹性波(板波)进行反射。
多个高声阻抗层31的材料例如为Pt(铂)。此外，多个低声阻抗层32的材料例如为SiO2(氧化硅)。多个高声阻抗层31各自的厚度例如为0.09λ。此外，多个低声阻抗层32各自的厚度例如为0.14λ。因为两个高声阻抗层31各自由Pt形成，所以声反射层3包含两个导电层。
多个高声阻抗层31的材料并不限于Pt(铂)，例如也可以为W(钨)、Ta(钽)等金属。此外，声反射层3并不限于高声阻抗层31为导电层的例子，也可以是低声阻抗层32为导电层。
此外，多个高声阻抗层31并不限于是相互相同的材料的情况，例如也可以是相互不同的材料。此外，多个低声阻抗层32并不限于是相互相同的材料的情况，例如也可以是相互不同的材料。
此外，声反射层3中的高声阻抗层31以及低声阻抗层32各自的数量并不限于两个以及三个，也可以是两个以上以及三个以上。此外，关于高声阻抗层31的数量和低声阻抗层32的数量，并不限于不同的情况，也可以相同，还可以是低声阻抗层32的数量比高声阻抗层31的数量少一个。此外，关于声反射层3，只要至少一个高声阻抗层31和至少一个低声阻抗层32在支承基板2的厚度方向D1上重复即可。
(2.3)电绝缘层
电绝缘层6具有电绝缘性。电绝缘层6在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下包围声反射层3。电绝缘层6在与声反射层3不同的位置介于支承基板2与压电体层4之间。电绝缘层6是介于支承基板2与压电体层4之间的中间层7之中声反射层3以外的区域(部分)。电绝缘层6例如由与低声阻抗层32相同的材料形成。电绝缘层6的材料例如为SiO2(氧化硅)。
(2.4)压电体层
压电体层4具有第1主面41以及第2主面42。第1主面41和第2主面42对置。在压电体层4的欧拉角
Figure BDA0003100957810000051
中，相当于由IDT电极5激励的弹性波的传播方位的ψ能够设为0°以上且90°以下。压电体层4例如包含欧拉角为(90°，90°，40°)的X切割40°传播LiNbO3。压电体层4的材料并不限于LiNbO3，例如也可以是LiTaO3。
在将由IDT电极5的电极指间距P1决定的弹性波的波长设为λ时，压电体层4的厚度为1λ以下。由此，在弹性波装置1中，由IDT电极5激励板波并传播板波。作为一个例子，压电体层4的厚度为0.2λ。关于电极指间距P1，在后述的“(2.5)IDT电极”一栏中进行说明。
(2.5)IDT电极
IDT电极5形成在压电体层4上。更详细地，IDT电极5形成在压电体层4的与中间层7侧的第2主面42相反的第1主面41上。
IDT电极5具有第1汇流条51、第2汇流条52、多个第1电极指53以及多个第2电极指54。第2汇流条52与第1汇流条51对置。
多个第1电极指53与第1汇流条51连接并向第2汇流条52侧延伸。多个第1电极指53与第1汇流条51形成为一体，并与第2汇流条52分离。作为一个例子，多个第1电极指53的前端与第2汇流条52之间的间隙长度为0.2λ。
多个第2电极指54与第2汇流条52连接并向第1汇流条51侧延伸。多个第2电极指54与第2汇流条52形成为一体，并与第1汇流条51分离。作为一个例子，多个第2电极指54的前端与第1汇流条51之间的间隙长度为0.2λ。
在IDT电极5中，多个第1电极指53和多个第2电极指54各一根交替地相互分开排列。因此，相邻的第1电极指53和第2电极指54分离。第1汇流条51是用于使多个第1电极指53为相同电位的导体部。第2汇流条52是用于使多个第2电极指54为相同电位(等电位)的导体部。
如图1所示，IDT电极5的电极指间距P1由多个第1电极指53之中相邻的两个第1电极指53的中心线间的距离或多个第2电极指54之中相邻的两个第2电极指54的中心线间的距离来定义。相邻的两个第2电极指54的中心线间的距离与相邻的两个第1电极指53的中心线间的距离相同。
在实施方式涉及的弹性波装置1的IDT电极5中，作为一个例子，第1电极指53和第2电极指54的对数为100。也就是说，作为一个例子，IDT电极5具有100根第1电极指53和100根第2电极指54。
IDT电极5具有导电性。IDT电极5的材料例如是Al(铝)、Cu(铜)、Pt(铂)、Au(金)、Ag(银)、Ti(钛)、Ni(镍)、Cr(铬)、Mo(钼)、W(钨)或以这些金属中的任一者为主体的合金等。此外，IDT电极5也可以具有将包含这些金属或合金的多个金属膜进行了层叠的构造。IDT电极5例如包含形成在压电体层4上并由Ti膜构成的密接膜、和形成在密接膜上并由Al膜构成的主电极膜的层叠膜。密接膜的厚度例如为10nm。此外，主电极膜的厚度例如为80nm。另外，从第1汇流条51以及第2汇流条52的低电阻化的观点等出发，IDT电极5也可以在第1汇流条51以及第2汇流条52各自中包含形成在主电极膜上的金属膜。
IDT电极5具有由多个第1电极指53和多个第2电极指54规定的交叉区域55。交叉区域55是多个第1电极指53的前端的包络线L1与多个第2电极指54的前端的包络线L2之间的区域。IDT电极5在交叉区域55中激励弹性波(板波)。在图1中，在IDT电极5的交叉区域55附上了点状的影线，但是该影线并非表示剖面，只不过是为了容易获知交叉区域55和第1汇流条51以及第2汇流条52的相对的位置关系而附上的。
在IDT电极5中，交叉区域55的交叉宽度H1是多个第1电极指53延伸的方向上的交叉区域55的宽度。
IDT电极5可以是正规型的IDT电极，也可以是实施了变迹(apodize)加权的IDT电极，还可以是倾斜IDT电极。在实施了变迹加权的IDT电极中，随着从弹性波的传播方向的一端部向中央靠近而交叉宽度变大，随着从弹性波的传播方向的中央向另一端部靠近而交叉宽度变小。因此，在IDT电极5为实施了变迹加权的IDT电极的情况下，IDT电极5的交叉区域55成为菱形或六边形。在实施了变迹加权的IDT电极中，多个第1电极指53的前端的包络线L1和多个第2电极指54的前端的包络线L2各自与弹性波的传播方向所成的角的大小(变迹角度)大于0°。
(2.6)反射器
两个反射器8各自为短路光栅。各反射器8对弹性波进行反射。
各反射器8具有多个电极指81，多个电极指81的一端彼此被短路，另一端彼此被短路。在各反射器8中，作为一个例子，电极指81的数量为20。
各反射器8具有导电性。各反射器8的材料例如是Al、Cu、Pt、Au、Ag、Ti、Ni、Cr、Mo、W或以这些金属中的任一者为主体的合金等。此外，各反射器8也可以具有将包含这些金属或合金的多个金属膜进行了层叠的构造。各反射器8例如包含形成在压电体层4上并由Ti膜构成的密接膜、和形成在密接膜上并由Al膜构成的主电极膜的层叠膜。密接膜的厚度例如为10nm。此外，主电极膜的厚度例如为80nm。
在弹性波装置1中，在各反射器8和IDT电极5为相同的材料并设定为相同的厚度的情况下，能够在制造弹性波装置1时在相同的工序中形成各反射器8和IDT电极5。
在弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下，各反射器8与声反射层3重复。
(3)布局
在弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下，导电层(高声阻抗层31)至少与交叉区域55重复。此外，在弹性波装置1中，在多个第1电极指53延伸的方向上从多个第1电极指53的前端到导电层(高声阻抗层31)的端部为止距离d1大于0且为12λ以下。此外，在弹性波装置1中，在多个第2电极指54延伸的方向上从多个第2电极指54的前端到导电层(高声阻抗层31)的端部为止距离d2大于0且为12λ以下。在弹性波装置1中，距离d1和距离d2相等，但是距离d1和距离d2也可以不同。
(4)弹性波装置的特性
图4是弹性波装置1的阻抗的频率特性。在图4中，横轴为频率，纵轴为弹性波装置1的阻抗[dB]。在将弹性波装置1的阻抗设为Z的情况下，这里的阻抗[dB]是通过20×log10|Z|而求出的值。
此外，弹性波装置1的阻抗比是通过
阻抗比＝(20×log10|Z2|)-(20×log10|Z1|)
而求出的值。在此，Z1是弹性波装置1的谐振频率下的阻抗。此外，Z2是弹性波装置1的反谐振频率下的阻抗。
图5将实施方式涉及的弹性波装置1的谐振特性作为评价项目的一个例子，示出弹性波装置1中的各距离d1、d2和“相对带宽×Q值”的关系。在此，相对带宽由
相对带宽＝(谐振频率-反谐振频率)/谐振频率
来定义。图5中的横轴为“距离d1以及距离d2”。在图5中，对于距离d1以及距离d2，将导电层(高声阻抗层31)的端部(高声阻抗层31的端部31A以及31B)和第1电极指53的前端以及第2电极指54的前端一致的情况设为0，将导电层的端部(高声阻抗层31的端部31A以及31B)处于比第1电极指53的前端以及第2电极指54的前端各自靠外侧的情况设为正，将导电层的端部(高声阻抗层31的端部31A以及31B)处于比第1电极指53的前端以及第2电极指54的前端各自靠内侧的情况设为负。图5中的纵轴的“相对带宽×Q值”是用将距离d1以及距离d2设为0时的相对带宽×Q值的值进行了标准化的值。另外，在弹性波装置中，一般来说，如果是相同的Q值，则在相对带宽较宽的情况下，阻抗比变得更大。
在图5中，绘制了对将距离d1以及距离d2分别设为0λ、1.4λ、2.2λ、3.9λ、4.8λ、7λ、10.6λ、12.4λ时的“相对带宽×Q值”进行了标准化的值。另外，在图5中，为了与实施方式涉及的弹性波装置1的比较，还绘制了对将距离d1以及距离d2各自设为-0.8λ的情况、将距离d1以及距离d2各自设为12.4λ的情况下的“相对带宽×Q值”进行了标准化的值。另外，为了得到图5的评价结果而进行了特性评价的样品的构造参数如下。
(构造参数)
压电体层4：欧拉角为(90°，90°，40°)的X切割40°传播LiNbO3
压电体层4的厚度：0.2λ
高声阻抗层31的材料：Pt
高声阻抗层31的厚度：0.09λ
低声阻抗层32的材料：SiO2
低声阻抗层32的厚度：0.14λ
IDT电极5：实施了变迹加权的IDT电极
第1电极指53和第2电极指54的对数：100对
交叉区域55的交叉宽度H1(平均交叉宽度)：15λ
反射器8中的电极指的根数：20根
多个第1电极指53的前端与第2汇流条52之间的间隙长度：0.2λ多个第2电极指54的前端与第1汇流条51之间的间隙长度：0.2λ
根据图5的结果可知，在弹性波装置1中，通过将距离d1以及距离d2设为大于0λ且为12λ以下，从而当多个第1电极指53的前端以及多个第2电极指54的前端在从支承基板2的厚度方向的俯视下与高声阻抗层31重复的情况下，与将距离d1以及距离d2设为0λ的情况相比，能够使谐振特性提高。在实施方式涉及的弹性波装置1中，与在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下导电层与IDT电极5的整体重复的情况相比，能够使谐振特性提高。
此外，在弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下，多个第1电极指53的前端与第2汇流条52之间的间隙长度为0.2λ，多个第2电极指54的前端与第1汇流条51之间的间隙长度为0.2λ。因此，在弹性波装置1中，如果距离d1以及距离d2各自大于0.2且为12λ以下，则导电层(高声阻抗层31)与第1汇流条51的一部分和第2汇流条52的一部分这两者重复。
图6是示出在弹性波装置1中将IDT电极5设为正规型的IDT电极并将交叉宽度H1分别设为3λ、4λ、5λ、7.5λ时的交叉宽度H1和“相对带宽×Q值”的关系的曲线图。在图6中，为了比较，还绘制了将交叉宽度H1设为10λ、15λ时的“相对带宽×Q值”。另外，图6中的纵轴的“相对带宽×Q值”是用将交叉宽度H1设为7.5λ时的相对带宽×Q值的值进行了标准化的值。
根据图6可知，在弹性波装置1中，在多个第1电极指53延伸的方向上，交叉区域55的交叉宽度H1为7.5λ以下，从而“相对带宽×Q值”提高(也就是说，谐振特性提高)。在图6中，作为交叉宽度H1，例示了3λ、4λ、5λ、7.5λ，但交叉宽度H1的下限例如为2λ。
(5)效果
实施方式涉及的弹性波装置1具备支承基板2、声反射层3、压电体层4以及IDT电极5。声反射层3形成在支承基板2上。压电体层4形成在声反射层3上。IDT电极5形成在压电体层4上。声反射层3具有至少一个高声阻抗层31和至少一个低声阻抗层32。低声阻抗层32的声阻抗比高声阻抗层31的声阻抗低。在声反射层3中，高声阻抗层31以及低声阻抗层32中的至少一个为导电层(高声阻抗层31)。IDT电极5具有第1汇流条51、第2汇流条52、多个第1电极指53以及多个第2电极指54。第2汇流条52与第1汇流条51对置。多个第1电极指53与第1汇流条51连接并向第2汇流条52侧延伸。多个第2电极指54与第2汇流条52连接并向第1汇流条51侧延伸。在将由IDT电极5的电极指间距P1决定的弹性波的波长设为λ，将多个第1电极指53的前端的包络线L1与多个第2电极指54的前端的包络线L2之间的区域设为交叉区域55时，在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下，导电层(高声阻抗层31)至少与交叉区域55重复，在多个第1电极指53延伸的方向上从多个第1电极指53的前端到导电层(高声阻抗层31)的端部为止距离d1大于0(0λ)且为12λ以下。此外，在多个第2电极指54延伸的方向上从多个第2电极指54的前端到导电层(高声阻抗层31)的端部为止距离d2大于0(0λ)且为12λ以下。
在实施方式涉及的弹性波装置1中，能够使谐振特性提高。此外，在实施方式涉及的弹性波装置1中，能够降低由无用波造成的纹波。此外，在实施方式涉及的弹性波装置1中，能够抑制由寄生电容的增加造成的带宽的减少。
此外，在实施方式涉及的弹性波装置1中，在将由IDT电极5的电极指间距P1决定的弹性波的波长设为λ时，压电体层4的厚度为1λ以下。由此，在实施方式涉及的弹性波装置1中，能够激励板波。
此外，在实施方式涉及的弹性波装置1中，弹性波为板波。由此，实施方式涉及的弹性波装置1能够作为利用板波的弹性波装置而进行使用。
此外，在实施方式涉及的弹性波装置1中，压电体层4的材料为LiNbO3或LiTaO3，低声阻抗层32的材料为SiO2。在此，LiNbO3以及LiTaO3各自的弹性常数具有负的温度特性，SiO2的弹性常数具有正的温度特性。因此，在实施方式涉及的弹性波装置1中，能够减小TCF(Temperature Coefficient of Frequency，温度频率系数)的绝对值，能够改善频率温度特性。
上述的实施方式只不过是本发明的各种各样的实施方式之一。只要能够达到本发明的目的，上述的实施方式就能够根据设计等而进行各种变更。
在上述的实施方式涉及的弹性波装置1中，通过具备声反射层3，从而能够抑制弹性波的泄漏，能够有效地封闭弹性波，能够提高Q值。在声反射层3中，例如通过采用金属作为高声阻抗层31的材料，从而能够增大高声阻抗层31和低声阻抗层32的声阻抗比，能够有效地反射板波，能够提高弹性波装置1的Q值。然而，作为弹性波装置1的比较例，在支承基板2的厚度方向D1上将导电层设为与IDT电极5全部对置的大小的结构中，起因于IDT电极5与导电层之间的寄生电容，阻抗比下降。相对于此，在实施方式涉及的弹性波装置1中，通过满足下述的第1条件和第2条件这两者，从而能够使谐振特性提高，但是通过在第1条件和第2条件之中至少满足第1条件，从而能够使谐振特性提高。第1条件是如下的条件，即，在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下，导电层(高声阻抗层31)至少与交叉区域55重复，在多个第1电极指53延伸的方向上从多个第1电极指53的前端到导电层(高声阻抗层31)的端部(高声阻抗层31的端部31A)为止距离d1大于0且为12λ以下。第2条件是如下的条件，即，在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下，在多个第2电极指54延伸的方向上从多个第2电极指54的前端到导电层(高声阻抗层31)的端部(高声阻抗层31的端部31B)为止距离d2大于0且为12λ以下。在弹性波装置1中，与在第1条件和第2条件之中仅满足第1条件的情况相比，在满足第1条件和第2条件这两者的情况下，能够更有效地封闭弹性波，能够更加提高Q值。
此外，在实施方式涉及的弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下，导电层(高声阻抗层31)与第1汇流条51的一部分和第2汇流条52的一部分这两者重复，但也可以是与至少一者重复的结构。
此外，在实施方式涉及的弹性波装置1中，在从支承基板2的厚度方向D1的俯视下，导电层(高声阻抗层31)的外周形状为矩形，但是并不限于此，导电层也可以包含矩形部分和从矩形部分的外周缘起在与矩形部分同一面内向外侧突出的突部。此外，也可以在导电层形成有缺口部。
弹性波装置1也可以还具备与第1汇流条51连接的第1布线层、经由第1布线层而与第1汇流条51连接的第1端子、与第2汇流条52连接的第2布线层以及经由第2布线层而与第2汇流条52连接的第2端子。此外，弹性波装置1也可以还具备在多个反射器8各自各连接了一个的多个第3布线层。在该情况下，多个反射器8各自也可以至少经由第3布线层而与第2端子连接。第1布线层从第1汇流条51向与多个第1电极指53侧相反侧延伸。第1布线层可以形成为在支承基板2的厚度方向D1上与第1汇流条51重复一部分，也可以通过与第1汇流条51相同的材料且相同的厚度而与第1汇流条51形成为一体。此外，第1布线层也可以包含与第1汇流条51形成为一体的第1金属膜和形成在第1金属膜上的金属膜。第2布线层从第2汇流条52向与多个第2电极指54侧相反侧延伸。第2布线层可以形成为在支承基板2的厚度方向D1上与第2汇流条52重复一部分，也可以通过与第2汇流条52相同的材料且相同的厚度而与第2汇流条52形成为一体。此外，第2布线层也可以包含与第2汇流条52形成为一体的第2金属膜和形成在第2金属膜上的金属膜。
此外，在弹性波装置1中，各反射器8为短路光栅，但是并不限于此，例如，也可以是开路光栅、正负反射型光栅等。此外，在弹性波装置1中，各反射器8不是必需的构成要素。
此外，在弹性波装置1中，也可以设置有多个IDT电极5。在此，在弹性波装置1具备多组IDT电极5和声反射层3的组的情况下，只要多个声反射层3的导电层(例如，高声阻抗层31)彼此电绝缘即可。在弹性波装置1具备多个IDT电极5的情况下，通过具备对多个IDT电极5进行连接的适当的布线层，从而能够构成弹性波滤波器。
实施方式的一个变形例涉及的弹性波装置1a与实施方式涉及的弹性波装置1的不同点在于，如图7以及8所示，在压电体层4上具备多个(五个)IDT电极5。关于弹性波装置1a，对于与实施方式涉及的弹性波装置1同样的构成要素，标注相同的附图标记并省略说明。
弹性波装置1a为弹性波滤波器(在此为梯型滤波器)。弹性波装置1a具备输入端子15、输出端子16、设置在将输入端子15和输出端子16连结的第1路径上的串联臂电路12、以及设置在将第1路径上的节点和接地(接地端子17、18)连结的第2路径上的多个(两个)并联臂电路13、14。串联臂电路12具有多个(三个)串联臂谐振器S1。多个并联臂电路13、14各自具有并联臂谐振器S2。接地端子17、18也可以被公共化为一个接地。
在弹性波装置1a中，多个串联臂谐振器S1以及多个并联臂谐振器S2各自由在实施方式中说明的包含IDT电极5、压电体层4以及声反射层3的弹性波谐振器构成。由此，在弹性波装置1a中，可谋求谐振特性的提高。
在弹性波装置1a中，具备两个并联臂电路13、14，但是并联臂电路的数量并不限于两个，例如，也可以为一个，还可以为三个以上。
(总结)
根据以上说明的实施方式等，公开了以下的方式。
第1方式涉及的弹性波装置(1；1a)具备支承基板(2)、声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)。声反射层(3)形成在支承基板(2)上。压电体层(4)形成在声反射层(3)上。IDT电极(5)形成在压电体层(4)上。声反射层(3)具有至少一个高声阻抗层(31)和至少一个低声阻抗层(32)。低声阻抗层(32)的声阻抗比高声阻抗层(31)的声阻抗低。在声反射层(3)中，高声阻抗层(31)以及低声阻抗层(32)中的至少一个为导电层。IDT电极(5)具有第1汇流条(51)、第2汇流条(52)、多个第1电极指(53)以及多个第2电极指(54)。第2汇流条(52)与第1汇流条(51)对置。多个第1电极指(53)与第1汇流条(51)连接并向第2汇流条(52)侧延伸。多个第2电极指(54)与第2汇流条(52)连接并向第1汇流条(51)侧延伸。在将由IDT电极(5)的电极指间距(P1)决定的弹性波的波长设为λ，将多个第1电极指(53)的前端的包络线(L1)与多个第2电极指(54)的前端的包络线(L2)之间的区域设为交叉区域(55)时，在从压电体层(4)的厚度方向的俯视下，导电层至少与交叉区域(55)重复，在多个第1电极指(53)延伸的方向上从多个第1电极指(53)的前端到导电层(高声阻抗层31)的端部(高声阻抗层31的端部31A)为止距离(d1)大于0且为12λ以下。
在第1方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，能够使谐振特性提高。
第2方式涉及的弹性波装置(1；1a)基于第1方式。在第2方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，在从支承基板(2)的厚度方向(D1)的俯视下，在多个第2电极指(54)延伸的方向上从多个第2电极指(54)的前端到导电层(高声阻抗层31)的端部(高声阻抗层31的端部31B)为止距离(d2)大于0且为12λ以下。
在第2方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，能够使Q值提高。
第3方式涉及的弹性波装置(1；1a)基于第1或第2方式。在第3方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，在从支承基板(2)的厚度方向(D1)的俯视下，导电层(高声阻抗层31)与第1汇流条(51)的一部分和第2汇流条(52)的一部分中的至少一者重复。
第4方式涉及的弹性波装置(1；1a)基于第1方式～第3方式中的任一个。在第4方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，在多个第1电极指(53)延伸的方向上，交叉区域(55)的交叉宽度(H1)为7.5λ以下。
在第4方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，能够使谐振特性提高。
第5方式涉及的弹性波装置(1；1a)基于第1方式～第4方式中的任一个。在第5方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，高声阻抗层(31)设置有多个。低声阻抗层(32)设置有多个。多个高声阻抗层(31)和多个低声阻抗层(32)在支承基板(2)的厚度方向(D1)上每隔一层交替地排列。
关于第6方式涉及的弹性波装置(1；1a)，在第1方式～第5方式中的任一个中，压电体层(4)的厚度为1λ以下。
在第6方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，能够激励板波。
关于第7方式涉及的弹性波装置(1；1a)，在第6方式中，弹性波为板波。
在第7方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，能够作为利用板波的弹性波装置而进行使用。
关于第8方式涉及的弹性波装置(1a)，在第1方式～第7方式中的任一个中，弹性波装置(1a)为具备多个弹性波谐振器的弹性波滤波器。多个弹性波谐振器各自为包含IDT电极(5)、压电体层(4)以及声反射层(3)的谐振器。多个弹性波谐振器的压电体层(4)彼此相连。多个弹性波谐振器的声反射层(3)彼此相互分离并电绝缘。
在第8方式涉及的弹性波装置(1a)中，能够谋求弹性波滤波器的谐振特性的提高。
附图标记说明
1、1a：弹性波装置；
2：支承基板；
21：第1主面；
22：第2主面；
3：声反射层；
31：高声阻抗层(导电层)；
311：第1高声阻抗层(导电层)；
312：第2高声阻抗层(导电层)；
32：低声阻抗层；
321：第1低声阻抗层
322：第2低声阻抗层；
323：第3低声阻抗层；
4：压电体层；
41：第1主面；
42：第2主面；
5：IDT电极；
51：第1汇流条；
52：第2汇流条；
53：第1电极指；
54：第2电极指；
55：交叉区域；
6：电绝缘层；
7：中间层；
8：反射器；
81：电极指；
9：层叠体；
12：串联臂电路；
13：并联臂电路；
14：并联臂电路；
15：输入端子；
16：输出端子；
17：接地端子；
18：接地端子；
S1：串联臂谐振器；
S2：并联臂谐振器；
D1：厚度方向；
P1：电极指间距；
d1：距离；
d2：距离；
H1：交叉宽度；
L1：包络线；
L2：包络线。

Claims (8)

1.一种弹性波装置，具备：
支承基板；
声反射层，形成在所述支承基板上；
压电体层，形成在所述声反射层上；以及
IDT电极，形成在所述压电体层上，
所述声反射层具有：
至少一个高声阻抗层；以及
至少一个低声阻抗层，声阻抗比所述高声阻抗层低，
在所述声反射层中，
所述高声阻抗层以及所述低声阻抗层中的至少一个为导电层，
所述IDT电极具有：
第1汇流条；
第2汇流条，与所述第1汇流条对置；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接并向所述第2汇流条侧延伸；以及
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接并向所述第1汇流条侧延伸，
在将由所述IDT电极的电极指间距决定的弹性波的波长设为λ，将所述多个第1电极指的前端的包络线与所述多个第2电极指的前端的包络线之间的区域设为交叉区域时，
在从所述支承基板的厚度方向的俯视下，
所述导电层至少与所述交叉区域重复，
在所述多个第1电极指延伸的方向上从所述多个第1电极指的所述前端到所述导电层的端部为止距离大于0且为12λ以下。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
在从所述支承基板的厚度方向的俯视下，
在所述多个第2电极指延伸的方向上从所述多个第2电极指的所述前端到所述导电层的端部为止距离大于0且为12λ以下。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
在从所述支承基板的厚度方向的俯视下，
所述导电层与所述第1汇流条的一部分和所述第2汇流条的一部分中的至少一者重复。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，
在所述多个第1电极指延伸的方向上，所述交叉区域的交叉宽度为7.5λ以下。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述高声阻抗层设置多个，
所述低声阻抗层设置多个，
多个所述高声阻抗层和多个所述低声阻抗层在所述支承基板的厚度方向上每隔一层交替地排列。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述压电体层的厚度为1λ以下。
7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波为板波。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置是具备多个弹性波谐振器的弹性波滤波器，
所述多个弹性波谐振器各自为包含所述IDT电极、所述压电体层以及所述声反射层的谐振器，
所述多个弹性波谐振器的所述压电体层彼此相连，
所述多个弹性波谐振器的所述声反射层彼此相互分离并电绝缘。
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